JP5637005B2 - Laser cleaning method, laser cleaning device, electromagnetic valve manufacturing method, electromagnetic valve manufacturing device, and electromagnetic valve - Google Patents

Description

本発明は、電磁弁を構成する部材の内周面若しくは外周面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング方法，装置、そのレーザクリーニング方法，装置によってクリーニングされた部材を用いて電磁弁を製造する電磁弁製造方法，装置および、プランジャとそのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備えた電磁弁に関する。   The present invention relates to a laser cleaning method and apparatus for cleaning an inner peripheral surface or an outer peripheral surface of a member constituting an electromagnetic valve with a laser beam, and an electromagnetic valve for manufacturing an electromagnetic valve using the laser cleaning method and a member cleaned by the apparatus. The present invention relates to a manufacturing method, an apparatus, and a solenoid valve including a plunger and a housing in which the plunger is accommodated so as to be movable in the axial direction thereof.

近年、レーザ光を対象とする部材の表面に照射することで、その表面をクリーニングする方法，装置の開発が進められており、下記特許文献に記載されているように、様々な種類の部材の表面をレーザ光によってクリーニングすることが可能とされている。   In recent years, a method and an apparatus for cleaning a surface of a target member by irradiating the surface of the target member with a laser beam have been developed. As described in the following patent documents, various types of members have been developed. The surface can be cleaned with laser light.

特開２００１−２３２３１５号公報JP 2001-232315 A 特開２０１０−３８５５７号公報JP 2010-38557 A 特開２００８−２８７８１６号公報JP 2008-287816 A

電磁弁の多くは、コア，プランジャ，そのプランジャが挿入される部材等の複数の円筒形状，円柱形状等の部材によって構成されており、例えば、それら複数の部材のうちのある１つの部材の内周面若しくは外周面が他の部材に接合されている。このため、電磁弁の製造時において、その１つの部材の他の部材に接合される内周面若しくは外周面（以下、「接合面」という場合がある）に付着しているものを適切に除去しておくことで、信頼性の高い電磁弁を製造することが可能となる。上記特許文献に記載のレーザクリーニング方法，装置では、様々な種類の部材の表面をレーザクリーニングすることが可能とされているが、レーザ光によってクリーニングされる被クリーニング面の多くは、平面とされている。このため、電磁弁を構成する部材の接合面といった周壁面を、レーザ光によってクリーニングする技術に関して、実用性を向上させるための改良の余地は多分に残されている。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高いレーザクリーニング方法，装置および、そのレーザクリーニング方法，装置によってクリーニングされた部材を用いて電磁弁を製造する電磁弁製造方法，装置を提供することを課題とする。   Many of the electromagnetic valves are configured by a plurality of cylindrical and columnar members such as a core, a plunger, and a member into which the plunger is inserted. For example, one of the plurality of members A peripheral surface or an outer peripheral surface is joined to another member. For this reason, at the time of manufacture of a solenoid valve, the thing adhering to the internal peripheral surface or outer peripheral surface (henceforth a "joint surface" may be called hereafter) joined to the other member of the one member is removed appropriately This makes it possible to manufacture a highly reliable solenoid valve. In the laser cleaning method and apparatus described in the above patent document, it is possible to perform laser cleaning on the surface of various types of members. However, most of the surfaces to be cleaned by laser light are flat. Yes. For this reason, there is still much room for improvement in order to improve the practicality of the technique for cleaning the peripheral wall surface such as the joint surface of the members constituting the electromagnetic valve with the laser beam. The present invention has been made in view of such circumstances, and a highly practical laser cleaning method and apparatus, and a solenoid valve manufacturing method for manufacturing a solenoid valve using a member cleaned by the laser cleaning method and apparatus. It is an object to provide a method and an apparatus.

また、電磁弁を構成する部材には、例えば、その部材の成形時にボンデ処理等の金属表面処理が施されているものがあり、このような部材の表面をレーザ光によってクリーニングすると、処理されていた金属が表面に析出する場合がある。このような析出物等の付着物が接合面に残存することは望ましくなく、当然、付着物を接合面から除去する必要がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、電磁弁を構成する部材の接合面の付着物を好適に除去可能な電磁弁を提供することを課題とする。   In addition, some members constituting the solenoid valve are subjected to a metal surface treatment such as a bonder treatment at the time of molding the member, and the surface of such a member is treated by cleaning with a laser beam. Metal may be deposited on the surface. It is not desirable for such deposits and other deposits to remain on the joint surface, and naturally the deposits need to be removed from the joint surface. This invention is made | formed in view of such a situation, and makes it a subject to provide the solenoid valve which can remove suitably the deposit | attachment of the joint surface of the member which comprises a solenoid valve.

上記課題を解決するために、本発明のレーザクリーニング方法は、電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の接合面をレーザ光によってクリーニングする方法であって、その接合面を有する部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その部材の軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルからその部材に向かって、接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、接合面にレーザ光を照射して、接合面を全周にわたってクリーニングするように構成される。また、本発明のレーザクリーニング装置は、電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の接合面をレーザ光によってクリーニングする装置であって、(a)接合面を有する部材を保持するとともに、その部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、(b)その回転装置によって保持されている部材の軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルからその部材に向かって、接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置と、(c)レーザ光を発信するレーザ光発信器を有し、回転装置によって保持された部材の接合面にレーザ光を照射するレーザ光照射装置とを備えるように構成される。   In order to solve the above problems, a laser cleaning method of the present invention is a method of cleaning a joint surface of one of a plurality of members constituting a solenoid valve with a laser beam, and a member having the joint surface In a state where the nozzle is rotated around its axis, a shield gas is blown so as to cover the entire joining surface from the blowing nozzle disposed on either side of the member in the direction in which the axis of the member extends. The joining surface is irradiated with laser light to clean the joining surface over the entire circumference. The laser cleaning device of the present invention is a device for cleaning a joining surface of one of a plurality of members constituting a solenoid valve with a laser beam, and (a) holds a member having the joining surface. A rotating device for rotating the member around its axis, and (b) a blowing nozzle disposed on either side of the direction in which the axis of the member held by the rotating device extends. A shield gas spraying device that sprays a shielding gas so as to cover the entire joint surface from the nozzle toward the member, and (c) a member that has a laser light transmitter that emits laser light and is held by a rotating device A laser light irradiation device for irradiating the surface with laser light.

また、上記課題を解決するために、本発明の電磁弁製造方法は、(a)円柱形状のコアと、(b)プランジャが挿入される円筒形状の円筒部材と、(c)コアと円筒部材とが両端から嵌め入れられ、コアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とからなるハウジングを備えた電磁弁を製造する方法であって、(A)コアと円筒部材と連結部材とのうちの１つのものの接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング工程と、(B)コアと円筒部材との各々を連結部材に嵌め入れる嵌入工程と、(C)レーザ光発信器によって発信されるレーザ光の焦点を調整することで焦点の合わされたレーザ光によって、コアと円筒部材との各々と連結部材とを溶接するレーザ溶接工程とを含み、レーザクリーニング工程において、接合面を有するコアと円筒部材と連結部材とのうちの１つのものをそれの軸線回りに回転させた状態で、その１つのものの軸線の延びる方向に配設された吹出ノズルからその１つのものに向かって、接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、接合面にレーザ光を照射して、接合面を全周にわたってクリーニングするように構成される。   In order to solve the above-mentioned problem, the electromagnetic valve manufacturing method of the present invention includes (a) a columnar core, (b) a cylindrical member into which a plunger is inserted, and (c) a core and a cylindrical member. Are fitted from both ends, and a method of manufacturing a solenoid valve including a housing composed of a cylindrical connecting member that connects the core and the cylindrical member, and (A) the core, the cylindrical member, and the connecting member A laser cleaning process for cleaning the bonding surface of one of them with a laser beam, (B) a fitting process for fitting each of the core and the cylindrical member into the connecting member, and (C) a laser beam transmitted by a laser beam transmitter A laser welding step of welding each of the core and the cylindrical member and the connecting member with a laser beam focused by adjusting the focus of the light, and the core and the cylindrical member having a joint surface in the laser cleaning step In a state where one of the connecting members is rotated about its axis, the entire joining surface is covered from the blowing nozzle disposed in the direction in which the axis of the one extends to the one. In this manner, the joining surface is irradiated with laser light while the shielding gas is sprayed to clean the joining surface over the entire circumference.

また、本発明の電磁弁製造装置は、(a)円柱形状のコアと、(b)プランジャが挿入される円筒形状の円筒部材と、(c)コアと円筒部材とが両端から嵌め入れられ、コアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とからなるハウジングを備えた電磁弁を製造する装置であって、(A)コアと円筒部材と連結部材とのうちの１つのものである被保持部材を保持するとともに、その被保持部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、(B)その回転装置を第１の位置から第２の位置まで移動させる移動装置と、(C)レーザ光を発信するレーザ光発信器と、そのレーザ光発信器によって発信されたレーザ光の光路を、第１の位置において回転装置によって保持されている被保持部材に向かう光路と第２の位置において回転装置によって保持されている被保持部材に向かう光路とで切換える光路切換器と、第１の位置において回転装置によって保持されている被保持部材に向かうレーザ光が通過する第１レンズと、第２の位置において回転装置によって保持されている被保持部材に向かうレーザ光が通過する第２レンズとを有するレーザ光照射装置と、(D)その第１の位置において回転装置によって保持されている被保持部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルから被保持部材に向かって、接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置とを備えるように構成される。   The electromagnetic valve manufacturing apparatus of the present invention is (a) a cylindrical core, (b) a cylindrical member into which a plunger is inserted, and (c) the core and the cylindrical member are fitted from both ends. An apparatus for manufacturing an electromagnetic valve having a housing composed of a cylindrical connecting member that connects a core and a cylindrical member, wherein (A) a cover that is one of the core, the cylindrical member, and the connecting member A rotating device for holding the holding member and rotating the held member about its axis; (B) a moving device for moving the rotating device from the first position to the second position; and (C) a laser. A laser beam transmitter for transmitting light, and an optical path of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter are rotated at a second position and an optical path toward a held member held by a rotating device at the first position. Retained member held by the device An optical path switcher that switches between the optical path to go, a first lens through which a laser beam directed to a held member held by the rotating device at the first position passes, and a target held by the rotating device at the second position. A laser beam irradiation device having a second lens through which the laser beam toward the holding member passes, and (D) one of the extending directions of the axis of the held member held by the rotating device at the first position And a shield gas spraying device for spraying a shield gas so as to cover the entire joining surface from the blow nozzle toward the held member.

さらに、上記課題を解決するために、本発明の電磁弁は、(a)円柱形状のコアと、(b)プランジャが挿入される円筒形状の円筒部材と、(c)コアと円筒部材とが両端から嵌め入れられ、コアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とからなるハウジングを備え、コアと円筒部材との一方と連結部材とがレーザ溶接によって固着され、そのコアと円筒部材との一方が、外周面の連結部材に嵌め入れられる領域の全周にわたって形成され、外周面の連結部材の内周面にレーザ溶接される箇所の連結部材に嵌め入れられる側の端部とは反対側に位置する環状溝を有するように構成される。   Furthermore, in order to solve the above problems, the solenoid valve of the present invention includes (a) a columnar core, (b) a cylindrical member into which a plunger is inserted, and (c) a core and a cylindrical member. A housing including a cylindrical connecting member that is fitted from both ends and connects the core and the cylindrical member, and one of the core and the cylindrical member and the connecting member are fixed by laser welding. Is formed over the entire circumference of the region fitted into the connecting member on the outer peripheral surface, and is opposite to the end portion on the side to be fitted into the connecting member at the position welded to the inner peripheral surface of the connecting member on the outer peripheral surface It is configured to have an annular groove located on the side.

レーザクリーニングされる際には、通常、酸化等を防止するために、レーザ光が照射される被クリーニング面にシールドガスが吹き付けられる。電磁弁を構成する部材の接合面といった周壁面をレーザクリーニングする際に、単に周壁面に向かってシールドガスが吹き付けられると、周壁面のシールドガスが吹き付けられている部分はシールドガスによって覆われるが、周壁面のシールドガスが吹き付けられている部分以外の部分、特に、シールドガスが吹き付けられている部分とは径方向における反対側の部分は、シールドガスによって覆われず、酸化等が生じる虞がある。本発明のレーザクリーニング方法，装置および、電磁弁製造方法，装置では、レーザクリーニングされる部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その部材に向かって、その部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルからシールドガスが吹き付けられ、接合面全体がシールドガスによって覆われるようになっている。したがって、本発明のレーザクリーニング方法，装置および、電磁弁製造方法，装置によれば、接合面の酸化等を好適に防止することが可能となり、レーザクリーニング方法，装置および、電磁弁製造方法，装置の実用性を向上させることが可能となる。   When laser cleaning is performed, a shield gas is usually blown onto the surface to be cleaned that is irradiated with laser light in order to prevent oxidation or the like. When laser cleaning is performed on a peripheral wall surface such as a joint surface of a member constituting a solenoid valve, if a shield gas is simply blown toward the peripheral wall surface, a portion of the peripheral wall surface where the shield gas is sprayed is covered with the shield gas. The portion other than the portion where the shielding gas is blown on the peripheral wall surface, in particular, the portion on the opposite side in the radial direction from the portion where the shielding gas is blown, is not covered with the shielding gas, and oxidation or the like may occur. is there. In the laser cleaning method and apparatus and the electromagnetic valve manufacturing method and apparatus according to the present invention, the direction in which the axis of the member extends toward the member in a state where the member to be laser cleaned is rotated around the axis thereof. Shielding gas is blown from the blowing nozzle disposed on either side of the surface, and the entire joint surface is covered with the shielding gas. Therefore, according to the laser cleaning method and apparatus and the electromagnetic valve manufacturing method and apparatus of the present invention, it is possible to suitably prevent oxidation of the joint surface, and the laser cleaning method and apparatus, and the electromagnetic valve manufacturing method and apparatus. It becomes possible to improve the practicality.

