JP5636731B2 - Blood pressure sensor system and blood pressure measurement method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、血管の剛性を計測して、血圧値を取得する血圧センサシステムに関する。   The present invention relates to a blood pressure sensor system for measuring blood vessel stiffness and obtaining a blood pressure value.

従来から体内埋め込み型の血圧センサとして、血管の脈動に伴う血管径の変化を直接計測して血圧値を求める方式が提案されている。一般的に、血管の硬さが変化すると、血圧と血管径の関係が変化することが知られている。体内における長期的な血圧の計測を考えた場合には、加齢や疾患などによって血管の硬さが変化することを考慮しなくてはならない。このため、単に血管径を計測する圧力センサを用いる血圧センサは、血管の変質に対応させるために、定期的なキャリブレーションが必要となる。このため、体内における長期継続的な血圧モニタリングに適したものではなかった。   2. Description of the Related Art Conventionally, as an in-vivo blood pressure sensor, a method has been proposed in which a blood pressure value is obtained by directly measuring a change in blood vessel diameter associated with blood vessel pulsation. In general, it is known that when the hardness of a blood vessel changes, the relationship between blood pressure and blood vessel diameter changes. When considering long-term measurement of blood pressure in the body, it is necessary to take into account changes in blood vessel stiffness due to aging and disease. For this reason, a blood pressure sensor using a pressure sensor that simply measures the diameter of a blood vessel requires periodic calibration in order to cope with the deterioration of the blood vessel. For this reason, it was not suitable for long-term continuous blood pressure monitoring in the body.

このような血圧センサに対して、特許文献1には、超音波を利用して、血圧を計測するシステムが提案されている。文献1においては、リニアプローブによって、血管を含む領域に超音波ビームの走査が行われ、血管の内腔の中心から血管壁にかけて内部構造を反映したピーク検索が行われる。これらの固有ピークを利用して血管変位等を計測している。
また、特許文献2には、血管上の2点を計測点として、血管への阻血圧や阻血時間を血圧測定や生体インピーダンス測定から算出される脈波伝搬速度により制御し、これらの変化や速度から血管内皮機能を評価する技術が提案されている。
In contrast to such a blood pressure sensor, Patent Document 1 proposes a system for measuring blood pressure using ultrasonic waves. In Document 1, an ultrasonic beam is scanned in a region including a blood vessel by a linear probe, and a peak search reflecting the internal structure is performed from the center of the lumen of the blood vessel to the blood vessel wall. These intrinsic peaks are used to measure blood vessel displacement and the like.
In Patent Document 2, two points on a blood vessel are taken as measurement points, and the blood pressure and blood pressure are controlled by the pulse wave velocity calculated from blood pressure measurement and bioimpedance measurement. A technique for evaluating vascular endothelial function has been proposed.

特開2000−271117号公報JP 2000-271117 A 特開2009−000388号公報JP 2009-0003288 A

前述したような血圧計測は、加齢及び疾患等による血管の硬化がヤング率を上げ、血管径の変化から求めた血圧値に影響を及ぼしている。この影響を排除するために必要なキャリブレーションは、体内では実施できないため、体外に取り出して行うこととなり、被計測者に身体的な負担を強いることとなり、長期的な血圧計測に好適するとはいえない。   In blood pressure measurement as described above, hardening of blood vessels due to aging, diseases, etc. increases the Young's modulus and affects blood pressure values obtained from changes in blood vessel diameter. Since the calibration necessary to eliminate this effect cannot be performed inside the body, it must be taken out of the body, which places a burden on the subject and is suitable for long-term blood pressure measurement. Absent.

また、特許文献1及び特許文献2において提案されている技術は、血圧測定を実施することは可能であるが、共にシステムが大掛かりとなり、簡易に携帯できるシステムではなく、被計測者に対して、行動の制限を強いることとなる。また、特許文献2においては、センサ自体が体内に埋め込めるサイズではなく、体内において長期継続的な血圧モニタリングを実現するという点においては、現実的ではない。
また、体内で血管に装着する血圧センサに、弾性体材料に内包したCNT(カーボン・ナノチューブ:carbon nanotube)を適用しようとすると、CNTの生成温度が800℃程度の高温が想定されるため、公知な弾性体を基板として、直接生成することは困難である。
Moreover, although the technique proposed in Patent Document 1 and Patent Document 2 can perform blood pressure measurement, both systems become large-scale, not a system that can be easily carried, You will be forced to restrict your actions. Moreover, in patent document 2, it is not realistic in the point which implement | achieves blood pressure monitoring long-term continuously in the body, rather than the size which the sensor itself can be embedded in the body.
Further, when CNT (carbon nanotube) encapsulated in an elastic material is applied to a blood pressure sensor to be attached to a blood vessel in the body, it is assumed that the CNT generation temperature is as high as about 800 ° C. It is difficult to directly produce a simple elastic body as a substrate.

そこで本発明は、小型軽量且つ簡易な構成の血圧センサを実現し、体内埋め込みにおける長期継続的な血圧モニタリングを実現する血圧センサシステム及びその血圧計測方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a blood pressure sensor system that realizes a blood pressure sensor having a small size, a light weight, and a simple configuration, and that realizes blood pressure monitoring continuously for a long period of time when implanted in the body, and a blood pressure measurement method thereof.

上記目的を達成するために、本発明に従う実施形態は、体内にて血管径を計測する複数の血圧センサと、血管軸方向に予め定めた離間距離を空けた少なくとも2箇所に前記血圧センサを配置し、脈動する血管の径方向の周囲を環囲し、該径方向に弾性を有する装着治具と、前記血圧センサが出力した血管径と、前記2箇所に配置された前記血圧センサの脈波に対する応答時間差から脈派伝搬速度PWVを算出して前記血管の剛性を求め、前記血圧センサにより計測された血管径から算出された血圧値に対して、前記剛性に基づく補正が行われた血圧値を算出する制御部と、を具備する血圧計測システムを提供する。   In order to achieve the above object, an embodiment according to the present invention has a plurality of blood pressure sensors for measuring a blood vessel diameter in the body, and the blood pressure sensors are arranged in at least two places with a predetermined separation distance in the blood vessel axis direction. Then, a surrounding jig in the radial direction of the pulsating blood vessel, an attachment jig having elasticity in the radial direction, a blood vessel diameter output from the blood pressure sensor, and a pulse wave of the blood pressure sensor disposed at the two locations The blood pressure value obtained by calculating the pulse wave propagation speed PWV from the difference in response time to the blood vessel to obtain the rigidity of the blood vessel and correcting the blood pressure value calculated from the blood vessel diameter measured by the blood pressure sensor based on the rigidity A blood pressure measurement system comprising: a control unit that calculates

さらに、電極及び外部と電気的に接続するための配線パターンが形成され、弾性を有する基板と、予め定めた間隔を空けて、電極と接続するように前記基板上に設けられる少なくとも一対の導電性を有する支持部材と、前記支持部材間を橋渡しで連結する架橋型カーボン・ナノチューブと、を具備し、外力による前記基板の伸縮に伴い、電圧が印加されている前記支持部材間の前記間隔が変化した際に、前記カーボン・ナノチューブの伸縮により、前記支持部材間における電気的特性が変化する架橋構造センサを提供する。   Furthermore, a wiring pattern for electrically connecting the electrode and the outside is formed, and an elastic substrate and at least a pair of conductive elements provided on the substrate so as to be connected to the electrode at a predetermined interval. And a support member having a bridge, and a bridging carbon nanotube that connects the support members by a bridge, and the distance between the support members to which a voltage is applied changes as the substrate expands and contracts due to an external force. In this case, the present invention provides a cross-linked structure sensor in which electrical characteristics between the support members change due to expansion and contraction of the carbon nanotubes.

本発明によれば、小型軽量且つ簡易な構成の血圧センサを実現し、体内埋め込みにおける長期継続的な血圧モニタリングを実現する血圧センサシステム及びその血圧計測方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the blood pressure sensor system which implement | achieves the blood pressure sensor of a small-sized lightweight and simple structure, implement | achieves the blood pressure monitoring long-term in the body implantation, and its blood pressure measuring method can be provided.

