JP5651396B2 - Fiber laser oscillator and fiber laser processing machine - Google Patents

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Description

本発明は、ファイバレーザモジュール毎に除湿できる機能を備えたファイバレーザ発振器及びファイバレーザ加工機に関する。   The present invention relates to a fiber laser oscillator and a fiber laser processing machine having a function capable of dehumidifying each fiber laser module.

従来のファイバレーザ加工機では、特許文献１に開示されているようにファイバレーザ発振器と加工テーブルとを別々に設け、ファイバレーザ発振器から出力されたレーザ光はプロセスファイバを用いて加工テーブル側へ伝送されていた。   In a conventional fiber laser processing machine, as disclosed in Patent Document 1, a fiber laser oscillator and a processing table are provided separately, and laser light output from the fiber laser oscillator is transmitted to the processing table side using a process fiber. It had been.

このような従来のファイバレーザ加工機を構成するファイバレーザ発振器では、半導体レーザの発振効率が冷却温度に依存するため、チラー等の冷却水供給装置が安定に維持できる水温で、尚且つできるだけ低温（通常２０℃付近）になるように設定されていた。このようにファイバレーザ発振器ではレーザ光源を冷却する必要があるために、結露を防止するための除湿装置が必要不可欠であった。   In the fiber laser oscillator constituting such a conventional fiber laser processing machine, since the oscillation efficiency of the semiconductor laser depends on the cooling temperature, the cooling water supply device such as a chiller can maintain the water temperature stably and as low as possible ( Usually, it was set to be around 20 ° C. As described above, since it is necessary to cool the laser light source in the fiber laser oscillator, a dehumidifying device for preventing condensation has been indispensable.

ここで、従来のファイバレーザ発振器の構成を、図５を参照して説明する。   Here, the configuration of a conventional fiber laser oscillator will be described with reference to FIG.

図５に示すように、従来のファイバレーザ発振器５１は、ファイバレーザ発振器全体を収容する密閉された筐体５２と、レーザ光を生成するためのレーザ光源を構成する複数のファイバレーザモジュール５３と、電源を供給する電源装置５４と、除湿するためのドライエアーを供給する除湿装置５５とを備えている。   As shown in FIG. 5, a conventional fiber laser oscillator 51 includes a sealed housing 52 that accommodates the entire fiber laser oscillator, a plurality of fiber laser modules 53 that constitute a laser light source for generating laser light, A power supply device 54 that supplies power and a dehumidifying device 55 that supplies dry air for dehumidification are provided.

従来のファイバレーザ発振器５１では、冷却水を循環させてファイバレーザモジュール５３を冷却し、結露を防止するために除湿装置５５からドライエアーを供給して密閉された筐体５２の内部全体を除湿していた。   In the conventional fiber laser oscillator 51, cooling water is circulated to cool the fiber laser module 53, and in order to prevent condensation, dry air is supplied from the dehumidifier 55 to dehumidify the entire inside of the sealed casing 52. It was.

特開２００９−２２６４７３号公報JP 2009-226473 A

しかしながら、上述した従来のファイバレーザ発振器５１では、筐体５２を密閉して筐体５２の内部全体を除湿していたので、メンテナンスなどのために筐体５２を開放すると、ファイバレーザモジュール５３は大気に晒されることになり、ファイバレーザモジュール５３に結露が生じてしまうという問題点があった。   However, in the above-described conventional fiber laser oscillator 51, the casing 52 is sealed and the entire interior of the casing 52 is dehumidified. Therefore, when the casing 52 is opened for maintenance or the like, the fiber laser module 53 is in the atmosphere. As a result, the fiber laser module 53 has dew condensation.

また、筐体５２の内部全体を除湿していたので、密閉処理が膨大になるとともに、除湿空間が大きくなって大型の除湿装置が必要になるという問題点もあった。   Further, since the entire interior of the casing 52 is dehumidified, there is a problem that the sealing process becomes enormous and the dehumidification space becomes large and a large dehumidifier is required.

