JP5622653B2 - Ink jet head and method of manufacturing ink jet head - Google Patents
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Description
本発明の実施形態は、アクチュエータに接着されたノズルプレートにレーザ光を照射することでノズルを形成したインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドを製造する方法に関する。 Embodiments described herein relate generally to an inkjet head in which nozzles are formed by irradiating a nozzle plate bonded to an actuator with laser light, and a method for manufacturing the inkjet head.
複数のノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッドでは、圧電材料で構成されたアクチュエータにインクが供給される複数の溝が形成されている。各溝においては、溝の底面から側面に至る領域に駆動電圧が印加される電極が設けられている。 In an inkjet head that discharges ink from a plurality of nozzles, a plurality of grooves are formed through which ink is supplied to an actuator made of a piezoelectric material. In each groove, an electrode to which a driving voltage is applied is provided in a region from the bottom surface to the side surface of the groove.
電極は、インクから保護する保護膜で覆われている。保護膜としては、例えばポリパラキシレンのような有機被膜が用いられている。有機被膜は、各種の酸化物や窒化物を用いた無機被膜よりもピンホールが発生する確率が低い。そのため、電気導電性を有する多種多様のインクを用いた場合でも、インクと電極との間の電気絶縁性を確保することができる。 The electrode is covered with a protective film that protects from ink. For example, an organic coating such as polyparaxylene is used as the protective film. Organic coatings have a lower probability of pinholes than inorganic coatings using various oxides and nitrides. Therefore, even when a wide variety of electrically conductive inks are used, electrical insulation between the ink and the electrode can be ensured.
従来のインクジェットヘッドによると、インクを吐出するノズルは、アクチュエータに接着されたノズルプレートにレーザ光を照射することにより形成されている。ノズルを形成するレーザ光は、ノズルプレートを貫通した直後に溝内に入射するとともに、電極を覆う保護膜の上に照射される。 According to the conventional ink jet head, the nozzle for ejecting ink is formed by irradiating a laser beam onto a nozzle plate bonded to an actuator. The laser beam forming the nozzle enters the groove immediately after penetrating the nozzle plate, and is irradiated on the protective film covering the electrode.
しかしながら、保護膜を構成する有機被膜は、レーザ光を受けると蒸発して孔が開くので、有機被膜のうちレーザ光を受けた領域がダメージを受ける。 However, the organic coating that forms the protective film evaporates and opens a hole when receiving the laser beam, so that the region of the organic coating that receives the laser beam is damaged.
この結果、有機被膜に開いた孔から電極が露出してしまい、インクと電極との間の電気絶縁性を維持することができなくなる。よって、特に電気導電性を有するインクを用いた場合、電極が早期のうちに溶解してしまい、インクジェットヘッドの耐久性が低下する。 As a result, the electrode is exposed from the hole opened in the organic film, and the electrical insulation between the ink and the electrode cannot be maintained. Therefore, particularly when an electrically conductive ink is used, the electrode dissolves early and the durability of the ink jet head decreases.
本実施形態によれば、インクジェットヘッドは、圧電材料で構成され互いに重ねられた第１および第２の圧電部材を有するとともに、第１の圧電部材を貫通して第２の圧電部材まで延びたインクが供給される複数の溝を有するアクチュエータと、アクチュエータの第１の圧電部材に接着剤で固定されたノズルプレートとを具備する。ノズルプレートは、溝の開口端をアクチュエータの上側から覆うとともに、溝に向けて照射されたレーザ光により形成された溝に向けて拡開するテーパー状の複数のノズルを有する。溝の内面に電極が形成されている。電極は、ノズルプレートを貫通したレーザ光が照射される溝内の領域から外れて第２の圧電部材のみに形成されている。電極の上およびレーザ光が照射される溝内の領域に対応する溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜が形成されている。ノズルプレートのノズルのテーパー状の内面を延長した仮想線は、第１の圧電部材の溝の内面と交差する。 According to this embodiment, the inkjet head has a first and second piezoelectric members stacked together is constituted by a pressure material cost, extending to the second piezoelectric member through the first piezoelectric member An actuator having a plurality of grooves to which ink is supplied; and a nozzle plate fixed to the first piezoelectric member of the actuator with an adhesive. The nozzle plate has a plurality of tapered nozzles that cover the opening end of the groove from the upper side of the actuator and expand toward the groove formed by the laser light irradiated toward the groove . An electrode is formed on the inner surface of the groove. The electrode is formed only on the second piezoelectric member outside the region in the groove where the laser beam penetrating the nozzle plate is irradiated. A protective film having electrical insulation is formed on the electrode and on the inner surface of the groove corresponding to the region in the groove irradiated with laser light. An imaginary line obtained by extending the tapered inner surface of the nozzle of the nozzle plate intersects the inner surface of the groove of the first piezoelectric member.