図1は、本発明の実施形態が採用する2つの血圧センサによる血圧計測の計測原理について説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining the measurement principle of blood pressure measurement by two blood pressure sensors employed by the embodiment of the present invention. 図2(a)は、本実施形態の血圧計測システムに用いるセンサ部の概念的な構成を示す図、図2(b)は、センサ部の断面構成を示す図である。FIG. 2A is a diagram illustrating a conceptual configuration of a sensor unit used in the blood pressure measurement system of the present embodiment, and FIG. 2B is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the sensor unit. 図3は、センサ部に用いられているセンサ素子であるカンチレバーの断面構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a cantilever that is a sensor element used in the sensor unit. 図4は、センサ部の出力信号を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an output signal of the sensor unit. 図5は、血圧計測システムの構成を示すブロック図である。FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of the blood pressure measurement system. 図6(a)は、第1の変形例のセンサユニットにおける外観構成を示す図、図6(b)は、このセンサユニットにおける断面構成を示す図である。FIG. 6A is a diagram showing an external configuration of the sensor unit of the first modified example, and FIG. 6B is a diagram showing a cross-sectional configuration of the sensor unit. 図7(a)は、本実施形態における一対のセンサユニットの外観構成を示す図、図7(b)は、センサユニット11の断面構成を示している。FIG. 7A is a diagram illustrating an external configuration of a pair of sensor units in the present embodiment, and FIG. 7B illustrates a cross-sectional configuration of the sensor unit 11. 図8(a)は、せん断力が生じていない時にセンサの状態を示す図、図8(b)は、せん断力が生じた時のCNTが延伸したセンサの状態を示す図である。FIG. 8A is a diagram illustrating the state of the sensor when no shear force is generated, and FIG. 8B is a diagram illustrating the state of the sensor in which the CNTs are stretched when the shear force is generated. 図9は、2つのセンサが検出した応答時間差を有する検出信号A,Bを示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating detection signals A and B having response time differences detected by two sensors. 図10(a)乃至(d)を参照して、シリコン基板上に形成した架橋構造CNTを柔軟基板に移設する手順について説明する。With reference to FIGS. 10A to 10D, a procedure for transferring the cross-linked structure CNT formed on the silicon substrate to the flexible substrate will be described. 図11(a)乃至(c)は、架橋構造部を横方向から見た構造を示す図である。FIGS. 11A to 11C are views showing a structure of the cross-linking structure portion viewed from the lateral direction. 図12(a),(b)は、CNTの生成形態について説明するための図である。FIGS. 12A and 12B are diagrams for explaining the form of CNT generation. 図13は、シリコン支持部材間を架橋CNTで連結する架橋構造部を斜め上から見た外観構成を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing an external configuration of a cross-linked structure portion that connects silicon support members with cross-linked CNTs as viewed obliquely from above.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
まず、本発明の血圧計測システムによる血圧計測の概念について説明する。
以下に説明する本発明の従う実施形態は、血管径を計測する少なくとも2つの血圧センサを1本の血管上で離間した位置に貼り付けて、血管径及び血管内の脈波伝播速度(PWV)を計測し、血圧と血管の剛性を算出することによって、長期間にわたって安定的に血圧をモニタリング可能で、血管の硬さ変化に依存しない血圧計測システムである。尚、以下の説明では、計測対象物として、血管を例としているが、限定されるものではなく、膨張と萎縮による脈動する物であれば、その圧力を計測することができる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
First, the concept of blood pressure measurement by the blood pressure measurement system of the present invention will be described.
In an embodiment according to the present invention described below, at least two blood pressure sensors for measuring a blood vessel diameter are attached to positions separated on one blood vessel, and the blood vessel diameter and the pulse wave velocity (PWV) in the blood vessel are adhered. Is a blood pressure measurement system that can stably monitor blood pressure over a long period of time by measuring the blood pressure and the rigidity of the blood vessel, and does not depend on changes in blood vessel hardness. In the following description, a blood vessel is taken as an example of an object to be measured. However, the measurement object is not limited, and the pressure can be measured as long as the object pulsates due to expansion and contraction.

図1は、本発明の実施形態が採用する2つの血圧センサによる血圧計測の計測原理について説明するための図である。
図1に示すように、体内の血管3上において、離間距離Lで離間した2箇所の位置に血管径を計測するセンサユニット2(2a,2b)を配置する。これらのセンサユニットの各センサは、一定の離間距離Lを保つ状態で血管径及び脈派伝搬速度PWVを計測する。これらの計測結果を用いて、血管の剛性が変化するような長期間にわたってキャリブレーション不要で血圧の計測を可能とする。以下の説明において、従来と本願発明による計算原理の違いについて対比させて説明する。
FIG. 1 is a diagram for explaining the measurement principle of blood pressure measurement by two blood pressure sensors employed by the embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, on the blood vessel 3 in the body, sensor units 2 (2a, 2b) for measuring the blood vessel diameter are arranged at two positions separated by a separation distance L. Each sensor of these sensor units measures the blood vessel diameter and the pulse wave propagation speed PWV while maintaining a constant separation distance L. Using these measurement results, blood pressure can be measured without calibration for a long period of time when the rigidity of the blood vessel changes. In the following description, the difference in calculation principle between the prior art and the present invention will be described in comparison.

まず、従来の計測原理としては、Moens-Korteweg 式とBramwell-Hill 式に基づいている。Moens-Korteweg 式は以下のように表される。

Figure 0005636731
ここで、PWVは脈派伝搬速度、Eは血管のヤング率、hは血管の厚さ、Dは血管径及び、ρは血液の密度である。また、Bramwell-Hill 式は、以下のように表される。
Figure 0005636731
ここで、ΔDは膨張による血管径の変化、Pは血圧である。 First, the conventional measurement principle is based on the Moens-Korteweg equation and Bramwell-Hill equation. The Moens-Korteweg equation is expressed as follows.
Figure 0005636731
Here, PWV is the pulse wave propagation velocity, E is the Young's modulus of the blood vessel, h is the blood vessel thickness, D is the blood vessel diameter, and ρ is the blood density. The Bramwell-Hill equation is expressed as follows.
Figure 0005636731
Here, ΔD is a change in blood vessel diameter due to expansion, and P is blood pressure.

式(1)及び式(2)より、血圧差ΔPは、

Figure 0005636731
と表される。そのため、従来の血管径の変化を用いた血圧計測は、
Figure 0005636731
をキャリブレーションにより求めることで、血圧計測を行っている。 From equations (1) and (2), the blood pressure difference ΔP is
Figure 0005636731
It is expressed. Therefore, blood pressure measurement using the change of the conventional blood vessel diameter is
Figure 0005636731
Is obtained by calibration to measure blood pressure.

前述したように、この従来方式に用いられている血管のヤング率Eは加齢や疾患により長期的には変化する値である。そのため、従来の方式では、長期的な計測には、定期的に体外に取り出して実施するキャリブレーションが必要となる。   As described above, the Young's modulus E of the blood vessel used in this conventional method is a value that changes over time depending on aging and disease. For this reason, the conventional method requires calibration that is periodically taken out of the body for long-term measurement.

これに対して、埋め込み型センサを用いた血液計測を実現する場合には、定期的なキャリブレーション無しの血圧計測を可能にしなければならない。そこで、以下のように考える。PWVは、計測によって求めることができる。   On the other hand, when realizing blood measurement using an implantable sensor, blood pressure measurement without periodic calibration must be enabled. Therefore, the following is considered. PWV can be obtained by measurement.

つまり、図1(a),(b)示す離間距離Lと、時間差ΔTとすると、脈派伝搬速度PWVは、PWV=L/ΔT で求めることができる。この脈派伝搬速度PWVを式(2) に代入すると、

Figure 0005636731
となり、式の項からヤング率Eを削除することができる。 That is, when the separation distance L shown in FIGS. 1A and 1B and the time difference ΔT are used, the pulse wave propagation speed PWV can be obtained by PWV = L / ΔT. Substituting this pulse wave propagation velocity PWV into equation (2),
Figure 0005636731
Thus, the Young's modulus E can be deleted from the formula term.

従って、計測された血圧に対して、血圧差ΔPの補正を行うことで、正確な血圧値を取得することができる。以下に説明する本発明の実施形態では、計測したPWVを利用して血管の剛性を算出することにより、定期的なキャリブレーションを必要とせず、血圧を計測する。尚、埋め込み型センサは、血管径を検出し、PWVからは血管の剛性が求められ、血管径と血管の剛性から血圧差ΔPが求められている。また、製造時の初期値を設定するための初期設定においては、調整時に1度のみのキャリブレーションが実施されている。この時のキャリブレーションによる血圧P0は、基準値としてメモリ等に設定される。従って、現在の血圧PはP0+ΔPから算出される。   Therefore, an accurate blood pressure value can be acquired by correcting the blood pressure difference ΔP with respect to the measured blood pressure. In the embodiment of the present invention described below, blood pressure is measured without the need for periodic calibration by calculating the stiffness of the blood vessel using the measured PWV. The implantable sensor detects the blood vessel diameter, the blood vessel stiffness is obtained from the PWV, and the blood pressure difference ΔP is obtained from the blood vessel diameter and the blood vessel stiffness. In addition, in the initial setting for setting the initial value at the time of manufacture, calibration is performed only once at the time of adjustment. The blood pressure P0 by calibration at this time is set in a memory or the like as a reference value. Therefore, the current blood pressure P is calculated from P0 + ΔP.

次に、第1の実施形態について説明する。
図2(a)は、本実施形態の血圧計測システム1に用いるセンサ部の概念的な構成を示す図、図2(b)は、センサ部A−A’の断面構成を示す図である。図3は、センサ部に用いられているセンサ素子であるカンチレバーの断面構成を示す図である。図4は、センサ部の出力信号を示す図である。図5は、血圧計測システムの構成を示すブロック図である。
Next, a first embodiment will be described.
2A is a diagram illustrating a conceptual configuration of a sensor unit used in the blood pressure measurement system 1 of the present embodiment, and FIG. 2B is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of the sensor unit AA ′. FIG. 3 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a cantilever that is a sensor element used in the sensor unit. FIG. 4 is a diagram illustrating an output signal of the sensor unit. FIG. 5 is a block diagram showing the configuration of the blood pressure measurement system.