さらに、従来のファイバレーザ加工機では、ファイバレーザ発振器と加工テーブルを別々に設けていたので、設置スペースが大きくなってしまうという問題点があり、この問題点を解決するためには加工テーブルにファイバレーザ発振器を内蔵させる必要があった。   Furthermore, in the conventional fiber laser processing machine, since the fiber laser oscillator and the processing table are provided separately, there is a problem that the installation space becomes large, and in order to solve this problem, the processing table has a fiber. It was necessary to incorporate a laser oscillator.

しかしながら、上述した従来のファイバレーザ発振器のように筐体全体で除湿する構造になっていると、ファイバレーザ発振器を小型化することができず、ファイバレーザ発振器を加工テーブルに内蔵することは困難であった。   However, if the entire housing is dehumidified like the conventional fiber laser oscillator described above, the fiber laser oscillator cannot be reduced in size, and it is difficult to incorporate the fiber laser oscillator in the processing table. there were.

上述した課題を解決するために、請求項１に記載の本発明は、ファイバレーザ発振器において、それぞれ密閉された複数のファイバレーザモジュールで構成されたレーザ光源と、前記ファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿手段とを備えていることを特徴とするファイバレーザ発振器である。   In order to solve the above-described problem, the present invention according to claim 1 is a fiber laser oscillator, wherein a laser light source composed of a plurality of hermetically sealed fiber laser modules and dry air is provided to each of the fiber laser modules. And a dehumidifying means for dehumidifying the fiber laser.

請求項２に記載の本発明は、前記除湿手段が、ポンプから吐出された高圧エアーを除湿フィルタで除湿することによって前記ドライエアーを生成することを特徴とするファイバレーザ発振器である。   The present invention according to claim 2 is a fiber laser oscillator, wherein the dehumidifying means generates the dry air by dehumidifying high-pressure air discharged from a pump with a dehumidifying filter.

請求項３に記載の本発明は、ファイバレーザ発振器を加工テーブルに内蔵したファイバレーザ加工機において、それぞれ密閉された複数のファイバレーザモジュールで構成され、前記加工テーブルに内蔵されたレーザ光源と、前記加工テーブルに内蔵され、前記ファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿手段とを備えていることを特徴とするファイバレーザ加工機である。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a fiber laser processing machine including a fiber laser oscillator built in a processing table, each of which is composed of a plurality of sealed fiber laser modules, and a laser light source built in the processing table; A fiber laser processing machine, comprising a dehumidifying means that is built in a processing table and dehumidifies by supplying dry air to each of the fiber laser modules.

請求項４に記載の本発明は、前記除湿手段が、ポンプから吐出された高圧エアーを除湿フィルタで除湿することによって前記ドライエアーを生成することを特徴とするファイバレーザ加工機である。   The present invention described in claim 4 is a fiber laser processing machine, wherein the dehumidifying means generates the dry air by dehumidifying high-pressure air discharged from a pump with a dehumidifying filter.

請求項１に記載の発明によれば、密閉されたファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿するようにしたので、ファイバレーザ発振器をメンテナンスなどで開放した場合でもファイバレーザモジュールは密閉されて除湿されたままの状態に維持することができ、これによって結露を防止することができる。   According to the first aspect of the present invention, since dry air is supplied to each of the sealed fiber laser modules to dehumidify them, the fiber laser modules are sealed even when the fiber laser oscillator is opened for maintenance or the like. Thus, the dehumidified state can be maintained, thereby preventing condensation.

また、請求項２及び請求項４に記載の発明によれば、ポンプから吐出された高圧エアーを除湿フィルタで除湿することによってドライエアーを生成するので、除湿装置を小型化することができ、装置全体をコンパクトにすることができる。   In addition, according to the invention described in claim 2 and claim 4, since the dry air is generated by dehumidifying the high-pressure air discharged from the pump with the dehumidifying filter, the dehumidifying device can be reduced in size, and the device The whole can be made compact.

