JP5625213B2 - 反射性を有する二次レンズ系と半導体アセンブリ、およびその製造方法 - Google Patents
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Description
二次レンズ系は以下の通りである。
・反射器は、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。特に好適なものとしては、高純度のアルミニウム(99%を超えるアルミニウム)、および99%を超えるアルミニウムにマグネシウムを0.5%未満追加したアルミニウム合金が挙げられる。さらに有利な出発材料としてはステンレス鋼および真鍮が上げられる。
・反射器の外側には、4000nmを越える波長の赤外線を放射する能力の高い層が設けられる。
・アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる反射器の場合、この層は、特別に設けられた酸化アルミニウム層から形成すると好適である。この層により、反射器の温度を下げることができ、全ての点で有利となる。
・反射器の内側には、銀を含有する高反射層を設け、且つ、この高反射層を保護する保護層を設ける。この高反射層は、400から800nmの波長範囲において反射強度ρが70%を超える特徴、および、900から2,500nmの波長範囲において反射強度ρが80%を超える特徴の少なくとも一方を含んでいてよい。酸化アルミニウムまたは酸化シリコンを用いると好適である。
・反射器の内側に、超純粋なアルミニウム(99%を超える純度)高反射層を設け、且つ、この高反射層を保護する保護層を設ける。酸化アルミニウムまたは酸化シリコンを利用すると好適である。
・太陽電池と、ヒートシンクと、接触用材料と、ボンディングワイヤと、反射器およびおそらくは保護ダイオードと、端末パッドと厚手のワイヤボンド脚部とからなるアセンブリが、例えばカプセル化材料(例えばエポキシ、シリコーン、またはカーボネートプラスチック材料)を有する反射器のアセンブリの後に設けられる。このカプセル化材料により、上述の部材が腐食から保護される。
・上部領域の反射器は、リング状に構成された突起を有する。リングにより、反射器の組み立てに利用される上述したカプセル化材料あるいはプラスチック材料へと放射光が入射することがなくなる。強力な光強度を受けるとカプセル化材料が壊れることがある。このため本発明の主題は、少なくともその下の充填化合物が太陽放射の入射を受けない程度の大きさを有するリングまたは別の平坦部に関する。
・このリングは、組み立て時に、ピックアンドプレース法による把持可能な面として機能することができるので好適である。この結果、通常敏感な反射器の表面のひっかきを防ぐことができる。この目的達成のためにリングは平坦に構成されると好適であり、入口孔と平行に構成されると好適である。反射器形状の好適な形成方法である深絞り加工法を利用することで、リングを複雑性なく、最小限の材料の利用により製造することができる。
・反射器の上端部のリングまたは別の平坦部により、反射器の余分な熱をより大きな領域に分散させることができる。この余分な熱は、反射器に入射する太陽光線の吸収から、または、太陽電池から反射器へ熱伝導された熱から生じる。リングにより利用可能となる拡大表面により、モジュール内部の空気の放射または対流により熱を除去する効果が高まる。こうしてモジュール内部の空気は、モジュールの外壁から環境へと排出される。
・厚みが50μmから1mmの平坦なストリップ材料を利用する。
・複数のスタンピングおよび再成形工程を含むことで反射器の形状およびリングひいては特定の取り付け部材を平坦ストリップ材料から直接形成することのできる段階的深絞り加工法(stepped deep-drawing)により、反射器形状を成形する。
・方法では、成形、深絞りおよび再成形プロセスの後に個々の反射部材が完全に分離されず、ウェブ状の接続部材により帯状ストリップの形状で残る。このようにして製造された半完成品のオブジェクトは、後工程(例えば、反射器内部の表面処理としての湿式化学処理)にただちに回される。ウェブ状の接続部材のおかげで個々の反射器はストリップ合成物において定義された形状および位置に留まるので、後処理を最適に行うことができる。特に、個々の部材を1つずつスリップ状に加工する処理が不要となり、この処理に伴う内面の損傷ひいてはこれにより表面処理加工が困難になったり不可能になったりすることが防止される。加えて、ストリップ材料の全ての反射器間に存在する接続部のために後の処理で初めて電気化学プロセスを利用する電気コンタクトが利用可能になる。
・最初の成形、深絞りおよび再成形プロセスの結果形成された、成形された反射器を含むストリップ材料に対して、オプションとして、湿式化学処理を行うことができる。この処理工程は洗浄(例えば界面活性剤による洗浄、酸洗浄、アルカリ洗浄)、化学または電気化学研磨、化学または電気化学デバリング、さらに、酸化物層の化学または電気化学的な塗布を含む。
