JP5640176B2 - シャフトのための圧電回転駆動装置 - Google Patents

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Description

本発明は、圧電アクチュエータ(それぞれピエゾアクチュエータまたはアクチュエータ)と、シャフトを駆動するために力でロックされてシャフトに連結させることができる連結部分とを備える、シャフトのための圧電回転駆動装置に関する。
米国特許番号第5,410,206号は、圧電アクチュエータと、シャフトを駆動するために力でロックされてシャフトに連結させることができ、かつシャフトを回転させるためにシャフトの円周に対して実質的に正接方向の対向する方向にアクチュエータを駆動することによって移動させることができる2つの締付けあごを有するフレームとを備える、シャフトのための圧電回転駆動装置を開示している。
この回転駆動装置は、締付けあごとシャフトとの接触面が小さいことによって、小さな接触力しか伝達することができず、これは欠点であると考えられる。
本発明は、フレームとシャフトとの間でより大きな接触力を伝達することができる、シャフトのための圧電回転駆動装置を提供するという目的に基づく。
発明の根拠をなす目的を解決するために、発明は、請求項1に係るシャフトのための圧電回転駆動装置を提供する。圧電回転駆動装置は、少なくとも1つの圧電アクチュエータと、スティックスリップ駆動を行うために力でロックされたやり方でシャフトに連結させることができる少なくとも1つの連結部分を有する調整可能かつ/または変形可能なフレームとを備え、フレームは、連結部分がシャフトの円周の少なくとも一部にわたってシャフトの軸を中心として回転するように、アクチュエータの圧電変形を機械的に変換する。発明の範囲内において、連結部分は、力でロックされたやり方で直接的に(第1の実施形態;図1、図2a/b参照)、または間接的に、特にスティックスリップ駆動を行うために中間片(第2の実施形態;図3、図4a/b参照)によって、シャフトに連結され得る。
いわゆるスティックスリップ駆動では、スティック段階中は連結部分によってシャフトの前進がもたらされる一方、スリップ段階中は、連結部分とシャフトとの間の相対的移動に起因して、シャフトは前進されない。前進を実現するために、ピエゾアクチュエータが電気的に駆動されて比較的低速で伸張するかまたは収縮し、したがって連結部分と駆動されるシャフトとの間の摩擦によって、連結部分のそれぞれの移動によってシャフトが運ばれる。この段階をスティック段階と称する。続くスリップ段階では、再び、圧電アクチュエータが電気的に駆動されて高速で収縮するかまたは伸張し、したがってシャフトの慣性に起因して、連結部分の対応する高速動作によってシャフトが運ばれず、連結部分はシャフトに沿って摺動する。この設計では、駆動装置は両方向に作用する。つまりピエゾアクチュエータが初めは低速で伸張し、その後急速に収縮するか、またはその逆である。電気的な駆動に起因するピエゾアクチュエータの伸張および収縮を、以下ではアクチュエータの圧電変形と称する。好ましくは、連結部分は、スティック段階ではシャフトおよびその軸それぞれと同じ角速度でシャフトとともに回転するため、連結部分とシャフトとの間に相対的移動は生じない。発明の範囲内に規定されるシャフトは、回転動作およびトルクを伝達するための、かつ回転部材、特にアクスルまたはシャフトを支持するための、いずれかのロッド状機械要素である。シャフトは、中空軸としても設計され得る。また、「シャフト」という用語は、回転動作を並進動作に変換するように機能するロッド状機械要素を示す。
発明に係る圧電回転駆動装置によれば、フレームは実質的に動力機関におけるクランク機構の機能に匹敵する機能を負う。なぜなら、発振並進動作を回転動作に変換するからである。発明に係る解決策によれば、特に、アクチュエータの発振並進圧電変形を連結部分の回転動作に変換することが実現される。これによって、連結部分は、スティック段階においてシャフトとともにその軸を中心として共同で回転することができ、したがってスティック段階におけるフレームとシャフトとの相対的移動が妨げられるか、または少なくとも大幅に減少される。同時に、連結部分を広い面積にわたってシャフトの円周に接触させることができ、従来の圧電回転駆動装置と比較して、より大きな接触力を伝達することができる。
有利な実施形態が従属請求項に規定される。
連結部分が、ヒンジ、好ましくはたわみヒンジによってフレームの少なくとも他の部分に柔軟に接続され、したがって連結部分およびフレームの他の部分はヒンジによって互いに対して旋回可能である場合、有利であり得る。ヒンジにより、アクチュエータの圧電変形を、ほとんどエネルギ損失のないシャフトの軸を中心とする回転動作に特に容易に変換することが可能となる。
