JP5637965B2 - Aluminum strip for lead frame and lead frame strip - Google Patents

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Description

本発明は、リードフレーム用アルミニウム板条、及び多数のリードフレームパターンを形成したリードフレーム板条に関する。   The present invention relates to an aluminum plate for a lead frame and a lead frame plate on which a number of lead frame patterns are formed.

半導体リードフレームは、銅合金板条(板又は条)をスタンピング加工又はエッチング加工してリードフレームパターンを形成(リードフレームの形状に加工)し、Siチップを乗せるダイパッド部とワイアボンデングでSiチップと接合するインナーリード部にはAgめっきを行い、またプリント基板とはんだ付けするアウターリード部にはSnめっきを行って製造している。   A semiconductor lead frame is formed by stamping or etching a copper alloy plate (plate or strip) to form a lead frame pattern (processing into the shape of the lead frame), and a die pad portion on which the Si chip is placed and wire bonding to form an Si chip. The inner lead portion to be joined to the substrate is Ag plated, and the outer lead portion to be soldered to the printed board is Sn plated.

銅合金素材を用いたリードフレームは導電率、強度、曲げ加工性、めっき性、耐食性等の特性に優れることから大量に使用されているが、地球環境問題の観点からの自動車の軽量化、銅地金の高騰等の要因から、銅に代わり、アルミニウム又はアルミニウム合金の使用が検討されるようになって来た。例えば特許文献1にはAl−Mg−Si系合金、特許文献2にはAl−Cu系合金、特許文献3にはAl−Mg−Zn系合金が提案されている。また、特許文献3には、アルミニウム合金にAu、Ag等のめっきを施すにあたり、下地めっきとしてCuめっきやNiめっきを施すこと、及び下地めっきの前処理としてジンケート処理を行うことが記載されている。   Lead frames using copper alloy materials are used in large quantities because of their excellent electrical conductivity, strength, bending workability, plating properties, corrosion resistance, and other characteristics. Due to factors such as the rise in the price of bullion, the use of aluminum or aluminum alloys instead of copper has been considered. For example, Patent Document 1 proposes an Al—Mg—Si alloy, Patent Document 2 proposes an Al—Cu alloy, and Patent Document 3 proposes an Al—Mg—Zn alloy. Patent Document 3 describes that when plating an aluminum alloy with Au, Ag, or the like, Cu plating or Ni plating is applied as a base plating, and a zincate treatment is performed as a pretreatment for the base plating. .

特開昭62−96638号公報JP-A 62-96638 特開昭62−96644号公報JP-A-62-96644 特開平2−133554号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2-133554

先に述べたとおり、銅合金材からなるリードフレームのアウターリード部には、プリント基板との半田付け性を改善するためSnめっきが行われている。アルミニウム又はアルミニウム合金からなるリードフレームでも、同じく半田付け性の改善のためアウターリード部にSnめっき、あるいはSn−Ag系、Sn−Bi系、Sn−Cu系などのSn合金めっきを行うことが検討されている。なお、このSnめっき及びSn合金めっきは、従来行われていたPbを含む半田めっき(特開平5−78889号公報参照)に代えて行われるもので、その下地処理として、半田めっきの場合と同様に、ジンケート処理及びNi下地めっきが行われる。   As described above, Sn plating is performed on the outer lead portion of the lead frame made of a copper alloy material in order to improve solderability with the printed circuit board. Even for lead frames made of aluminum or aluminum alloys, it is also considered to perform Sn plating or Sn alloy plating such as Sn-Ag, Sn-Bi, or Sn-Cu on the outer lead to improve solderability. Has been. The Sn plating and Sn alloy plating are performed in place of the conventional solder plating containing Pb (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-78889), and the ground treatment is the same as in the case of solder plating. Next, zincate treatment and Ni base plating are performed.

しかし、プリント基板との半田付けにあたり、毒性のあるPbを含む半田の使用が制限されており、一方、Pbフリー半田は、Pbを含む従来の半田に比べて半田付け性が劣る。このため、リードフレームの半田付け性の改善がより求められるようになってきた。また、下地層とSnめっき層の密着性が悪い場合は、半田付け時に下地層から半田が剥離するため、Snめっき層の密着性がより求められ、かつ実装後の接触抵抗の増加を抑制するためSnめっき層の耐熱剥離性もより求められるようになってきた。   However, the use of solder containing toxic Pb is limited in soldering with a printed circuit board, while Pb-free solder is inferior to conventional solder containing Pb. For this reason, improvement of the solderability of the lead frame has been demanded more. In addition, when the adhesion between the underlayer and the Sn plating layer is poor, the solder peels off from the underlayer during soldering, so that the adhesion of the Sn plating layer is further required, and an increase in contact resistance after mounting is suppressed. Therefore, the heat-resistant peelability of the Sn plating layer has been further demanded.

本発明は、以上の要請に基づいてなされたもので、Sn被覆層を含む表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条及びリードフレーム板条について、半田付け性、表面被覆層の密着性及び耐熱剥離性を改善することを目的とする。   The present invention has been made on the basis of the above-described requirements. For an aluminum strip for a lead frame and a lead frame strip having a surface coating layer including a Sn coating layer, solderability, adhesion of the surface coating layer, and heat resistance are provided. The object is to improve the peelability.

本発明に係る表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条(リードフレームパターンが形成されていないアルミニウム板条をめっき母材としたもの)は、アルミニウム板条を母材とし、その表面にジンケート処理層が形成され、さらに平均厚さが0.1〜1.0μmのNi被覆層、平均厚さが0.4μm以下のCu被覆層、平均厚さが0.1〜1.0μmのCu−Sn合金被覆層、及び平均厚さが0.1〜10.0μmのSn被覆層からなる表面被覆層が、母材側からこの順に形成されていることを特徴とする。前記Sn被覆層はリフロー処理されていることが望ましい。   The aluminum sheet strip for lead frames having the surface coating layer according to the present invention (the aluminum sheet strip on which the lead frame pattern is not formed is used as the plating base material) is made of the aluminum sheet strip as a base material, and the surface is subjected to a zincate treatment. A Ni coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm, a Cu coating layer having an average thickness of 0.4 μm or less, and Cu—Sn having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm. A surface coating layer composed of an alloy coating layer and an Sn coating layer having an average thickness of 0.1 to 10.0 μm is formed in this order from the base material side. The Sn coating layer is preferably subjected to a reflow process.