・酸化物層は、反射性を有する内面を、周囲空気の影響から守る。
・次に、スタンピング処理により反射器をストリップから分離させる。
・反射器の湿式化学処理の後で、例えば銀製の層あるいはアルミニウム含有反射層といった更なる層を塗布して、反射強度を上げることができる。この場合さらに、例えばスパッタリング、CVD法または湿式化学法により、保護層(例えば、酸化アルミニウム、窒化シリコン、または二酸化シリコン)を塗布する。露呈された材料が遷移しないように、これらの保護層を塗布する前にウェブを分離することで反射器を合成物から切り離してもよい。その後、反射器に対して適切なマガジンデバイスにより更なる処理を行う。
・深絞り加工法を利用することで、文献から公知なあらゆる最適な形状(例えば円錐状、放物線状、ハイパー放物線状、または複数の放物線を組み合わせた形状)を生成することができる。保護層を再成形が終わってから塗布することによって、結果物に対してこれ以上の余計な応力がかからず、再成形は重要なパラメータ(例えばアスペクト比)の範囲内で、基本材料の延伸処理による影響のみを受ける。
・半導体アセンブリはSCAであると好適である。
・反射器の出口孔の下側を、第1の接着層により太陽電池の上側に接続させる。この接着膜は非常に粘着力および/または接着力が弱い。従って、反射器の熱膨張時にも太陽電池の上側には応力がかからない(太陽電池のコンタクトメタライゼーションが分離する危険性)。この第1の接着層は、反射器の最初の膨張時に動作中に破壊する予め定められた破壊点の一種を表す。
・この第1の接続層に加えて、第2の接着または充填化合物を塗布して、これにより、チップキャリアの一部さらに反射器の一部を封止する。この第2の接着剤により、反射器とチップキャリアとが、機械ロード可能に、且つ平坦に接続される。反射器の外壁への接触面は、反射器の下端の表面と比して非常に大きい。こうすることにより、この第2の接着剤は、熱膨張中に生じる応力を非常に良好に吸収することができる。加えて、吸収により反射器が生じる熱をチップキャリアへとより良好に放散することができる。
・これを達成する目的上、熱伝導性の良好な材料(例えばSiOH−、SIO2、またはTiO2粒子、あるいはセラミック粒子)を充填することによって、第2の接着剤の熱伝導性を向上させることができる。
・第2の充填化合物で、太陽電池の端部およびボンディングワイヤを封止することができる。この結果、カプセル効果が得られて、これらの特に重要な領域が風化から守られる。
・第2の充填化合物に利用される材料(例えば熱可塑性プラスチック材料)は、通常、強力な集光に対する永続的な耐性を有さない。従ってこの充填化合物を動作中に放射光の入射による損傷から守る目的上、反射器の上側の突起(例えばリング、または、これに準じる平坦部)が非常に重要となる。集光式のモジュールの場合には、例えばトラッカの位置不良によって、集光されたビーム全体が充填化合物へと導かれることがある。
・この構成の代わりに、反射器を接着層で直接チップ表面(例えば、太陽電池の表面)に連結させてもよい。熱機械的応力を起こさないよう、接着層は非常に可撓性のあるプラスチック材料から形成されてよく、および/または、銀または銅の粒子等の特に良好な導電性を有する粒子を充填されてもよい。
・さらなる代替例として、国際公開第91/18419号パンフレット等から公知な搭載サドルを利用することもできる。この出願から、実際の反射器の中央受け入れ開口を有するサドルの利用が公知である。好適には、この搭載サドルは冷却深絞り加工法により二次レンズ系を有するモノリシック合成物として単一の方法ステップにより平坦ストリップ材料から(平坦金属ストリップから)直接成形することができる。この統合された解決法により、搭載工程が省かれることで工程が単純化され、且つ、必要な部材数が低減することにより処理の複雑性が低減するという利点が生じる。搭載サドルはこの場合、保護用の突起またはリングの機能を担う。
・さらに、チップキャリアが、チップキャリア平面から突出するロック機能(locking possibilities)(例えばクリップ)を有する代替的な方法が提唱されている。二次レンズ系は、クリップの付属物として適切な形状の部分を有する。チップキャリアの上のクリップは、二次レンズ系上の対応する形状の部分を広げる機能を持つガイド領域を有する。さらに、ロック機能は、これに加えてまたはこの代わりに、二次レンズ系の成形部の対応する開口が係合するための***した部分を有する(例えば、成形マンドレルまたはカップ)。クリップがさらに二次レンズ系上に成形され、対応する逆受け入れ手段(counter-receiving means)をチップキャリア上に成形する。本実施形態により、接着剤を広範に塗布でき、半導体部材合成物全体の二次レンズ系の信頼性高い可逆固定機能(reversible fixing possibility)が可能となる。