［第１の実施形態］
以下、第１の実施形態について、図１ないし図１３を参照して説明する。
[First Embodiment]
Hereinafter, the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 13.
図１ないし図３は、例えばプリンタのキャリッジに搭載して使用するオンディマンド型のインクジェットヘッド１を開示している。インクジェットヘッド１は、インク槽２、基板３、スペーサ４およびノズルプレート５を備えている。
1 to 3 disclose an on-demand type ink-jet head 1 that is used by being mounted on a carriage of a printer, for example. The inkjet head 1 includes an
インク槽２は、インク供給管６およびインク戻し管７を介してインクカートリッジに接続されている。
The
基板３は、細長い実装面３ａを有する矩形状であり、インク槽２の開口端を塞ぐようにインク槽２の上に重ねられている。基板３としては、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）およびチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）等を用いることができる。
The
複数のインク供給口８および複数のインク排出口９が基板３に設けられている。インク供給口８およびインク排出口９は、基板３の実装面３ａに開口されている。
A plurality of
図２および図３に示すように、インク供給口８は、基板３の幅方向に沿う一端部および他端部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。インク排出口９は、基板３の幅方向に沿う中央部において、基板３の長手方向に間隔を存して一列に並んでいる。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
スペーサ４は、四角い枠状である。スペーサ４は、基板３の実装面３ａの上に接着されて、インク供給口８およびインク排出口９を取り囲んでいる。
The
ノズルプレート５は、例えば厚さが５０μｍのポリイミドフィルムで構成されている。ノズルプレート５は、スペーサ４の上に接着されて基板３の実装面３ａと向かい合っている。
The
図３に示すように、基板３、スペーサ４およびノズルプレート５は、互いに協働してインク流通室１１を構成している。インク流通室１１は、インク供給口８およびインク排出口９を介してインク槽２に通じている。インク供給口８は、インクをインク槽２からインク流通室１１に供給する。インク流通室１１に供給された余剰のインクは、インク排出口９からインク槽２に戻される。
As shown in FIG. 3, the
図１および図２に示すように、一対のノズル列１２ａ，１２ｂがノズルプレート５に形成されている。ノズル列１２ａ，１２ｂは、ノズルプレート５の長手方向に延びるように、ノズルプレート５の幅方向に間隔を存して互いに平行に配置されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a pair of
ノズル列１２ａ，１２ｂは、夫々複数のノズル１３を有している。ノズル１３は、ノズルプレート５を厚み方向に貫通するミクロン単位の微小な孔である。ノズル１３は、ノズルプレート５に例えばエキシマレーザ装置を用いたレーザ加工を施すことにより形成されている。ノズル１３は、インク流通室１１に開口するように互いに間隔を存して並んでいるとともに、印字すべき記録媒体と向かい合うようになっている。
The
図４に示すように、本実施の形態では、エキシマレーザ装置から出力されるレーザ光の焦点Ｆの位置をノズルプレート５の外側にずれた位置に設定している。これにより、レーザ光は、ノズルプレート５を貫通する際に、インク流通室１１の方向に進むに従い連続的に拡開する。
As shown in FIG. 4, in the present embodiment, the position of the focal point F of the laser light output from the excimer laser device is set to a position shifted to the outside of the