本発明に係る表面被覆層を有するリードフレーム板条(リードフレームパターン及び表面処理層が形成されたアルミニウム板条)は、先めっき材と後めっき材の2つがあり、先めっき材は、前記表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条に対し、プレス加工等により多数のリードフレームパターンを形成したものである。一方、後めっき材は、プレス加工等により多数のリードフレームパターンが形成されたアルミニウム板条を母材とし、これに表面被覆層を形成したもので、前記母材の表面がジンケート処理され、さらに平均厚さが0.1〜1.0μmのNi被覆層、平均厚さが0.4μm未満のCu被覆層、平均厚さが0.1〜1.0μmのCu−Sn合金被覆層、及び平均厚さが0.1〜10.0μmのSn被覆層からなる表面被覆層が、母材側からこの順に形成されていることを特徴とする。前記Sn被覆層はリフロー処理されていることが望ましい。   The lead frame plate having the surface coating layer according to the present invention (the aluminum plate on which the lead frame pattern and the surface treatment layer are formed) includes a pre-plating material and a post-plating material. A number of lead frame patterns are formed by pressing or the like on an aluminum plate for a lead frame having a coating layer. On the other hand, the post-plating material is formed by forming a surface coating layer on an aluminum plate strip on which a number of lead frame patterns are formed by pressing or the like, and the surface of the base material is subjected to a zincate treatment. Ni coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm, Cu coating layer having an average thickness of less than 0.4 μm, Cu—Sn alloy coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm, and an average A surface coating layer composed of a Sn coating layer having a thickness of 0.1 to 10.0 μm is formed in this order from the base material side. The Sn coating layer is preferably subjected to a reflow process.

本発明によれば、Sn被覆層を含む表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条及びリードフレーム板条について、半田付け性、表面被覆層の密着性及び耐熱剥離性を改善することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, solderability, the adhesiveness of a surface coating layer, and heat-resistant peelability can be improved about the aluminum frame for lead frames and lead frame strip which have a surface coating layer containing Sn coating layer.

以下、本発明に係る表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条及びリードフレーム板条について、より詳細に説明する。
(1)アルミニウム板条(めっき母材)
本発明でいうアルミニウムには、純アルミニウム及びアルミニウム合金が含まれる。アルミニウムの材質は、板条(板又は条)に加工できるものであれば特に制限がない。板厚、リードの強度、導電率、耐食性などの必要度に応じて、1000系(純アルミニウム)、5000系、6000系等のアルミニウム又はアルミニウム合金を使い分ければよい。
めっき母材として、リードフレームパターンを形成していないアルミニウム板条、又はプレス加工やエッチング等によりリードフレームパターンを形成したアルミニウム板条が用いられる。前者をめっき母材として表面被覆層を形成したものが先めっき材、後者をめっき母材として表面被覆層を形成したものが後めっき材である。
Hereinafter, the aluminum plate for lead frames and the lead frame plate having the surface coating layer according to the present invention will be described in more detail.
(1) Aluminum strip (plating base material)
Aluminum as used in the present invention includes pure aluminum and aluminum alloys. The material of aluminum is not particularly limited as long as it can be processed into a strip (plate or strip). Depending on the necessity of plate thickness, lead strength, electrical conductivity, corrosion resistance, etc., 1000 series (pure aluminum), 5000 series, 6000 series aluminum or aluminum alloy may be used properly.
As the plating base material, an aluminum plate with no lead frame pattern formed thereon or an aluminum plate with a lead frame pattern formed by press working or etching is used. What formed the surface coating layer by using the former as a plating base material is a pre-plating material, and what formed the surface coating layer by using the latter as a plating base material is a post-plating material.

(2)ジンケート処理層
ジンケート処理層は、母材であるアルミニウム板条の表面をZnで置換して形成したZn被膜である。アルミニウムの表面には大気中の酸素によって緻密で強固な酸化膜が形成されており、そのままではめっきの密着性が悪い。ジンケート処理は、アルミニウム表面へのめっきの密着性を向上させるために実施するもので、それ自体公知のものである。Zn被膜の目付量は例えば0.6g/m程度とする。
(2) Zincate treatment layer The zincate treatment layer is a Zn coating formed by replacing the surface of an aluminum sheet strip as a base material with Zn. A dense and strong oxide film is formed on the surface of aluminum by oxygen in the atmosphere, and the adhesion of plating is poor as it is. The zincate treatment is performed in order to improve the adhesion of the plating to the aluminum surface and is known per se. The basis weight of the Zn coating is, for example, about 0.6 g / m 2 .