まず、血圧計測システム1に用いるセンサ部について説明する。
図2(a),(b)に示すように、血管3上の離間した2箇所で、血管径を計測するために、血管周囲に挟着するように一対のセンサユニット2a,2bが装着される。各センサユニット(センサ)間の離間距離は、図1(b)に示した2つのセンサに流れる検出信号A,Bの時間差が検出可能な距離であれば、特に限定されるものではない。しかし、体内にセンサを埋め込むことを考慮すれば、短い距離の方が装着箇所への影響を少なくすることができる。例えば、離間距離は、5mm−50mmの範囲内で好ましくは、30mm−40mm程度とする。勿論、センサの高性能化及び処理回路の処理能力(処理速度等)の高性能化が実現することにより、さらに離間距離を短くすることは可能である。
First, a sensor unit used in the blood pressure measurement system 1 will be described.
As shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), a pair of sensor units 2a and 2b are mounted so as to be sandwiched around the blood vessel in order to measure the blood vessel diameter at two spaced locations on the blood vessel 3. The The separation distance between the sensor units (sensors) is not particularly limited as long as the time difference between the detection signals A and B flowing through the two sensors shown in FIG. However, in consideration of embedding the sensor in the body, a shorter distance can reduce the influence on the mounting location. For example, the separation distance is preferably in the range of 5 mm to 50 mm, preferably about 30 mm to 40 mm. Of course, the separation distance can be further shortened by realizing the high performance of the sensor and the high performance of the processing circuit (processing speed, etc.).

センサユニット2aは、血管周囲を取り囲むように装着する装着治具である2分割されたベルト部材6(6a,6b)と、ベルト部材6a,6bのそれぞれの両端を挟持する対のコの字形状の固定枠部5(5a,5b)と、挟持されるベルト部材6a,6bと固定枠部5a,5bの接合箇所の両面に密着するように配置されるセンサ7と、で構成される。この構成においては、少なくとも一方の接合箇所に1個のセンサ7を設ければよい。但し、1個のセンサに限定されるものではなく、両側の接合箇所のそれぞれに各1個のセンサ7を設ける等、複数個のセンサ7を設けてもよい。   The sensor unit 2a includes a belt member 6 (6a, 6b) that is a mounting jig that is mounted so as to surround the circumference of a blood vessel, and a pair of U-shapes that sandwich both ends of the belt members 6a, 6b. The fixed frame portion 5 (5a, 5b), and the belt member 6a, 6b to be clamped and the sensor 7 arranged so as to be in close contact with both surfaces of the joint portion of the fixed frame portion 5a, 5b. In this configuration, one sensor 7 may be provided at at least one joint location. However, the present invention is not limited to one sensor, and a plurality of sensors 7 may be provided, for example, one sensor 7 is provided at each of joint portions on both sides.

本実施形態では、ベルト部材6は、2分割された形状として説明しているが、この形態に限定されるものではなく、センサ7が搭載される側のベルト部材6bが弾性部材により形成されればよく、他方は、硬質な樹脂又は、金属等の剛体部材であってもよい。また、ベルト部材は、2分割に限定されるものではなく、センサユニット2aによる正確な計測が維持できるのであれば、もっと多くの複数に分割されて連結される構成であってもよいし、または、装着を行うために一箇所が切断された環形状の一体的な構成であってもよい。   In the present embodiment, the belt member 6 is described as being divided into two parts, but the shape is not limited to this, and the belt member 6b on the side on which the sensor 7 is mounted is formed of an elastic member. The other may be a rigid resin or a rigid member such as a metal. Further, the belt member is not limited to two parts, and may be configured to be divided into a plurality of parts and connected as long as accurate measurement by the sensor unit 2a can be maintained, or The ring-shaped integral structure in which one place is cut for mounting may be used.

図2(a)に示した固定枠部5は、組み上がった形状が四角の枠形状となるが、他の形状、例えば環形状であってもよい。但し、固定枠部5は血管が脈動により最大に膨張した際に内面に接触しないようにスペースを空けた内径が必要である。また、正確な脈派伝搬速度PWVを取得するためには、前述したように、それぞれのセンサユニット(センサ)2a,2bが常に予め定めた距離を一定に保つことが重要である。本実施形態では、これらの2つの固定枠部5は、枠どうしが剛性の高い複数の支持体8で接続される。これらの固定枠部5及び支持体8は、生体親和性の高い材料(例えば、チタン)等が適用される。   The fixed frame portion 5 shown in FIG. 2A has a square frame shape when assembled, but may have another shape, for example, a ring shape. However, the fixed frame portion 5 needs an inner diameter with a space so that the blood vessel does not come into contact with the inner surface when the blood vessel expands maximally due to pulsation. In addition, in order to obtain an accurate pulse wave propagation velocity PWV, as described above, it is important that each sensor unit (sensor) 2a, 2b always keeps a predetermined distance constant. In the present embodiment, these two fixed frame portions 5 are connected to each other by a plurality of supports 8 having high rigidity between the frames. A material with high biocompatibility (for example, titanium) or the like is applied to the fixed frame portion 5 and the support 8.

ベルト部材6a,6bは、弾性体薄膜例えば、シリコーンゴム薄膜により形成される。勿論、シリコーンゴムに限定されるものではなく、他の弾性を有する樹脂材料による薄膜であってもよい。尚、ベルト部材6は、通常時(膨張も縮小していない状態)の血管径を圧迫せずに当接する程度に密着するように装着されていることが望ましい。   The belt members 6a and 6b are formed of an elastic thin film, for example, a silicone rubber thin film. Of course, it is not limited to silicone rubber, and may be a thin film made of a resin material having other elasticity. It is desirable that the belt member 6 is mounted so as to be in close contact with the blood vessel diameter in a normal state (a state in which expansion and contraction is not reduced) without pressing the blood vessel diameter.

センサ7は、図3(a)に示すように、ピエゾ抵抗付き直立型カンチレバー構造である。この構造は、シリコン基板等のベース部にピエゾ抵抗層が積層形成された片持ち梁構造であり、脚部が水平位置から屈曲して垂直方向に立ち上がったカンチレバーを構成している。このカンチレバーを覆うように、シリコーンゴム等の可撓性又は弾性を有する樹脂材料又はゴム材料からなる血管形状伝達部材4により、カンチレバーの底部を露呈し、周囲を矩形形状になるように内包されている。尚、図3(a)においては、代表的に1つのセンサを記載しているが、勿論、複数個のセンサを組み込んでもよく、さらには、マトリックスアレイ状に配置されていてもよい。   The sensor 7 has an upright cantilever structure with a piezoresistor as shown in FIG. This structure is a cantilever structure in which a piezoresistive layer is laminated on a base portion such as a silicon substrate, and constitutes a cantilever in which a leg portion is bent from a horizontal position and rises in a vertical direction. The cantilever is covered by a blood vessel shape transmitting member 4 made of a flexible or elastic resin material such as silicone rubber or a rubber material so as to cover the cantilever, and the bottom of the cantilever is exposed and enclosed in a rectangular shape. Yes. In FIG. 3 (a), one sensor is representatively described, but it is needless to say that a plurality of sensors may be incorporated and further arranged in a matrix array.

センサ7は、固定枠部5a,5bの端部に固定され、脈波伝達部材4がベルト部材6a,6bの端点に密着するように配置される。図3(b)に示すように、脈動に伴う血管膨張力F1による血管径の変化で発生するベルト部材6a,6bの伸縮によりセンサ7は、半径方向で内側に引っ張られて傾斜し、この力をせん断力F2として計測する。つまり、センサ7により、血圧変化に伴う血管の微小変形を計測し、血管径を求める。   The sensor 7 is fixed to the end portions of the fixed frame portions 5a and 5b, and is arranged so that the pulse wave transmission member 4 is in close contact with the end points of the belt members 6a and 6b. As shown in FIG. 3B, the sensor 7 is tilted inward in the radial direction by the expansion and contraction of the belt members 6a and 6b caused by the change in the blood vessel diameter due to the blood vessel expansion force F1 accompanying pulsation, and this force Is measured as a shearing force F2. That is, the sensor 7 measures the minute deformation of the blood vessel accompanying the change in blood pressure, and obtains the blood vessel diameter.

また、離間されて設けられたセンサユニット2a,2bにより、図4に示すような検出されたセンサの脈波に対する応答時間差を算出して、前述したように脈派伝搬速度PWVを取得する。
以上のように構成されたセンサユニット2a,2bの計測結果により取得された脈派伝搬速度PWVの結果に基づき、血管の剛性を算出する。算出された血管の剛性と、各血管径を計測するセンサ7による計測した血管径から血圧値を算出することができる。
Further, the sensor unit 2a, 2b provided apart from each other calculates a response time difference with respect to the pulse wave of the detected sensor as shown in FIG. 4, and acquires the pulse wave propagation velocity PWV as described above.
The rigidity of the blood vessel is calculated based on the result of the pulse wave propagation velocity PWV acquired from the measurement results of the sensor units 2a and 2b configured as described above. The blood pressure value can be calculated from the calculated rigidity of the blood vessel and the blood vessel diameter measured by the sensor 7 that measures each blood vessel diameter.