また、電磁弁のハウジングには、円柱形状のコアと、プランジャが挿入される円筒形状の円筒部材と、コアと円筒部材とに外嵌されてコアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とから構成され、コアと円筒部材との一方と連結部材とがレーザ溶接によって固着されるものがある。それらがレーザ溶接される前には、通常、コア等の接合面をクリーニングしておく必要があり、その接合面のクリーニング法として、レーザクリーニング法が採用される場合がある。ただし、コア等にはそれの成形時にボンデ処理等の金属表面処理が施されているものがあり、そのような処理が施されたものの表面をレーザクリーニングすると、処理されている金属が表面に析出してくる場合がある。本発明の電磁弁では、コアと円筒部材との一方の外周面に、連結部材に嵌め入れられる部分の全周にわたって環状溝が形成されており、その環状溝は、連結部材の内周面にレーザ溶接される箇所の連結部材に嵌め入れられる側の端部とは反対側に位置している。このため、レーザクリーニングによってコア等の外周面に析出した金属は、そのコア等が連結部材に嵌め入れられる際に連結部材の端によって削り取られ、その削り取られた金属は、環状溝の内部に封じ込められる。したがって、本発明の電磁弁によれば、コア等の外周面に析出した金属を散乱させることなく除去することが可能となり、接合面の付着物を好適に除去することが可能となる。   The solenoid valve housing has a cylindrical core, a cylindrical cylindrical member into which the plunger is inserted, and a cylindrical connecting member that is externally fitted to the core and the cylindrical member to connect the core and the cylindrical member. And one of the core and the cylindrical member and the connecting member are fixed by laser welding. Before they are laser welded, it is usually necessary to clean the bonding surface such as the core, and a laser cleaning method may be employed as a method for cleaning the bonding surface. However, some cores and others have been subjected to metal surface treatment such as bond treatment at the time of molding, and when the surface of such treatment is subjected to laser cleaning, the treated metal is deposited on the surface. May come. In the solenoid valve of the present invention, an annular groove is formed on the outer peripheral surface of one of the core and the cylindrical member over the entire circumference of the portion fitted into the connecting member, and the annular groove is formed on the inner peripheral surface of the connecting member. It is located on the side opposite to the end portion on the side to be fitted into the connecting member at the location to be laser welded. For this reason, the metal deposited on the outer peripheral surface of the core or the like by laser cleaning is scraped off by the end of the connecting member when the core or the like is fitted into the connecting member, and the scraped metal is sealed in the annular groove. It is done. Therefore, according to the solenoid valve of the present invention, it is possible to remove the metal deposited on the outer peripheral surface such as the core without scattering, and it is possible to suitably remove the deposit on the joint surface.

発明の態様Aspects of the Invention

以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。   In the following, some aspects of the invention that can be claimed in the present application (hereinafter sometimes referred to as “claimable invention”) will be exemplified and described. As with the claims, each aspect is divided into sections, each section is numbered, and is described in a form that cites the numbers of other sections as necessary. This is merely for the purpose of facilitating the understanding of the claimable inventions, and is not intended to limit the combinations of the constituent elements constituting those inventions to those described in the following sections. In other words, the claimable invention should be construed in consideration of the description accompanying each section, the description of the embodiments, etc., and as long as the interpretation is followed, another aspect is added to the form of each section. In addition, an aspect in which constituent elements are deleted from the aspect of each item can be an aspect of the claimable invention.

なお、以下の各項において、（１）項が請求項１に相当し、請求項１に（４）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項２に、請求項１または請求項２に（６）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項３に、それぞれ相当する。また、（１１）項が請求項４に相当する。また、下記（２１）項は、請求可能発明の前提となる構成を示した態様に関する項であり、その項の態様に、（２２）項〜（３０）項に掲げる項のいずれかに記載の技術的特徴を付加した態様が、請求可能発明の態様となる。ちなみに、（２１）項に（２６）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項５に相当し、請求項５に（２９）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項６に、請求項５または請求項６に（２２）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項７に、請求項７に（２３）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項８に、それぞれ相当する。また、（４１）項に記載の技術的特徴と（４４）項に記載の技術的特徴とを合わせたものが請求項９に、請求項９に（４２）項に記載の技術的特徴を付加したものが請求項１０に、それぞれ相当し、（５１）項が請求項１１に相当する。   In each of the following items, item (1) corresponds to claim 1, and the technical feature described in item (4) is added to claim 1, claim 2 or claim 1 or claim. The technical feature described in item (6) is added to item 2 and item 3 corresponds to item 3, respectively. The (11) term corresponds to the fourth claim. The following item (21) relates to an aspect showing the configuration that is a premise of the claimable invention, and the aspect of the item is described in any one of the items listed in the items (22) to (30). The aspect to which the technical feature is added becomes the aspect of the claimable invention. Incidentally, the addition of the technical feature described in the item (26) to the item (21) corresponds to the claim 5, and the addition of the technical feature described in the item (29) to the claim 5 is claimed. The technical feature described in (22) is added to claim 5 or claim 6 added to 6, and the technical feature described in (23) is added to claim 7 in claim 7. It corresponds to claim 8 respectively. A combination of the technical feature described in (41) and the technical feature described in (44) adds the technical feature described in (42) to claim 9. These correspond to claim 10, respectively, and (51) corresponds to claim 11.

（１）電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の外周面若しくは内周面であって他の部材に接合される接合面をレーザ光によってクリーニングする方法であって、
前記接合面を有する部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その部材の前記軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルからその部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、前記接合面にレーザ光を照射して、前記接合面を全周にわたってクリーニングするレーザクリーニング方法。 (1) A method of cleaning a joining surface which is an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one member of a plurality of members constituting a solenoid valve and is joined to another member by laser light,
In a state where the member having the joint surface is rotated about its axis, the entire joint surface is moved from the blowing nozzle disposed on either side of the member in the extending direction of the axis toward the member. A laser cleaning method in which a laser beam is applied to the bonding surface while spraying a shielding gas so as to cover the entire surface of the bonding surface.

レーザクリーニング方法は、レーザ光を対象とする部材の表面に照射することで、そのレーザ光が照射された被クリーニング面をクリーニングする方法であり、被クリーニング面に付着しているものを好適に除去することが可能とされている。ただし、レーザ光の照射によって被クリーニング面は非常に高温となるため、高温となった被クリーニング面が大気に曝されると、その被クリーニング面に煤が付着したり、被クリーニング面が酸化する虞がある。このため、レーザクリーニングされる際には、通常、被クリーニング面にシールドガスが吹き付けられ、酸化等の防止が図られている。ところが、電磁弁を構成する部材の多くは、コア，プランジャ，そのプランジャが挿入される部材等の複数の円筒形状，円柱形状等の部材によって構成されており、例えば、それら複数の部材のうちのある１つの部材の他の部材に接合される内周面若しくは外周面（以下、「接合面」という場合がある）をレーザクリーニングする際に、接合面に向かってシールドガスが吹き付けても、接合面の部分によっては、シールガスによって覆われず、大気に曝される虞がある。具体的には、接合面のシールドガスが吹き付けられている部分以外の部分、特に、シールドガスが吹き付けられている部分とは径方向における反対側の部分は、シールガスによって覆われず、大気に曝される虞がある。   The laser cleaning method is a method for cleaning the surface to be cleaned by irradiating the surface of the target member with laser light, and suitably removing the material adhering to the surface to be cleaned. It is possible to do. However, since the surface to be cleaned becomes very hot due to laser light irradiation, if the surface to be cleaned is exposed to the atmosphere, soot is attached to the surface to be cleaned or the surface to be cleaned is oxidized. There is a fear. For this reason, when laser cleaning is performed, a shield gas is usually sprayed onto the surface to be cleaned to prevent oxidation or the like. However, many of the members constituting the electromagnetic valve are constituted by a plurality of cylindrical and columnar members such as a core, a plunger, and a member into which the plunger is inserted. Even when shield gas is blown toward the joint surface when laser cleaning is performed on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface (hereinafter sometimes referred to as “joint surface”) to be joined to another member of a certain member, Some parts of the surface are not covered with the seal gas and may be exposed to the atmosphere. Specifically, the portion other than the portion where the shielding gas is blown on the joint surface, in particular, the portion opposite to the portion where the shielding gas is blown in the radial direction is not covered with the sealing gas and is exposed to the atmosphere. There is a risk of exposure.

以上のことに鑑みて、本項に記載されたレーザクリーニング方法においては、接合面を有する部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その部材に向かって、その部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルからシールドガスが吹き付けられ、接合面全体がシールドガスによって覆われるようになっている。したがって、本項に記載のレーザクリーニング方法によれば、接合面の酸化等を好適に防止しつつ、接合面の付着物を全周にわたって除去することが可能となる。   In view of the above, in the laser cleaning method described in this section, the axis of the member extends toward the member in a state where the member having the bonding surface is rotated around the axis thereof. Shielding gas is blown from the blowing nozzle disposed on either side of the direction, and the entire joint surface is covered with the shielding gas. Therefore, according to the laser cleaning method described in this section, it is possible to remove deposits on the bonding surface over the entire circumference while suitably preventing oxidation and the like of the bonding surface.

本項に記載の「吹出ノズル」は、接合面全体をシールドガスによって覆うことができるように、接合面を有する部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側から、その部材に向かってシールドガスを吹出すものであればよい。つまり、接合面全体をシールドガスによって覆うことができるように、例えば、接合面を有する部材の端に向かってシールドガスを吹出すものであってもよく、ノズルの開口が接合面を有する部材の端と向かい合うように配設されるものであってもよい。また、「吹出ノズル」は、接合面を有する部材の軸線上に配設されてもよく、その軸線からズレた位置に配設されてもよい。軸線上に配設された場合には、吹出ノズルがその軸線と平行な方向にシールドガスを吹出すように構成されることが望ましく、軸線からズレた位置に配設された場合には、吹出ノズルがその軸線と接合面を有する部材の端において交差する方向にシールドガスを吹出すように構成されることが望ましい。   The “blowing nozzle” described in this section is shielded from either side of the direction in which the axis of the member having the joint surface extends toward the member so that the entire joint surface can be covered with the shielding gas. Any device that blows out gas may be used. That is, for example, the shield gas may be blown out toward the end of the member having the joint surface so that the entire joint surface can be covered with the shield gas. It may be arranged so as to face the end. Further, the “blowing nozzle” may be disposed on the axis of the member having the joint surface, or may be disposed at a position shifted from the axis. When arranged on the axis, the blowing nozzle is preferably configured to blow the shielding gas in a direction parallel to the axis, and when arranged at a position shifted from the axis, the blowing nozzle It is desirable that the nozzle be configured to blow the shielding gas in a direction intersecting at the end of the member having the axis and the joining surface.

（２）前記吹出ノズルが、前記軸線と平行な方向にシールドガスを吹き出すように構成された(1)項に記載のレーザクリーニング方法。   (2) The laser cleaning method according to (1), wherein the blowing nozzle is configured to blow shield gas in a direction parallel to the axis.

（３）前記吹出ノズルが、前記軸線上に配設された(1)項または(2)項に記載のレーザクリーニング方法。   (3) The laser cleaning method according to (1) or (2), wherein the blowing nozzle is disposed on the axis.

（４）前記接合面が外周面である場合には外径、内周面である場合には内径が、
前記吹出ノズルの開口の内径以下とされた(1)項ないし(3)項のいずれか１つに記載のレーザクリーニング方法。 (4) When the joint surface is an outer peripheral surface, the outer diameter, and when the joint surface is an inner peripheral surface, the inner diameter is
The laser cleaning method according to any one of items (1) to (3), wherein the diameter is equal to or less than an inner diameter of the opening of the blowing nozzle.

上記１番目に記載の態様では、吹出ノズルの中心軸線と接合面を有する部材の軸線とが平行とされており、上記２番目に記載の態様では、吹出ノズルの中心軸線と接合面を有する部材の軸線とが一致しており、上記３番目に記載の態様では、吹出ノズルの開口が、接合面を有する部材の外径若しくは内径以上とされている。これにより、上記３つの項に記載の態様において、接合面全体を好適にシールドガスによって覆うことが可能となる。   In the first aspect, the central axis of the blow nozzle is parallel to the axis of the member having the joint surface. In the second aspect, the member has the central axis of the blow nozzle and the joint surface. In the third aspect described above, the opening of the blowing nozzle is set to be equal to or larger than the outer diameter or inner diameter of the member having the joint surface. Thereby, in the aspect as described in the above-mentioned three items, the entire joint surface can be suitably covered with the shielding gas.

（５）前記接合面が、ボンデ処理されたものである(1)項ないし(4)項のいずれか１つに記載のレーザクリーニング方法。   (5) The laser cleaning method according to any one of (1) to (4), wherein the bonding surface is bonded.

ボンデ処理とは、金属素材の表面にリン酸塩被膜をコーティングする処理であり、例えば、冷間鍛造法によって部材を成形する際に施される処理である。電磁弁を構成する部材のなかには、この冷間鍛造法によって成形されているものがあり、その冷間鍛造法によって成形された部材の表面はリン酸塩被膜によってコーティングされている。リン酸塩被膜は、溶接等の処理を阻害するものであり、除去する必要があるが、洗浄液等では非常に除去し難い。しかし、リン酸塩被膜にレーザ光を照射することで、リン酸塩被膜を融解し、リン，亜鉛等として析出させることが可能であり、レーザクリーニング法はリン酸塩被膜の除去方法として好適な方法であることが知られている。したがって、本項に記載の態様では、レーザ光によって接合面をクリーニングする効果が充分に活かされる。   Bonding is a process of coating a phosphate coating on the surface of a metal material, for example, a process applied when forming a member by a cold forging method. Some members constituting the electromagnetic valve are formed by this cold forging method, and the surface of the member formed by the cold forging method is coated with a phosphate coating. The phosphate coating hinders processing such as welding and needs to be removed, but it is very difficult to remove with a cleaning solution or the like. However, by irradiating the phosphate coating with laser light, the phosphate coating can be melted and deposited as phosphorus, zinc, etc., and the laser cleaning method is a suitable method for removing the phosphate coating. It is known to be a method. Therefore, in the aspect described in this section, the effect of cleaning the bonding surface with the laser light is fully utilized.