(3)Ni被覆層
半田付け性の向上のため、アルミニウム板条の表面にSn被覆層を形成するが、ジンケート処理層のZnは卑な金属であることから、電位差の大きいSnを密着性の良い状態で直接ジンケート処理層の上にめっきすることは困難である。そのため、Znとの電位差が小さくジンケート処理層との密着性が良好なNi被覆層をジンケート処理層の上に形成する。Ni被覆層は、ジンケート処理層のZnがSn被覆層へ拡散するのを防止する作用も有する。このNi被覆層の平均厚さは0.1〜1.0μmとされる。Ni被覆層の平均厚さが0.1μmを下回ると半田付け性が低下し、1.0μmを超えると曲げ加工などで割れが生じるなど成形加工性が低下する。Ni被覆層の平均厚さは、好ましくは0.1〜0.5μmである。
本発明でいうNi被覆層は、純Ni又はNi合金からなる。Ni合金としては、例えばNi−P、Ni−B、Ni−W、Ni−Pd等が考えられるが、Ni以外の構成成分の合金含有量は10質量%以下が望ましい。
(3) Ni coating layer In order to improve solderability, an Sn coating layer is formed on the surface of the aluminum strip, but since Zn in the zincate treatment layer is a base metal, Sn having a large potential difference is adhered to the surface. It is difficult to plate directly on the zincate treatment layer in good condition. Therefore, a Ni coating layer having a small potential difference with Zn and good adhesion to the zincate treatment layer is formed on the zincate treatment layer. The Ni coating layer also has an action of preventing Zn in the zincate treatment layer from diffusing into the Sn coating layer. The Ni coating layer has an average thickness of 0.1 to 1.0 μm. When the average thickness of the Ni coating layer is less than 0.1 μm, the solderability is deteriorated, and when it exceeds 1.0 μm, the moldability is deteriorated, for example, cracking is caused by bending. The average thickness of the Ni coating layer is preferably 0.1 to 0.5 μm.
The Ni coating layer referred to in the present invention is made of pure Ni or Ni alloy. Examples of the Ni alloy include Ni—P, Ni—B, Ni—W, and Ni—Pd. The alloy content of components other than Ni is preferably 10% by mass or less.

(4)Cu被覆層
Niが拡散してSn被覆層の表面に達すると、そこにNi酸化物が生成して、半田付け性が低下し、接触抵抗も増加する。そのため、Niの拡散バリアとしてNiめっき層とSnめっき層の間にCuめっき層を形成する。Cu中でのSnの拡散係数が大きいことから、室温程度の温度でも長時間保持すると、Cuめっき層のCuとSnめっき層のSnによりCu−Sn合金被覆層が形成される。形成されたCu−Sn合金被覆層が、NiのSn被覆層表面への拡散バリアとして作用する。
なお、本発明において、めっきで形成されたままの各層をめっき層といい、加熱処理等により所定厚さのCu−Sn合金被覆層が形成された後の各層を被覆層といい、両者を区別している。
(4) Cu coating layer When Ni diffuses and reaches the surface of the Sn coating layer, Ni oxide is generated therein, solderability is lowered, and contact resistance is also increased. Therefore, a Cu plating layer is formed between the Ni plating layer and the Sn plating layer as a Ni diffusion barrier. Since the diffusion coefficient of Sn in Cu is large, a Cu—Sn alloy coating layer is formed by Cu of the Cu plating layer and Sn of the Sn plating layer when held for a long time even at a temperature of about room temperature. The formed Cu—Sn alloy coating layer acts as a diffusion barrier to the surface of the Sn coating layer of Ni.
In the present invention, each layer as formed by plating is referred to as a plating layer, and each layer after a Cu-Sn alloy coating layer having a predetermined thickness is formed by heat treatment or the like is referred to as a coating layer. Separated.

Cu−Sn合金被覆層が形成されることに伴い、当初のCuめっき層の一部又は全部が消費される。その結果として残留するCu被覆層の平均厚さは0.4μm以下(0μmを含む)が望ましい。Cu被覆層の平均厚さが0.4μmを越えると、Cu被覆層とCu−Sn合金被覆層の界面で剥離が発生しやすくなる。この剥離が生じると接触抵抗が増加し、リードフレームとして電気的接続が保てなくなる。また、Cu被覆層のCuがSn被覆層表面に拡散し酸化すると、Niほどではないが半田付け性を低下させ接触抵抗を増加させる。このため、Cu被覆層の平均厚さは0.4μm以下でできるだけ薄い方が望ましく、0μmであることが最も望ましい。
本発明でいうCu被覆層は、純Cu又はCu合金からなる。Cu合金としては、例えばCu−Sn、Cu−Zn、Cu−Fe等が考えられるが、Cu以外の構成成分の合金含有量は、Snの場合は50質量%未満、他の元素については5質量%未満が望ましい。
As the Cu—Sn alloy coating layer is formed, part or all of the original Cu plating layer is consumed. As a result, the average thickness of the remaining Cu coating layer is desirably 0.4 μm or less (including 0 μm). When the average thickness of the Cu coating layer exceeds 0.4 μm, peeling tends to occur at the interface between the Cu coating layer and the Cu—Sn alloy coating layer. When this peeling occurs, the contact resistance increases, and electrical connection as a lead frame cannot be maintained. Further, when Cu of the Cu coating layer diffuses and oxidizes on the surface of the Sn coating layer, the solderability is reduced and the contact resistance is increased, although not as much as Ni. For this reason, the average thickness of the Cu coating layer is desirably 0.4 μm or less and as thin as possible, and is most desirably 0 μm.
The Cu coating layer referred to in the present invention is made of pure Cu or Cu alloy. As the Cu alloy, for example, Cu-Sn, Cu-Zn, Cu-Fe, and the like are conceivable, but the alloy content of components other than Cu is less than 50 mass% in the case of Sn, and 5 mass for other elements. Less than% is desirable.