連結部分が旋回されたときに、ヒンジが実質的にシャフトの周方向にフレームの他の部分に対して変位される場合、有利となり得る。したがって、シャフトの軸を中心とする連結部分の回転動作を最適に制御することが可能であり、特に効果的な駆動装置に繋がる。
ばね、好ましくは同じばねが、連結部分とシャフトおよび/またはアクチュエータおよび/またはフレームの他の部分とに互いに対して予め張力をかける場合、実用的であり得る。フレームのこの他の部分は、好ましくは、静止構造部に関してモーメント支持される支持部分である。したがって支持部分は、回転動作、それぞれ旋回動作を等しく行なうことができ、連結部分の旋回動作を押込み式に支持する。ばねは、連結部分とシャフトとの間の加圧力を増大させる。これによって、連結部分とシャフトとの間の接着力も増大させることができ、したがってシャフトに対して摺動することなく、スティック段階において連結部分をより高速で移動させることができる。1つの共通のばねの使用により、構成要素の数の削減が可能となる。
フレームが少なくとも部分的に弾性的に変形可能、好ましくは曲げることによって部分的に弾性的に変形可能であり、好ましくは少なくとも部分的に弾性材料からなる場合、有利であり得る。少なくとも部分的に弾性的に変形可能なフレームを用いることにより、別個のヒンジ部品の設置を必須でなくすることができ、フレームの製造が容易となる。
連結部分とフレームの他の部分とが一体的に接続される場合、好都合となり得る。フレームは好ましくは一体形成される。したがって、フレームの製造をさらに容易とすることができる。
圧電アクチュエータが長手方向アクチュエータとして、または剪断アクチュエータとして設計される場合、有利であり得る。圧電アクチュエータは、好ましくはシャフトの円周に対して実質的に正接方向に変形されるように配向される。これらの種類のアクチュエータは、説明される用途に特に有利であることが分かっている。アクチュエータのこの有利な配向により、圧電変形を、シャフトの軸を中心とする連結部分の回転動作に特に容易に変換することができる。
フレームが静止構造部上に支持される、好ましくはモーメント支持される場合、有用であり得る。静止したそれぞれの固定構造部上にフレームがモーメント支持されることにより、フレームの変形を、シャフトの軸を中心とする連結部分の回転動作により効果的に変換することが可能となる。
連結部分とシャフトとがねじ係合する場合、さらに有用であり得る。この設計では、ねじによる係合は、直接的につまり連結部分とシャフトとの直接接触により、または間接的に、つまりたとえばナットのような中間部品による連結部分とシャフトとの間接的な接触により、実現され得る。したがって、シャフトの特に効果的な駆動を可能にする最適化された接触形状が一方で得られ、他方ではシャフトの回転動作をその並進変位に変換する可能性がもたらされる。
発明の有利なさらなる展開によれば、連結部分(13)は、以下の要件:
‐連結部分(13)は実質的に剛性であるように形成され、シャフト(2)の円周の少なくとも一部にわたって実質的に変形することなくシャフト(2)の軸(A)を中心として回転することが可能となること。
‐連結部分(13)は、少なくとも部分的に、好ましくは円周の半分以上にわたって、好ましくは全円周にわたって、シャフト(2)を取り囲むこと。
‐連結部分(13)は、シャフト(2)の円周の半分以上にわたってシャフト(2)の円周に対して配置することができること。
‐連結部分(13)は、実質的にU字型またはO字型に形成されること。
‐連結部分(13)はスティックスリップ駆動を行うために中間片(5)を用いて力でロックされたやり方でシャフト(2)に連結させることができること、ここで、中間片(5)は好ましくは少なくとも3つの締付けあご(51)を含み、締付けあご(51)は、シャフト(2)を締付けるためにシャフト(2)の円周の周りに好ましくは規則的に配置され、締付けあご(51)は、特に好ましくは、シャフト(2)の軸に対して径方向および/または周方向において柔軟でありかつ変形可能であること。
‐連結部分(13)は、少なくとも1つのフレーム部分(131,132)に接続される、好ましくはヒンジで取付けられること、ここで、フレーム部分(131,132)は、好ましくはシャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に延在し、アクチュエータ(11)の圧電変形によって、シャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に変形され、かつ/または変位されること。
‐連結部分(13)は、2つの平行なフレーム部分(131,132)に接続される、好ましくはヒンジで取付けられること、ここで、フレーム部分(131,132)は、好ましくはシャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に延在し、アクチュエータ(11)の圧電変形によって、対向する方向に実質的に互いに平行に変形され、かつ/または変位されること、のうち少なくとも1つを満たす。