この結果、レーザ加工されるノズル１３は、インク流通室１１の方向に進むに従い口径が逐次増大するテーパ状に形成されている。本実施形態のノズル１３は、例えばインクの吐出量が３ｐＬの場合は、インク流通室１１に開口する上流端の口径が４０μｍであり、インク流通室１１とは反対側に開口する吐出端の口径が２０μｍとなっている。ノズル１３の寸法は、インクの吐出量に応じて所定の値に設定される。
As a result, the laser-processed
図２および図３に示すように、インク流通室１１に一対のアクチュエータ１５ａ，１５ｂが収容されている。一方のアクチュエータ１５ａは、一方のノズル列１２ａの真下に位置するように基板３の実装面３ａの上に接着されている。他方のアクチュエータ１５ｂは、他方のノズル列１２ｂの真下に位置するように基板３の実装面３ａの上に接着されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, a pair of
アクチュエータ１５ａ，１５ｂは、互いに共通の構成を有している。そのため、第１の実施形態では、一方のアクチュエータ１５ａを代表して説明し、他方のアクチュエータ１５ｂについては、同一の参照符号を付して、その説明を省略する。
The
アクチュエータ１５ａは、細長い板状の本体１６を備えている。図４に示すように、本体１６は、二枚の圧電部材１７ａ，１７ｂを厚み方向に重ねて接着したものであり、ノズル列１２ａに沿って延びている。圧電部材１７ａ，１７ｂは、その分極方向が圧電部材１７ａ，１７ｂの厚さ方向に互いに逆向きとなっている。
The actuator 15 a includes an elongated plate-like
圧電部材１７ａ，１７ｂとしては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等を用いることができ、本実施形態では、圧電定数の高いＰＺＴを用いている。
As the
本体１６は、表面１８、裏面１９および側面２０ａ，２０ｂを有している。表面１８は、ノズルプレート５に面している。裏面１９は、表面１８の反対側に位置されて、基板３の実装面３ａに面している。
The
一方の側面２０ａは、表面１８の幅方向に沿う一端と裏面１９の幅方向に沿う一端との間に跨っている。他方の側面２０ｂは、表面１８の幅方向に沿う他端と裏面１９の幅方向に沿う他端との間に跨っている。さらに、側面２０ａ，２０ｂは、表面１８から裏面１９の方向に進むに従い互いに遠ざかる方向に傾斜している。
One side surface 20 a straddles between one end along the width direction of the
図２、図４および図６に示すように、複数の溝２２および複数の隔壁２３が本体１６に形成されている。溝２２は、本体１６の長手方向に間隔を存して一列に並んでいるとともに、本体１６の表面１８および側面２０ａ，２０ｂに連続して開口されている。
As shown in FIGS. 2, 4 and 6, a plurality of
各溝２２は、底面２４と、一対の側面２５ａ，２５ｂとで規定されている。側面２５ａ，２５ｂは、溝２２の幅方向に間隔を存して向かい合っている。さらに、溝２２は、上側の圧電部材１７ａを貫通して下側の圧電部材１７ｂの厚み方向に沿う途中にまで達している。このため、溝２２の底面２４は、下側の圧電部材１７ｂで構成されている。溝２２の側面２５ａ，２５ｂは、夫々上側の圧電部材１７ａで構成された第１の部分２６と、下側の圧電部材１７ｂで構成された第２の部分２７とを備えている。
Each
溝２２の深さは、溝２２の幅よりも大きく設定されている。溝２２の深さと幅との比（深さ／幅）で定まるアスペクト比は、溝２２が深くて、幅が狭まる程に高くなる。アスペクト比および溝２２の間隔は、インクジェットヘッド１に要求される解像度やインクの吐出量に応じて所定の値に設定される。
The depth of the
さらに、本体１６の隔壁２３は、隣り合う溝２２の間に介在されて、溝２２を互いに分離している。
Further, the
本実施形態によると、溝２２は、本体１６に例えばダイヤモンドブレードを用いた切削加工を施すことで形成されている。そのため、図４および図５に示すように、溝２２の内面は、数多くのミクロン単位の凹凸２８を有している。加えて、ＰＺＴ製の本体１６は脆いために、本体１６に切削加工を施す過程において、溝２２の内面となる底面２４および側面２５ａ，２５ｂが部分的に欠落することがあり得る。この結果、切削加工された溝２２の内面は、平滑度が失われた粗面となっている。
According to the present embodiment, the