（６）前記電磁弁が、
プランジャと、そのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、
そのハウジングが、
(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該レーザクリーニング方法が、前記コアの外周面と前記円筒部材の外周面と前記連結部材の内周面とのうちのいずれかを前記接合面としてレーザ光によってクリーニングする方法である(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載のレーザクリーニング方法。 (6) The solenoid valve
A plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof;
The housing
(a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core and the cylindrical member. And a cylindrical connecting member formed of a non-magnetic material, and connecting the core and the cylindrical member.
The laser cleaning method is a method of cleaning any one of the outer peripheral surface of the core, the outer peripheral surface of the cylindrical member, and the inner peripheral surface of the connecting member with the laser beam as the joining surface (1) to The laser cleaning method according to any one of (5).

本項に記載の態様では、電磁弁のハウジングが、円柱形状のコアと、円筒形状の円筒部材と、コアと円筒部材とに外嵌されてコアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とから構成されている。それら３つの部材から構成されているハウジングには、コアの外周面と円筒部材の外周面との各々と連結部材の内周面とがレーザ溶接によって固着されるものがある。ただし、コアの外周面，円筒部材の外周面，連結部材の内周面といった接合面に何らかの不純物が付着していると、レーザ溶接時にクラック，ブローホール等が生じ、そのレーザ溶接された箇所に穴があく虞がある。このため、接合面に付着している不純物を除去する必要があるが、接合面には、コア等の成形時に使用された加工油，潤滑油等の油分であったり、上述したリン酸塩被膜が付着しており、それら油分，リン酸塩被膜等は洗浄液等では非常に除去し難い。しかし、レーザクリーニング法であれば、加工油，潤滑油等の油分を蒸発させ、リン酸塩被膜をリン，亜鉛等として析出させることが可能である。したがって、本項に記載の態様では、レーザ光によって接合面をクリーニングする効果が充分に活かされる。   In the aspect described in this section, the solenoid valve housing includes a columnar core, a cylindrical cylindrical member, and a cylindrical coupling member that is externally fitted to the core and the cylindrical member to couple the core and the cylindrical member. It consists of and. In some housings composed of these three members, each of the outer peripheral surface of the core and the outer peripheral surface of the cylindrical member and the inner peripheral surface of the connecting member are fixed by laser welding. However, if any impurities are attached to the joint surface such as the outer peripheral surface of the core, the outer peripheral surface of the cylindrical member, or the inner peripheral surface of the connecting member, cracks, blowholes, etc. occur during laser welding, There is a risk of holes. For this reason, it is necessary to remove impurities adhering to the joint surface. However, the joint surface may be oil such as processing oil and lubricating oil used when molding the core, etc. These oils, phosphate coatings, etc. are very difficult to remove with a cleaning solution. However, with the laser cleaning method, it is possible to evaporate oil such as processing oil and lubricating oil, and deposit the phosphate coating as phosphorus, zinc or the like. Therefore, in the aspect described in this section, the effect of cleaning the bonding surface with the laser light is fully utilized.

（１１）電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の外周面若しくは内周面であって他の部材に接合される接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング装置であって、
前記接合面を有する部材を保持するとともに、その部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、
その回転装置によって保持されている部材の前記軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルからその部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置と、
レーザ光を発信するレーザ光発信器を有し、前記回転装置によって保持された部材の前記接合面にレーザ光を照射するレーザ光照射装置と
を備えたレーザクリーニング装置。 (11) A laser cleaning device that cleans with a laser beam an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one member of a plurality of members constituting the electromagnetic valve and is bonded to another member with a laser beam.
A rotating device that holds the member having the joint surface and rotates the member around its axis;
A blowing nozzle disposed on either side of the direction of extension of the axis of the member held by the rotating device, and shielded to cover the entire joining surface from the blowing nozzle toward the member; A shield gas spraying device for spraying gas;
A laser cleaning apparatus, comprising: a laser beam transmitter that transmits a laser beam; and a laser beam irradiation device that irradiates the joint surface of the member held by the rotating device with the laser beam.

本項に記載の態様は、カテゴリをレーザクリーニング装置とした請求可能発明の態様である。本項に記載のレーザクリーニング装置によれば、先に説明したように、接合面全体をシールドガスによって覆うことで、接合面の酸化等を好適に防止しつつ、接合面の付着物を全周にわたって除去することが可能となる。なお、本項に記載のレーザクリーニング装置は、レーザクリーニング方法に関する上記各態様の技術的特徴を適用させたものとすることが可能である。   The aspect described in this section is an aspect of the claimable invention in which the category is a laser cleaning apparatus. According to the laser cleaning device described in this section, as described above, the entire bonding surface is covered with the shielding gas, so that the bonding surface can be prevented from being oxidized and the adhesion on the bonding surface is prevented. Can be removed. Note that the laser cleaning apparatus described in this section can be applied with the technical features of the above-described aspects related to the laser cleaning method.

（２１）プランジャとそのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、プランジャを移動させて弁を開閉する電磁弁を製造する電磁弁製造方法であって、
前記ハウジングが、(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該電磁弁製造方法が、
前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものの外周面若しくは内周面であって他のものへ接合される接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング工程と、
前記コアと前記円筒部材との各々を前記連結部材に嵌め入れる嵌入工程と、
レーザ光発信器によって発信されるレーザ光の焦点を調整することで焦点の合わされたレーザ光によって、前記コアと前記円筒部材との各々と前記連結部材とを溶接するレーザ溶接工程とを含む電磁弁製造方法。 (21) An electromagnetic valve manufacturing method for manufacturing an electromagnetic valve that includes a plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof, and opens and closes the valve by moving the plunger.
The housing includes: (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core. And the cylindrical member is fitted from both ends, and connects the core and the cylindrical member, and includes a cylindrical connecting member formed of a nonmagnetic material,
The electromagnetic valve manufacturing method is
A laser cleaning step of cleaning, with a laser beam, an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one of the core, the cylindrical member, and the connecting member, which is bonded to the other;
A fitting step of fitting each of the core and the cylindrical member into the connecting member;
An electromagnetic valve including a laser welding process of welding each of the core, the cylindrical member, and the connecting member with a laser beam focused by adjusting a focus of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter Production method.

本項に記載された態様は、請求可能発明の前提をなす態様であり、請求可能発明の電磁弁製造方法の基本的な工程を列挙した態様である。本項に記載の態様においては、レーザ溶接される接合面が、レーザ溶接の前処理として、レーザクリーニングされており、レーザクリーニングによって接合面の付着物を全周にわたって適切に除去することで、レーザ溶接時でのクラック，ブローホール等の発生を防止することが可能となる。   The mode described in this section is a mode that forms the premise of the claimable invention, and is a mode that lists the basic steps of the electromagnetic valve manufacturing method of the claimable invention. In the embodiment described in this section, the joining surface to be laser-welded is laser-cleaned as a pretreatment for laser welding, and the laser beam is appropriately removed over the entire circumference by laser cleaning. It is possible to prevent the occurrence of cracks, blow holes, etc. during welding.

（２２）前記レーザクリーニング工程が、
前記レーザ溶接工程において用いられる前記レーザ光発信器によって発信されるレーザ光の焦点を調整することで焦点のずらされたレーザ光によって、前記接合面をクリーニングする工程である(21)項に記載の電磁弁製造方法。 (22) The laser cleaning step
Item (21) is a step of cleaning the joint surface with a laser beam shifted in focus by adjusting the focus of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter used in the laser welding step. Solenoid valve manufacturing method.

本項に記載された態様においては、レーザ溶接に用いられるレーザ発信器によって、接合面をレーザクリーニングしている。つまり、１つのレーザ発信器によって、レーザ溶接を行なうとともに、レーザクリーニングを行なっている。ただし、レーザ溶接を行なうためには、レーザ溶接される箇所の温度を溶接可能な温度まで上昇させる必要があり、非常に高い照射エネルギーのレーザ光を発信可能なレーザ発信器を用意する必要がある。一方、レーザクリーニングを行なうためには、接合面の温度を油分等の蒸発可能な温度、具体的には、３５０〜７００℃まで上昇させればよく、接合面の変質等を防止するべく、７００℃を超える温度まで上昇させることは望ましくない。   In the aspect described in this section, the joint surface is laser cleaned by a laser transmitter used for laser welding. That is, laser welding and laser cleaning are performed by one laser transmitter. However, in order to perform laser welding, it is necessary to raise the temperature of the place to be laser welded to a temperature at which welding is possible, and it is necessary to prepare a laser transmitter capable of transmitting laser light with very high irradiation energy. . On the other hand, in order to perform laser cleaning, the temperature of the bonding surface may be increased to a temperature at which oil or the like can evaporate, specifically 350 to 700 ° C. In order to prevent deterioration of the bonding surface, etc. It is not desirable to raise the temperature to over ° C.

本項に記載された態様では、レーザ溶接に用いられるレーザ発信器によって接合面をレーザクリーニングする際に、レーザ光の焦点を接合面からずらすことで、レーザ光が照射される箇所のエネルギー密度を低くしている。これにより、レーザ溶接に用いられるレーザ発信器によって接合面をレーザクリーニングすることが可能となる。したがって、本項に記載された態様によれば、１つのレーザ発信器によって、レーザ溶接およびレーザクリーニングを行なうことが可能となり、電磁弁を製造するための設備等を簡素化することが可能となる。また、本項に記載された態様では、レーザ光の焦点がずらされることで、レーザ光が照射される面積が大きくなるため、そのレーザ光によってクリーニングされる接合面の面積が大きくなる。したがって、本項に記載の態様によれば、効率良くレーザクリーニングを行なうことが可能となる。   In the aspect described in this section, when the joint surface is laser cleaned by a laser transmitter used for laser welding, the energy density of the portion irradiated with the laser light is reduced by shifting the focus of the laser light from the joint surface. It is low. Thereby, it becomes possible to laser-clean the joint surface by a laser transmitter used for laser welding. Therefore, according to the aspect described in this section, it is possible to perform laser welding and laser cleaning with one laser transmitter, and it is possible to simplify equipment and the like for manufacturing an electromagnetic valve. . Further, in the aspect described in this section, since the area irradiated with the laser light is increased by shifting the focus of the laser light, the area of the bonding surface cleaned by the laser light is increased. Therefore, according to the aspect described in this section, it is possible to efficiently perform laser cleaning.

（２３）前記レーザ溶接工程および前記レーザクリーニング工程において用いられる前記レーザ光発信器が、０．１秒以上連続してレーザ光を発信可能なものである(22)項に記載の電磁弁製造方法。   (23) The method for manufacturing an electromagnetic valve according to (22), wherein the laser beam transmitter used in the laser welding step and the laser cleaning step is capable of transmitting a laser beam continuously for 0.1 seconds or more. .

（２４）前記レーザ溶接工程および前記レーザクリーニング工程において用いられる前記レーザ光発信器が、ＣＷレーザ光を発信可能なものである(23)項に記載の電磁弁製造方法。   (24) The electromagnetic valve manufacturing method according to item (23), wherein the laser beam transmitter used in the laser welding step and the laser cleaning step is capable of transmitting CW laser beam.

（２５）前記レーザ溶接工程および前記レーザクリーニング工程において用いられる前記レーザ光発信器が、パルスレーザ光を発信可能なものである(23)項に記載の電磁弁製造方法。   (25) The electromagnetic valve manufacturing method according to item (23), wherein the laser beam transmitter used in the laser welding step and the laser cleaning step is capable of transmitting a pulsed laser beam.

上記３つの項に記載の態様では、レーザ発信器に関して具体的に限定されており、上記３つの項に記載の「レーザ発信器」によれば、レーザ溶接される箇所の温度を溶接可能な温度まで容易に上昇させることが可能である。   In the aspect described in the above three items, the laser transmitter is specifically limited. According to the “laser transmitter” described in the above three items, the temperature at the position where laser welding is performed can be performed. Can be easily raised.

（２６）前記レーザクリーニング工程が、
前記接合面を有する前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものをそれの軸線回りに回転させた状態で、その１つのものの前記軸線の延びる方向に配設された吹出ノズルからその１つのものに向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、前記接合面にレーザ光を照射して、前記接合面を全周にわたってクリーニングする工程である(21)項ないし(25)項のいずれか１つに記載の電磁弁製造方法。 (26) The laser cleaning step
A blowout nozzle disposed in a direction in which the axis of one of the core, the cylindrical member, and the connecting member having the joint surface is rotated around the axis thereof. The step (21) is a step of irradiating the bonding surface with laser light while spraying a shielding gas so as to cover the entire bonding surface from one to the other, and cleaning the bonding surface over the entire circumference. Thru | or the solenoid valve manufacturing method as described in any one of (25) terms.

（２７）前記吹出ノズルが、前記軸線と平行な方向にシールドガスを吹き出すように構成された(26)項に記載の電磁弁製造方法。   (27) The electromagnetic valve manufacturing method according to (26), wherein the blowing nozzle is configured to blow shield gas in a direction parallel to the axis.

（２８）前記吹出ノズルが、前記軸線上に配設された(26)項または(27)項に記載の電磁弁製造方法。   (28) The electromagnetic valve manufacturing method according to (26) or (27), wherein the blowing nozzle is disposed on the axis.

（２９）前記接合面が外周面である場合には外径、内周面である場合には内径が、
前記吹出ノズルの開口の内径以下とされた(26)項ないし(28)項のいずれか１つに記載の電磁弁製造方法。 (29) When the joint surface is an outer peripheral surface, the outer diameter, and when the joint surface is an inner peripheral surface, the inner diameter is
The electromagnetic valve manufacturing method according to any one of (26) to (28), wherein the inner diameter of the opening of the blowout nozzle is equal to or smaller than the inner diameter.