(5)Cu−Sn合金被覆層
Cu−Sn合金被覆層は、Ni及びCuのSn被覆層表面への拡散バリアとして作用する。Cu−Sn合金被覆層の平均厚さが0.1μm未満では、その下のCu被覆層及びNi被覆層からCu及びNiがSn被覆層中へ拡散するのを有効に防止できない。これにより、めっきの耐熱剥離性や半田付け性が低下する。一方、1.0μmを越えると曲げ加工で割れが生じるなど成形加工性が低下する。従って、このCu−Sn合金被覆層の平均厚さは0.1〜1.0μmとする。Cu−Sn合金被覆層の平均厚さは、望ましくは0.3〜1.0μmである。
(5) Cu—Sn alloy coating layer The Cu—Sn alloy coating layer acts as a diffusion barrier of Ni and Cu to the surface of the Sn coating layer. If the average thickness of the Cu—Sn alloy coating layer is less than 0.1 μm, Cu and Ni cannot be effectively prevented from diffusing into the Sn coating layer from the Cu coating layer and the Ni coating layer thereunder. Thereby, the heat-resistant peelability and solderability of plating deteriorate. On the other hand, if the thickness exceeds 1.0 μm, molding processability is deteriorated, for example, cracking occurs in bending. Therefore, the average thickness of the Cu—Sn alloy coating layer is 0.1 to 1.0 μm. The average thickness of the Cu—Sn alloy coating layer is desirably 0.3 to 1.0 μm.

(6)Sn被覆層
リードフレームのアウターリードとプリント基盤の接合方法として半田付けが行われている。この場合、リードフレームのアウターリードには、Cuめっき層を形成した後、半田との相性が良いSnめっき層が形成される。Cuめっき層とSnめっき層からCu−Sn合金被覆層が形成されることに伴い、当初のSnめっき層の一部が消費される。その結果として残留するSn被覆層の平均厚さは0.1〜10.0μmが望ましい。Sn相の平均厚さが0.1μm未満では、半田付け性が低下する。一方、10μmを超えると必要以上のSnが付着することになり、半田付け時に不必要な部分へ半田が広がり、リード間の短絡を引き起こす可能性が出てくる。Sn被覆層の平均厚さは、望ましくは0.5〜3.0μmである。
本発明でいうSn被覆層は、純Sn又はSn合金からなる。Sn合金としては、Pbフリーの例えばSn−Ag、Sn−Bi、Sn−Cu等が考えられるが、Sn以外の構成成分の合金含有量は、10質量%未満が望ましい。
(6) Sn coating layer Soldering is performed as a joining method of the outer lead of the lead frame and the printed board. In this case, an Sn plating layer having good compatibility with solder is formed on the outer lead of the lead frame after forming the Cu plating layer. As the Cu—Sn alloy coating layer is formed from the Cu plating layer and the Sn plating layer, a part of the original Sn plating layer is consumed. As a result, the average thickness of the remaining Sn coating layer is preferably 0.1 to 10.0 μm. When the average thickness of the Sn phase is less than 0.1 μm, the solderability is lowered. On the other hand, if it exceeds 10 μm, more Sn than necessary is deposited, and the solder spreads to unnecessary portions during soldering, which may cause a short circuit between the leads. The average thickness of the Sn coating layer is desirably 0.5 to 3.0 μm.
The Sn coating layer referred to in the present invention is made of pure Sn or Sn alloy. As the Sn alloy, Pb-free, for example, Sn—Ag, Sn—Bi, Sn—Cu, and the like are conceivable, but the alloy content of constituent components other than Sn is desirably less than 10 mass%.

(7)製造方法
本発明に係る表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条は、アルミニウム板条の表面をジンケート処理し、Niめっき、Cuめっき、Snめっきをこの順に行い、必要に応じて加熱処理を行うことにより製造できる。
この表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条に、プレス打抜き加工等により多数のリードフレームパターンを形成したものが、表面被覆層を有するリードフレーム板条(先めっき材)である。
また、本発明に係る表面被覆層を有するリードフレーム板条(後めっき材)は、アルミニウム板条にプレス打抜き加工等により多数のリードフレームパターンを形成し、続いてこのアルミニウム板条の表面をジンケート処理し、Niめっき、Cuめっき、Snめっきをこの順に行い、必要に応じて加熱処理を行うことにより製造できる。
(7) Manufacturing method The aluminum sheet strip for a lead frame having the surface coating layer according to the present invention is obtained by zincating the surface of the aluminum sheet strip, performing Ni plating, Cu plating, and Sn plating in this order, and heating as necessary. It can manufacture by processing.
A lead frame plate (pre-plated material) having a surface coating layer is formed by forming a number of lead frame patterns on the aluminum plate for a lead frame having the surface coating layer by press punching or the like.
Moreover, the lead frame plate (post-plating material) having the surface coating layer according to the present invention forms a number of lead frame patterns by press punching etc. on the aluminum plate, and then the surface of the aluminum plate is zincated. It can manufacture by processing, performing Ni plating, Cu plating, and Sn plating in this order, and performing heat processing as needed.

続いて、この製造方法の各工程について簡単に説明する。
(a)ジンケート処理
アルミニウム板条に対するジンケート処理(その前処理を含む)は、例えば次のような手順で行うことができる。
(ア)脱脂
アルミニウム板条を例えば室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬して、アルミニウム表面の脱脂を行う。酸性脱脂のほか、溶剤脱脂、アルカリ性脱脂も利用できる。
(イ)酸化膜除去
アルミニウム板条を高アルカリ溶液(例えば40℃に保持した5%NaOH溶液)に30秒間浸漬してエッチングし、アルミニウム表面の酸化膜を除去する。
(ウ)表面不純物除去
アルミニウム板条を例えば室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬して、アルミニウム表面に付着したスマットや不純物を除去する。
Then, each process of this manufacturing method is demonstrated easily.
(A) Jincate treatment The zincate treatment (including pretreatment) for an aluminum sheet can be performed, for example, by the following procedure.
(A) Degreasing The aluminum surface is degreased by, for example, immersing it in a 30% nitric acid solution kept at room temperature for 30 seconds. In addition to acid degreasing, solvent degreasing and alkaline degreasing can also be used.
(A) Removal of oxide film An aluminum plate is etched by being immersed in a highly alkaline solution (for example, 5% NaOH solution maintained at 40 ° C.) for 30 seconds to remove the oxide film on the aluminum surface.
(C) Surface impurity removal The aluminum strip is immersed in a 30% nitric acid solution kept at room temperature for 30 seconds, for example, to remove smut and impurities attached to the aluminum surface.