次に図5に示すように、血圧計測システムは、それぞれに別体となる、血圧センサ部41とシステム本体51とで構成される。血圧センサ部41とシステム本体51と間のデータの送受は、電磁誘導通信又は無線通信を使用する。本実施形態では、血圧センサ部41への電力供給は、光又は電磁波(無線)又は音波(振動)を用いることを想定している。勿論、計測期間を賄う寿命を有する電池であれば、電源として、血液センサ部に搭載することは可能である。   Next, as shown in FIG. 5, the blood pressure measurement system includes a blood pressure sensor unit 41 and a system main body 51 that are separate from each other. Data transmission / reception between the blood pressure sensor unit 41 and the system main body 51 uses electromagnetic induction communication or wireless communication. In the present embodiment, it is assumed that the power supply to the blood pressure sensor unit 41 uses light, electromagnetic waves (wireless), or sound waves (vibration). Of course, any battery having a lifetime that covers the measurement period can be mounted on the blood sensor unit as a power source.

血圧センサ部41は、体内に埋め込まれる前述したセンサユニット2と、センサ制御部42と、データ送信用アンテナ43と、データ送信部44と、センサ電源部46と、駆動電力を受電する受電部45とで構成される。   The blood pressure sensor unit 41 includes the above-described sensor unit 2 embedded in the body, the sensor control unit 42, the data transmission antenna 43, the data transmission unit 44, the sensor power supply unit 46, and the power reception unit 45 that receives drive power. It consists of.

センサ制御部42は、それぞれのセンサ7がせん断力の作用により発生した検出信号を取り込み、まず、センサの脈波に対する検出信号間の応答時間差に基づく脈派伝搬速度PWVと、検出信号の変位から血管径を算出する。さらに、センサ制御部42は、脈派伝搬速度PWVによる血管の剛性による補正を施した血圧値及びそれに関係する情報を生成する。これらの血圧値及び関係情報は、データ信号に変換されて、データ送信部44に送出される。   The sensor control unit 42 takes in the detection signals generated by the respective sensors 7 due to the action of the shearing force. First, from the pulse wave propagation speed PWV based on the response time difference between the detection signals with respect to the pulse waves of the sensors and the displacement of the detection signals. Calculate vessel diameter. Further, the sensor control unit 42 generates a blood pressure value corrected by the stiffness of the blood vessel based on the pulse wave propagation speed PWV and information related thereto. These blood pressure values and related information are converted into data signals and sent to the data transmission unit 44.

データ送信部44は、データ信号を通信信号に変換して、データ送信用アンテナ43から発信する。受電部45は、外部から受け取ったエネルギー(光又は電磁波(無線)又は音波(振動))から電源を生成する。生成された電源は、センサ電源部46に蓄電される。センサ電源は、データ送信部44及びセンサ制御部42に駆動用電源として供給する。   The data transmission unit 44 converts the data signal into a communication signal and transmits it from the data transmission antenna 43. The power receiving unit 45 generates power from energy (light, electromagnetic waves (wireless), or sound waves (vibration)) received from the outside. The generated power supply is stored in the sensor power supply unit 46. The sensor power is supplied to the data transmission unit 44 and the sensor control unit 42 as driving power.

本実施形態の血圧センサ部41は、センサユニット2を除く各構成部が1チップ上に集積形成された場合には、センサユニット2と一体化して体内に埋め込んでもよい。この場合には、通信手段として、例えば電磁誘導通信を採用し、その通信周波数は、生体透過性と大きさを考慮し、一例として、433[MHz]付近の周波数を用いればよい。   The blood pressure sensor unit 41 of the present embodiment may be integrated with the sensor unit 2 and embedded in the body when the components other than the sensor unit 2 are integrated and formed on one chip. In this case, for example, electromagnetic induction communication is employed as the communication means, and the communication frequency may be a frequency near 433 [MHz] as an example in consideration of biological permeability and size.

また、システム本体51は、データ受信アンテナ52と、データ受信部53と、受信制御部54と、データ表示部57と、送信部55と、電源部56とで構成される。
この構成において、データ受信アンテナ52は、データ送信部44から送信されたデータを受信する。この受信されたデータは、データ受信部53により通信信号から復調され、受信制御部54における処理(画像信号処理等)によって、応答時間差及び血圧値及びそれに関する情報として再生される。データ表示部57は、モニタ画面を有し、再生された血圧値及び関係情報を表示する。また、電源部56は、電池等のバッテリからなり、送電部55に電源供給する。送電部55は、電源を前述したエネルギーに変換して、血圧センサ部41に発信する。
The system main body 51 includes a data receiving antenna 52, a data receiving unit 53, a reception control unit 54, a data display unit 57, a transmission unit 55, and a power supply unit 56.
In this configuration, the data reception antenna 52 receives data transmitted from the data transmission unit 44. The received data is demodulated from the communication signal by the data receiving unit 53 and is reproduced as a response time difference, a blood pressure value, and information related thereto by processing (image signal processing or the like) in the reception control unit 54. The data display unit 57 has a monitor screen and displays the reproduced blood pressure value and related information. The power supply unit 56 is a battery such as a battery and supplies power to the power transmission unit 55. The power transmission unit 55 converts the power source into the energy described above and transmits it to the blood pressure sensor unit 41.

尚、本実施形態では、血圧センサ部41内のセンサ制御部42が脈派伝搬速度PWV及び血圧値に関する演算等の処理を行ったが、これらの処理をシステム本体51側の受信制御部54で行ってもよい。受信制御部54側で処理を行うことにより、センサ制御部42の処理演算の負担を軽減し、簡易なタイプを採用して、構造の簡素化及び消費電力の軽減を図ってもよい。   In the present embodiment, the sensor control unit 42 in the blood pressure sensor unit 41 performs processing such as calculations related to the pulse wave propagation speed PWV and the blood pressure value. These processes are performed by the reception control unit 54 on the system main body 51 side. You may go. By performing processing on the reception control unit 54 side, the processing calculation burden of the sensor control unit 42 may be reduced, and a simple type may be adopted to simplify the structure and reduce power consumption.

また、本実施形態をシミュレーションするために、実際にセンサユニットを構築し、確認を実施した。その構成として、血管の代わりとして、直径7mmのゴムチューブを利用し、5mm間隔で配置した2つのセンサユニットを固定枠5となるアクリル板にて固定した構造を用いて基礎原理を確認した。この構造を用いることで、ゴムチューブの11%の伸びが計測された。検出した信号から、2つのセンサ間に14msecの応答時間差が求められた。これらの結果から、図2(a)に示す構造を用いてチューブ径(血管径)及び脈派伝搬速度PWVの計測が実証された。   Moreover, in order to simulate this embodiment, the sensor unit was actually constructed and checked. The basic principle was confirmed using a structure in which a rubber tube having a diameter of 7 mm was used instead of a blood vessel, and two sensor units arranged at intervals of 5 mm were fixed with an acrylic plate serving as a fixed frame 5. Using this structure, 11% elongation of the rubber tube was measured. From the detected signal, a response time difference of 14 msec was obtained between the two sensors. From these results, measurement of the tube diameter (blood vessel diameter) and the pulse wave propagation velocity PWV was demonstrated using the structure shown in FIG.

さらに、システム本体51に、ネットワーク(インターネットやLAN等)の通信回線を介して、外部機器(パソコンや携帯電話機)へ通信する機能(図示せず)を備えることにより、診察を行う者が遠隔地に所在していた場合でも、現在の血圧値を取得して、診断することができる。   Further, the system main body 51 is provided with a function (not shown) for communicating with an external device (a personal computer or a mobile phone) via a communication line of a network (Internet, LAN, etc.), so that a person who performs a diagnosis can Even if the person is located in the area, the current blood pressure value can be acquired and diagnosed.

以上説明したように、本実施形態によれば、センサを体内に埋め込み、キャリブレーションを必要とせずに長期間に亘り、安定して正確な血圧を計測することができる。また、センサにより検出された血圧値に対して、脈派伝搬速度PWV情報を元に算出した血管の剛性により加齢・疾患等による血管の硬さの変化を考慮した補正を施した血圧計測を実現する。   As described above, according to the present embodiment, it is possible to stably and accurately measure blood pressure over a long period of time without embedding a sensor in the body and requiring calibration. In addition, blood pressure measurement is performed by correcting the blood pressure value detected by the sensor in consideration of changes in blood vessel hardness due to aging, disease, etc., based on the rigidity of the blood vessel calculated based on the pulse wave propagation speed PWV information. Realize.

次に、第1の実施形態における変形例について説明する。
図6(a)は、第1の変形例のセンサユニットにおける外観構成を示し、図6(b)は、このセンサユニットにおける断面構成を示す図である。
前述した第1の実施形態では、2つのセンサユニット間の離間距離を高い剛性の支持体8を用いて保持する構成であった。
Next, a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 6A shows an external configuration of the sensor unit of the first modification, and FIG. 6B shows a cross-sectional configuration of the sensor unit.
In the first embodiment described above, the separation distance between the two sensor units is held using the highly rigid support 8.