（３０）前記接合面が、ボンデ処理されたものである(21)項ないし(29)項のいずれか１つに記載の電磁弁製造方法。   (30) The method for manufacturing an electromagnetic valve according to any one of (21) to (29), wherein the joint surface is bonded.

上記５つの項に記載の態様は、電磁弁製造方法に関する上記各態様にレーザクリーニング方法に関する上記各態様の技術的特徴を適用させたものである。上記５つの項の態様についての詳しい説明は、前述のレーザクリーニング方法における説明と重複するため、ここでは省略する。   The aspects described in the above five items are obtained by applying the technical characteristics of the above aspects relating to the laser cleaning method to the above aspects relating to the electromagnetic valve manufacturing method. The detailed description of the above-mentioned five items is the same as the description of the laser cleaning method described above, and is omitted here.

（４１）プランジャとそのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、プランジャを移動させて弁を開閉する電磁弁を製造する電磁弁製造装置であって、
前記ハウジングが、(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該電磁弁製造装置が、
前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものである被保持部材を保持するとともに、その被保持部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、
その回転装置を第１の位置から第２の位置まで移動させる移動装置と、
(a)レーザ光を発信するレーザ光発信器と、(b)そのレーザ光発信器によって発信されたレーザ光の光路を、そのレーザ光が前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かう光路と前記第２の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かう光路とで切換える光路切換器と、(c)前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かうレーザ光が通過する第１レンズと、(d)前記第２の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かうレーザ光が通過する第２レンズとを有し、前記第１レンズを通過するレーザ光と前記第２レンズを通過するレーザ光とを選択的に照射可能なレーザ光照射装置とを備えた電磁弁製造装置。 (41) An electromagnetic valve manufacturing apparatus that includes a plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof, and manufactures an electromagnetic valve that opens and closes the valve by moving the plunger.
The housing includes: (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core. And the cylindrical member is fitted from both ends, and connects the core and the cylindrical member, and includes a cylindrical connecting member formed of a nonmagnetic material,
The electromagnetic valve manufacturing device
A rotating device that holds a held member that is one of the core, the cylindrical member, and the connecting member, and rotates the held member about its axis,
A moving device that moves the rotating device from a first position to a second position;
(a) a laser beam transmitter for transmitting laser beam; and (b) an optical path of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter is held by the rotating device at the first position. An optical path switch that switches between the optical path toward the held member and the optical path toward the held member held by the rotating device at the second position; and (c) the rotating device at the first position by the rotating device. A first lens through which the laser beam directed to the held member that is held passes; and (d) a second lens through which the laser beam directed to the held member that is held by the rotating device at the second position passes. An electromagnetic valve manufacturing apparatus comprising: a lens; and a laser light irradiation device capable of selectively irradiating laser light passing through the first lens and laser light passing through the second lens.

本項に記載の態様は、カテゴリを電磁弁製造装置とした請求可能発明の態様である。本項に記載の電磁弁製造装置では、例えば、第１の位置において、被保持部材の接合面をレーザクリーニングし、次に、被保持部材にコアと円筒部材と連結部材とのうちの被保持部材を除く他のものを嵌合した後に、第２の位置において、それら被保持部材と他のものとをレーザ溶接することが可能である。したがって、本項に記載の電磁弁製造装置によれば、電磁弁のハウジングをインライン方式によって製造することが可能となり、レーザクリーニングによって油分，リン酸塩被膜等が除去されたされた部材が長時間放置されることがなくなり、放置による酸化，錆等を防止することが可能となる。   The aspect described in this section is an aspect of the claimable invention in which the category is an electromagnetic valve manufacturing apparatus. In the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in this section, for example, in the first position, the joint surface of the held member is laser-cleaned, and then the held member is held among the core, the cylindrical member, and the connecting member. After the other members except the members are fitted, the held member and the other members can be laser-welded in the second position. Therefore, according to the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in this section, the electromagnetic valve housing can be manufactured by an in-line method, and the member from which oil, phosphate coating, and the like have been removed by laser cleaning can be used for a long time. It is not left unattended and it is possible to prevent oxidation, rust, etc. due to leaving unattended.

また、本項に記載の電磁弁製造装置が、さらに、(e)コアと円筒部材と連結部材とのうちの被保持部材を除く他のものを保持するとともに、その他のものを回転装置によって保持されている被保持部材に嵌合する嵌合装置を備え、移動装置が、回転装置を、上記第１の位置から、前記被保持部材に前記他のものを前記嵌合装置によって嵌合可能な位置を経由して、上記第２の位置まで移動させるように構成されてもよい。このような構成によって、電磁弁のハウジングをオートメーションで製造することが可能となる。   Further, the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in this section further holds (e) the core, the cylindrical member, and the connecting member other than the held member, and holds the other by the rotating device. A fitting device that fits the held member, and the moving device can fit the rotating device from the first position to the held member by the fitting device. It may be configured to move to the second position via the position. With this configuration, the solenoid valve housing can be manufactured by automation.

（４２）当該電磁弁製造装置が、
前記第１レンズを通過するレーザ光の焦点が、前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材の外周面若しくは内周面であって前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの前記被保持部材を除く他のものへ接合される接合面からずれ、前記被保持部材に前記他のものが嵌合された後に、前記第２レンズを通過するレーザ光の焦点が、前記第２の位置において前記被保持部材と前記他のものとが嵌合された箇所に合うように設定された(42)項に記載の電磁弁製造装置。 (42) The electromagnetic valve manufacturing apparatus is
The focal point of the laser beam passing through the first lens is the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the held member held by the rotating device at the first position, and the core, the cylindrical member, and the connection The focal point of the laser beam passing through the second lens after being displaced from the joint surface to be joined to the member other than the held member of the member and after the other member is fitted to the held member However, the electromagnetic valve manufacturing apparatus according to (42), wherein the electromagnetic valve manufacturing apparatus is set so as to match a position where the held member and the other member are fitted in the second position.

（４３）当該電磁弁製造装置が、
前記第１の位置において、前記被保持部材を回転させた状態で、焦点のずらさせた前記第１レンズを通過するレーザ光によって、前記接合面をクリーニングし、前記第２の位置において、前記被保持部材を回転させた状態で、焦点の合わされた前記第２レンズを通過するレーザ光によって、前記被保持部材と前記他のものとを溶接するように構成された(42)項に記載の電磁式リニア弁。 (43) The electromagnetic valve manufacturing apparatus is
In the first position, with the held member rotated, the joint surface is cleaned with laser light passing through the first lens whose focus has been shifted, and in the second position, The electromagnetic wave according to (42), wherein the held member and the other member are welded by laser light passing through the focused second lens while the holding member is rotated. Type linear valve.

上記２つの項に記載の態様は、電磁弁製造装置に関する上記態様にレーザクリーニング工程およびレーザ溶接工程に関する上記態様の技術的特徴を適用させたものである。上記２つの項に記載の電磁弁製造装置によれば、先に説明したように、１つのレーザ発信器によって、レーザ溶接およびレーザクリーニングを行なうことが可能となり、電磁弁を製造するための設備等を簡素化することが可能となる。また、上記２つの項に記載の電磁弁製造装置は、例えば、第１、第２レンズと被保持部材との間の距離を変化させることで、レーザ光の焦点が調整されるように構成されていてもよく、そのように構成される場合、第１、第２レンズが被保持部材に接近離間可能に構成されてもよく、被保持部材が第１、第２レンズに接近離間可能に構成されてもよい。なお、上記２つの項に記載の電磁弁製造装置は、電磁弁製造方法でのレーザ光発信器に関する上記各態様の技術的特徴を適用させたものとすることが可能である。   The aspects described in the above two items are obtained by applying the technical features of the above aspects related to the laser cleaning process and the laser welding process to the above aspects related to the electromagnetic valve manufacturing apparatus. According to the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in the above two items, as described above, laser welding and laser cleaning can be performed by one laser transmitter, and facilities for manufacturing an electromagnetic valve, etc. Can be simplified. In addition, the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in the above two sections is configured such that the focal point of the laser light is adjusted by changing the distance between the first and second lenses and the held member, for example. In such a case, the first and second lenses may be configured to be close to and away from the held member, and the held member is configured to be close to and away from the first and second lenses. May be. In addition, the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in the above two items can be applied with the technical features of each of the above aspects related to the laser beam transmitter in the electromagnetic valve manufacturing method.

（４４）当該電磁弁製造装置が、
前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルから前記被保持部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置を備えた(41)項ないし(43)項のいずれか１つに記載の電磁弁製造装置。 (44) The electromagnetic valve manufacturing apparatus is
A blow nozzle arranged on either side of the direction of the axis of the held member held by the rotating device at the first position, and from the blow nozzle to the held member The electromagnetic valve manufacturing apparatus according to any one of (41) to (43), further including a shield gas spraying device that sprays a shield gas so as to cover the entire joint surface.

本項に記載の態様は、電磁弁製造装置に関する上記各態様にレーザクリーニング装置に関する上記態様の技術的特徴を適用させたものである。本項に記載の電磁弁製造装置によれば、先に説明したように、接合面全体をシールドガスによって覆うことで、接合面の酸化等を好適に防止しつつ、接合面の付着物を全周にわたって除去することが可能となる。なお、本項に記載の電磁弁製造装置は、電磁弁製造方法での吹出ノズルに関する上記各態様の技術的特徴を適用させたものとすることが可能である。   In the aspect described in this section, the technical features of the above aspect relating to the laser cleaning apparatus are applied to the above aspects relating to the electromagnetic valve manufacturing apparatus. According to the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in this section, as described above, the entire joint surface is covered with the shielding gas, so that all the deposits on the joint surface can be prevented while suitably preventing the joint surface from being oxidized. It becomes possible to remove over the circumference. In addition, the electromagnetic valve manufacturing apparatus described in this section can be applied with the technical features of the above-described aspects related to the blowing nozzle in the electromagnetic valve manufacturing method.

（５１）(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材と、(d)前記円筒部材の内部を前記コアの側に位置する第１液室と前記コアとは反対側に位置する第２液室とに区画し、それら第１液室と第２液室とを連通するように自身を貫通する貫通穴が形成された区画部材と、(e)前記第１液室と連通する流出ポートと、(f)前記第２液室と連通する流入ポートとを有するハウジングと、
一端部が前記コアと、他端部が前記貫通穴の開口と対向する状態で軸線方向に移動可能に前記第１液室内に配設され、その他端部において前記開口に着座可能なプランジャと、
そのプランジャの他端部が前記貫通穴の前記開口に接近する方向と前記開口から離間する方向との一方に前記プランジャを付勢する弾性体と、
前記ハウジングの周りに設けられ、前記弾性体が前記プランジャを付勢する方向とは反対の方向に前記プランジャを移動させるための磁界を形成するコイルと
を備えた電磁弁であって、
前記連結部材に嵌め入れられる前記コアと前記円筒部材との一方と前記連結部材とが、レーザ溶接によって固着され、
そのコアと円筒部材との一方が、
外周面の前記連結部材に嵌め入れられる領域の全周にわたって形成され、外周面の前記連結部材の内周面にレーザ溶接される箇所の前記連結部材に嵌め入れられる側の端部とは反対側に位置する環状溝を有する電磁弁。 (51) (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material; and (c) the core and the cylindrical member are fitted from both ends. A cylindrical connecting member formed of a non-magnetic material, and (d) a first liquid chamber positioned on the core side and the inside of the cylindrical member; A partition member partitioned into a second liquid chamber located on the opposite side of the core and having a through hole penetrating the first liquid chamber and the second liquid chamber so as to communicate with each other; and (e) A housing having an outflow port in communication with the first liquid chamber; and (f) an inflow port in communication with the second liquid chamber;
A plunger, one end of which is disposed in the first liquid chamber so as to be movable in the axial direction with the other end facing the opening of the through hole, and a plunger which can be seated on the opening at the other end;
An elastic body that biases the plunger in one of a direction in which the other end of the plunger approaches the opening of the through hole and a direction in which the other end of the plunger separates from the opening;
A solenoid valve provided around the housing and configured to form a magnetic field for moving the plunger in a direction opposite to a direction in which the elastic body biases the plunger,
One of the core and the cylindrical member that is fitted into the connecting member and the connecting member are fixed by laser welding,
One of the core and cylindrical member
It is formed over the entire circumference of the region fitted into the connecting member on the outer peripheral surface, and is opposite to the end of the outer peripheral surface that is laser welded to the inner peripheral surface of the connecting member. Solenoid valve having an annular groove located on the surface.

本項に記載の電磁弁では、円柱形状のコアと、円筒形状の円筒部材と、コアと円筒部材とに外嵌されてコアと円筒部材とを連結する円筒形状の連結部材とからハウジングが構成されており、コアの外周面と円筒部材の外周面との一方と連結部材の内周面とがレーザ溶接によって固着されている。レーザ溶接されるコアの外周面，円筒部材の外周面，連結部材の内周面といった接合面に、上述したように、油分，リン酸塩被膜等が付着していると、レーザ溶接時にクラック，ブローホール等が生じるため、レーザ溶接の前処理として、接合面をクリーニングしておく必要があり、その接合面のクリーニング方法として、レーザ光によってクリーニングする方法が好適な方法として知られている。接合面をレーザ光によってクリーニングすることで、油分等は蒸発するため、接合面から油分等を除去することが可能であるが、リン酸塩被膜は蒸発せずに融解するため、処理されている金属、具体的には、リン，亜鉛等が接合面に析出する。このような金属の析出物は、当然、接合面から除去する必要があるが、接合面から除去された金属の析出物がハウジングの内部に入り込んでいくと、電磁弁の信頼性が低下する虞がある。   In the solenoid valve described in this section, a housing is configured by a columnar core, a cylindrical cylindrical member, and a cylindrical coupling member that is externally fitted to the core and the cylindrical member to connect the core and the cylindrical member. One of the outer peripheral surface of the core and the outer peripheral surface of the cylindrical member and the inner peripheral surface of the connecting member are fixed to each other by laser welding. As described above, if oil, phosphate coating, etc. are attached to the joint surfaces such as the outer peripheral surface of the core to be laser welded, the outer peripheral surface of the cylindrical member, and the inner peripheral surface of the connecting member, Since blowholes and the like are generated, it is necessary to clean the joint surface as a pretreatment for laser welding, and a method of cleaning with a laser beam is known as a suitable method for cleaning the joint surface. By cleaning the bonding surface with laser light, the oil component etc. evaporates, so it is possible to remove the oil component etc. from the bonding surface, but the phosphate coating melts without evaporating and is treated. Metals, specifically phosphorus, zinc, etc. are deposited on the joint surface. Naturally, such metal deposits need to be removed from the joint surfaces. However, if the metal deposits removed from the joint surfaces enter the housing, the reliability of the solenoid valve may be reduced. There is.

