JP5626157B2 - スパッタリング成膜装置のカルーセル及びスパッタリング成膜装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るスパッタリング成膜装置の模式的平面図である。図1に示すように、スパッタリング成膜装置1は、成膜チャンバ10を備えている。図示は省略するが、成膜チャンバ10には、減圧機構と、スパッタガス供給機構とが接続されている。減圧機構により、成膜チャンバ10内が減圧可能となっている。なお、減圧機構は、例えば、減圧ポンプなどにより構成することができる。
図2は、本実施形態におけるカルーセルの略図的斜視図である。図3は、本実施形態におけるホルダの一部分の略図的分解斜視図である。図4は、本実施形態におけるホルダの略図的断面図である。
4…被成膜部材
10…成膜チャンバ
11…カルーセル
12…ターゲット
13…ターゲット取付部
21…シャフト
22…第1の保持具
23…第2の保持具
30…ホルダ
30a…ホルダ本体
30a1…開口
31…開口部
31a…内壁
31a1…テーパー部
31a2…収納部
32…取付部
32a…フランジ部
32a1…当接部
33…押さえ部材
33a…突出部
33a1…対向部
33b…押さえ部材本体
34…フック部
Claims (9)
- 回転軸を中心として回転し、前記回転軸を中心とする円周面に沿って配されたホルダを備え、
前記ホルダは、スパッタリング成膜される被成膜部材が挿入される開口部と、前記開口部の内壁から内側に向かって突出しており、前記開口部に挿入される被成膜部材に当接するフランジ部とを有する取付部と、
前記開口部に、前記開口部の軸方向に変位可能に挿入され、前記ホルダと共に回転することにより、遠心力により前記フランジ部に対して前記被成膜部材を径方向外側に向けて押圧する押さえ部材と、
を備える、スパッタリング成膜装置のカルーセル。 - 前記押さえ部材は、前記被成膜部材よりも重い、請求項1に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 前記押さえ部材は、前記被成膜部材の前記フランジ部とは反対側の主面を覆っている、請求項1または2に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 前記押さえ部材は、フランジ部と対向している対向部を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 対向部は、開口部の全周にわたって設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 前記押さえ部材は、前記被成膜部材と周縁部において当接している、請求項1〜5のいずれか一項に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 前記開口部は、前記フランジ部側に向かって先細るテーパー状である、請求項1〜6のいずれか一項に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 前記取付部は、チタン及びモリブデンの少なくとも一方を含む金属、またはセラミックスからなる、請求項1〜7のいずれか一項に記載のスパッタリング成膜装置のカルーセル。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載のカルーセルと、
前記カルーセルに対向して設けられており、ターゲットが取り付けられるターゲット取付部と、
を備える、スパッタリング成膜装置。
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