(エ)ジンケート処理
アルミニウム板条を例えばアルカリ性の亜鉛浴に浸漬して、アルミニウムの表面をZnで置換し、ジンケート処理層(Zn被膜)を形成する。Zn被膜を緻密にして、めっきの密着性を向上させるには、ダブルジンケート処理を行うのが望ましい。例えば、1stジンケート処理として、室温に保持したジンケート処理液(AD−301F(商品名)、上村工業株式会社製)に30秒間浸漬した後、室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬して表面を除去し、2ndジンケート処理(1stジンケート処理と同じ条件)を行う。同様の処理を繰り返すことでさらに緻密なZn被膜を形成できる。
(D) Zincate treatment An aluminum plate is immersed in, for example, an alkaline zinc bath, and the surface of aluminum is replaced with Zn to form a zincate treatment layer (Zn coating). In order to make the Zn coating dense and improve the adhesion of plating, it is desirable to perform double zincate treatment. For example, as a 1st zincate treatment, after being immersed in a zincate treatment solution (AD-301F (trade name), manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) maintained at room temperature for 30 seconds, it is immersed in a 30% nitric acid solution maintained at room temperature for 30 seconds. The surface is removed and 2nd zincate treatment (same conditions as 1st zincate treatment) is performed. A denser Zn film can be formed by repeating the same process.

(b)Ni、Cu、Snめっき
Niめっきは、例えば、ワット浴やスルファミン酸浴を用い、浴温度40〜55℃、電流密度3〜20A/dmで行う。電流密度が3A/dm以下の場合は効率が悪く、20A/dm以上の場合はめっき粒子が粗大化し荒れてくる。
Cuめっきは、例えばシアン浴を用い、浴温55〜60℃、2〜10A/dmで行う。硫酸銅めっき浴を使用しても同様の効果を得ることが可能である。
Snめっきは、例えば硫酸錫浴を用い、めっき温度20〜40℃、電流密度2〜10A/dmで行う。
(B) Ni, Cu, Sn plating Ni plating is performed at a bath temperature of 40 to 55 ° C. and a current density of 3 to 20 A / dm 2 using, for example, a Watt bath or a sulfamic acid bath. When the current density is 3 A / dm 2 or less, the efficiency is poor, and when the current density is 20 A / dm 2 or more, the plating particles become coarse and rough.
Cu plating is performed using, for example, a cyan bath at a bath temperature of 55 to 60 ° C. and 2 to 10 A / dm 2 . Even if a copper sulfate plating bath is used, the same effect can be obtained.
Sn plating is performed, for example, using a tin sulfate bath at a plating temperature of 20 to 40 ° C. and a current density of 2 to 10 A / dm 2 .

各めっき層の平均厚さは、Cu−Sn合金被覆層形成後のNi、Cu、Cu−Sn、Sn各被覆層の平均厚さが規定範囲内になるように設定する。例えば、Niめっき層は0.1〜1.0μmの範囲内、Cuめっき層は0.1〜0.5μmの範囲内、Snめっき層は0.2〜10.0μmの範囲内で設定すればよい。
なお、Niめっき層は純Ni及びNi合金、Cuめっき層は純Cu及び銅合金、Snめっき層は純Sn及びSn合金からなる。Niめっき層、Cuめっき層及びSnめっき層が、それぞれNi合金、Cu合金及びSn合金からなる場合、先にNi被覆層、Cu被覆層及びSn被覆層に関して説明した各合金を用いることができる。
The average thickness of each plating layer is set so that the average thickness of each Ni, Cu, Cu-Sn, Sn coating layer after the formation of the Cu-Sn alloy coating layer is within a specified range. For example, if the Ni plating layer is set within a range of 0.1 to 1.0 μm, the Cu plating layer is set within a range of 0.1 to 0.5 μm, and the Sn plating layer is set within a range of 0.2 to 10.0 μm. Good.
The Ni plating layer is made of pure Ni and Ni alloy, the Cu plating layer is made of pure Cu and copper alloy, and the Sn plating layer is made of pure Sn and Sn alloy. When the Ni plating layer, the Cu plating layer, and the Sn plating layer are made of a Ni alloy, a Cu alloy, and a Sn alloy, respectively, the alloys described above with respect to the Ni coating layer, the Cu coating layer, and the Sn coating layer can be used.

(c)加熱処理
Ni、Cu、Snのめっき層を形成後、加熱処理を行うことにより、Cuめっき層とSnめっき層の間にCu−Sn合金被覆層が生成する。Cu−Sn合金被覆層は常温でも生成するが、加熱処理を行うことにより早く成長する。Cu−Sn合金被覆層を形成することにより下地Niの拡散を抑制できるため、リードフレームを高温で使用するときにNiの拡散による半田付け性の劣化、接触抵抗の増加を低減できる。また、Snめっき層の内部ストレスが緩和されることで、ウイスカの発生を抑制することができる。
(C) Heat treatment After forming the plated layer of Ni, Cu, and Sn, a heat treatment is performed to produce a Cu-Sn alloy coating layer between the Cu plated layer and the Sn plated layer. The Cu—Sn alloy coating layer is generated even at room temperature, but grows quickly by heat treatment. By forming the Cu—Sn alloy coating layer, diffusion of the underlying Ni can be suppressed, so that deterioration of solderability and increase in contact resistance due to diffusion of Ni can be reduced when the lead frame is used at a high temperature. Moreover, generation | occurrence | production of a whisker can be suppressed because the internal stress of Sn plating layer is relieve | moderated.