上記の特徴は、発明に係る圧電回転駆動装置の特に好ましい実施形態の実現を可能にする。
発明の追加的な有利なさらなる展開は、請求項、明細書、および図面に開示される特徴の組合せによって得られる。
発明の第1の例示的な実施形態に係る圧電回転駆動装置の斜視図である。 圧電回転駆動装置が図(a)では中立位置にあり、図(b)では変位された位置にある、発明の第1の例示的な実施形態に係る圧電回転駆動装置の概略的な機械的モデルの異なる図である。 発明の第2の例示的な実施形態に係る圧電回転駆動装置の斜視図である。 圧電回転駆動装置が図(a)では中立位置にあり、図(b)では変位された位置にある、発明の第2の例示的な実施形態に係る圧電回転駆動装置の概略的な機械的モデルの異なる図である。
好ましい実施形態の詳細な説明
添付の図面を参照して、好ましい実施形態について以下で説明する。
第1の実施形態
発明の第1の実施形態によれば、圧電回転駆動装置1は、雄ねじが設けられた少なくとも1本のシャフト2について、圧電アクチュエータ(それぞれピエゾアクチュエータまたはアクチュエータ)11と、連結部分13を有する調整可能かつ/または変形可能なフレーム12とを含む。連結部分13はシャフトの雄ねじに対して相補的な雌ねじを有し、スティックスリップ駆動を行うために力でロックされたやり方でシャフト2に連結させることができる。フレーム12は、連結部分13がシャフト2の円周の少なくとも一部にわたってシャフト2の軸Aを中心として回転するように、アクチュエータ11の圧電変形を機械的に変換する。連結部分13は、たわみヒンジ15によって、フレーム12の少なくとも1つの他の部分14に柔軟に接続され、フレーム12の連結部分13および他の部分14は、ヒンジ15によって互いに対して旋回可能である。フレーム12のこの他の部分14は、静止構造部であるフレームホルダ3上にモーメント支持される支持部分として形成され、したがってフレーム12の他の部分14は、フレームホルダ3に関して移動可能に搭載される。
スティックスリップ駆動は、圧電アクチュエータ11を電気的に駆動すること、およびそれに起因するアクチュエータ11の圧電変形により、上記のように達成される。
本件では、フレーム12は、プラスチックおよび/または金属などの弾性的に変形可能な材料で一体的に形成される。雌ねじが設けられた連結部分13は実質的にU字型であり、雄ねじが設けられたシャフト2をその円周の半分以上にわたって包囲する。部分13,14は、アクチュエータ11の圧電変形によって得られるたわみヒンジ15の領域において、フレーム12の弾性屈曲変形によって互いに対して旋回させることができる。たわみヒンジ15は、より大きな曲げ剛性を有する2つの隣接部分13,14に対して曲げ剛性を減少させた領域によって、たとえば部分13,部分14間の狭窄部によって得られる。シャフト2の軸Aと実質的に平行に延在しかつ2つの部分13,14、ヒンジ15それぞれの間に配置される共通の旋回軸Sを中心として2つの部分13,14を旋回させると、旋回軸Sがシャフト2の周方向に実質的に変位され、したがって圧電アクチュエータ11の作動によって連結部分13がシャフト2の軸Aを中心とする回転動作を行なう。
ばねクリップ4によって生成されるクランプ力が連結部分13に作用して、一方ではシャフト2に対する連結部分13の接触圧力を増大させ、他方では、ばねクリップ4によってフレーム12の2つの部分13,14を圧電アクチュエータ11に押付け、したがって部分13,14は常にアクチュエータ11の圧電変形に従う。この場合、たとえばボンディングによってアクチュエータ11がフレーム12に付加的に永久に接続される場合、有利であり得る。
第1の実施形態に係る圧電回転駆動装置の動作のモードについて、図2に示す概略的な機械的モデルによって以下に説明する。圧電回転駆動装置は、図(a)および図(b)において2つの異なる位置に例示される。
図2に係る概略的な機械的モデルでは、単純化のために、支持部分14は第1の点P1において静止フレームホルダ3上にモーメント支持され、圧電アクチュエータ11は第2の点P2では支持部分14に、第3の点P3では連結部分13に連結されると想定される。圧電アクチュエータ11は、この場合、ばね要素(図2には図示せず)によって2つの部分13,14の間に締付けられる。アクチュエータ11は、アクチュエータ11の作動方向(それぞれ圧電変形の方向)がシャフト2の円周に対して実質的に正接方向に延びるように配向されることが好ましい。アクチュエータ11の他の配向および取付も実施可能である。2つの部分13,14は、たわみヒンジ15によって柔軟に接続され、旋回軸Sによって互いに対して旋回可能である。点P1およびシャフト2の軸Aは静止していると想定される。アクチュエータ11の圧電変形は、点P2と点P3との距離の変動を可能にする。たわみヒンジ15による両方の部分13,14のヒンジによる連結は、点P2と点P3との距離の変化を、旋回軸Sを中心とする旋回動作に伝達する。