以上のことに鑑みて、本項に記載の電磁弁では、コアと円筒部材との一方の外周面に、連結部材の内周面にレーザ溶接される箇所の連結部材に嵌め入れられる側の端部とは反対側に位置するように、連結部材の内周面と接合する部分の全周にわたって環状溝を形成している。これにより、レーザクリーニングによって接合面に析出した金属は、その接合面を有するコア等が連結部材に嵌め入れられる際に連結部材の端によって削り取られ、その削り取られた金属は、環状溝内に封じ込められる。したがって、本項に記載の電磁弁によれば、接合面に析出した金属を散乱させることなく除去することが可能となり、電磁弁の信頼性を担保することが可能となる。   In view of the above, in the solenoid valve described in this section, the end on the side to be fitted into the connecting member at the place where laser welding is performed on the inner peripheral surface of the connecting member on one outer peripheral surface of the core and the cylindrical member An annular groove is formed over the entire circumference of the portion joined to the inner circumferential surface of the connecting member so as to be located on the side opposite to the portion. As a result, the metal deposited on the joining surface by laser cleaning is scraped off by the end of the connecting member when the core having the joining surface is fitted into the connecting member, and the scraped metal is enclosed in the annular groove. It is done. Therefore, according to the electromagnetic valve described in this section, it is possible to remove the metal deposited on the joint surface without scattering, and it is possible to ensure the reliability of the electromagnetic valve.

請求可能発明の実施例である電磁式リニア弁を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the electromagnetic linear valve which is an Example of claimable invention. 請求可能発明の実施例であるレーザクリーニング装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the laser cleaning apparatus which is an Example of claimable invention. 従来のレーザクリーニング装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional laser cleaning apparatus. 請求可能発明の実施例である電磁弁製造方法における嵌入工程を計時的に示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows timely the insertion process in the solenoid valve manufacturing method which is an Example of claimable invention. 請求可能発明の実施例である電磁弁製造装置を示す概略的に示す図である。It is a figure showing roughly an electromagnetic valve manufacturing device which is an example of a claimable invention. レーザ光が照射された基材の表面温度とその基材表面の位置との関係を、焦点の合わされたレーザ光と焦点のずらされたレーザ光とを比較して示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the surface temperature of the base material with which the laser beam was irradiated, and the position of the base material surface by comparing the focused laser beam and the shifted laser beam.

以下、請求可能発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、本請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。   Hereinafter, embodiments of the claimable invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition to the embodiments described below, the present invention can be claimed in various aspects including various modifications and improvements based on the knowledge of those skilled in the art, including the aspects described in the above [Aspect of the Invention] section. Can be implemented.

＜電磁式リニア弁の構成＞
図１に、本発明の実施例の電磁式リニア弁１０を示す。本電磁式リニア弁１０は、高圧側の作動液路１２および低圧側の作動液路１４に接続されており、通常、弁体が弁座を塞ぐことで、高圧側の作動液路１２から低圧側の作動液路１４への作動液の流れを禁止している。一方、弁体と弁座との間に隙間が生じることで、高圧側の作動液路１２から低圧側の作動液路１４への作動液の流れを許容し、作動液の流れを許容する際の高圧側の作動液路１２内の作動液の液圧と低圧側の作動液路１４内の作動液の液圧との差圧を制御可能に変更することが可能とされている。 <Configuration of electromagnetic linear valve>
FIG. 1 shows an electromagnetic linear valve 10 according to an embodiment of the present invention. The electromagnetic linear valve 10 is connected to a high-pressure side hydraulic fluid path 12 and a low-pressure side hydraulic fluid path 14. Normally, the valve body closes the valve seat, so that the low-pressure side hydraulic fluid path 12 has a low pressure. The flow of hydraulic fluid to the hydraulic fluid passage 14 on the side is prohibited. On the other hand, when a gap is generated between the valve body and the valve seat, the flow of hydraulic fluid from the hydraulic fluid passage 12 on the high pressure side to the hydraulic fluid passage 14 on the low pressure side is allowed and the flow of hydraulic fluid is allowed. The differential pressure between the hydraulic fluid pressure in the high-pressure side hydraulic fluid passage 12 and the hydraulic fluid pressure in the low-pressure hydraulic fluid passage 14 can be changed in a controllable manner.

電磁式リニア弁１０は、図１に示すように、中空形状のハウジング２０と、そのハウジング２０内に自身の軸線方向に移動可能に設けられたプランジャ２２と、ハウジング２０の外周に設けられた円筒状のコイル２４とを備えている。ハウジング２０は、上端部に設けられた円柱状のコア２６と、壁面を構成する概して円筒状の円筒部材２８と、その円筒部材２８の下端部に嵌入された有蓋円筒状の弁部材３０とを有している。コア２６は、強磁性材料により形成されており、上部に位置する第１外径部３２と、下部に位置するとともに、第１外径部３２の外径より僅かに小さな外径の第２外径部３４とに区分けすることができ、段付の円柱形状とされている。円筒部材２８も、強磁性材料により形成されており、上端部に位置する上端部３６の外径は、コア２６の第２外径部３４の外径と同じとされている。その円筒部材２８の上端部３６とコア２６の第２外径部３４とが、非磁性材料により形成された円筒状のスリーブ３８の両端から、離間した状態で嵌め入れられている。つまり、強磁性のコア２６と円筒部材２８とが、非磁性の連結部材としてのスリーブ３８を介して、離間した状態で連結されている。   As shown in FIG. 1, the electromagnetic linear valve 10 includes a hollow housing 20, a plunger 22 provided in the housing 20 so as to be movable in the axial direction thereof, and a cylinder provided on the outer periphery of the housing 20. The coil 24 is provided. The housing 20 includes a columnar core 26 provided at the upper end portion, a generally cylindrical cylindrical member 28 constituting a wall surface, and a covered cylindrical valve member 30 fitted into the lower end portion of the cylindrical member 28. Have. The core 26 is made of a ferromagnetic material, and has a first outer diameter portion 32 located at the upper portion and a second outer diameter located at the lower portion and having an outer diameter slightly smaller than the outer diameter of the first outer diameter portion 32. It can be divided into a diameter portion 34 and has a stepped cylindrical shape. The cylindrical member 28 is also made of a ferromagnetic material, and the outer diameter of the upper end portion 36 located at the upper end portion is the same as the outer diameter of the second outer diameter portion 34 of the core 26. The upper end portion 36 of the cylindrical member 28 and the second outer diameter portion 34 of the core 26 are fitted in a state of being separated from both ends of a cylindrical sleeve 38 formed of a nonmagnetic material. That is, the ferromagnetic core 26 and the cylindrical member 28 are connected in a separated state via the sleeve 38 as a nonmagnetic connecting member.

そのコア２６の第２内径部３４のスリーブ３８に接合している面である接合面、つまり、外周面の上端部には、全周にわたって環状溝５０が形成されている。また、円筒部材２８の上端部３６のスリーブ３８に接合している面である接合面、つまり、外周面の下端部にも、全周にわたって環状溝５２が形成されている。それらコア２６の第２外径部３４と円筒部材２８の上端部３６との外周面の各々は、スリーブ３８の内周面とレーザ溶接によって固着されている。詳しいことは後述するが、コア２６の第２外径部３４の外周面とスリーブ３８の内周面とは、環状溝５０とコア２６の下端との間の箇所５４においてレーザ溶接されており、円筒部材２８の上端部３６の外周面とスリーブ３８の内周面とは、環状溝５２と円筒部材２８の上端との間の箇所５６においてレーザ溶接されている。   An annular groove 50 is formed over the entire circumference of the joint surface, that is, the upper end portion of the outer peripheral surface, which is the surface of the core 26 that is joined to the sleeve 38 of the second inner diameter portion 34. An annular groove 52 is also formed over the entire circumference on the joining surface, ie, the lower end portion of the outer peripheral surface, which is the surface joining the sleeve 38 of the upper end portion 36 of the cylindrical member 28. Each of the outer peripheral surfaces of the second outer diameter portion 34 of the core 26 and the upper end portion 36 of the cylindrical member 28 is fixed to the inner peripheral surface of the sleeve 38 by laser welding. As will be described in detail later, the outer peripheral surface of the second outer diameter portion 34 of the core 26 and the inner peripheral surface of the sleeve 38 are laser welded at a location 54 between the annular groove 50 and the lower end of the core 26. The outer peripheral surface of the upper end portion 36 of the cylindrical member 28 and the inner peripheral surface of the sleeve 38 are laser-welded at a location 56 between the annular groove 52 and the upper end of the cylindrical member 28.

円筒部材２８の内径は均一とされており、その円筒部材２８の下端部に区画部材としての弁部材３０が固定的に嵌入されている。その弁部材３０によってハウジング２０の内部は、コア２６の側に位置する第１液室５８とコア２６とは反対側に位置する第２液室６０との２つの液室に区画されている。第２液室６０はハウジング２０の下端面に開口しており、その開口が流入ポートとして機能することで、高圧側の作動液路１２が第２液室６０に接続されている。また、弁部材３０には軸線方向に貫通する貫通穴６２が形成されている。その貫通穴６２の上方の開口６４はテーパ状に形成され、その開口６４が弁座として機能している。   The inner diameter of the cylindrical member 28 is uniform, and a valve member 30 as a partition member is fixedly inserted into the lower end portion of the cylindrical member 28. The interior of the housing 20 is partitioned by the valve member 30 into two liquid chambers, a first liquid chamber 58 located on the core 26 side and a second liquid chamber 60 located on the opposite side of the core 26. The second liquid chamber 60 is opened at the lower end surface of the housing 20, and the opening functions as an inflow port so that the high-pressure side hydraulic fluid path 12 is connected to the second liquid chamber 60. The valve member 30 is formed with a through hole 62 penetrating in the axial direction. An opening 64 above the through hole 62 is formed in a tapered shape, and the opening 64 functions as a valve seat.

プランジャ２２は、円筒部材２８とスリーブ３８とコア２６と弁部材３０とによって区画された第１液室５８内において、軸線方向に移動可能とされている。プランジャ２２は、強磁性材料により形成された円柱状のプランジャ本体７０を含んで構成されており、そのプランジャ本体７０は、それの上端面とコア２６の下端面とが対向するように、円筒部材２８の内部に挿入されている。プランジャ本体７０の外径は、円筒部材２８の内径より僅かに小さくされており、プランジャ２２はハウジング２０内を軸線方向に円滑に移動できるようになっている。なお、プランジャ本体７０の下端面には、有底穴７２が形成されており、その有底穴７２に、ロッド部材７４が固定的に嵌合されている。   The plunger 22 is movable in the axial direction in the first liquid chamber 58 defined by the cylindrical member 28, the sleeve 38, the core 26, and the valve member 30. The plunger 22 includes a columnar plunger main body 70 formed of a ferromagnetic material, and the plunger main body 70 is a cylindrical member such that the upper end surface thereof faces the lower end surface of the core 26. 28 is inserted. The outer diameter of the plunger main body 70 is slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical member 28, and the plunger 22 can move smoothly in the axial direction in the housing 20. A bottomed hole 72 is formed in the lower end surface of the plunger main body 70, and a rod member 74 is fixedly fitted in the bottomed hole 72.

そのプランジャ２２のロッド部材７４の先端は、半球状とされており、弁部材３０に形成された貫通穴６２の開口６４と向かい合うようにされている。そのロッド部材７４の先端は、開口６４に着座するようにされており、弁体として機能するものとされている。その弁体として機能するロッド部材７４の先端が、弁座として機能する開口６４に着座することで、貫通穴６２を塞ぐことが可能とされている。なお、ロッド部材７４の周囲に位置する第１液室５８、詳しく言えば、弁部材３０と円筒部材２８とプランジャ本体７０とによって区画される弁室７６は円筒部材２８の外壁面に開口しており、その開口が流出ポートとして機能することで、低圧側の作動液路１４が弁室７６、つまり、第１液室５８に接続されている。   The tip of the rod member 74 of the plunger 22 has a hemispherical shape so as to face the opening 64 of the through hole 62 formed in the valve member 30. The distal end of the rod member 74 is seated in the opening 64 and functions as a valve body. The tip of the rod member 74 that functions as the valve body is seated in the opening 64 that functions as a valve seat, so that the through hole 62 can be closed. The first liquid chamber 58 positioned around the rod member 74, specifically, the valve chamber 76 defined by the valve member 30, the cylindrical member 28, and the plunger main body 70 opens to the outer wall surface of the cylindrical member 28. Since the opening functions as an outflow port, the low-pressure side hydraulic fluid passage 14 is connected to the valve chamber 76, that is, the first fluid chamber 58.