図４に示すように、ノズルプレート５は、溝２２が開口された本体１６の表面１８に接着剤３０を介して接着されている。溝２２とノズルプレート５とで規定された空間は、複数の圧力室３１を構成している。圧力室３１は、インク室１１に供給されたインクが流入するようにインク室１１に連通されている。さらに、ノズルプレート５のノズル１３は、個々に圧力室３１の中央部に開口されている。
As shown in FIG. 4, the
本体１６の表面１８とノズルプレート５との間に充填された接着剤３０は、その一部が余剰部分３２となって圧力室３０内に食み出している。接着剤３０の余剰部分３２は、ノズルプレート５の圧力室３１に臨む面に付着した状態で硬化されているとともに、圧力室３１内でノズル１３の開口端と隣り合っている。
A part of the adhesive 30 filled between the
接着剤３０の余剰部分３２にカット部３３が形成されている。カット部３３は、ノズル１３を形成するためのレーザ光が余剰部分３２を通過した後に残った箇所であり、レーザ光の照射方向に沿うように傾斜している。
A
すなわち、図４に二点鎖線で示すように、例えば余剰部分３２の端部３２ａが圧力室３１に開口するノズル１３の上流端に張り出していた場合、端部３２ａは、ノズルプレート５を貫通するレーザ光により除去される。よって、ノズル１３の上流端の一部が接着剤３０によって塞がれることはない。
That is, as shown by a two-dot chain line in FIG. 4, for example, when the
圧力室３１を規定する溝２２の内側に夫々電極３５が設けられている。電極３５は、溝２２の底面２４および溝２２の側面２５ａ，２５ｂを連続して覆っている。隣り合う溝２２の電極３５は、電気的に独立するように互いに切り離されている。
図６に示すように、電極３５は、ニッケルめっき層３６と金めっき層３７とを有する二層構造となっている。ニッケルめっき層３６および金めっき層３７は、夫々金属層の一例である。ニッケルめっき層３６は、本体１６および溝２２に無電解ニッケルめっきを施すことにより構成され、電極３５の下地となっている。ニッケルめっき層３６の厚さは、例えば０．８μｍである。
As shown in FIG. 6, the
金めっき層３７は、ニッケルめっき層３６の上に電解金めっきを施すことにより構成されている。金めっき層３７は、ニッケルめっき層３６の上に積層されて、ニッケルめっき層３６を被覆している。金めっき層３７の厚さは、例えば０．１μｍである。
The
図４に示すように、ノズル１３に対応する溝２２の中央部では、電極３５は、溝２２の底面２４と、溝２２の側面２５ａ，２５ｂのうち底面２４に連続した第２の部分２７とにのみ設けられている。
As shown in FIG. 4, in the central portion of the
言い換えると、溝２２の側面２５ａ，２５ｂのうちノズル１３に隣接した第１の部分２６に電極３５は存在せず、ノズル１３に対応する溝２２の中央部では、電極３５はノズル１３と向かい合う溝２２の底部にのみ設けられている。
In other words, the
したがって、溝２２の側面２５ａ，２５ｂは、電極３５が存在しない領域３８を有している。この領域３８は、前記ノズルプレート５を貫通して圧力室３１に入射されたレーザ光の照射領域に対応している。
Therefore, the side surfaces 25a and 25b of the
電極３５は、基板３の実装面３ａの上に形成された複数の導体パターン３９に電気的に接続されている。導体パターン３９の先端は、スペーサ４の外に導かれているとともに、複数のテープキャリアパッケージ４０に接続されている。テープキャリアパッケージ４０は、インクジェットヘッド１を駆動する駆動回路４１を搭載している。
The
駆動回路４１は、インクジェットヘッド１の電極３５に駆動パルスを印加する。これにより、圧力室３１を間に挟んで隣り合う電極３５の間に電位差が生じ、これら電極３５に対応する隔壁２３に電界が生じる。この結果、隔壁２３がシェアモードで変形し、圧力室３１に充填されたインクが加圧される。加圧されたインクの一部は、複数のインク滴となってノズル１３から記録媒体に向けて吐出される。
The
図４および図５に示すように、各溝２２の電極３５は、保護膜４３で覆われている。保護膜４３は、例えばパリレンのような電気絶縁性を有する有機材料で構成されている。保護膜４３は、電極３５の表層となる金めっき層３７の上に積層されているとともに、溝２２の側面２５ａ，２５ｂのうち電極３５が存在しない領域３８では、側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６の上に積層されている。したがって、保護膜４３は、ノズルプレート５にノズル１３を形成する際に、レーザ光の照射を受ける。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