さらに、請求項３に記載の発明によれば、密閉されたファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿するようにしたので、ファイバレーザモジュールを常に密閉して除湿された状態に維持することができ、これによって結露を防止することができる。また、ファイバレーザ発振器を加工テーブルに内蔵したので、設置スペースを小さくすることができる。   Further, according to the invention described in claim 3, since the dry air is supplied to each of the sealed fiber laser modules to dehumidify, the fiber laser module is always sealed and kept in a dehumidified state. This can prevent condensation. Moreover, since the fiber laser oscillator is built in the processing table, the installation space can be reduced.

本発明を適用した第１実施形態に係るファイバレーザ発振器及びファイバレーザ加工機の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the fiber laser oscillator and fiber laser processing machine which concern on 1st Embodiment to which this invention is applied. 本発明を適用した第１実施形態に係るファイバレーザ発振器に設置された除湿装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the dehumidification apparatus installed in the fiber laser oscillator which concerns on 1st Embodiment to which this invention is applied. 本発明を適用した第１実施形態に係るファイバレーザ発振器に設置された除湿装置による除湿の効果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the effect of the dehumidification by the dehumidification apparatus installed in the fiber laser oscillator which concerns on 1st Embodiment to which this invention is applied. 本発明を適用した第２実施形態に係るファイバレーザ加工機の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the fiber laser processing machine which concerns on 2nd Embodiment to which this invention is applied. 従来のファイバレーザ発振器の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the conventional fiber laser oscillator.

以下、本発明を適用した第１及び第２実施形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, first and second embodiments to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

［第１実施形態］
図１は本実施形態に係るファイバレーザ発振器の構成を示す図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a fiber laser oscillator according to the present embodiment.

図１に示すように、本実施形態に係るファイバレーザ発振器１は、密閉された複数のファイバレーザモジュール２と、複数のファイバレーザモジュール２で生成されたレーザ光を１つに結合して出力するレーザ光源３と、複数のファイバレーザモジュール２のそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿装置４と、レーザ光源３で生成されたレーザ光を伝送するフィーディングファイバー５と、レーザ光を送出するビームシャッター６とを備えている。   As shown in FIG. 1, a fiber laser oscillator 1 according to this embodiment combines a plurality of hermetically sealed fiber laser modules 2 and laser beams generated by the plurality of fiber laser modules 2 and outputs the combined light. A laser light source 3, a dehumidifying device 4 that supplies dry air to each of the plurality of fiber laser modules 2 to dehumidify, a feeding fiber 5 that transmits a laser beam generated by the laser light source 3, and a laser beam are sent out. And a beam shutter 6.

ここで、ファイバレーザモジュール２は、半導体レーザによる励起光源、駆動回路、ヒートシンク、共振器等で構成されて１つのケースに収納されている。１つのファイバレーザモジュール２の出力は数百Ｗ程度で、各ファイバレーザモジュール２から出力されたレーザ光をコンバイナーで１つに結合してレーザ光源３から出力される。   Here, the fiber laser module 2 includes a pumping light source using a semiconductor laser, a driving circuit, a heat sink, a resonator, and the like, and is housed in one case. The output of one fiber laser module 2 is about several hundred W, and the laser light output from each fiber laser module 2 is combined into one by a combiner and output from the laser light source 3.

次に、上述したファイバレーザ発振器１を備えたファイバレーザ加工機の構成を説明する。図１に示すようにファイバレーザ加工機１０は、ファイバレーザ発振器１から出力されたレーザ光を伝送するプロセスファイバ１１と、プロセスファイバ１１から拡がったレーザ光をコリメータレンズ１２で平行光にするコリメータユニット１３と、コリメータレンズ１２で平行光になったレーザ光を反射するベンドミラー１４と、集光レンズ１５で高エネルギー密度のレーザ光に集光する切断ヘッド１６と、加工するための材料１７が設置される加工テーブル１８とを備えている。   Next, the configuration of the fiber laser processing machine provided with the above-described fiber laser oscillator 1 will be described. As shown in FIG. 1, a fiber laser processing machine 10 includes a process fiber 11 that transmits laser light output from a fiber laser oscillator 1 and a collimator unit that collimates laser light spread from the process fiber 11 with a collimator lens 12. 13, a bend mirror 14 that reflects the laser light that has been collimated by the collimator lens 12, a cutting head 16 that condenses the laser light having a high energy density by the condenser lens 15, and a material 17 for processing are installed. The processing table 18 is provided.