また、ハウジング２０のコア２６の下端面には、プランジャ２２の上端面に形成された凸部７８と対向するように凹部８０が形成されており、その凹部８０に、プランジャ２２の軸線方向への移動に伴って、プランジャ２２の凸部７８が進入するようになっている。そのプランジャ２２の凸部７８の上端面には、有底穴８２が形成されており、その有底穴８２には圧縮コイルスプリング８４が挿入されている。圧縮コイルスプリング８４の上端部はプランジャ２２の上端面から突出しており、圧縮コイルスプリング８４は、コア２６に形成された凹部８０の底面と有底穴８２の底面とによって圧縮された状態で配設されている。このため、プランジャ２２は、弾性体としての圧縮コイルスプリング８４の弾性力によってコア２６から離れる方向に付勢されている。つまり、プランジャ２２のロッド部材７４の先端が開口６４に接近する方向に付勢されている。なお、有底穴８２には、圧縮コイルスプリング８４に囲まれるようにして棒状のストッパ８６が挿入されており、そのストッパ８６によって、プランジャ２２の上方への移動量が制限されている。   Further, a recess 80 is formed on the lower end surface of the core 26 of the housing 20 so as to face the projection 78 formed on the upper end surface of the plunger 22, and the recess 80 has an axial direction of the plunger 22. Along with the movement, the convex portion 78 of the plunger 22 enters. A bottomed hole 82 is formed in the upper end surface of the convex portion 78 of the plunger 22, and a compression coil spring 84 is inserted into the bottomed hole 82. The upper end portion of the compression coil spring 84 protrudes from the upper end surface of the plunger 22, and the compression coil spring 84 is disposed in a compressed state by the bottom surface of the recess 80 formed in the core 26 and the bottom surface of the bottomed hole 82. Has been. For this reason, the plunger 22 is urged in a direction away from the core 26 by the elastic force of the compression coil spring 84 as an elastic body. That is, the tip of the rod member 74 of the plunger 22 is biased in a direction approaching the opening 64. A rod-shaped stopper 86 is inserted into the bottomed hole 82 so as to be surrounded by the compression coil spring 84, and the amount of upward movement of the plunger 22 is limited by the stopper 86.

また、コイル２４は、樹脂製の保持部材８８によってハウジング２０の外周部において保持されており、その保持部材８８とともに、強磁性材料によって形成されたコイルケース９０によって覆われている。コイルケース９０は、上端部においてコア２６に固定されるとともに、下端部において円筒部材２８に固定されている。このため、コイル２４による磁界の形成に伴って、コイルケース９０，コア２６，プランジャ２２，円筒部材２８に磁路が形成されるようになっている。   The coil 24 is held at the outer peripheral portion of the housing 20 by a resin holding member 88 and is covered with a coil case 90 made of a ferromagnetic material together with the holding member 88. The coil case 90 is fixed to the core 26 at the upper end and is fixed to the cylindrical member 28 at the lower end. For this reason, a magnetic path is formed in the coil case 90, the core 26, the plunger 22, and the cylindrical member 28 as the magnetic field is formed by the coil 24.

＜電磁式リニア弁の製造＞
本電磁式リニア弁１０を構成するハウジング２０は、上述したように、レーザ溶接によってコア２６の第２外径部３４と円筒部材２８の上端部３６との各々がスリーブ３８に固着されることで製造される。ただし、スリーブ３８の内周面に接合されるコア２６の第２外径部３４の外周面と円筒部材２８の上端部３６の外周面、さらには、そのスリーブの内周面に不純物が付着していると、レーザ溶接時にクラック，ブローホール等が生じ、そのレーザ溶接された箇所に穴があく虞がある。このため、レーザ溶接されるコア２６の第２外径部３４の外周面，円筒部材２８の上端部３６の外周面、スリーブの内周面といった接合面に付着している不純物を除去する必要がある。コア２６，円筒部材２８，スリーブ３８の接合面には、それらの成形時に使用された加工油、潤滑油等の油分が付着しており、それらの油分を洗浄液等で確実に除去することは困難となっている。特に、コア２６および円筒部材２８は、冷間鍛造法によって成形されており、成形時に、金属素材の表面にリン酸亜鉛被膜をコーティングする処理、所謂、ボンデ処理が施されてため、この被膜を洗浄液等で除去することは非常に困難となっている。 <Manufacture of electromagnetic linear valve>
As described above, the housing 20 constituting the electromagnetic linear valve 10 has the second outer diameter portion 34 of the core 26 and the upper end portion 36 of the cylindrical member 28 fixed to the sleeve 38 by laser welding. Manufactured. However, impurities adhere to the outer peripheral surface of the second outer diameter portion 34 of the core 26 joined to the inner peripheral surface of the sleeve 38, the outer peripheral surface of the upper end portion 36 of the cylindrical member 28, and the inner peripheral surface of the sleeve. If this is the case, cracks, blowholes, etc. may occur during laser welding, and there may be a hole in the laser welded portion. Therefore, it is necessary to remove impurities adhering to the joining surfaces such as the outer peripheral surface of the second outer diameter portion 34 of the core 26 to be laser welded, the outer peripheral surface of the upper end portion 36 of the cylindrical member 28, and the inner peripheral surface of the sleeve. is there. Oils such as processing oil and lubricating oil used at the time of molding are attached to the joint surfaces of the core 26, the cylindrical member 28, and the sleeve 38, and it is difficult to reliably remove these oils with a cleaning liquid or the like. It has become. In particular, the core 26 and the cylindrical member 28 are formed by a cold forging method, and during the forming, the surface of the metal material is coated with a zinc phosphate coating, that is, a so-called bond treatment. It is very difficult to remove with a cleaning solution or the like.

そこで、本電磁式リニア弁１０を製造する際には、レーザ溶接の前処理として、レーザ溶接される上記接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング法を採用している。レーザクリーニング法とは、照射されるレーザ光のエネルギーを、基材の極めて薄い表層面の融解および蒸発に費やすことで、基材の表面に付着した不純物を除去する方法であり、不純物を好適に除去することが可能とされている。詳しく言えば、レーザ光の照射によって、基材の表面の温度は３５０〜７００℃となる。上述した加工油、潤滑油等の油分は約１５０〜３００℃で蒸発するため、油分は完全に除去される。また、リン酸亜鉛は蒸発しないが、融解し、リン，亜鉛等が基材表面に析出するため、容易に除去することが可能となる。   Therefore, when the electromagnetic linear valve 10 is manufactured, a laser cleaning method is employed as a pretreatment for laser welding, in which the joint surface to be laser welded is cleaned with laser light. The laser cleaning method is a method for removing impurities adhering to the surface of the substrate by spending the energy of the irradiated laser light on melting and evaporation of the extremely thin surface layer of the substrate, and the impurities are suitably used. It is possible to remove. More specifically, the temperature of the surface of the substrate becomes 350 to 700 ° C. by laser light irradiation. Since the oils such as the processing oil and lubricating oil described above evaporate at about 150 to 300 ° C., the oils are completely removed. Further, although zinc phosphate does not evaporate, it melts and phosphorus, zinc and the like are deposited on the surface of the base material, so that it can be easily removed.

本電磁式リニア弁１０において、クリーニングされる接合面は、円筒形状、若しくは円柱形状の部材の外周面若しくは内周面であることから、そのレーザクリーニングされる部材を保持機構等で保持し、その保持された部材、つまり、被保持部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その被保持部材の外周面若しくは内周面にレーザ光を照射することで、その外周面若しくは内周面を全周にわたってクリーニングするのである。   In the electromagnetic linear valve 10, the joint surface to be cleaned is an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of a cylindrical or columnar member. Therefore, the laser cleaned member is held by a holding mechanism or the like. By irradiating a laser beam to the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the held member in a state where the held member, that is, the held member is rotated about its axis, the outer peripheral surface or inner peripheral surface is The entire circumference is cleaned.

具体的には、図２に示すように、レーザクリーニングされる部材（図では円筒部材２８）を３本の保持爪１００を有する回転装置１０２によって保持する。この回転装置１０２は、円筒部材２８等の被保持部材を、３本の保持爪１００によって鉛直方向に立設させた状態で保持することが可能となっており、それら３本の保持爪１００が固定された円柱形状の回転台１０４がそれの軸線回りに回転可能となっている。このような構造によって、被保持部材２８等がそれの軸線回りに回転させられる。この回転装置１０２に保持された被保持部材２８等の側方には、レーザ光を照射可能なレーザ光照射装置１０６が設けられており、その被保持部材２８等の外周面にレーザ光を照射可能とされている。ちなみに、被保持部材がスリーブ３８である場合には、内周面にレーザ光を照射できるように、レーザ光照射装置１０６が、図示されている状態よりある程度角度のある状態で配置される。   Specifically, as shown in FIG. 2, the member to be laser cleaned (cylindrical member 28 in the figure) is held by a rotating device 102 having three holding claws 100. The rotating device 102 can hold a member to be held such as the cylindrical member 28 in a state where the three holding claws 100 are erected in the vertical direction by the three holding claws 100. A fixed columnar turntable 104 is rotatable about its axis. With such a structure, the held member 28 and the like are rotated around its axis. A laser beam irradiation device 106 capable of irradiating a laser beam is provided on the side of the held member 28 and the like held by the rotating device 102, and the outer peripheral surface of the held member 28 and the like is irradiated with the laser beam. It is possible. Incidentally, when the member to be held is the sleeve 38, the laser beam irradiation device 106 is arranged at a certain angle from the illustrated state so that the inner circumferential surface can be irradiated with the laser beam.

また、レーザクリーニング法は、上述したように、レーザ光を基材表面に照射し、不純物を融解，蒸発させる方法であるため、酸素の存在する状況下で基材表面にレーザ光が照射されると、基材表面に煤が付着したり、基材表面が酸化する虞がある。このため、レーザ光が照射される基材表面を酸素とは異なるガスによってシールドすることで、酸化，煤の付着等を防止するべく、シールドガスを吹付け可能なシールドガス吹付装置１０８が設けられている。シールドガス吹付装置１０８は、シールドガスが吹き出される吹出ノズル１１０を有しており、その吹出ノズル１１０は、回転装置１０２に保持された被保持部材２８等の上方に配設されるとともに、被保持部材２８等と同軸的に配設されている。これにより、吹出ノズル１１０は、上方から被保持部材２８等に向かって、その被保持部材２８等の軸線と平行な方向にシールドガスを吹出すようにされている。さらに、吹出ノズル１１０の開口は、被保持部材２８等の接合面の径方向の寸法より大きくされている。つまり、コア２６の第２外径部３４の外径，円筒部材２８の上端部３６の外径，スリーブ３８の内径は、吹出ノズル１１０の開口の内径より小さくされている。このため、吹出ノズル１１０から吹出されるシールドガスは、被保持部材２８等の接合面全体を覆うことが可能となり、接合面全体を確実にシールドすることが可能となっている。   In addition, as described above, the laser cleaning method is a method of irradiating the surface of the substrate with laser light to melt and evaporate impurities, and therefore, the surface of the substrate is irradiated with laser light in the presence of oxygen. Then, wrinkles may adhere to the surface of the base material or the surface of the base material may be oxidized. For this reason, a shield gas spraying device 108 capable of spraying a shield gas is provided in order to shield the surface of the substrate irradiated with laser light with a gas different from oxygen to prevent oxidation, adhesion of soot and the like. ing. The shield gas spraying device 108 has a blowout nozzle 110 through which a shield gas is blown out. The blowout nozzle 110 is disposed above the held member 28 and the like held by the rotating device 102 and is also covered. It is arranged coaxially with the holding member 28 and the like. Thereby, the blowing nozzle 110 blows the shielding gas in a direction parallel to the axis of the held member 28 and the like from above toward the held member 28 and the like. Furthermore, the opening of the blowing nozzle 110 is made larger than the dimension in the radial direction of the joint surface of the held member 28 or the like. That is, the outer diameter of the second outer diameter portion 34 of the core 26, the outer diameter of the upper end portion 36 of the cylindrical member 28, and the inner diameter of the sleeve 38 are made smaller than the inner diameter of the opening of the blowing nozzle 110. For this reason, the shielding gas blown out from the blowing nozzle 110 can cover the entire bonding surface of the held member 28 and the like, and can reliably shield the entire bonding surface.

上述した構造によって、回転装置１０２，レーザ光照射装置１０６，シールドガス吹付装置１０８によって構成されるレーザクリーニング装置では、被保持部材２８等をそれの軸線回りに回転させた状態で、接合面全体をシールドガスで覆いつつ、接合面にレーザ光を照射することで、接合面が全周にわたってクリーニングされるようになっている。これにより、酸化，煤等の付着を防止しつつ、接合面の油分等を除去するとともに、リン，亜鉛等を接合面表面に析出させることが可能となる。   With the structure described above, in the laser cleaning device constituted by the rotation device 102, the laser light irradiation device 106, and the shield gas spraying device 108, the entire joint surface is rotated while the held member 28 and the like are rotated about its axis. The joint surface is cleaned over the entire circumference by irradiating the joint surface with laser light while being covered with a shielding gas. Accordingly, it is possible to remove oil and the like on the joint surface while preventing adhesion of oxidation, soot and the like, and to deposit phosphorus, zinc and the like on the joint surface.

ちなみに、本レーザクリーニング装置では、吹出ノズル１１０は回転装置１０２に保持された被保持部材２８等と同軸的に配設されていたが、従来のレーザクリーニング装置の吹出ノズル１１２は、図３に示すように、概して水平方向に延びるとともに、回転装置１０２に保持された被保持部材２８等の接合面に向かって延びるように配設されていた。つまり、従来のレーザクリーニング装置では、接合面に向かってシールドガスが吹き付けられていた。このように、接合面に向かってシールドガスが吹き付けられると、接合面のシールドガスが吹き付けられている部分はシールドガスによって覆われるが、接合面のシールドガスが吹き付けられている部分以外の部分、特に、シールドガスが吹き付けられている部分とは径方向における反対側の部分は、シールドガスによって覆われず、大気に曝される虞がある。このため、従来のレーザクリーニング装置では、接合面に煤が付着したり、基材表面が酸化する虞があったが、本クリーニングレーザ装置では、接合面全体を確実にシールドすることで、酸化，煤等の付着等を好適に防止することが可能となっている。   Incidentally, in this laser cleaning apparatus, the blow nozzle 110 is arranged coaxially with the held member 28 and the like held by the rotating device 102, but the blow nozzle 112 of the conventional laser cleaning apparatus is shown in FIG. Thus, while extending in the horizontal direction in general, it is arranged so as to extend toward the joint surface of the held member 28 or the like held by the rotating device 102. That is, in the conventional laser cleaning apparatus, the shielding gas is blown toward the bonding surface. Thus, when the shielding gas is blown toward the bonding surface, the portion of the bonding surface where the shielding gas is blown is covered with the shielding gas, but the portion other than the portion where the shielding gas of the bonding surface is blown, In particular, the portion on the opposite side in the radial direction from the portion to which the shielding gas is sprayed is not covered with the shielding gas and may be exposed to the atmosphere. For this reason, in the conventional laser cleaning device, there is a risk that wrinkles may adhere to the bonding surface or the surface of the base material may be oxidized. However, in this cleaning laser device, the entire bonding surface is reliably shielded, It is possible to suitably prevent adhesion of wrinkles and the like.