図４に示すように、溝２２の側面２５ａ，２５ｂは、数多くの微小な凹凸２８を有する粗面となっている。このため、電極３５が存在しない領域３８の箇所で側面２５ａ，２５ｂに積層された保護膜４３は、側面２５ａ，２５ｂの表面粗さの影響を受ける。すなわち、側面２５ａ，２５ｂの表面粗さが粗くなっていると、保護膜４３にピンホールが発生する確率が増える。
As shown in FIG. 4, the side surfaces 25 a and 25 b of the
そのため、保護膜４３にピンホールが発生するのを防ぐためには、保護膜４３の膜厚を３μｍ以上とすることが望ましい。
Therefore, in order to prevent the generation of pinholes in the
第１の実施形態のインクジェットヘッド１によると、ノズル１３を形成するレーザ光は、図４に示すように、基板３に接着されたノズルプレート５を貫通して圧力室３１に入射する。レーザ光は、圧力室３１の方向に進むに従い拡開するので、レーザ光の一部が保護膜４３の上に照射される。そのため、保護膜４３のうちレーザ光が照射された箇所は、レーザ光によってダメージを受ける。
According to the inkjet head 1 of the first embodiment, the laser light that forms the
保護膜４３のうちレーザ光が照射された部位は、溝２２の底面２４よりもノズル１３に近い溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６に相当し、第１の部分２６は電極３５が存在しない領域３８となっている。
The portion of the
このため、保護膜４３のうちレーザ光の照射を受けた部位に孔が開いたとしても、この孔から露出されるのは溝２２の側面２５ａ，２５ｂであって、電極３５は保護膜４３で覆われた状態に維持される。
For this reason, even if a hole is opened in the portion of the
したがって、圧力室３１に供給されるインクと電極３５との間を電気的に絶縁された状態に保つことができ、たとえインクが導電性を有していても、インクに電流が流れることに起因する電極３５の腐食およびインクの電気分解を回避できる。よって、印字品質が良好で、しかも耐久性に優れたインクジェットヘッド１を得ることができる。
Therefore, the ink supplied to the
本発明者は、保護膜４３の膜厚とピンホールの有無との関係について調べる試験を行った。この試験では、保護膜４３の材料としてパリレンＣ、パリレンＮ、パリレンＳＲ、パリレンＦを用いた四つのサンプルを準備し、夫々のサンプルの保護膜４３の膜厚を１〜５μｍの範囲内で変化させた時に、保護膜４３にピンホールがあるか否かを調べた。
The inventor conducted a test to examine the relationship between the thickness of the
以下の表１は、試験結果を示している。
表１から明らかなように、保護膜４３としてパリレンＣを使用したサンプルでは、保護膜４３の膜厚が１μｍおよび２μｍの時にピンホールの存在が明らかとなった。これに対し、パリレンＣを用いたサンプルにおいても、保護膜４３の膜厚を３μｍおよび５μｍとした時は、ピンホールの存在が認められなかった。
As is clear from Table 1, in the sample using Parylene C as the
保護膜４３として膜厚が５μｍのパリレンＮおよびパリレンＳＲを使用したサンプルでは、ピンホールの存在は認められなかった。
In the sample using Parylene N and Parylene SR having a film thickness of 5 μm as the
一方、保護膜として膜厚が１μｍのパリレンＳＲおよび膜厚が２μｍのパリレンＳＦを使用したサンプルでは、ピンホールの存在が認められた。 On the other hand, in the sample using parylene SR having a thickness of 1 μm and parylene SF having a thickness of 2 μm as protective films, the presence of pinholes was observed.