本変形例では、前述したベルト部材6と支持体8に代わって同じ機能を果たす、異方変形性の高い材料、例えば、ePTFE(延伸多孔質PTFE)による膜部材10(10a,10b)を用いる。この膜部材10は、血管径方向への変形に対しては弾性変形性を有し、X軸方向即ち、血管軸方向の変形に対して高い剛性を有する(即ち、延びない)という特徴がある。さらに、2つのセンサ7a,7bの離間距離Xを固定するために2つの切欠部(収容エリア)が形成される。   In this modification, instead of the belt member 6 and the support 8 described above, a highly anisotropic material having a similar function, for example, a membrane member 10 (10a, 10b) made of ePTFE (expanded porous PTFE) is used. . This membrane member 10 is characterized by having elastic deformation with respect to deformation in the blood vessel radial direction and having high rigidity (that is, does not extend) with respect to deformation in the X-axis direction, that is, the blood vessel axial direction. . Further, two notches (accommodating areas) are formed in order to fix the separation distance X between the two sensors 7a and 7b.

図6(a),(b)に示すように、2つの膜部材10a,10bは、血管3を包むように挟み、それらの両端間に介在するように、センサ7a,7bが接着して配置される。この構成において、脈動に伴う血管膨張力による血管径の変化で発生する膜部材10a,10bの伸縮によりセンサ7a,7bは、半径方向で内側に引っ張られて傾斜し、この力をせん断力として計測する。よって、センサ7a,7bにより、血圧変化に伴う血管の微小変形を計測し、血管径を求める。また、膜部材10としては、シリコーンゴムに異方変形性を付与してもよい。
本変形例においても前述した第1の実施形態と同様な効果を奏している。さらに、第1の実施形態で用いた支持体8及び固定枠5が不要となり、構成が簡素化され、且つ小型化される。
As shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the two membrane members 10a and 10b are sandwiched so as to wrap the blood vessel 3, and the sensors 7a and 7b are adhered and disposed so as to be interposed between both ends thereof. The In this configuration, the sensors 7a and 7b are tilted inward in the radial direction by the expansion and contraction of the membrane members 10a and 10b caused by the change in the blood vessel diameter due to the blood vessel expansion force accompanying the pulsation, and this force is measured as a shear force. To do. Therefore, the sensor 7a, 7b measures the minute deformation of the blood vessel accompanying the change in blood pressure, and obtains the blood vessel diameter. As the membrane member 10, anisotropic deformation may be imparted to the silicone rubber.
This modification also has the same effect as that of the first embodiment described above. Furthermore, the support 8 and the fixed frame 5 used in the first embodiment are not necessary, and the configuration is simplified and the size is reduced.

次に第2の実施形態の血圧センサシステムについて説明する。
本実施形態は、システム構成が第1実施形態(図5)と同等であるが、センサユニットの構成が異なっている。本センサユニットが採用するセンサは、血管の直径変化を、弾性体材料に埋め込んだCNT(カーボン・ナノチューブ:carbon nanotube)のピエゾ抵抗効果を利用して計測する構成である。
Next, a blood pressure sensor system according to a second embodiment will be described.
This embodiment has the same system configuration as that of the first embodiment (FIG. 5), but the configuration of the sensor unit is different. The sensor employed by this sensor unit is configured to measure a change in the diameter of a blood vessel using a piezoresistance effect of CNT (carbon nanotube) embedded in an elastic material.

図7(a)は、本実施形態における一対のセンサユニット11(11a,11b)の外観構成を示し、図7(b)は、センサユニット11のB−B’の断面構成を示している。図8(a)は、せん断力が生じていない時にセンサ12の状態を示し、図8(b)は、せん断力が生じた時のCNT16が延伸したセンサ12の状態を示す図である。図9は、2つのセンサユニット11a,11bが検出したセンサの脈波に対する応答時間差を有する検出信号A,Bを示す図である。   FIG. 7A shows an external configuration of a pair of sensor units 11 (11a, 11b) in the present embodiment, and FIG. 7B shows a cross-sectional configuration of the sensor unit 11 along B-B ′. FIG. 8A shows the state of the sensor 12 when no shear force is generated, and FIG. 8B shows the state of the sensor 12 in which the CNTs 16 are stretched when the shear force is generated. FIG. 9 is a diagram showing detection signals A and B having a response time difference with respect to pulse waves of the sensors detected by the two sensor units 11a and 11b.

センサユニット11は、少なくとも1つのセンサ12を内包する弾性体材料からなる2分割されたベルト部材13(13a,13b)と、離間して血管周囲に挟着する2つのベルト部材13a,13bの両端を固着する固定部材14とで構成される。   The sensor unit 11 has two divided belt members 13 (13a, 13b) made of an elastic material containing at least one sensor 12 and two belt members 13a, 13b that are spaced apart and sandwiched around a blood vessel. It is comprised with the fixing member 14 which adheres.

図8に示すようにセンサ12は、架橋CNTによる架橋構造センサである。図10に示すように、導電性を有し、橋脚部となる2つのシリコン支持部材15a,15bとこれらの間を橋渡しで連結する架橋CNT16とで構成される。センサ12は、引きによる外力(例えば、せん断力)により、CNT16が伸長することでシリコン支持部材15(15a,15b)間の抵抗値が変化するため、この特性をセンサとして利用する。   As shown in FIG. 8, the sensor 12 is a cross-linked structure sensor using cross-linked CNTs. As shown in FIG. 10, it is composed of two silicon support members 15a and 15b that are conductive and serve as bridge piers, and bridged CNTs 16 that connect them with a bridge. The sensor 12 uses this characteristic as a sensor because the resistance value between the silicon support members 15 (15a, 15b) changes due to the extension of the CNTs 16 due to an external force (for example, shearing force) caused by pulling.

本実施形態は、前述した第1の実施形態と同様に、センサユニット11a,11bが既知の離間距離を空けて血管3に装着する。各センサユニット(センサ)間の離間距離は、図9に示した2つのセンサに流れる検出信号A,Bの時間差が検出可能な距離であれば、特に限定されるものではない。   In the present embodiment, similarly to the first embodiment described above, the sensor units 11a and 11b are attached to the blood vessel 3 with a known separation distance. The separation distance between the sensor units (sensors) is not particularly limited as long as the time difference between the detection signals A and B flowing through the two sensors shown in FIG. 9 can be detected.

計測に際して、シリコン支持部材15a,15b間に定電圧を印加しておき、脈動による血管膨張力による血管径の変化が発生によるベルト部材13の延伸により、センサ12が引っ張られて、図8(b)に示すようにCNT16が伸長により抵抗が変化し、図9に示すように、1つの脈動においてシリコン支持部材15a,15b間の検出信号の出力電圧が変化する。CNTの電気抵抗は、カイラリティ(カイラル指数)に依存して変化する。センサユニット11a,11bのそれぞれの出力A,Bは、同じ血管上で離間しているため、応答時間差が生じる。   At the time of measurement, a constant voltage is applied between the silicon support members 15a and 15b, and the sensor 12 is pulled by the extension of the belt member 13 due to the change of the blood vessel diameter due to the blood vessel expansion force caused by the pulsation. As shown in FIG. 9, the resistance of the CNT 16 changes due to expansion, and as shown in FIG. 9, the output voltage of the detection signal between the silicon support members 15a and 15b changes in one pulsation. The electrical resistance of CNT varies depending on the chirality (chiral index). Since the outputs A and B of the sensor units 11a and 11b are separated on the same blood vessel, a response time difference occurs.

このように、血管の周囲に装着されるベルト部材13を弾性体で形成し、その内部に内包するようにCNT構造を利用するセンサを実装しているため、脈動による血管の膨張する力を弾性体に対するせん断力として検出信号を検出する。   As described above, the belt member 13 to be mounted around the blood vessel is formed of an elastic body, and the sensor using the CNT structure is mounted so as to be included in the belt member 13. A detection signal is detected as a shearing force on the body.

従って、第1の実施形態と同様に、検出信号間のセンサの脈波に対する応答時間差に基づく脈派伝搬速度PWVと、検出信号の変位から血管径を算出する。さらに、脈派伝搬速度PWVによる血管の剛性による補正を施した血圧値及びそれに関係する情報を生成する。CNTは、一般的な金属やシリコンに比べて、ゲージ率が高く、センサ感度の向上が見込める。   Therefore, as in the first embodiment, the blood vessel diameter is calculated from the pulse wave propagation speed PWV based on the difference in response time between the detection signals and the pulse wave of the sensor, and the displacement of the detection signal. Furthermore, the blood pressure value corrected by the rigidity of the blood vessel based on the pulse wave propagation speed PWV and information related thereto are generated. CNT has a higher gauge factor than general metals and silicon, and can be expected to improve sensor sensitivity.

従って、本実施形態によれば、センサを体内に埋め込み、キャリブレーションを必要とせずに長期間に亘り、安定して正確な血圧を計測することができる。また、センサにより検出された血圧値に対して、脈派伝搬速度PWV情報を元に算出した血管の剛性により加齢・疾患等による血管の硬さの変化を考慮した補正を施した血圧計測を実現する。   Therefore, according to the present embodiment, it is possible to stably and accurately measure the blood pressure over a long period without implanting the sensor in the body and requiring calibration. In addition, blood pressure measurement is performed by correcting the blood pressure value detected by the sensor in consideration of changes in blood vessel hardness due to aging, disease, etc., based on the rigidity of the blood vessel calculated based on the pulse wave propagation speed PWV information. Realize.