・太陽電池の上側には、反射器の支持表面の領域に適切な層が設けられ、搭載プロセスにおけるメタライゼーションまたはその下の半導体層への損傷を防ぐ。この層は、例えば酸化物層、金属層、または、プラスチック材料層(ポリイミドまたはPTFE)として設計されてよい。
・二次レンズ系はさらに、太陽電池の上側の電気接続として利用されうる。この目的上、反射器の上側の拡大成形部分は、絶縁されている第1の領域を形成するチップキャリアの第2の導電領域上の太陽電池の隣に導電性を持つよう接続されている。
・幾らかの有利な搭載方法が考えられる。本発明による標準的な搭載方法では、先ず、結合力および粘度が低く、および/または、接着力が低く、および/または、弾性が非常に高い第1の接着剤を、インクジェット法、スタンピング法等により塗布する。次に、二次レンズ系を、把持具(例えば真空把持具)により適切なマガジンデバイスから取り外し、下側から視覚システムにより計測する。視覚システムの修正情報を考慮に入れて、二次レンズ系を、先に塗布された第1の接着剤の上に配置する。こうするための最大配置力をバネ張力により定義し、あるいは、チップから10から200μmの間に定義された間隔を、搭載ヘッドに組み込まれているスペーサまたは高さセンサにより維持する。この代わりに反射器上に搭載してもよい。適宜、第1の接着剤を、次の工程の前に硬化させることもできるが、これは特に低粘度の接着剤では不要である。次に、固定された二次レンズ系の一部を第2の接着剤で覆う。第1の接着剤は、毛細効果により第2の接着剤が実際の太陽電池領域に移動してしまうことを防止する。次に、第2の材料を硬化させる。
・さらに好適な搭載方法は以下のシーケンスを有する。太陽電池と、ヒートシンクと、太陽電池に接触する下側および上側と、またおそらくは、コンタクトを有する保護ダイオードと、またおそらくは、コンタクトを有するコンタクトパッドとを備えるアセンブリに、充填化合物を充填する。充填剤はアセンブリが部分的に、または全体的に充填化合物で囲まれるように充填される。太陽電池領域内の充填領域は、二次レンズ系の外形に適合する窪みを有する。反射器をこの窪みに挿入して、摩擦により、または、さらに接着剤を加えることにより永久固定することができる。本実施形態は、太陽電池をカプセル化することで環境の影響から保護することができる、という利点を有し、反射器の熱膨張中に生じる応力は大きな領域に広がり、ひいては充填化合物へと加えられ、さらに、吸収された放射光が生成する熱は、充填化合物を有する大面積のコンタクトを介して容易に放散する。
・さらに好適な実施形態では、上述した搭載サドルにより反射器を搭載する方法が示される。同様に好適な実施形態では、酸化シリコン、水酸化シリコン、銀等の粒子を含む伝導性の良好な材料を有する接着剤を利用してサドルを搭載する方法、あるいは、直接結合(例えば溶接、半田付け、ボンディング)により搭載する方法が示される。
・反射器は、好適には、太陽電池から間隔を置いて設けられ、該間隔は、反射器の下側の孔から太陽電池の上側の格子まで、垂直に計測した長さが20から300μmである。
・反射器は、エポキシ、シリコーン、またはカーボネートプラスチック材料等の空気よりも屈折率の高い光透過性領域、および、側面領域を覆う反射層を備える反射性部材として構成することができる。こうすることで、2つの重要な利点が生じる。第一に、光透過性領域の(空気に比した)屈折率を高めることで、一次レンズから対角線状に光透過領域へと入射するビームをさらに太陽電池の方向へと偏向させることができ、第二に、太陽電池の表面が光透過性領域により、環境の影響からスクリーニングされる。二次レンズ系は、反射特性に加えて、好適に補完された屈折特性を有する。
・この部材は例えば、エポキシ、シリコーン、またはカーボネートプラスチック材料といった透光性材料で深絞り型の反射器を充填することで生成することができる。
・好適な実施形態では、高い濡れ角(90度を超える角度)を有する光透過性材料を酸化アルミニウムの上に利用する。この場合には凸型のレンズ形状をした表面が生成されると好適であり、これは、動作中の温度による影響でさらに拡大する。凸型の表面により、エッジビームが効果的に破壊され、反射数が減ることで損失が最小限に抑えられる。このように、表面の凸型の形状は、集光型のモジュールでは角度許容の観点から有利であり、さらなる光学パラメータ(傾斜許容差、集光増加)の観点からも有利である。