加熱処理は、Snの融点より低い温度では50〜200℃×0.1〜300時間、Snの融点より高い温度では230〜400℃×3〜30秒の範囲内の条件で行えばよい。後者の条件で加熱処理を行う場合、230℃未満ではSnが溶融せず、望ましくは240℃以上であり、400℃以上では母材が軟化する。Cu−Sn合金被覆層を均一に成長させるには、Snの溶融する温度以上で300℃以下のできるだけ少ない熱量で行うことが望ましい。Snの融点より低い温度で加熱するより、溶融(リフロー処理)させたほうがSn被覆層内部のストレスを減少させる効果が大きいので、ウィスカ抑制には有利である。   The heat treatment may be performed under the conditions of 50 to 200 ° C. for 0.1 to 300 hours at a temperature lower than the melting point of Sn and 230 to 400 ° C. for 3 to 30 seconds at a temperature higher than the melting point of Sn. When heat treatment is performed under the latter conditions, Sn does not melt at temperatures below 230 ° C., desirably 240 ° C. or higher, and the base material softens at temperatures above 400 ° C. In order to uniformly grow the Cu—Sn alloy coating layer, it is desirable to carry out with a heat amount as low as possible not lower than the melting temperature of Sn and not higher than 300 ° C. Rather than heating at a temperature lower than the melting point of Sn, melting (reflow treatment) has a greater effect of reducing stress inside the Sn coating layer, which is advantageous for whisker suppression.

アルミニウム母材として、5182冷延上がり材(Si:0.10mass%、Fe:0.20mass%、Cu:0.05mass%、Mn:0.45mass%、Mg:4.65mass%、Ti:0.03mass%、残部Al)を用い、下記要領でジンケート処理と、Niめっき、Cuめっき及びSnめっきの1又は2以上をこの順に行い、種々の厚さのNiめっき層、Cuめっき層、Snめっき層を形成した後、加熱処理を行い、実施例1〜6及び比較例1〜7のサンプルを得た。
なお、比較例2,3はCuめっきを行わず、比較例5はNiめっきとCuめっきを行わず、比較例7はNiめっきを行っていない。
As an aluminum base material, 5182 cold rolled material (Si: 0.10 mass%, Fe: 0.20 mass%, Cu: 0.05 mass%, Mn: 0.45 mass%, Mg: 4.65 mass%, Ti: 0.00. 03 mass%, balance Al), and in accordance with the following procedure, one or more of zincate treatment, Ni plating, Cu plating and Sn plating are performed in this order, and various thicknesses of Ni plating layer, Cu plating layer, Sn plating layer After forming, the heat processing was performed and the samples of Examples 1-6 and Comparative Examples 1-7 were obtained.
Comparative Examples 2 and 3 do not perform Cu plating, Comparative Example 5 does not perform Ni plating and Cu plating, and Comparative Example 7 does not perform Ni plating.

(ジンケート処理)
発明を実施するための形態の欄で説明したように、前処理として、室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬して脱脂し、40℃に保持した5%NaOH溶液に30秒間浸漬して酸化膜を除去し、室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬して表面の不純物を除去した。続いて、1stジンケート処理として室温に保持したジンケート処理液(上村工業株式会社製;商品名AD−301F)に30秒間浸漬し、室温に保持した30%硝酸溶液に30秒間浸漬し、2ndジンケート処理を1stジンケート処理と同じ条件で行った。このジンケート処理は各サンプル(実施例1〜6及び比較例1〜7)で共通とした。
(Jincate treatment)
As explained in the section of the embodiment for carrying out the invention, as a pretreatment, it is degreased by being immersed in a 30% nitric acid solution kept at room temperature for 30 seconds, and immersed in a 5% NaOH solution kept at 40 ° C. for 30 seconds. Then, the oxide film was removed and immersed in a 30% nitric acid solution kept at room temperature for 30 seconds to remove surface impurities. Subsequently, as a 1st zincate treatment, immersed in a zincate treatment solution (Uemura Kogyo Co., Ltd .; trade name AD-301F) maintained at room temperature for 30 seconds and immersed in a 30% nitric acid solution maintained at room temperature for 30 seconds, 2nd zincate treatment Was performed under the same conditions as the 1st zincate treatment. This zincate treatment was common to each sample (Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 7).

(Niめっき)
ワット浴(組成:硫酸ニッケル240g/L、塩化ニッケル45g/L、ホウ酸30g/L)を用い、浴温度:55℃、電流密度5A/dmの条件でNiめっきを行った。
(Cuめっき)
シアン浴(シアン化銅42g/L、シアン化カリウム92g/L)を用い、浴温度:60℃、電流密度6A/dmの条件でCuめっきを行った。
(Snめっき)
硫酸錫浴(組成:硫酸第一錫80g/L、硫酸80g/L、添加剤15ml/L)を用い、浴温度:35度、電流密度3A/dmの条件でSnめっきを行った。
(加熱処理)
各サンプル(実施例1〜6及び比較例1〜7)について表1に示す条件で行った。300℃で行った加熱処理はSnめっき層が溶融するリフロー処理である。
(Ni plating)
Using a Watt bath (composition: nickel sulfate 240 g / L, nickel chloride 45 g / L, boric acid 30 g / L), Ni plating was performed under conditions of a bath temperature of 55 ° C. and a current density of 5 A / dm 2 .
(Cu plating)
Using a cyan bath (copper cyanide 42 g / L, potassium cyanide 92 g / L), Cu plating was performed under the conditions of bath temperature: 60 ° C. and current density 6 A / dm 2 .
(Sn plating)
Using a tin sulfate bath (composition: stannous sulfate 80 g / L, sulfuric acid 80 g / L, additive 15 ml / L), Sn plating was performed under conditions of a bath temperature of 35 degrees and a current density of 3 A / dm 2 .
(Heat treatment)
It carried out on the conditions shown in Table 1 about each sample (Examples 1-6 and Comparative Examples 1-7). The heat treatment performed at 300 ° C. is a reflow treatment in which the Sn plating layer is melted.