次に、第2の実施形態に用いたセンサの構造と製造工程について説明する。
このセンサは、前述したように、橋脚部分となる角柱形状の2つのシリコン支持部材15a,15bとこれらの間を連結するCNT16とでブリッジ架橋構造に構成されている。この本実施形態において、このセンサは、弾性部材に内包されている。
Next, the structure and manufacturing process of the sensor used in the second embodiment will be described.
As described above, this sensor is configured in a bridge bridging structure with two prismatic silicon support members 15a and 15b serving as pier portions and CNTs 16 connecting them. In this embodiment, the sensor is included in the elastic member.

このセンサの製造において、一般的にCNTは、生成温度が800℃以上の高温であり、シリコーンゴム等の弾性体を基板として、直接生成することが困難である。そこで、本実施形態では、シリコン基板上で作製されたCNTを含むセンサをシリコーンゴム等の弾性体基板上に実装する。以下に製造方法について説明する。   In the manufacture of this sensor, CNT is generally produced at a high temperature of 800 ° C. or more, and it is difficult to produce CNT directly using an elastic body such as silicone rubber as a substrate. Therefore, in the present embodiment, a sensor including CNTs produced on a silicon substrate is mounted on an elastic substrate such as silicone rubber. The manufacturing method will be described below.

まず、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて、シリコン基板上にシリコン支持部材15a,15bとなる凸部からなる多数のシリコン支持構造をアレイ状に形成する。尚、このシリコン支持構造において、後述する実装工程において、シリコン支持部材15a,15bをシリコン基板から剥離して移設(転写)させるため、剥離しやすいように、SOI(Silicon on Insulator)基板等を用いてもよい。   First, by using MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technology, a large number of silicon support structures including convex portions to be silicon support members 15a and 15b are formed in an array on a silicon substrate. In this silicon support structure, an SOI (Silicon on Insulator) substrate or the like is used so that the silicon support members 15a and 15b are peeled off and transferred (transferred) from the silicon substrate in a mounting process described later. May be.

例えば、図11(a)に示すように、SOI基板21の上部のシリコン層にフォトリソマスクを用いたREI等の異方性エッチングにより削り出し、シリコン支持構造17aを形成する。さらにシリコン支持構造17aの下のガラス層をウェットエッチング等による等方性エッチングによりテーパー形状又は柱状の細いガラスの柱24でシリコン支持部材を支えた構造を形成する。この時、シリコン支持構造17aの裏面(柱24側の面)におけるガラス層は、少なくとも電極23に移設された際に、シリコン支持構造17aと電極23とが適正に電気的接続が出来る程度に除去されていなければならないものとする。   For example, as shown in FIG. 11A, the silicon support structure 17a is formed by cutting out the upper silicon layer of the SOI substrate 21 by anisotropic etching such as REI using a photolithography mask. Further, a structure in which the silicon support member is supported by a glass column 24 having a tapered shape or a columnar shape is formed on the glass layer under the silicon support structure 17a by isotropic etching such as wet etching. At this time, the glass layer on the back surface (surface on the pillar 24 side) of the silicon support structure 17a is removed to such an extent that the silicon support structure 17a and the electrode 23 can be appropriately electrically connected when transferred to at least the electrode 23. Shall be done.

次に、CVD(化学気相成長法:Chemical Vapor Deposition)法を用いて、CNTをシリコンの構造の間隙を橋渡しするように生成する。このCVD法は、CNTをシリコン基板上で生成可能であり、且つエタノール蒸気圧、金属触媒のナノ粒子、プロセス温度及びプロセス時間等によるパラメータを調整することで制御が容易であり、SWNT(シングルウォールナノチューブ)、DWNT(ダブルウォールナノチューブ)、MWNT(マルチウォールナノチューブ)を選択的に生成することができる。例えば、メタン、アセチレン、一酸化炭素などの炭素含有ガスを熱分解して、Fe、Ni又はFe−Mo等の触媒の粒子により、CNTを生成する。   Next, CNTs are generated using a CVD (Chemical Vapor Deposition) method so as to bridge the gap between the silicon structures. This CVD method can generate CNTs on a silicon substrate, and can be easily controlled by adjusting parameters such as ethanol vapor pressure, metal catalyst nanoparticles, process temperature, and process time. Nanotubes), DWNT (double wall nanotubes), and MWNT (multiwall nanotubes) can be selectively generated. For example, a carbon-containing gas such as methane, acetylene, or carbon monoxide is thermally decomposed to generate CNTs using catalyst particles such as Fe, Ni, or Fe—Mo.

CNT成長の温度範囲は、適用する炭素源ガスによって設定されるが、略600〜900℃の範囲である。CNTの気相成長は、金属触媒の密度に応じて異なることが知られている。平面状の金属触媒の密度が薄い場合、生成されたSWNTがシリコン基板に対して、図12(a),(b)に示すように、シリコン基板21上に設けた支持部材に対して水平方向に配向して隣同士と連結する。   Although the temperature range of CNT growth is set by the carbon source gas to apply, it is the range of about 600-900 degreeC. It is known that the vapor phase growth of CNT varies depending on the density of the metal catalyst. When the density of the planar metal catalyst is low, the generated SWNT is horizontal with respect to the support member provided on the silicon substrate 21 as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b). To be connected to each other.

本実施形態では、金属触媒溶液の濃度を薄くすることで、CNT16を基板21に対して水平方向に成長させる。即ち、数ミクロン程度の間隙で複数のシリコン支持部材15を設けて、金属触媒密度を低くした状態で気相成長させることで、図12に示すような、シリコン支持部材15間を架橋CNT16で連結する架橋構造部17(センサ12)を形成する。   In this embodiment, the CNT 16 is grown in the horizontal direction with respect to the substrate 21 by reducing the concentration of the metal catalyst solution. In other words, by providing a plurality of silicon support members 15 with a gap of about several microns and performing vapor phase growth with the metal catalyst density lowered, the silicon support members 15 are connected by the bridging CNTs 16 as shown in FIG. The bridge structure part 17 (sensor 12) to be formed is formed.

次に、図10(a)乃至(d)を参照して、シリコン基板21上に形成した架橋構造CNT16を弾性体基板22(ベルト部材13)に移設する手順について説明する。
図10(a)に示すように、シリコン基板21上に形成された多数の架橋構造部17に対して、近赤外蛍光分光法を用いて、それぞれの架橋CNT16のカイラリティ(カイラル指数)を取得する。図10(b)に示すように、取得したカイラリティの中で、所望するカイラリティの架橋CNT16とその本数を持つ架橋構造部17aを特定する。通常、CNTにおける電気抵抗は、カイラリティに依存する。
Next, a procedure for transferring the crosslinked structure CNT16 formed on the silicon substrate 21 to the elastic substrate 22 (belt member 13) will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 10A, the chirality (chiral index) of each crosslinked CNT 16 is obtained by using near-infrared fluorescence spectroscopy for a large number of crosslinked structures 17 formed on the silicon substrate 21. To do. As shown in FIG. 10 (b), the desired chirality of the crosslinked CNT 16 and the crosslinked structure portion 17a having the number thereof are specified from the acquired chirality. Usually, the electrical resistance in CNT depends on chirality.

次に、図10(c)に示すように、その架橋構造部17aは、樹脂製スタンプ例えば、シリコーンゴムスタンプ18により、基板21と分離してピックアップする。具体的には、架橋構造部17aのシリコン支持部材15a,15bは、前述した図11(a)に示したように、ガラスの柱24を支えた構造である。シリコーンゴムスタンプ18がシリコン支持部材15a,15bにピックアップするために当接した際に、図11(b)に示すように、柱24を破壊して、分離させる。その後、図10(c)及び図11(c)に示すように、シリコーンゴムスタンプ18を引き上げると共に、架橋構造部17aが基板21から分離される。   Next, as shown in FIG. 10C, the cross-linking structure portion 17a is picked up separately from the substrate 21 by a resin stamp, for example, a silicone rubber stamp 18. Specifically, the silicon support members 15a and 15b of the bridging structure portion 17a have a structure in which the glass column 24 is supported as shown in FIG. When the silicone rubber stamp 18 comes into contact with the silicon support members 15a and 15b for pickup, the pillar 24 is broken and separated as shown in FIG. Thereafter, as shown in FIGS. 10C and 11C, the silicone rubber stamp 18 is pulled up and the bridging structure 17 a is separated from the substrate 21.

さらに、図10(d)示すように、金属配線(及び電極パッド)23が形成された弾性体基板22上に実装され、センサ12が作製される。その実装の際に、シリコン支持部材15a,15bは、それぞれのパッドに電気的に導通するように固着、所謂、ダイボンドする。
その後、弾性体基板22上の架橋構造部17a、即ちセンサ12(図示せず)が内包されるように、弾性体基板22と同じ材料のシリコーンゴムで密に覆って封止を行い、ベルト部材13を形成する。
Further, as shown in FIG. 10D, the sensor 12 is manufactured by mounting on an elastic substrate 22 on which metal wirings (and electrode pads) 23 are formed. During the mounting, the silicon support members 15a and 15b are fixed so as to be electrically connected to the respective pads, so-called die bonding.
Thereafter, the cross-linking structure 17a on the elastic substrate 22, that is, the sensor 12 (not shown) is enclosed and sealed with silicone rubber of the same material as that of the elastic substrate 22, and sealed. 13 is formed.