・反射器への光透過性材料の充填は、太陽電池への搭載の前、その間、あるいはその後に行うことができる。好適な実施形態では、太陽電池への搭載の前に反射器を充填する。この目的上、反射器の内部または内部の一部には、透光性材料が出口孔まで実質的に充填されて硬化される。出口孔の平面は、好適には透光性領域と20から300μm重なる。この結果、出口孔のサイズまたは太陽電池の活性化領域のサイズに相当する領域が生成される。この領域は、光透過性接着剤により太陽電池に直接二次レンズ系を搭載する際に利用される。
・さらなる好適な搭載方法では、太陽電池の領域への搭載前に太陽電池アセンブリ上に移動型の光透過性材料を塗布する。そして反射性を有する二次レンズ系をこの材料内に挿入して、材料を硬化させて固定する。二次レンズ系の内部に位置している充填化合物の部分は、このようにして、太陽電池の活性面の保護層の役割を果たし、同時に、空気と比して密度が高いことから、光ビーム偏向器としての役割も果たす。反射器に透光性を有する充填化合物をさらに充填することで、この効果を高めることができる。同時に、充填化合物の、反射器で硬化する部分は、電池の端部および表面のコンタクトへの接続部(ボンディングワイヤ等)を風化の影響から守る。
Claims (41)
- 半導体素子上に太陽光を集光する反射性および屈折性の少なくとも一方を有する二次レンズ系(100)であって、
前記太陽光の方向を向く入口孔(4)と半導体部材(2)の方向を向く出口孔(5)とを有する反射器(3)を備え、
前記反射器(3)は前記反射器(3)を囲む突起(6)を有し
前記反射器(3)の内側には少なくとも1つの保護被膜が設けられており、前記少なくとも1つの保護被膜は、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、および、酸化シリコンを含む、または、これらからなり、
前記出口孔(5)側の前記反射器(3)の外側には、当該反射器(3)を前記半導体部材(2)と結合する結合材料(17)が設けられ、
前記突起(6)は、前記太陽光が当該結合材料に入射しないようにリング状に前記反射器(3)に設けられる、二次レンズ系。 - 前記突起(6)は、前記反射器(3)の長手方向に、前記入口孔(4)の高さに設けられる、請求項1に記載の二次レンズ系。
- 前記突起(6)は前記反射器(3)に、モノリシックに、またはフォームフィットに接続される、請求項1または2に記載の二次レンズ系。
- 前記突起(6)は、前記入口孔(4)の面と平行に配置される、請求項1から3のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記突起(6)の輪郭は、矩形、正方形、円形、楕円形、または不規則な形状である、請求項1から4のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記反射器(3)の材料の少なくとも一部は、アルミニウムおよびアルミニウム含有合金からなる群から選択される、請求項1から5のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記反射器(3)の壁厚は50μmから1mmである、請求項1から6のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記反射器(3)の内側には、400から800nmの波長範囲において反射強度ρが70%を超える特徴、および、900から2,500nmの波長範囲において反射強度ρが80%を超える特徴の少なくとも一方を含む少なくとも1つの高反射性被膜が設けられている、請求項1から7のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記高反射性被膜は、金属を含み、または前記金属からなり、前記金属は高純度(99重量%を超える)形態のアルミニウム、銀、屈折率n20 Dが互いに異なる複数の材料層、および、これらの合金または組み合わせからなる群から選択される、請求項8に記載の二次レンズ系。
- 前記少なくとも1つの高反射性被膜上には、前記少なくとも1つの保護被膜が設けられている、請求項8または9に記載の二次レンズ系。
- 空洞の少なくとも一部には、300から2,500nmの波長範囲で光透過性を有する光透過性材料(7)が充填されている、請求項1から10のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記光透過性材料(7)は、空気より高い屈折率n20 Dを有する、請求項11に記載の二次レンズ系。
- 液体凝集状態の前記光透過性材料(7)は、酸化アルミニウム上で90度を超える濡れ角を有する、請求項11または12に記載の二次レンズ系。
- 前記光透過性材料(7)は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ガラス、石英ガラス、および、熱可塑性プラスチック材料からなる群から選択される、請求項11から13のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記入口孔および前記出口孔(5)の少なくとも一方は、300から2,500nmの波長範囲で光透過性を有する窓(8)で閉じられる、請求項1から14のいずれか一項に記載の二次レンズ系。