Figure 0005637965
Figure 0005637965

めっき及び熱処理後のサンプルについて、Ni被覆層、Cu被覆層、Cu−Sn合金被覆層、Sn被覆層の各平均厚さを下記要領で測定するとともに、表面被覆層の密着性、半田付け性及び表面被覆層の耐熱剥離性の試験を下記要領で行い、ウィスカの発生状況の観察を下記要領で行った。
(各被覆層の平均厚さ)
Sn被覆層の厚さは、蛍光X線膜厚測定機(セイコーインスツルメンツ株式会社製;型式SFT3200)を使用して全Sn膜厚を測定し、その測定値からCu−Sn合金被覆層又はNi−Sn合金被覆層(比較例2,3ではNi−Sn合金被覆層が形成された)に含まれるSn成分の膜厚の測定値を差し引いたものとした。Cu被覆層の厚さはサンプルを埋め込み研磨し、1000倍光学顕微鏡にて実測した。Cu−Sn合金被覆層又はNi−Sn合金被覆層の厚さは、サンプルをp−ニトロフェノール及び苛性ソーダを成分とする剥離液に10分間浸漬し、Sn被覆層を剥離後、前記蛍光X線膜厚測定機を使用してCu−Sn合金被覆層又はNi−Sn合金被覆層に含まれるSn成分の膜厚を測定した。Ni被覆層の厚さは前記蛍光X線膜厚測定機を使用して測定した。測定結果は表1に示す。
For the sample after plating and heat treatment, the average thickness of the Ni coating layer, Cu coating layer, Cu-Sn alloy coating layer, and Sn coating layer was measured in the following manner, and the adhesion of the surface coating layer, solderability, and The heat-resistant peelability test of the surface coating layer was conducted as follows, and the occurrence of whiskers was observed as follows.
(Average thickness of each coating layer)
The thickness of the Sn coating layer was determined by measuring the total Sn film thickness using a fluorescent X-ray film thickness measuring instrument (Seiko Instruments Inc .; model SFT3200), and from the measured value, the Cu-Sn alloy coating layer or Ni- The measured value of the thickness of the Sn component contained in the Sn alloy coating layer (Ni-Sn alloy coating layer was formed in Comparative Examples 2 and 3) was subtracted. The thickness of the Cu coating layer was measured by embedding and polishing a sample and using a 1000 × optical microscope. The thickness of the Cu-Sn alloy coating layer or Ni-Sn alloy coating layer is determined by immersing the sample in a stripping solution containing p-nitrophenol and caustic soda as components for 10 minutes, stripping the Sn coating layer, and then the fluorescent X-ray film. The thickness of the Sn component contained in the Cu—Sn alloy coating layer or Ni—Sn alloy coating layer was measured using a thickness measuring machine. The thickness of the Ni coating layer was measured using the fluorescent X-ray film thickness measuring instrument. The measurement results are shown in Table 1.

(密着性試験)
JISH8504(めっきの密着性試験方法)の引き剥がし試験方法のうちテープ試験方法の規定に準じて行った。各サンプルから採取した試験片の表面に10×10mm角の中に1辺が1mmの正方形のマスが100個できるように切り込みを入れ、18mm幅の粘着テープ(住友スリーエム株式会社製;Scotch(登録商標)メンディングテープ、カタログNo.810−3−18)を貼り着け、垂直方向に引き剥がした。密着性の評価は、マスの剥離数が0個(剥離面積が1%未満)のものを○(合格)とし、マスの剥離数が1〜4個(剥離面積が1%以上5%未満)のものを△(不合格)、マスの剥離数が5個以上(剥離面積が5%以上)のものを×(不合格)とした。その結果を表1に示す。
(Adhesion test)
It was performed in accordance with the provisions of the tape test method in the peeling test method of JISH8504 (plating adhesion test method). Cut in the surface of the test piece collected from each sample so that 100 square squares with 1 mm on one side can be formed in a 10 × 10 mm square, and 18 mm wide adhesive tape (manufactured by Sumitomo 3M Limited; Scotch (registered) Trademark) Mending Tape, Catalog No. 810-3-18) was applied and peeled off in the vertical direction. For the evaluation of adhesion, the number of peeling of the mass is 0 (peeling area is less than 1%) is ○ (pass), and the number of mass peeling is 1 to 4 (the peeling area is 1% or more and less than 5%) Was marked with Δ (failed), and the number of peeled masses was 5 or more (peeling area was 5% or more) was marked with x (failed). The results are shown in Table 1.

(半田付け性試験)
260℃に保持した溶融半田(組成;Sn−3質量%Ag−0.5質量%Cu)中に、各サンプルから採取した試験片を浸漬する。半田濡れ面積が98%以上のものを◎(合格)、95%以上98%未満のものを○(合格)とし、90%以上95%未満のものを△(不合格)、90%未満のものを×(不合格)と評価した。その結果を表1に示す。
(Solderability test)
The test piece collected from each sample is immersed in molten solder (composition: Sn-3 mass% Ag-0.5 mass% Cu) maintained at 260 ° C. Solder wetting area of 98% or more is ◎ (pass), 95% or more and less than 98% is ○ (pass), 90% or more and less than 95% is △ (fail), less than 90% Was evaluated as x (failed). The results are shown in Table 1.

(耐熱剥離試験)
各サンプルから採取した試験片を160℃で250時間加熱した後、180°曲げ(曲げR=1.0mm)を行い、次いで元の状態に伸ばした。試験片の曲げ部分の表面に18mm幅の粘着テープ(住友スリーエム株式会社製;Scotch(登録商標)メンディングテープ、カタログNo.810−3−18)を貼り着け、垂直方向に引き剥がした。表面被覆層が剥離しなかったものを○(合格)とし、剥離したものを×(不合格)と評価した。その結果を表1に示す。
(Heat-resistant peel test)
After heating the test piece extract | collected from each sample at 160 degreeC for 250 hours, 180 degree bending (bending R = 1.0mm) was performed, and it extended to the original state then. An 18 mm-wide adhesive tape (manufactured by Sumitomo 3M; Scotch (registered trademark) mending tape, catalog No. 810-3-18) was attached to the surface of the bent portion of the test piece and peeled off in the vertical direction. The case where the surface coating layer did not peel was evaluated as ◯ (passed), and the peeled layer was evaluated as x (failed). The results are shown in Table 1.