上述したように、接合面全体をシールドガスで覆われた状態でレーザクリーニングされた接合面には、油分等は除去されているが、リン，亜鉛等が析出している場合がある。接合面に析出したリン，亜鉛等は、スリーブ３８にコア２６、若しくは、円筒部材２８が嵌入される際に削り取られる。具体的には、例えば、円筒部材２８の外周面がレーザ光によってクリーニングされた場合には、図４（ａ）に示すように、その外周面にリン，亜鉛等１２０が析出する。そして、嵌入工程において、スリーブ３８に円筒部材２８が嵌入されると、図４（ｂ）に示すように、円筒部材２８の外周面に析出しているリン，亜鉛等１２０の析出物が、スリーブ３８の端によって削り取られ、その外周面からリン，亜鉛等が除去される。そして、円筒部材２８が、さらに、スリーブ３８に嵌入されていくと、スリーブ３８の端によって削り取られたリン，亜鉛等１２０の析出物が、図４（ｃ）に示すように、円筒部材２８の外周面に形成された環状溝５２に封じ込められるようになっている。このことは、スリーブ３８にコア２６が嵌入される場合も同じであり、コア２６の外周面に形成された環状溝５０にリン，亜鉛等の析出物が封じ込められる。このように、電磁式リニア弁１０の製造時において、削り取られた析出物を散乱させること無く、溝内に封じ込めておくことが可能となっている。   As described above, oil and the like are removed from the joint surface that has been laser-cleaned with the entire joint surface covered with the shielding gas, but phosphorus, zinc, and the like may be deposited. Phosphorus, zinc, etc. deposited on the joint surface are scraped off when the core 26 or the cylindrical member 28 is fitted into the sleeve 38. Specifically, for example, when the outer peripheral surface of the cylindrical member 28 is cleaned by laser light, phosphorus, zinc, etc. 120 are deposited on the outer peripheral surface as shown in FIG. In the insertion step, when the cylindrical member 28 is inserted into the sleeve 38, as shown in FIG. 4B, deposits of phosphorus, zinc, etc. 120 deposited on the outer peripheral surface of the cylindrical member 28 are transferred to the sleeve. It is scraped off by the end of 38 and phosphorus, zinc, etc. are removed from the outer peripheral surface. When the cylindrical member 28 is further fitted into the sleeve 38, the deposits of phosphorus, zinc, and the like 120 scraped off by the end of the sleeve 38 are removed from the cylindrical member 28 as shown in FIG. It can be enclosed in an annular groove 52 formed on the outer peripheral surface. This also applies to the case where the core 26 is fitted into the sleeve 38, and precipitates such as phosphorus and zinc are contained in the annular groove 50 formed on the outer peripheral surface of the core 26. In this way, when the electromagnetic linear valve 10 is manufactured, it is possible to enclose the scraped deposits in the groove without scattering.

そして、スリーブ３８にコア２６、若しくは、円筒部材２８が嵌入された後に、コア２６、若しくは、スリーブ３８と円筒部材２８とがレーザ光によって溶接されることで、電磁式リニア弁１０のハウジング２０の外壁部分が製造される。このハウジング２０の外壁部分を製造するための電磁弁製造装置１３０は、図５に示すように、レーザ光を照射する上記レーザ光照射装置１０６と、円筒部材等２８等の被保持部材を保持しつつ、回転させる上記回転装置１０２と、その回転装置１０２を各製造工程に応じた位置に移動させる移動装置１３２と、シールドガス吹付装置１０８（図２参照）とを備えている。   After the core 26 or the cylindrical member 28 is fitted into the sleeve 38, the core 26 or the sleeve 38 and the cylindrical member 28 are welded by laser light, so that the housing 20 of the electromagnetic linear valve 10 can be used. The outer wall part is manufactured. As shown in FIG. 5, the electromagnetic valve manufacturing apparatus 130 for manufacturing the outer wall portion of the housing 20 holds the laser beam irradiation apparatus 106 that irradiates laser light, and a supported member such as a cylindrical member 28. The rotating device 102 is rotated, the moving device 132 is moved to a position corresponding to each manufacturing process, and the shield gas spraying device 108 (see FIG. 2) is provided.

レーザ光照射装置１０６は、レーザ光を発信するレーザ光発信器１３４と、そのレーザ光発信器１３４から発信されたレーザ光の光路を切換える光路切換器としての光路切換用ミラー１３６と、その光路切換用ミラー１３６によって反射されたレーザ光をレーザクリーニング工程を行なう位置である第１の位置に反射する第１照射用ミラー１３８と、その第１照射用ミラー１３８からのレーザ光の焦点を調整可能な第１レンズ１４０と、光路切換用ミラー１３６によって反射されたレーザ光をレーザ溶接工程を行なう位置である第２の位置に反射する第２照射用ミラー１４２と、その第２照射用ミラー１４２からのレーザ光の焦点を調整可能な第２レンズ１４４とから構成されている。また、移動装置１３２は、被保持部材２８等を保持した回転装置１０２を、レーザクリーニング工程を行なう位置から、嵌入工程を行なう位置を経由して、レーザ溶接工程を行なう位置まで移動させるようになっている。   The laser beam irradiation device 106 includes a laser beam transmitter 134 that transmits a laser beam, an optical path switching mirror 136 that functions as an optical path switcher that switches the optical path of the laser beam transmitted from the laser beam transmitter 134, and the optical path switching. The first irradiation mirror 138 that reflects the laser beam reflected by the mirror 136 to the first position where the laser cleaning process is performed, and the focus of the laser beam from the first irradiation mirror 138 can be adjusted. The first lens 140, the second irradiation mirror 142 that reflects the laser beam reflected by the optical path switching mirror 136 to the second position, which is the position where the laser welding process is performed, and the second irradiation mirror 142 The second lens 144 can adjust the focus of the laser beam. Further, the moving device 132 moves the rotating device 102 holding the held member 28 and the like from the position where the laser cleaning process is performed to the position where the laser welding process is performed via the position where the fitting process is performed. ing.

光路切換用ミラー１３６は、レーザ光発信器１３４から発信されたレーザ光を第１照射用ミラー１３８に向かって反射可能な状態（図では実線で示されている）と、レーザ光発信器１３４から発信されたレーザ光を第２照射用ミラー１４２に向かって反射可能な状態（図では２点鎖線で示されている）とで切換可能とされており、レーザクリーニング工程が行なわれる場合には、レーザ光を第１照射用ミラー１３８に向かって反射させ、レーザ溶接工程が行なわれる場合には、レーザ光を第２照射用ミラー１４２に向かって反射させるように構成されている。そして、第１照射用ミラー１３８によって反射されたレーザ光１５０（図では点線で示されている）は、第１レンズ１４０によって焦点が調整され、その調整されたレーザ光によって、被保持部材２８等の接合面がクリーニングされる。一方、第２照射用ミラー１４２によって反射されたレーザ光１５２（図では２点鎖線で示されている）は、第２レンズ１４４によって焦点が調整され、その調整されたレーザ光によって、被保持部材２８等とその被保持部材２８等に嵌合された部材とが溶接される。   The optical path switching mirror 136 is capable of reflecting the laser beam transmitted from the laser beam transmitter 134 toward the first irradiation mirror 138 (shown by a solid line in the drawing), and from the laser beam transmitter 134. When the transmitted laser beam can be reflected to the second irradiation mirror 142 (indicated by a two-dot chain line in the drawing), the laser cleaning process is performed. When the laser beam is reflected toward the first irradiation mirror 138 and the laser welding process is performed, the laser beam is reflected toward the second irradiation mirror 142. The focus of the laser beam 150 (shown by a dotted line in the figure) reflected by the first irradiation mirror 138 is adjusted by the first lens 140, and the held member 28 and the like are adjusted by the adjusted laser beam. The joint surface is cleaned. On the other hand, the laser beam 152 reflected by the second irradiation mirror 142 (shown by a two-dot chain line in the figure) is adjusted in focus by the second lens 144, and the held laser beam is adjusted by the adjusted laser beam. 28 and the member fitted to the held member 28 or the like are welded.

レーザ光発信器１３４は、連続的なレーザ光、所謂、ＣＷレーザ光（Continuous Wave Laser）を発信可能な装置である。ＣＷレーザ光は、非常に照射エネルギーが高いため、エネルギー密度を高くすることで、基材表面の温度を溶接可能な温度まで容易に加熱することが可能となっており、レーザ溶接を好適に行なうことが可能となっている。一方、基材表面をレーザクリーニングする際には、上述したように、基材表面の温度が３５０〜７００℃とされる必要がある。このため、本レーザ光照射装置１０６においては、レーザ溶接工程が行なわれる際に、第２レンズ１４４によってレーザ光の焦点を、被保持部材２８等若しくは、その被保持部材２８等に嵌合された部材の表面に合わせ、レーザクリーニング工程が行なわれる際には、第１レンズ１４０によってレーザ光の焦点を被保持部材２８等の接合面からずらすように構成されている。これにより、レーザ溶接工程が行なわれる際の表面温度は、図６での実線に示すように、照射位置の中央部Ａ付近において、７００℃を大きく超えて、レーザ溶接可能な温度まで上昇し、レーザクリーニング工程が行なわれる際の表面温度は、図６での点線に示すように、照射位置の中央部Ａを中心として比較的広い範囲において３５０〜７００℃とすることが可能となる。つまり、ＣＷレーザ光を発信するレーザ光発信器１３４によって、接合面の比較的広範囲の部分をレーザクリーニングするとともに、ピンポイントでレーザ溶接することが可能となる。   The laser beam transmitter 134 is a device capable of transmitting a continuous laser beam, that is, a so-called CW laser beam (Continuous Wave Laser). Since the CW laser beam has a very high irradiation energy, it is possible to easily heat the substrate surface to a temperature at which welding can be performed by increasing the energy density, and laser welding is suitably performed. It is possible. On the other hand, when laser cleaning the substrate surface, the temperature of the substrate surface needs to be 350 to 700 ° C. as described above. Therefore, in the laser beam irradiation device 106, when the laser welding process is performed, the focus of the laser beam is fitted to the held member 28 or the like or the held member 28 or the like by the second lens 144. When the laser cleaning process is performed in accordance with the surface of the member, the first lens 140 is configured to shift the focal point of the laser beam from the joint surface of the held member 28 or the like. Thereby, as shown by the solid line in FIG. 6, the surface temperature when the laser welding process is performed is substantially higher than 700 ° C. near the central portion A of the irradiation position, and rises to a temperature capable of laser welding As shown by the dotted line in FIG. 6, the surface temperature when the laser cleaning process is performed can be set to 350 to 700 ° C. in a relatively wide range centering on the central portion A of the irradiation position. In other words, the laser beam transmitter 134 that transmits CW laser beam enables laser cleaning of a relatively wide portion of the joint surface and laser welding at a pinpoint.

ちなみに、レーザクリーニング工程が行なわれる位置および、レーザ溶接工程が行なわれる位置には、レーザ光が照射される基材の表面温度を測定可能な温度測定センサ（図示省略）が設けられており、そのセンサによって測定された表面温度に基づいて、第１レンズ１４０および第２レンズ１４４の焦点が調整されるようになっている。また、レーザクリーニング工程が行なわれる位置とレーザ溶接工程が行なわれる位置との間には、回転装置１０２によって保持された被保持部材２８等に嵌め合わされる部材である嵌合部材を保持するとともに、被保持部材２８等に嵌合部材を嵌合する装置（図示省略）が設けられている。これにより、電磁式リニア弁１０のハウジング２０の外壁部分をインライン方式により製造することが可能となる。なお、本レーザ光発信器１３４は、ＣＷレーザ光を発信可能な装置であったが、０．１秒以上連続してパルスレーザ光を発信可能な装置であってもよい。パルス幅が０．１秒以上のパルスレーザ光であれば、焦点を合わせることで、好適にレーザ溶接を行なうことが可能であり、焦点をずらすことで、好適にレーザクリーニングを行なうことが可能となる。   Incidentally, a temperature measurement sensor (not shown) capable of measuring the surface temperature of the substrate irradiated with the laser beam is provided at a position where the laser cleaning process is performed and a position where the laser welding process is performed. The focal points of the first lens 140 and the second lens 144 are adjusted based on the surface temperature measured by the sensor. Further, between the position where the laser cleaning process is performed and the position where the laser welding process is performed, while holding a fitting member which is a member fitted to the held member 28 or the like held by the rotating device 102, A device (not shown) for fitting the fitting member to the held member 28 or the like is provided. Thereby, the outer wall portion of the housing 20 of the electromagnetic linear valve 10 can be manufactured by an in-line method. Although the laser beam transmitter 134 is a device that can transmit CW laser light, it may be a device that can transmit pulse laser light continuously for 0.1 seconds or more. If the pulse laser beam has a pulse width of 0.1 seconds or more, it is possible to perform laser welding suitably by focusing, and laser cleaning can be suitably performed by shifting the focus. Become.