- 前記光透過性を有する窓(8)は、ガラス、プレキシガラス、酸化シリコン、シリコンカーバイド、および酸化アルミニウムからなる群から選択される、請求項14または15に記載の二次レンズ系。
- 吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体アセンブリであって、
請求項1から16のいずれか一項に記載の二次レンズ系と、
前記半導体部材(2)とを備え、
前記半導体部材(2)は、吸光性および発光性の少なくとも一方を有し、
前記二次レンズ系(100)は、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)に前記出口孔(5)を介してフォームフィット接続されている、半導体アセンブリ。 - 前記接続は、接着剤(11)および取り付け部材(9)の少なくとも一方によるものを含む、請求項17に記載の半導体アセンブリ。
- 前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)の前記二次レンズ系(100)は、1から5,000μmの間隔で配置され、少なくとも前記二次レンズ系(100)と前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)との間には前記接着剤(11)が充填されている、請求項18に記載の半導体アセンブリ。
- 少なくとも前記突起(6)の1つの側面にはフォームフィット成形された取り付け部材(9)が隣接しており、前記取り付け部材(9)を介して前記二次レンズ系が半導体素子およびチップキャリア(10)の少なくとも一方に接続可能である、請求項17に記載の半導体アセンブリ。
- 前記突起(6)には、前記反射器の外側に向かって、前記取り付け部材(9)が隣接している、請求項20に記載の半導体アセンブリ。
- 前記取り付け部材(9)は、前記突起(6)にモノリシック成形されている、請求項20または21に記載の半導体アセンブリ。
- 前記チップキャリア(10)は、少なくとも1つのフォームフィット可逆ロック機構(18)を有し、
前記少なくとも1つのフォームフィット可逆ロック機構(18)には、前記取り付け部材(9)が接続可能である、請求項20から22のいずれか一項に記載の半導体アセンブリ。 - 少なくとも1つのさらなる部材を備え、
前記少なくとも1つのさらなる部材は、前記半導体アセンブリを少なくとも1つのさらなる半導体アセンブリに電気的に配線するためのコンタクト(12、12')、前記チップキャリア(10)、配線パッド(13)、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)を前記配線パッド(13)に電気的に配線するためのボンディングワイヤ(14)、少なくとも1つの保護ダイオード、前記二次レンズ系(100)に集光するためのフレネル集光器、レンズ、および、ミラーの少なくとも1つを含む、少なくとも1つの一次レンズ系(15)からなる群から選択される、請求項20から23のいずれか一項に記載の半導体アセンブリ。 - 前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)および前記配線パッド(13)の少なくとも一方は、前記チップキャリア(10)上に、接着(16)により固定される、請求項24に記載の半導体アセンブリ。
- 前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)と前記二次レンズ系(100)とは、前記チップキャリア(10)と前記結合材料(17)により更に固定され、前記結合材料(17)は、少なくとも前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)と前記二次レンズ系(100)とを少なくとも部分的に封止する、請求項24または25に記載の半導体アセンブリ。
- 前記結合材料(17)は、熱可塑性プラスチック材料、エポキシ樹脂、シリコーン、アクリレート、および、シアノアクリレートからなる群から選択される、請求項26に記載の半導体アセンブリ。
- 前記結合材料(17)は、
銀粒子、銅粒子である金属チップまたは金属粒子を含む熱伝導性材料、セラミック粒子およびシリカゲル、ならびに、これらの組み合わせの少なくとも1つである、請求項26または27に記載の半導体アセンブリ。 - 前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)の少なくとも前記二次レンズ系(100)に接続されている側面には、少なくとも1つの保護被膜が設けられており、前記少なくとも1つの保護被膜は、金属層、酸化アルミニウム等の酸化物層、ポリイミドおよびPTFE等のプラスチック材料層からなる群から選択される、請求項24から28のいずれか一項に記載の半導体アセンブリ。