フレーム12はたわみヒンジ15の領域において曲げ変形を受け、連結部分13がシャフト2の軸Aを中心として回転する。2つの部分13,14が旋回すると、ヒンジ15は実質的にシャフト2の周方向に変位される。たとえば図2aに示される中立位置からの圧電アクチュエータ11の伸張によって、点P2とP3との距離が増大し、連結部分13がシャフト2の軸Aを中心として左回りに回転する。そこから生じる変位された位置が図2bに示される。その後の反対方向への圧電アクチュエータ11の収縮によって、図2aに係る中立位置が再度取られる。上記のスティックスリップ効果を用いることにより、圧電アクチュエータの当初の低速または高速の伸張とその後にそれぞれ高速、低速の収縮が実現されるかに依存して、シャフト2が任意に右回りまたは左回りに駆動されることが可能である。
第2の実施形態
発明の第2の実施形態は、本質的に第1の実施形態に基づく。以下の説明では同じ参照符号が同じ特徴に用いられ、実質的に第1の実施形態との相違について説明する。
図3に斜視的に示される発明の第2の実施形態によれば、フレーム12の連結部分13はシャフト(図示せず)の全円周にわたって閉じられており、上記スティックスリップ効果を行うために別個の中間要素5によって力でロックされたやり方でシャフトに(間接的に)連結させることができる。この中間要素5は、(たとえばボンディングによって)フレーム12に永久に接続され、前方端部分において、シャフトと(ねじ山によって)係合される締付けあごとして3つの同心リング部分51を含む。リング部分51は、接触圧力を増大させるために、環状のばね要素4によってシャフト2に押付けられることが好ましい。この設計では、連結部分13は、シャフトを包囲する環状部130に加えて、環状部130に対して実質的に正接方向に、シャフトに対してそれぞれ実質的に正接方向に延在し、ウェブ133によって接続される2つの実質的に平行なフレーム部分131,132を含む。フレーム部分131,132は、ヒンジ134,135、好ましくはたわみヒンジによって環状部130に柔軟に連結される。ウェブ133は、ひいてはたわみヒンジ15によって支持部分14に柔軟に接続される。支持部分14は、例示されない静止構造要素、たとえばフレームホルダ上に支持されている。たとえば取付ピンを収容するための取付穴141が設けられる。発明の第2の実施形態では、剪断アクチュエータ11が用いられ、フレーム部分131,132間に配置され、それを相応して駆動することによってフレーム部分131,132の平行な変位をもたらす。フレーム12の変形は中間要素5に伝達され、正面部分においてシャフト2の軸を中心とする回転動作を行なう。この回転動作は、たわみヒンジとして作用するウェブ52によって可能となる。
第2の実施形態に係る圧電回転駆動装置の動作のモードを、図4に示される概略的な機械的モデルによって以下に説明する。圧電回転駆動装置は、図(a)および図(b)において異なる位置に例示される。
図4に係る概略的な機械的モデルでは、単純化のために、支持部分14は第1の点P1では例示されない静止構造要素に連結され、対応する圧電変形によってフレーム部分131,132の平行な変位をもたらすために、圧電剪断アクチュエータ11がフレーム部分131,132の間に配置される。支持部分14および連結部分13のウェブ133は、たわみヒンジ15によって柔軟に接続され、旋回軸Sによって互いに対して旋回可能である。シャフト2の点P1および軸Aは静止していると想定される。アクチュエータ11の圧電剪断変形によって、フレーム部分131,132は互いに平行に変位される。部分14へのウェブ133の柔軟な連結と、環状部130へのフレーム部分131,132の柔軟な連結とにより、連結部分13の環状部130がシャフト2の軸Aを中心として回転するように、フレーム12の変形が回転動作に機械的に変換される。上記のように、連結部分13の環状部130の回転動作が中間片5によってシャフト2に伝達される。たとえば図2aに示される中立位置からの圧電アクチュエータ11の剪断変形によって、フレーム部分131が上方に、フレーム部分132が下方に変位し、したがって連結部分13の環状部130がシャフト2の軸Aを中心に右回りに回転する。そこから生じる変位された位置が図2bに示される。その後の圧電アクチュエータ11の戻り剪断変形によって、駆動装置は図2aに係る中立位置に戻る。剪断変形が低速または高速で、対応する戻り剪断変形が逆にそれぞれ高速または低速で生じるかに依存して、上記スティックスリップ効果を用いてシャフト2を任意に右回りまたは左回りに駆動することができる。
要約すると、実施形態の相違は以下のとおりである。
第1の実施形態に係る回転駆動装置1は、構造が本質的により小型かつより簡単であり、長手方向アクチュエータを用いる。シャフト2の軸Aを中心とする連結部分13の回転は、たわみヒンジ15として作用するフレーム12の一部分を中心とする旋回動作によって可能となる。連結部分13は、この設計では、ばね要素4によってシャフト2に押付けられ、連結部分13およびシャフト2はねじ係合している。