以上のことから、保護膜４３にピンホールが発生しないようにするためには、有機材料で構成された保護膜４３の膜厚を３μｍ以上とする必要があることが明らかとなった。
From the above, it has been clarified that in order to prevent pinholes from being generated in the
保護膜４３は、インクを加圧する圧力室３１に露出しているので、保護膜４３の膜厚が厚すぎると、圧力室３１の幅寸法が減じられてインクの吐出量が少なくなるのを否めない。そのため、ピンホールの発生を抑えつつインクの吐出量を確保するためには、保護膜４３の膜厚を３μｍ以上、５μｍ以下に設定することが好ましいとの結論を得た。
Since the
次に、第１の実施形態のインクジェットヘッド１を製造する手順について、図７ないし図１３を参照して説明する。 Next, a procedure for manufacturing the inkjet head 1 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
二枚の圧電部材１７ａ，１７ｂを重ね合わせてアクチュエータ１５ａ，１５ｂの本体１６を形成する。
The two
この後、ダイヤモンドブレードを用いて本体１６に切削加工を施すことで、本体１６に図７に示すような複数の溝２２を形成する。溝２２の底面２４および側面２５ａ，２５ｂは、ダイヤモンドブレードを用いた切削加工により、数多くのミクロン単位の凹凸２８を有する粗面となっている。
Thereafter, the
この後、本体１６の表面１８、側面２０ａ，２０ｂ、溝２２の底面２４および側面２５ａ，２５ｂに無電解ニッケルめっきを施すことで、厚さが２μｍのニッケルめっき層３６を形成する。引き続いて、ニッケルめっき層３６に電解金めっきを施すことで、ニッケルめっき層３６の上に厚さが０．１μｍの金めっき層３７を形成する。
Thereafter, the
この結果、図８に示すように、溝２２の内側および本体１６の表面１８の上に二層構造の導電層５１が形成される。導電層５１は、溝２２の底面２４、側面２５ａ，２５ｂおよび本体１６の表面１８を連続して覆っている。
As a result, as shown in FIG. 8, a
この後、図９に示すように、導電層５１の表層となる金めっき層３７の上に、例えば電着法を用いてポジタイプのレジスト５２を積層する。レジスト５２の厚さは、例えば５μｍである。レジスト５２は、溝２２の内側から本体１６の表面１８の上に連続して形成されている。
Thereafter, as shown in FIG. 9, a positive type resist 52 is laminated on the
この後、図１０に示すように、レジスト５２を紫外線で露光する。紫外線は、平行光となって溝２２に入射される。具体的には、紫外線が溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６および本体１６の表面１８のみに向かうように、レジスト５２に対する紫外線の入射角αを設定する。入射角αは、レジスト５２の厚さによって変化する。
Thereafter, as shown in FIG. 10, the resist 52 is exposed to ultraviolet rays. The ultraviolet light enters the
さらに、レジスト５２は、溝２２の内側から本体１６の表面１８に露出された角部５３を有している。レジスト５２の角部５３は、溝２２の底面２４および溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第２の部分２７に向かう紫外線を遮る遮光角βを設定している。これにより、平行光で溝２２に向かう紫外線は、溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６に入射することになり、溝２２に対する紫外線の入射範囲が定まる。
Further, the resist 52 has a
この結果、レジスト５２は、本体１６の表面１８および溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６に対応した部分が露光され、この部分に潜像が形成される。
As a result, portions of the resist 52 corresponding to the