通常、CNTはボトムアップ的に合成され、MEMSトップダウン構造との統合が難しかった。さらに、従来において、予め別の箇所でCNTを作製しておき、所望する基板に転写(統合)する技術として、マニピュレータで転写する方法、電気泳動を用いた方法、液体材料を溶媒として塗布する方法等が検討されていたが、これらの方法は、形成するCNTの本数やカイラリティを制御することができなかった。   Normally, CNTs are synthesized from the bottom up, and integration with the MEMS top-down structure is difficult. Further, as a technique for producing CNTs in another place in advance and transferring (integrating) them to a desired substrate in the past, a method using a manipulator, a method using electrophoresis, a method using a liquid material as a solvent However, these methods have failed to control the number of CNTs formed and chirality.

そこで、本実施形態では、シリコン基板上に形成したシリコン支持構造を用いて橋渡しするようにCNTを合成し、スタンピング転写法を用いて、他の基板(弾性基板)に転写する、2段階からなる製造方法を適用している。
つまり、CVD法を用いて、複数設けられたシリコン支持構造間に、CNTを一括して生成した後に、各CNTのカイラリティを調べて、架橋構造部17a、即ちセンサ12をスタンピング転写により選択的にピックアップし、弾性部材からなる別の基板に転写する。
以上のことから、本実施形態によれば、シリコン基板上に形成した多数のCNTの中から所望のカイラリティを有するセンサを選択することができ、センサの製造ばらつきを無くし、性能の均一化を図ることができる。
Therefore, in this embodiment, the CNT is synthesized to be bridged using a silicon support structure formed on the silicon substrate, and transferred to another substrate (elastic substrate) using a stamping transfer method. The manufacturing method is applied.
That is, after the CNTs are collectively generated between a plurality of silicon support structures using the CVD method, the chirality of each CNT is examined, and the bridging structure portion 17a, that is, the sensor 12 is selectively transferred by stamping transfer. Pick up and transfer to another substrate made of an elastic member.
From the above, according to the present embodiment, a sensor having a desired chirality can be selected from a large number of CNTs formed on a silicon substrate, eliminating variations in manufacturing of the sensor, and achieving uniform performance. be able to.

さらに、シリコン支持構造が目印となるため、光学顕微鏡下でアライメントして転写することが可能である。この方法を用いることで、CNTの機能を様々な材料の上で展開することが可能となる。従って、本実施形態によれば、電気的・機械的に優れているCNTをセンサとして用いることができ、小型・高感度が要求される体内埋め込み型血圧センサを実現する上で、非常に有用である。   Furthermore, since the silicon support structure serves as a mark, it can be aligned and transferred under an optical microscope. By using this method, the function of CNT can be developed on various materials. Therefore, according to the present embodiment, CNTs that are excellent in terms of electrical and mechanical properties can be used as a sensor, which is very useful in realizing an implantable blood pressure sensor that requires small size and high sensitivity. is there.

前述した本発明の実施形態によれば、以下の発明の要旨を有している。
(1) 体内にて血管径ならびに脈波伝播速度(PWV)を計測する埋め込み型血圧センサであり、1本の血管の異なる位置に配置可能な2つの血管径を計測するセンサを有した構造を特徴とする。血圧変化に伴う血管径の変化および2箇所に配置されたセンサの脈波に対する応答時間の差からPWVを計測し、血管の剛性および血圧を求めることを特徴とする血圧計測方法。
According to the above-described embodiment of the present invention, the invention has the following gist.
(1) An implantable blood pressure sensor that measures a blood vessel diameter and a pulse wave velocity (PWV) in the body, and has a structure having sensors for measuring two blood vessel diameters that can be arranged at different positions of one blood vessel. Features. A blood pressure measurement method, comprising: measuring PWV from a change in blood vessel diameter associated with a change in blood pressure and a difference in response time with respect to a pulse wave of sensors arranged at two locations to obtain blood vessel stiffness and blood pressure.

(2)上記方法を用いることにより、血圧測定を行うことを特徴とする植え込み型血圧センサであり、前記血管径を計測するセンサとして、弾性体の薄膜にて血管を包み、そのせん断方向への引っ張りを計測することで、血管の大変形を直接計測することを特徴とする前記(1)項に記載の埋め込み型血圧センサ。
(3)人の動きに伴う体内のセンサ間距離のズレを血管に付加を与えずに防ぐため、2つの前記血管径を計測するセンサ間を剛体の高い構造体で接続したことを特徴とする前記(2)項に記載の植え込み型血圧センサ。
(4)前記弾性体の薄膜が異方性変形の性質を持ち、血管軸方向の変形を抑止することにより、センサ間距離のズレを血管に付加しないことを特徴とする前記(2)項に記載の埋め込み型血圧センサ。
(2) An implantable blood pressure sensor characterized in that blood pressure is measured by using the above method. As a sensor for measuring the blood vessel diameter, the blood vessel is wrapped with an elastic thin film, and the blood pressure is measured in the shear direction. The implantable blood pressure sensor according to (1), wherein a large deformation of a blood vessel is directly measured by measuring a tensile force.
(3) The present invention is characterized in that the two sensors for measuring the diameter of the blood vessel are connected by a highly rigid structure in order to prevent the displacement of the distance between the sensors in the body due to the movement of the person without giving the blood vessel. The implantable blood pressure sensor according to (2) above.
(4) Item (2) is characterized in that the elastic thin film has a property of anisotropic deformation, and the displacement of the distance between sensors is not added to the blood vessel by suppressing deformation in the direction of the blood vessel axis. The implantable blood pressure sensor described.

(5)前記せん断方向への引っ張りの計測に、ピエゾ抵抗付き直立型カンチレバー構造を利用したことを特徴とする前記(2)、(3)及び(4)項のうちのいずれか1項に記載の埋め込み型血圧センサ。
(6)前記せん断方向への引っ張りの計測に於いて、それに用いられるセンサの作製方法として、CNT生成基板上の複数の搬送用微小ブロック間にCNTを生成した後、任意の前記ブロックごと統合基板へ搬送することで、所望のCNTを所定の位置に配置する手法。
(5) The measurement according to any one of (2), (3), and (4) above, wherein an upright cantilever structure with piezoresistor is used for measurement of the tensile force in the shear direction. Implantable blood pressure sensor.
(6) In the measurement of the tensile force in the shearing direction, as a method for producing a sensor used therefor, after generating CNTs between a plurality of transporting micro blocks on the CNT generating substrate, the integrated substrate together with any of the blocks A method of arranging desired CNTs at predetermined positions by transporting them to a predetermined position.

1…血圧計測システム、2,2a,2b…センサユニット、3…血管、4…脈波伝達部、5,5a,5b…固定枠部、6,6a,6b…ベルト部材(装着治具)、7,7a,7b…センサ、8…支持体、10,10a,10b…膜部材、11,11a,11b…センサユニット、12…センサ、13,13a,13b…ベルト部材、14…固定部材、15,15a,15b…シリコン支持部材、16…CNT(架橋CNT)、17,17a…架橋構造部、21…シリコン基板、22…弾性体基板、41…血圧センサ部、42…センサ制御部、43…データ送信用アンテナ、44…データ送信部、45…受電部、46…センサ電源部、51…システム本体、52…データ受信アンテナ、53…データ受信部、54…受信制御部、55…送電部、56…電源部、57…データ表示部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Blood pressure measuring system 2, 2a, 2b ... Sensor unit, 3 ... Blood vessel, 4 ... Pulse wave transmission part, 5, 5a, 5b ... Fixed frame part, 6, 6a, 6b ... Belt member (mounting jig), 7, 7a, 7b ... sensor, 8 ... support, 10, 10a, 10b ... membrane member, 11, 11a, 11b ... sensor unit, 12 ... sensor, 13, 13a, 13b ... belt member, 14 ... fixing member, 15 , 15a, 15b ... silicon support member, 16 ... CNT (crosslinked CNT), 17, 17a ... crosslinked structure, 21 ... silicon substrate, 22 ... elastic substrate, 41 ... blood pressure sensor unit, 42 ... sensor control unit, 43 ... Data transmission antenna 44 ... Data transmission unit 45 ... Power reception unit 46 ... Sensor power supply unit 51 ... System main body 52 ... Data reception antenna 53 ... Data reception unit 54 ... Reception control unit 55 ... Power transmission unit 6 ... the power supply unit, 57 ... data display unit.