次に、図２を参照して本実施形態に係るファイバレーザ発振器１に設置された除湿装置４の構成を説明する。   Next, the configuration of the dehumidifying device 4 installed in the fiber laser oscillator 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

図２に示すように、除湿装置４は、外気を除湿して得たドライエアーを各ファイバレーザモジュール２に供給するための装置であり、外部から吸入する空気の粉塵等を取り除くプレフィルタ２１と、吸入した外気を加圧して吐出するポンプ２２と、ポンプ２２から吐出された高圧エアーの圧力を制御する圧力スイッチ２３と、ポンプ２２から吐出された高圧エアーから水分を取り除く除湿フィルタ２４と、除湿フィルタ２４を通過したドライエアーの圧力を調整する調整弁２５とを備えている。   As shown in FIG. 2, the dehumidifying device 4 is a device for supplying dry air obtained by dehumidifying outside air to each fiber laser module 2, and includes a pre-filter 21 that removes dust and the like of air sucked from outside A pump 22 that pressurizes and discharges the sucked outside air, a pressure switch 23 that controls the pressure of the high-pressure air discharged from the pump 22, a dehumidification filter 24 that removes moisture from the high-pressure air discharged from the pump 22, and a dehumidification And an adjustment valve 25 for adjusting the pressure of the dry air that has passed through the filter 24.

ここで、ポンプ２２は、吸入した外気を０．３ＭＰａ程度に加圧して吐出するためのものであり、例えばダイヤフラム式やピストン式のポンプを使用することができる。また、複数あるファイバレーザモジュール２のそれぞれに高圧エアーを供給できればよいので、小型のポンプで十分である。さらに、従来からレーザ加工機等に設置されていたパージエアーを供給するための装置を使用してもよい。   Here, the pump 22 is for pressurizing and discharging the sucked outside air to about 0.3 MPa, and for example, a diaphragm type or piston type pump can be used. Further, since it is sufficient that high-pressure air can be supplied to each of the plurality of fiber laser modules 2, a small pump is sufficient. Furthermore, an apparatus for supplying purge air that has conventionally been installed in laser processing machines or the like may be used.

除湿フィルタ２４は、ポンプ２２から吐出された高圧エアーから水分を取り除くことのできるフィルタであればよく、例えば中空糸膜フィルタを使用することができる。中空糸膜フィルタは分子径の小さなＨ２Ｏを中空糸外に透過し、分子径の大きなＯ２やＮ２を中空糸内に閉じ込めるフィルタである。チューブ状になった中空糸の一方から加圧した湿潤空気を流入させると、他方からドライエアーを吐出する。このときドライエアーの一部は中空糸外面に付いた水分を飛ばすために中空糸外面を通過して排気される。ただし、中空糸膜フィルタでなくても水分を除去できるものであればよく、例えばこの他にペルチェ素子等の冷却を利用した電子式ドライヤで除湿してもよい。 The dehumidifying filter 24 may be any filter that can remove moisture from the high-pressure air discharged from the pump 22. For example, a hollow fiber membrane filter can be used. The hollow fiber membrane filter is a filter that transmits H 2 O having a small molecular diameter to the outside of the hollow fiber and traps O 2 or N 2 having a large molecular diameter in the hollow fiber. When pressurized humid air is introduced from one of the hollow fibers in a tube shape, dry air is discharged from the other. At this time, a part of the dry air is exhausted through the outer surface of the hollow fiber in order to dissipate moisture attached to the outer surface of the hollow fiber. However, it is not necessary to use a hollow fiber membrane filter as long as it can remove moisture. For example, it may be dehumidified with an electronic dryer utilizing cooling of a Peltier element or the like.