１０：電磁式リニア弁（電磁弁） ２０：ハウジング ２２：プランジャ ２４：コイル ２６：コア（被保持部材） ２８：円筒部材（被保持部材） ３０：弁部材（区画部材） ３８：スリーブ（連結部材）（被保持部材） ５０：環状溝 ５２：環状溝 ５８：第１液室 ６０：第２液室 ６２：貫通穴 ６４：開口 ８４：圧縮コイルスプリング（弾性体） １０２：回転装置 １０６：レーザ光照射装置 １０８：シールドガス吹付装置 １１０：吹出ノズル １３０：電磁弁製造装置 １３２：移動装置 １３４：レーザ光発信器 １３６：光路切換用ミラー（光路切換器） １４０：第１レンズ １４４：第２レンズ   10: Electromagnetic linear valve (solenoid valve) 20: Housing 22: Plunger 24: Coil 26: Core (member to be held) 28: Cylindrical member (member to be held) 30: Valve member (partition member) 38: Sleeve (connecting member) (Holded member) 50: annular groove 52: annular groove 58: first liquid chamber 60: second liquid chamber 62: through hole 64: opening 84: compression coil spring (elastic body) 102: rotating device 106: laser light Irradiation device 108: Shield gas spraying device 110: Blowing nozzle 130: Electromagnetic valve manufacturing device 132: Moving device 134: Laser beam transmitter 136: Optical path switching mirror (optical path switching device) 140: First lens 144: Second lens

Claims (11)

電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の外周面若しくは内周面であって他の部材に接合される接合面をレーザ光によってクリーニングする方法であって、
前記接合面を有する部材をそれの軸線回りに回転させた状態で、その部材の前記軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルからその部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、前記接合面にレーザ光を照射して、前記接合面を全周にわたってクリーニングするレーザクリーニング方法。 A method of cleaning a joining surface which is an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one member of a plurality of members constituting a solenoid valve and which is joined to another member, by laser light,
In a state where the member having the joint surface is rotated about its axis, the entire joint surface is moved from the blowing nozzle disposed on either side of the member in the extending direction of the axis toward the member. A laser cleaning method in which a laser beam is applied to the bonding surface while spraying a shielding gas so as to cover the entire surface of the bonding surface. 前記接合面が外周面である場合には外径、内周面である場合には内径が、
前記吹出ノズルの開口の内径以下とされた請求項１に記載のレーザクリーニング方法。 When the joint surface is an outer peripheral surface, the outer diameter, when the joint surface is an inner peripheral surface,
The laser cleaning method according to claim 1, wherein the diameter is equal to or less than an inner diameter of the opening of the blowing nozzle. 前記電磁弁が、
プランジャと、そのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、
そのハウジングが、
(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該レーザクリーニング方法が、前記コアの外周面と前記円筒部材の外周面と前記連結部材の内周面とのうちのいずれかを前記接合面としてレーザ光によってクリーニングする方法である請求項１または請求項２に記載のレーザクリーニング方法。 The solenoid valve
A plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof;
The housing
(a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core and the cylindrical member. And a cylindrical connecting member formed of a non-magnetic material, and connecting the core and the cylindrical member.
2. The laser cleaning method according to claim 1, wherein any one of an outer peripheral surface of the core, an outer peripheral surface of the cylindrical member, and an inner peripheral surface of the connecting member is cleaned with a laser beam as the joining surface. Item 3. The laser cleaning method according to Item 2. 電磁弁を構成する複数の部材のうちの１つの部材の外周面若しくは内周面であって他の部材に接合される接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング装置であって、
前記接合面を有する部材を保持するとともに、その部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、
その回転装置によって保持されている部材の前記軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルからその部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置と、
レーザ光を発信するレーザ光発信器を有し、前記回転装置によって保持された部材の前記接合面にレーザ光を照射するレーザ光照射装置と
を備えたレーザクリーニング装置。 A laser cleaning device that cleans with a laser beam an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one member of a plurality of members constituting a solenoid valve and is bonded to another member with a laser beam,
A rotating device that holds the member having the joint surface and rotates the member around its axis;
A blowing nozzle disposed on either side of the direction of extension of the axis of the member held by the rotating device, and shielded to cover the entire joining surface from the blowing nozzle toward the member; A shield gas spraying device for spraying gas;
A laser cleaning apparatus, comprising: a laser beam transmitter that transmits a laser beam; and a laser beam irradiation device that irradiates the joint surface of the member held by the rotating device with the laser beam. プランジャとそのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、プランジャを移動させて弁を開閉する電磁弁を製造する電磁弁製造方法であって、
前記ハウジングが、(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該電磁弁製造方法が、
前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものの外周面若しくは内周面であって他のものへ接合される接合面をレーザ光によってクリーニングするレーザクリーニング工程と、
前記コアと前記円筒部材との各々を前記連結部材に嵌め入れる嵌入工程と、
レーザ光発信器によって発信されるレーザ光の焦点を調整することで焦点の合わされたレーザ光によって、前記コアと前記円筒部材との各々と前記連結部材とを溶接するレーザ溶接工程とを含み、
前記レーザクリーニング工程が、
前記接合面を有する前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものをそれの軸線回りに回転させた状態で、その１つのものの前記軸線の延びる方向に配設された吹出ノズルからその１つのものに向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けつつ、前記接合面にレーザ光を照射して、前記接合面を全周にわたってクリーニングする工程である電磁弁製造方法。 A solenoid valve manufacturing method for manufacturing a solenoid valve that includes a plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof, and moves the plunger to open and close the valve,
The housing includes: (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core. And the cylindrical member is fitted from both ends, and connects the core and the cylindrical member, and includes a cylindrical connecting member formed of a nonmagnetic material,
The electromagnetic valve manufacturing method is
A laser cleaning step of cleaning, with a laser beam, an outer peripheral surface or an inner peripheral surface of one of the core, the cylindrical member, and the connecting member, which is bonded to the other;
A fitting step of fitting each of the core and the cylindrical member into the connecting member;
A laser welding step of welding each of the core, the cylindrical member, and the connecting member with a laser beam focused by adjusting a focus of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter;
The laser cleaning step includes
A blowout nozzle disposed in a direction in which the axis of one of the core, the cylindrical member, and the connecting member having the joint surface is rotated around the axis thereof. The solenoid valve manufacturing method is a step of irradiating the joint surface with laser light while spraying a shielding gas so as to cover the entire joint surface from one to the other, and cleaning the joint surface over the entire circumference. . 前記接合面が外周面である場合には外径、内周面である場合には内径が、
前記吹出ノズルの開口の内径以下とされた請求項５に記載の電磁弁製造方法。 When the joint surface is an outer peripheral surface, the outer diameter, when the joint surface is an inner peripheral surface,
The solenoid valve manufacturing method according to claim 5, wherein the inner diameter is equal to or less than an inner diameter of the opening of the blowout nozzle. 前記レーザクリーニング工程が、
前記レーザ溶接工程において用いられる前記レーザ光発信器によって発信されるレーザ光の焦点を調整することで焦点のずらされたレーザ光によって、前記接合面をクリーニングする工程である請求項５または請求項６に記載の電磁弁製造方法。 The laser cleaning step includes
7. The step of cleaning the bonding surface with a laser beam shifted in focus by adjusting a focus of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter used in the laser welding step. A method for producing a solenoid valve according to claim 1. 前記レーザ溶接工程および前記レーザクリーニング工程において用いられる前記レーザ光発信器が、０．１秒以上連続してレーザ光を発信可能なものである請求項７に記載の電磁弁製造方法。   The electromagnetic valve manufacturing method according to claim 7, wherein the laser beam transmitter used in the laser welding step and the laser cleaning step is capable of transmitting a laser beam continuously for 0.1 second or more. プランジャとそのプランジャがそれの軸線方向に移動可能に収容されるハウジングとを備え、プランジャを移動させて弁を開閉する電磁弁を製造する電磁弁製造装置であって、
前記ハウジングが、(a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)前記プランジャが挿入されるとともに、強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材とからなり、
当該電磁弁製造装置が、
前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの１つのものである被保持部材を保持するとともに、その被保持部材をそれの軸線回りに回転させる回転装置と、
その回転装置を第１の位置から第２の位置まで移動させる移動装置と、
(a)レーザ光を発信するレーザ光発信器と、(b)そのレーザ光発信器によって発信されたレーザ光の光路を、そのレーザ光が前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かう光路と前記第２の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かう光路とで切換える光路切換器と、(c)前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かうレーザ光が通過する第１レンズと、(d)前記第２の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材に向かうレーザ光が通過する第２レンズとを有し、前記第１レンズを通過するレーザ光と前記第２レンズを通過するレーザ光とを選択的に照射可能なレーザ光照射装置と、
前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材のそれの軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズルを有し、その吹出ノズルから前記被保持部材に向かって、前記接合面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置と
を備えた電磁弁製造装置。 An electromagnetic valve manufacturing apparatus that manufactures an electromagnetic valve that includes a plunger and a housing in which the plunger is movably accommodated in an axial direction thereof, and moves the plunger to open and close the valve,
The housing includes: (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material; (b) a cylindrical member formed of a ferromagnetic material with the plunger inserted therein; and (c) the core. And the cylindrical member is fitted from both ends, and connects the core and the cylindrical member, and includes a cylindrical connecting member formed of a nonmagnetic material,
The electromagnetic valve manufacturing device
A rotating device that holds a held member that is one of the core, the cylindrical member, and the connecting member, and rotates the held member about its axis,
A moving device that moves the rotating device from a first position to a second position;
(a) a laser beam transmitter for transmitting laser beam; and (b) an optical path of the laser beam transmitted by the laser beam transmitter is held by the rotating device at the first position. An optical path switch that switches between the optical path toward the held member and the optical path toward the held member held by the rotating device at the second position; and (c) the rotating device at the first position by the rotating device. A first lens through which the laser beam directed to the held member that is held passes; and (d) a second lens through which the laser beam directed to the held member that is held by the rotating device at the second position passes. A laser beam irradiation device capable of selectively irradiating a laser beam passing through the first lens and a laser beam passing through the second lens;
A blow nozzle arranged on either side of the direction of the axis of the held member held by the rotating device at the first position, and from the blow nozzle to the held member And a shield gas spraying device for spraying a shield gas so as to cover the whole joint surface. 当該電磁弁製造装置が、
前記第１レンズを通過するレーザ光の焦点が、前記第１の位置において前記回転装置によって保持されている前記被保持部材の外周面若しくは内周面であって前記コアと前記円筒部材と前記連結部材とのうちの前記被保持部材を除く他のものへ接合される接合面からずれ、前記被保持部材に前記他のものが嵌合された後に、前記第２レンズを通過するレーザ光の焦点が、前記第２の位置において前記被保持部材と前記他のものとが嵌合された箇所に合うように設定された請求項１１に記載の電磁弁製造装置。 The electromagnetic valve manufacturing device
The focal point of the laser beam passing through the first lens is the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the held member held by the rotating device at the first position, and the core, the cylindrical member, and the connection The focal point of the laser beam passing through the second lens after being displaced from the joint surface to be joined to the member other than the held member of the member and after the other member is fitted to the held member The electromagnetic valve manufacturing apparatus according to claim 11, wherein the electromagnetic valve manufacturing apparatus is set so as to match a place where the held member and the other member are fitted in the second position. (a)強磁性材料により形成された円柱形状のコアと、(b)強磁性材料により形成された円筒形状の円筒部材と、(c)前記コアと前記円筒部材とが両端から嵌め入れられ、それらコアと円筒部材とを連結するとともに、非磁性材料により形成された円筒形状の連結部材と、(d)前記円筒部材の内部を前記コアの側に位置する第１液室と前記コアとは反対側に位置する第２液室とに区画し、それら第１液室と第２液室とを連通するように自身を貫通する貫通穴が形成された区画部材と、(e)前記第１液室と連通する流出ポートと、(f)前記第２液室と連通する流入ポートとを有するハウジングと、
一端部が前記コアと、他端部が前記貫通穴の開口と対向する状態で軸線方向に移動可能に前記第１液室内に配設され、その他端部において前記開口に着座可能なプランジャと、
そのプランジャの他端部が前記貫通穴の前記開口に接近する方向と前記開口から離間する方向との一方に前記プランジャを付勢する弾性体と、
前記ハウジングの周りに設けられ、前記弾性体が前記プランジャを付勢する方向とは反対の方向に前記プランジャを移動させるための磁界を形成するコイルと
を備えた電磁弁であって、
前記連結部材に嵌め入れられる前記コアと前記円筒部材との一方と前記連結部材とが、レーザ溶接によって固着され、
そのコアと円筒部材との一方が、
外周面の前記連結部材に嵌め入れられる領域の全周にわたって形成され、外周面の前記連結部材の内周面にレーザ溶接される箇所の前記連結部材に嵌め入れられる側の端部とは反対側に位置する環状溝を有する電磁弁。 (a) a cylindrical core formed of a ferromagnetic material, (b) a cylindrical cylindrical member formed of a ferromagnetic material, and (c) the core and the cylindrical member are fitted from both ends, The core and the cylindrical member are connected, a cylindrical connecting member formed of a non-magnetic material, and (d) the first liquid chamber and the core located inside the cylindrical member on the core side A partition member partitioned into a second liquid chamber located on the opposite side and having a through-hole penetrating the first liquid chamber and the second liquid chamber so as to communicate with each other; and (e) the first liquid chamber A housing having an outflow port in communication with the liquid chamber; and (f) an inflow port in communication with the second liquid chamber;
A plunger, one end of which is disposed in the first liquid chamber so as to be movable in the axial direction with the other end facing the opening of the through hole, and a plunger which can be seated on the opening at the other end;
An elastic body that biases the plunger in one of a direction in which the other end of the plunger approaches the opening of the through hole and a direction in which the other end of the plunger separates from the opening;
A solenoid valve provided around the housing and configured to form a magnetic field for moving the plunger in a direction opposite to a direction in which the elastic body biases the plunger,
One of the core and the cylindrical member that is fitted into the connecting member and the connecting member are fixed by laser welding,
One of the core and cylindrical member
It is formed over the entire circumference of the region fitted into the connecting member on the outer peripheral surface, and is opposite to the end of the outer peripheral surface that is laser welded to the inner peripheral surface of the connecting member. Solenoid valve having an annular groove located on the surface.

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