Claims (9)

体内にて血管径を計測する複数の血圧センサと、
血管軸方向に予め定めた離間距離を空けた少なくとも2箇所に前記血圧センサを配置し、脈動する血管の径方向の周囲を環囲し、該径方向に弾性を有する装着治具と、
前記血圧センサが出力した脈動に伴う血圧変化から血管径と、前記2箇所に配置された前記血圧センサの脈波に対する応答時間差から脈派伝搬速度PWVを算出して前記血管の剛性を求め、前記血圧センサにより計測された血管径から算出された血圧値に対して、前記剛性に基づく補正が行われた血圧を算出する制御部と、
を具備することを特徴とする血圧計測システム。
A plurality of blood pressure sensors for measuring blood vessel diameter in the body;
A blood pressure sensor disposed in at least two places spaced apart in the blood vessel axis direction, surrounding the radial circumference of the pulsating blood vessel, and a mounting jig having elasticity in the radial direction;
The blood vessel diameter is calculated from the blood pressure change accompanying the pulsation output from the blood pressure sensor, and the pulse wave propagation velocity PWV is calculated from the response time difference with respect to the pulse wave of the blood pressure sensor disposed at the two locations to obtain the rigidity of the blood vessel, A control unit that calculates a blood pressure in which correction based on the rigidity is performed on a blood pressure value calculated from a blood vessel diameter measured by a blood pressure sensor;
A blood pressure measurement system comprising:
前記装着治具は、少なくとも一部がベルト形状を成し、
前記血圧センサは、可撓性又は弾性を有する脈波伝達部材に内包される、ピエゾ抵抗層が積層形成された片持ち梁構造を成すピエゾ抵抗付き直立型カンチレバーであり、前記装着治具の接合部に、前記血圧センサの前記片持ち梁が立ち上がり方向で接するように配置され、血管膨張または血管収縮に伴う前記装着治具のせん断方向への生じる力を計測することを特徴とする請求項1に記載の血圧計測システム。
At least a part of the mounting jig has a belt shape,
The blood pressure sensor is an upright cantilever with a piezoresistor having a cantilever structure in which a piezoresistive layer is laminated, which is included in a pulse wave transmission member having flexibility or elasticity, and joining the mounting jig 2. The device is arranged such that the cantilever of the blood pressure sensor is in contact with the blood pressure sensor in a rising direction, and the force generated in the shearing direction of the mounting jig due to blood vessel expansion or blood vessel contraction is measured. The blood pressure measurement system described in 1.
ベルト形状に分割された前記装着治具は、前記接合部が前記離間距離を保持する枠部材により固定されることを特徴とする請求項2に記載の血圧計測システム。   The blood pressure measurement system according to claim 2, wherein the attachment jig divided into belt shapes is fixed by a frame member in which the joint portion maintains the separation distance. 前記装着治具は、
前記血管径方向への変形に対して弾性変形性を有し、前記血管軸方向の変形に対して不変形な剛性を有する異方性変形性の弾性体により形成され、前記離間距離を空けた少なくとも2箇所に前記血圧センサの収容エリアが設けられて、
前記血圧センサを、前記離間距離を保持して血管に装着することを特徴とする請求項1に記載の血圧計測システム。
The mounting jig is
The elastic body is elastically deformable with respect to the deformation in the blood vessel radial direction, and is formed of an anisotropic deformable elastic body having rigidity that is not deformed with respect to the deformation in the blood vessel axis direction. An accommodation area for the blood pressure sensor is provided in at least two places,
The blood pressure measurement system according to claim 1, wherein the blood pressure sensor is attached to a blood vessel while maintaining the separation distance.
血管の血管軸方向に予め定めた離間距離Lを空けた少なくとも2箇所に装着された血圧センサから出力した脈動に伴う血圧変化から血管径Dと、前記2箇所に配置されたセンサの脈波に対する応答時間差ΔTから、L/ΔT =脈派伝搬速度PWVを算出し、
Figure 0005636731
ここで、P:血圧、h:血管の厚さ、ΔD:血管径の変化及び、ρ:血液の密度として、初期設定で予め定めた血圧からの血圧差ΔPは、
Figure 0005636731
で求めて、血圧を取得することを特徴とする血圧計測方法。
The blood vessel diameter D from the blood pressure change accompanying the pulsation output from the blood pressure sensor mounted at at least two places with a predetermined separation distance L in the blood vessel axis direction of the blood vessel, and the pulse wave of the sensor arranged at the two places From the response time difference ΔT, L / ΔT = pulse wave propagation velocity PWV is calculated,
Figure 0005636731
Here, P: blood pressure, h: blood vessel thickness, ΔD: change in blood vessel diameter, and ρ: blood density, the blood pressure difference ΔP from the blood pressure predetermined in the initial setting is
Figure 0005636731
A blood pressure measurement method characterized in that the blood pressure is obtained by obtaining the blood pressure.
予め定めた離間間隔を空けて基板に設けられる少なくとも一対の導電性を有する支持部材と、該支持部材間を橋渡しで連結する架橋型カーボン・ナノチューブ(carbon nanotube)と、前記支持部材と電気的に接続する電極及び外部と電気的に接続するための配線パターンが形成され、弾性を有する基板と、を備え、体内で血管に装着される架橋構造センサ部と、
血管軸方向に予め定めた離間距離を空けた少なくとも2箇所に架橋構造センサを配置し、脈動する血管の径方向の周囲を環囲し、該径方向に弾性を有する装着治具と、
前記架橋構造センサが出力した脈動に伴う血圧変化から血管径と、2箇所に配置された前記架橋構造センサの脈波に対する応答時間差から脈派伝搬速度PWVを算出して前記血管の剛性を求め、前記架橋構造センサにより計測された血圧値に対して、前記剛性に基づく補正が行われた血圧を算出する制御部と、
を具備することを特徴とする血圧計測システム。
A support member having at least a pair of conductive provided on board at a predetermined spaced intervals, a cross-linked carbon nanotubes connected by bridging between the support member (carbon nanotube), the support member and electrically A wiring pattern for electrical connection with an electrode connected to the outside and a substrate having elasticity, and a cross-linked structure sensor unit mounted on a blood vessel in the body,
The cross-linking structure sensor in at least two positions spaced a predetermined distance in the vessel axial direction is arranged, around the radial direction of the blood vessel to be pulsating and surrounds the mounting jig having elasticity in該径direction,
Wherein the blood vessel diameter from the blood pressure changes associated with pulsation crosslinked structure sensor has output, and calculates the Myakuha propagation velocity PWV from the response time difference for pulse wave are arranged in a two箇 office said crosslinked structure sensor obtains rigidity of the blood vessel A control unit that calculates a blood pressure in which correction based on the rigidity is performed on the blood pressure value measured by the cross-linking structure sensor;
A blood pressure measurement system comprising:
電極及び外部と電気的に接続するための配線パターンが形成され、弾性を有する基板と、
予め定めた間隔を空けて、電極と接続するように前記基板上に設けられる少なくとも一対の導電性を有する支持部材と、
前記支持部材間を橋渡しで連結する架橋型カーボン・ナノチューブ(carbon nanotube)と、
を具備し、
外力による前記基板の伸縮に伴い、電圧が印加されている前記支持部材間の前記間隔が変化した際に、前記カーボン・ナノチューブの伸縮により、前記支持部材間における電気的特性が変化することを特徴とする架橋構造センサ。
A wiring pattern for electrically connecting the electrode and the outside is formed, and an elastic substrate;
At least a pair of conductive support members provided on the substrate to be connected to the electrodes at a predetermined interval;
Bridged carbon nanotubes connecting the support members by a bridge; and
Comprising
When the distance between the support members to which a voltage is applied changes due to the expansion and contraction of the substrate due to an external force, the electrical characteristics between the support members change due to the expansion and contraction of the carbon nanotubes. Cross-linked structure sensor.
前記弾性体基板に実装された架橋構造部を、前記弾性体基板と同じ弾性体部材又は同じ弾性率を有する弾性部材で封止することを特徴とする請求項7に記載の架橋構造センサの製造方法。   8. The cross-linked structure sensor according to claim 7, wherein the cross-linked structure portion mounted on the elastic substrate is sealed with the same elastic member as the elastic substrate or an elastic member having the same elastic modulus. Method. 導電性基板上にアレイ状に複数の橋脚部となる突起部を形成し、
熱分解された炭素含有ガスの雰囲気下で金属触媒のナノ粒子を導入して、プロセス温度及びプロセス時間の制御により、複数の突起部間で互いに橋渡しする架橋型カーボン・ナノチューブを生成して前記突起部を含む架橋構造部を形成し、
形成されたカーボン・ナノチューブにおける各カイラリティを取得し、
取得された中から所望するカイラリティのカーボン・ナノチューブとその本数を有する架橋構造部を樹脂製スタンプにより前記基板から分離して弾性体基板に転写して実装することを特徴とする架橋構造センサの製造方法。
Protrusions that form a plurality of bridge piers in an array on a conductive substrate,
Introducing metal catalyst nanoparticles under an atmosphere of pyrolyzed carbon-containing gas, and controlling the process temperature and process time to generate bridged carbon nanotubes bridging between the plurality of protrusions to form the protrusions Forming a crosslinked structure part including
Acquire each chirality in the formed carbon nanotube,
Manufacturing of a crosslinked structure sensor characterized in that carbon nanotubes having a desired chirality and the number of the crosslinked structures are obtained from the substrate by separating them from the substrate with a resin stamp, and transferring and mounting them on an elastic substrate. Method.
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