次に、本実施形態に係るファイバレーザ発振器１における除湿装置４の動作を説明する。除湿装置４では、ポンプ２２が駆動されると、プレフィルタ２１で粉塵等の除去された外気が吸入され、ポンプ２２で加圧されて高圧エアーが吐出される。ポンプ２２から吐出された高圧エアーは圧力スイッチ２３で圧力が制御されて除湿フィルタ２４へ流入し、水分が取り除かれて乾燥したドライエアーが生成される。   Next, the operation of the dehumidifying device 4 in the fiber laser oscillator 1 according to this embodiment will be described. In the dehumidifier 4, when the pump 22 is driven, outside air from which dust or the like has been removed is sucked by the pre-filter 21, pressurized by the pump 22, and high-pressure air is discharged. The high pressure air discharged from the pump 22 is controlled in pressure by the pressure switch 23 and flows into the dehumidifying filter 24, and moisture is removed and dry dry air is generated.

その後、除湿フィルタ２４で除湿されたドライエアーは、調整弁２５で圧力が調整されてから複数あるファイバレーザモジュール２のそれぞれに供給される。このとき各ファイバレーザモジュール２に供給されるドライエアーの量は、毎分１リットル程度である。   Thereafter, the dry air dehumidified by the dehumidifying filter 24 is supplied to each of the plurality of fiber laser modules 2 after the pressure is adjusted by the regulating valve 25. At this time, the amount of dry air supplied to each fiber laser module 2 is about 1 liter per minute.

次に、上述した除湿装置４による除湿の効果について図３を参照して説明する。図３（ａ）は、除湿装置４を駆動した場合における温度及び湿度の変化を示す図であり、図３（ｂ）は露点の変化を示す図である。   Next, the effect of dehumidification by the dehumidifier 4 described above will be described with reference to FIG. FIG. 3A is a diagram showing changes in temperature and humidity when the dehumidifying device 4 is driven, and FIG. 3B is a diagram showing changes in the dew point.

図３（ａ）に示すように、除湿装置４を駆動すると、ファイバレーザモジュール２の内部の湿度は外部の湿度に対して１０％以上低下する。また、ファイバレーザモジュール２の内部の温度も除湿装置４の駆動後に徐々に低下していくことが分かる。   As shown in FIG. 3A, when the dehumidifying device 4 is driven, the internal humidity of the fiber laser module 2 decreases by 10% or more with respect to the external humidity. It can also be seen that the temperature inside the fiber laser module 2 gradually decreases after the dehumidifier 4 is driven.

そして、図３（ｂ）を参照すると、ファイバレーザモジュール２の内部の露点は、外部の露点から３〜４度低下することが分かる。   3B, it can be seen that the dew point inside the fiber laser module 2 is lowered by 3 to 4 degrees from the external dew point.

したがって、上述したデータが示しているように、本実施形態に係る除湿装置４によってファイバレーザモジュール２の内部は効果的に除湿されており、これによってファイバレーザモジュール２の内部での結露を防止することができる。   Therefore, as shown in the data described above, the inside of the fiber laser module 2 is effectively dehumidified by the dehumidifying device 4 according to the present embodiment, thereby preventing condensation inside the fiber laser module 2. be able to.

また、本実施形態に係るファイバレーザ発振器１では、筐体全体を除湿するのではなく、ファイバレーザモジュール２の内部のみを除湿するので、小型のポンプで除湿することが可能であり、装置全体をコンパクトにすることができる。   In the fiber laser oscillator 1 according to the present embodiment, the entire housing is not dehumidified, but only the inside of the fiber laser module 2 is dehumidified. Therefore, the fiber laser oscillator 1 can be dehumidified with a small pump, It can be made compact.