(ウイスカの観察)
各サンプルから10枚ずつ採取した試験片(50mmW×100mmL)を、30℃の環境に保管し、30日後に実体顕微鏡にて表面を観察した。各試験片について測定箇所を2cm×5cm(10cm)の範囲に設定し、その範囲内でウイスカの長いものから10個を選び、10個のウイスカ長さを平均して、その試験片のウイスカ長さとした。同様の測定を各サンプルとも10枚の試験片(測定箇所は計10箇所)で実施し、10箇所のウイスカ長さを合計し、その長さが5mm以下のものを○(合格)とし、5mmを超えたものを×(不合格)とした。その結果を表1に示す。
(Observation of whiskers)
Ten test pieces (50 mmW × 100 mmL) collected from each sample were stored in an environment of 30 ° C., and the surface was observed with a stereomicroscope after 30 days. For each test piece, the measurement location is set to a range of 2 cm × 5 cm (10 cm 2 ), and 10 pieces of long whisker are selected within the range, and the whisker length of the 10 pieces is averaged. It was a length. The same measurement was carried out with 10 test pieces (total of 10 measurement points) for each sample, and the whisker lengths at 10 locations were totaled. A value exceeding x was marked as x (failed). The results are shown in Table 1.

表1に示すように、表面被覆層がNi/Cu/Cu−Sn合金/Snの各被覆層、又は、Ni/Cu−Sn合金/Snの各被覆層からなり、各被覆層の平均厚さが本発明の規定を満たす実施例1〜6は、半田付け性が優れ、表面被覆層の密着性及び耐熱剥離性も優れ、ウイスカの発生も抑えられていた。
これに対し、Ni被覆層、Cu−Sn合金被覆層及びSn被覆層のいずれか1つ以上の被覆層を有しないか、あるいはNi被覆層、Cu被覆層、Cu−Sn合金被覆層及びSn被覆層のいずれか1つ以上の被覆層の平均厚さが本発明の規定を満たさない比較例1〜7は、半田付け性、表面被覆層の密着性及び耐熱剥離性のいずれかの特性が劣り、合わせてウイスカの発生が抑えられなかったものがあった。
As shown in Table 1, the surface coating layer consists of Ni / Cu / Cu—Sn alloy / Sn coating layers or Ni / Cu—Sn alloy / Sn coating layers, and the average thickness of each coating layer However, Examples 1-6 which satisfy | fill the prescription | regulation of this invention were excellent in solderability, the adhesiveness of the surface coating layer, and heat-resistant peelability, and the generation | occurrence | production of the whisker was also suppressed.
On the other hand, it does not have any one or more of Ni coating layer, Cu-Sn alloy coating layer and Sn coating layer, or Ni coating layer, Cu coating layer, Cu-Sn alloy coating layer and Sn coating Comparative Examples 1 to 7 in which the average thickness of any one or more coating layers of the layers does not satisfy the provisions of the present invention are inferior in any of the properties of solderability, adhesion of the surface coating layer, and heat-resistant peelability In addition, there were some that could not suppress the occurrence of whiskers.

Claims (5)

アルミニウム板条を母材とし、その表面にジンケート処理層が形成され、さらに平均厚さが0.1〜1.0μmのNi被覆層、平均厚さが0.4μm以下のCu被覆層、平均厚さが0.1〜1.0μmのCu−Sn合金被覆層、及び平均厚さが0.1〜10.0μmのSn被覆層がこの順に形成されていることを特徴とする表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条。 An aluminum plate is used as a base material, a zincate treatment layer is formed on the surface thereof, a Ni coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm, a Cu coating layer having an average thickness of 0.4 μm or less, an average thickness A Cu—Sn alloy coating layer having a thickness of 0.1 to 1.0 μm and a Sn coating layer having an average thickness of 0.1 to 10.0 μm are formed in this order. Aluminum strip for lead frames. 前記Sn被覆層がリフロー処理されたものであることを特徴とする請求項1に記載された表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条。 The lead frame aluminum strip having a surface coating layer according to claim 1, wherein the Sn coating layer is reflow-treated. 請求項1又は2に記載された表面被覆層を有するリードフレーム用アルミニウム板条に多数のリードフレームパターンを形成したことを特徴とする表面被覆層を有するリードフレーム板条。 A lead frame plate having a surface coating layer, wherein a number of lead frame patterns are formed on the aluminum plate for a lead frame having the surface coating layer according to claim 1. 多数のリードフレームパターンが形成されたアルミニウム板条を母材とし、前記母材の表面がジンケート処理され、さらに平均厚さが0.1〜1.0μmのNi被覆層、平均厚さが0.4μm未満のCu被覆層、平均厚さが0.1〜1.0μmのCu−Sn合金被覆層、及び平均厚さが0.1〜10.0μmのSn被覆層がこの順に形成されていることを特徴とする表面被覆層を有するリードフレーム板条。 An aluminum plate strip on which a number of lead frame patterns are formed is used as a base material, the surface of the base material is subjected to a zincate treatment, and an Ni coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm. Cu coating layer of less than 4 μm, Cu—Sn alloy coating layer having an average thickness of 0.1 to 1.0 μm, and Sn coating layer having an average thickness of 0.1 to 10.0 μm are formed in this order. A lead frame strip having a surface coating layer characterized by the following. 前記Sn被覆層がリフロー処理されたものであることを特徴とする請求項4に記載された表面被覆層を有するリードフレーム板条。 The lead frame plate having a surface coating layer according to claim 4, wherein the Sn coating layer is reflow-treated.
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