第2の実施形態に係る回転駆動装置1は、明らかに構造がより複雑である。ここでは剪断アクチュエータが用いられる。この剪断アクチュエータは、最初にそれぞれのフレーム部分131,132の平行な変位を引き起こす。たとえばボンディングによってフレーム12に永久に接続されるのは中間要素5(たとえばナット)であり、中間要素5は、締付けあごとして機能し(ねじ山によって)シャフト2と係合する3つの同心リング部分51を前方端部分において含む。フレーム12の変形は中間要素5に伝達され、これが正面部分において回転動作を行なう。この回転動作は、たわみヒンジとして作用するウェブ52によって可能となる。

Claims (25)

  1. シャフト(2)のための圧電回転駆動装置(1)であって、少なくとも1つの圧電アクチュエータ(11)と、スティックスリップ駆動を行うために力でロックされたやり方でシャフト(2)に連結させることができる少なくとも1つの連結部分(13)を有する調整可能かつ/または変形可能なフレーム(12)とを備え、前記フレーム(12)は、前記連結部分(13)が前記シャフト(2)の円周の少なくとも一部にわたって前記シャフト(2)の軸(A)を中心として回転するように、前記アクチュエータ(11)の圧電変形を機械的に変換し、
    ばね(4)が、前記連結部分(13)と前記シャフト(2)および/または前記アクチュエータ(11)および/または前記フレーム(12)の前記他の部分(14)とに互いに対して予め張力を与えることを特徴とする、圧電回転駆動装置(1)。
  2. 前記ばね(4)は、同じばね(4)であることを特徴とする、請求項1に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  3. 前記連結部分(13)は、少なくとも1つのヒンジ(15;134,135)によって前記フレーム(12)の少なくとも1つの他の部分(14;131,132)に柔軟に接続され、したがって前記フレーム(12)の前記連結部分(13)および前記他の部分(14)は、前記ヒンジ(15;134,135)によって互いに対して旋回可能であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  4. 前記ヒンジ(15;134,135)は、たわみヒンジ(15;134,135)であることを特徴とする、請求項3に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  5. 前記連結部分(13)を旋回させると、前記ヒンジ(15;134,135)は実質的に前記シャフト(2)の周方向において前記フレーム(12)の前記他の部分(14;131,132)に対して変位されることを特徴とする、請求項3または請求項4に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  6. 前記フレーム(12)が少なくとも部分的に弾性的に変形可能であることを特徴とする、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  7. 前記フレーム(12)が曲げることによって少なくとも部分的に弾性的に変形可能であることを特徴とする、請求項6に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  8. 前記フレーム(12)が少なくとも部分的に弾性材料からなることを特徴とする、請求項6または請求項7に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  9. 前記フレーム(12)の前記連結部分(13)および前記他の部分(14)は一体的に接続されることを特徴とする、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  10. 前記フレーム(12)の前記連結部分(13)および前記他の部分(14)は一片で形成されることを特徴とする、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  11. 前記圧電アクチュエータ(11)は長手方向アクチュエータとしてまたは剪断アクチュエータとして設計されることを特徴とする、請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  12. 前記圧電アクチュエータ(11)は、前記シャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に変形されるように配向されることを特徴とする、請求項11に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  13. 前記フレーム(12)は、静止構造部(3)上に支持されることを特徴とする、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  14. 前記フレーム(12)は、前記静止構造部(3)上にモーメント支持されることを特徴とする、請求項13に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  15. 前記連結部分(13)および前記シャフト(2)はねじ係合していることを特徴とする、請求項1〜請求項14のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  16. 前記連結部分(13)は、以下の要件:
    a.前記連結部分(13)は実質的に剛性であるように形成され、前記シャフト(2)の円周の少なくとも一部にわたって実質的に変形することなく前記シャフト(2)の前記軸(A)を中心として回転することが可能となること、
    b.前記連結部分(13)は、少なくとも部分的に、前記シャフト(2)を取り囲むこと、
    c.前記連結部分(13)は、前記シャフト(2)の円周の半分以上にわたって前記シャフト(2)の円周に対して配置することができること、
    d.前記連結部分(13)は、実質的にU字型またはO字型に形成されること、
    e.前記連結部分(13)はスティックスリップ駆動を行うために中間片(5)を用いて力でロックされたやり方で前記シャフト(2)に連結させることができること
    f.前記連結部分(13)は、少なくとも1つのフレーム部分(131,132)に接続されること、
    g.前記連結部分(13)は、2つの平行なフレーム部分(131,132)に接続されることを特徴とする、請求項1〜請求項15のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  17. 前記連結部分(13)は、前記シャフト(2)の円周の半分以上にわたって、前記シャフト(2)を取り囲むことを特徴とする、請求項16に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  18. 前記連結部分(13)は、前記シャフト(2)の全円周にわたって、前記シャフト(2)を取り囲むことを特徴とする、請求項16または請求項17に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  19. 前記中間片(5)は少なくとも3つの締付けあご(51)を含むことを特徴とする、請求項16〜請求項18のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  20. 前記少なくとも3つの締付けあご(51)は、前記シャフト(2)を締付けるために前記シャフト(2)の円周の周りに規則的に配置されることを特徴とする、請求項19に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  21. 前記締付けあご(51)は、前記シャフト(2)の軸に対して径方向および/または周方向において柔軟でありかつ変形可能であることを特徴とする、請求項19または請求項20に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  22. 前記連結部分(13)は、前記少なくとも1つのフレーム部分(131,132)にヒンジで取付けられることを特徴とする、請求項16〜請求項21のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  23. 前記フレーム部分(131,132)は、前記シャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に延在し、前記アクチュエータ(11)の圧電変形によって、前記シャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に変形され、かつ/または変位されることを特徴とする、請求項16〜請求項22のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  24. 前記連結部分(13)は、前記2つの平行なフレーム部分(131,132)にヒンジで取付けられることを特徴とする、請求項16〜請求項23のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
  25. 前記フレーム部分(131,132)は、前記シャフト(2)の円周に対して実質的に正接方向に延在し、前記アクチュエータ(11)の圧電変形によって、対向する方向に実質的に互いに平行に変形され、かつ/または変位されることを特徴とする、請求項16〜請求項24のいずれか1項に記載の圧電回転駆動装置(1)。
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