さらに、本実施形態に係るファイバレーザ発振器１では、ファイバレーザモジュール２を密閉して除湿するので、メンテナンス等で筐体を開放してもファイバレーザモジュール２の内部に結露が発生することを防止できる。   Furthermore, in the fiber laser oscillator 1 according to the present embodiment, the fiber laser module 2 is hermetically sealed and dehumidified, so that it is possible to prevent dew condensation from occurring inside the fiber laser module 2 even when the housing is opened for maintenance or the like. .

また、本実施形態に係るファイバレーザ発振器１では、ファイバレーザモジュール２の内部のみを密閉して筐体は密閉されていないので、排気口から簡単に廃熱することができる。   Further, in the fiber laser oscillator 1 according to the present embodiment, only the inside of the fiber laser module 2 is sealed and the housing is not sealed. Therefore, waste heat can be easily discharged from the exhaust port.

［第２実施形態］
次に、本発明を適用した第２実施形態について図面を参照して説明する。尚、上述した第１実施形態と同様の部分については同一の番号を付して詳細な説明は省略する。 [Second Embodiment]
Next, a second embodiment to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings. In addition, the same number is attached | subjected about the part similar to 1st Embodiment mentioned above, and detailed description is abbreviate | omitted.

図４は本実施形態に係るファイバレーザ加工機の構成を示す図である。   FIG. 4 is a diagram showing the configuration of the fiber laser processing machine according to the present embodiment.

図４に示すように、本実施形態に係るファイバレーザ加工機４１は、密閉された複数のファイバレーザモジュール４２と、複数のファイバレーザモジュール４２で生成されたレーザ光を１つに結合して出力するレーザ光源４３と、複数のファイバレーザモジュール４２のそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿装置４４と、レーザ光源４３で生成されたレーザ光を伝送するフィーディングファイバー４５と、レーザ光を送出するビームシャッター４６と、ビームシャッター４６から出力されたレーザ光を伝送するプロセスファイバ１１と、プロセスファイバ１１から拡がったレーザ光をコリメータレンズ１２で平行光にするコリメータユニット１３と、コリメータレンズ１２で平行光になったレーザ光を反射するベンドミラー１４と、集光レンズ１５で高エネルギー密度のレーザ光に集光する切断ヘッド１６と、加工するための材料１７が設置される加工テーブル１８とを備えている。   As shown in FIG. 4, the fiber laser processing machine 41 according to the present embodiment combines a plurality of sealed fiber laser modules 42 and laser light generated by the plurality of fiber laser modules 42 into one output. A laser light source 43, a dehumidifying device 44 for dehumidifying by supplying dry air to each of the plurality of fiber laser modules 42, a feeding fiber 45 for transmitting the laser light generated by the laser light source 43, and sending the laser light Beam collimator unit 13 that collimates the laser beam spread from the process fiber 11 with collimator lens 12, and collimator lens 12 to collimate. A bend mirror 14 for reflecting the laser beam that has become light; A cutting head 16 for condensing the laser light of high energy density by the condenser lens 15, and a working table 18 which is the material 17 for processing is installed.

ここで、本実施形態に係るファイバレーザ加工機４１は、ファイバレーザ発振器の構成を加工テーブル１８に内蔵したものであり、図示していないがファイバレーザ発振器を構成する制御装置や電源装置なども加工テーブル１８に内蔵されている。   Here, the fiber laser processing machine 41 according to the present embodiment has a configuration of the fiber laser oscillator built in the processing table 18, and although not shown, a control device and a power supply device that configure the fiber laser oscillator are also processed. Built in the table 18.

また、除湿装置４４の構成及び動作は、上述した第１実施形態と同様なので、詳細な説明は省略する。   Moreover, since the structure and operation | movement of the dehumidification apparatus 44 are the same as that of 1st Embodiment mentioned above, detailed description is abbreviate | omitted.