- 前記二次レンズ系(100)は、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)に電気的に接触している、請求項24から29のいずれか一項に記載の半導体アセンブリ。
- 前記半導体アセンブリは、少なくとも1つの前記コンタクトを介して少なくとも1つのさらなる半導体アセンブリに、直列および並列の少なくとも一方で電気的に配線されている、請求項24から30のいずれか一項に記載の半導体アセンブリ。
- 請求項20から31のいずれか一項に記載の半導体アセンブリの製造方法であって、
請求項1から16のいずれか一項に記載の二次レンズ系が、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)、および、前記チップキャリア(10)の少なくとも一方の上に固定される、半導体アセンブリの製造方法。 - 前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)上に接着剤(11)を塗布する工程aと、
前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)上に前記二次レンズ系(100)を押圧し、且つ、前記二次レンズ系(100)と前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)との間に、1から5,000μmの間隔を維持する工程bと、
工程aおよび工程bで生成された合成物を、前記結合材料(17)で覆い硬化させる工程cと、
を備える、請求項32に記載の半導体アセンブリの製造方法。 - 前記接着剤(11)を塗布する工程aは、インクジェット法およびスタンピング法の少なくとも一方により行われる、請求項33に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- 前記結合材料(17)を前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)の周りに塗布し、且つ、窪みには塗布しない工程aと、
前記二次レンズ系(100)を前記窪みに挿入して固定する工程bと、
を備える、請求項32に記載の半導体アセンブリの製造方法。 - 前記結合材料は、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)が設けられている前記チップキャリア(10)の上に塗布される、請求項35に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- さらに、ボンディングワイヤ(14)、配線パッド(13)、および、少なくとも1つの保護ダイオードの少なくとも1つが、少なくとも部分的に前記結合材料により封止される、請求項36に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- 前記二次レンズ系(100)を前記窪みに挿入して固定する工程bは、接着摩擦すること、および、さらなる接着剤を前記二次レンズ系(100)と前記結合材料の前記窪みとの間のコンタクト表面上に塗布することの少なくとも一方をすることにより行われる、請求項35から37の何れか1項に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- 前記二次レンズ系(100)は、少なくとも取り付け部材(9)により、前記チップキャリア(10)上に固定される、請求項32から38のいずれか一項に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- 前記固定は、前記取り付け部材(9)を前記チップキャリア(10)に接着させる、螺子止めさせる、リベット留めさせる、溶接させる、半田付けさせる、および、結合させる、の少なくとも1つのこと、および、成形マンドレルまたはカップ等のロック機能(18)の少なくとも一方により直接固定させることにより行われる、請求項39に記載の半導体アセンブリの製造方法。
- 接着剤(11)を前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)上に塗布して、前記二次レンズ系(100)を当該部材上に押圧して、前記吸光性および発光性の少なくとも一方を有する半導体部材(2)を前記接着剤(11)で被膜した後に、前記接着剤を硬化させる、請求項32に記載の半導体アセンブリの製造方法。
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