上述したように、本実施形態に係るファイバレーザ加工機４１では、ファイバレーザ発振器を加工テーブル１８に内蔵したので、設置スペースを小さくすることができる。   As described above, in the fiber laser processing machine 41 according to the present embodiment, since the fiber laser oscillator is built in the processing table 18, the installation space can be reduced.

従来では、ファイバレーザ発振器を筐体全体で除湿していたために小型化することが難しく、ファイバレーザ発振器を加工テーブル１８に内蔵することは困難であった。しかし、本実施形態に係るファイバレーザ加工機４１では、ファイバレーザモジュール４２を密閉して除湿したので、ファイバレーザ発振器を構成していた各部を分散して配置することができ、これによってファイバレーザ発振器を加工テーブル１８に内蔵することができた。   Conventionally, since the fiber laser oscillator has been dehumidified over the entire casing, it is difficult to reduce the size, and it is difficult to incorporate the fiber laser oscillator in the processing table 18. However, in the fiber laser processing machine 41 according to the present embodiment, the fiber laser module 42 is hermetically sealed and dehumidified, so that each part constituting the fiber laser oscillator can be distributed and arranged, thereby the fiber laser oscillator. Can be built in the processing table 18.

１ ファイバレーザ発振器
２、４２ ファイバレーザモジュール
３、４３ レーザ光源
４、４４ 除湿装置
５、４５ フィーディングファイバー
６、４６ ビームシャッター
１０、４１ ファイバレーザ加工機
１１ プロセスファイバ
１２ コリメータレンズ
１３ コリメータユニット
１４ ベンドミラー
１５ 集光レンズ
１６ 切断ヘッド
１７ 材料
１８ 加工テーブル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fiber laser oscillator 2, 42 Fiber laser module 3, 43 Laser light source 4, 44 Dehumidifier 5, 45 Feeding fiber 6, 46 Beam shutter 10, 41 Fiber laser processing machine 11 Process fiber 12 Collimator lens 13 Collimator unit 14 Bend mirror 15 Condensing lens 16 Cutting head 17 Material 18 Processing table

Claims (4)

ファイバレーザ発振器において、
それぞれ密閉された複数のファイバレーザモジュールで構成されたレーザ光源と、
前記ファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿手段と
を備えていることを特徴とするファイバレーザ発振器。 In the fiber laser oscillator,
A laser light source composed of a plurality of sealed fiber laser modules, and
A fiber laser oscillator comprising: a dehumidifying unit that supplies dry air to each of the fiber laser modules to dehumidify the fiber laser module. 前記除湿手段は、ポンプから吐出された高圧エアーを除湿フィルタで除湿することによって前記ドライエアーを生成することを特徴とする請求項１に記載のファイバレーザ発振器。   2. The fiber laser oscillator according to claim 1, wherein the dehumidifying unit generates the dry air by dehumidifying high-pressure air discharged from a pump with a dehumidifying filter. ファイバレーザ発振器を加工テーブルに内蔵したファイバレーザ加工機において、
それぞれ密閉された複数のファイバレーザモジュールで構成され、前記加工テーブルに内蔵されたレーザ光源と、
前記加工テーブルに内蔵され、前記ファイバレーザモジュールのそれぞれにドライエアーを供給して除湿する除湿手段と
を備えていることを特徴とするファイバレーザ加工機。 In a fiber laser processing machine with a built-in fiber laser oscillator,
A plurality of sealed fiber laser modules, and a laser light source built in the processing table;
A fiber laser processing machine, comprising a dehumidifying means built in the processing table and dehumidifying by supplying dry air to each of the fiber laser modules. 前記除湿手段は、ポンプから吐出された高圧エアーを除湿フィルタで除湿することによって前記ドライエアーを生成することを特徴とする請求項３に記載のファイバレーザ加工機。   The fiber laser processing machine according to claim 3, wherein the dehumidifying unit generates the dry air by dehumidifying high-pressure air discharged from a pump with a dehumidifying filter.
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