この後、露光されたレジスト５２を現像して洗浄する。これにより、レジスト５２に形成された潜像が溶けて除去される。この結果、図１１に示すように、レジスト５２は、溝２２の底面２４から側面２５ａ，２５ｂの第２の部分２７に対応した部位のみが残った状態となる。
Thereafter, the exposed resist 52 is developed and washed. As a result, the latent image formed on the resist 52 is melted and removed. As a result, as shown in FIG. 11, the resist 52 is in a state in which only the portions corresponding to the
言い換えると、レジスト５２は、溝２２の底から溝２２の深さ方向に沿う中間部に至る領域のみに形成される。それとともに、レジスト５２の溶解に伴って、導電層５１のうち溝２２の深さ方向に沿う中間部から本体１６の表面１８に至る部位がレジスト５２で覆われることなく本体１６の外に露出された状態となる。
In other words, the resist 52 is formed only in a region extending from the bottom of the
レジスト５２の現像が終了した後、導電層５１のうち本体１６の外に露出された部位をエッチングにより除去する。エッチングでは、ニッケルおよび金を化学的に溶解させることができる酸性のエッチング液を使用する。エッチング液としては、リン酸、酢酸、硝酸および純水の混合液を用いることができる。
After the development of the resist 52 is completed, the portion of the
このエッチング処理により、図１２に示すように、導電層５１のうち溝２２の深さ方向に沿う中間部から本体１６の表面１８に至る部位が除去され、溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６および第１の部分２６に連続する本体１６の表面１８が露出された状態となる。
By this etching process, as shown in FIG. 12, the part from the intermediate part along the depth direction of the
エッチングが完了したら、溝２２の内側に残っているレジスト５２を例えば剥離液を用いて除去する。この結果、図１３に示すように、溝２２の底面２４および側面２５ａ，２５ｂの第２の部分２７を覆った導電層５１が露出され、この導電層５１により電極３５が形成される。
When the etching is completed, the resist 52 remaining inside the
引き続いて、電極３５の上、電極３５が存在しない溝２２の側面２５ａ，２５ｂの領域３８の上および本体１６の表面１８の上に保護膜４３を形成する。保護膜４３としては、電気絶縁性を有する有機材料の一例であるパリレンを使用している。
Subsequently, a
この後、保護膜４３で覆われた本体１６の表面１８に、ノズル形成前のノズルプレート５を接着剤３０で接着する。これにより、本体１６の溝２２とノズルプレート５との間に複数の圧力室３１が形成される。保護膜４３は、圧力室３１に露出されて、圧力室３１にインクが供給された時にインクに浸かる。
Thereafter, the
図４に示すように、本体１６の表面１８とノズルプレート５との間に充填された接着剤３０は、その余剰部分３２が圧力室３１に食み出す。食み出した接着剤３０の余剰部分３２は、ノズルプレート５の圧力室３１に臨む面に薄い膜となって残る。
As shown in FIG. 4, the
この後、ノズルプレート５に例えばエキシマレーザ装置を用いたレーザ加工を施すことにより、ノズルプレート５に複数のノズル１３を形成する。具体的には、ノズルプレート５にノズルプレート５の上側からレーザ光を照射する。これにより、ポリイミドフィルム製のノズルプレート５が物理的に蒸発することでノズル１３が形成される。
Thereafter, the
図４に示すように、レーザ光の焦点Ｆは、ノズルプレート５の外側に位置するので、レーザ光は圧力室３１の方向に進むに従い拡開する。そのため、ノズル１３は、圧力室３１の方向に進むに従い口径が連続的に増大するようなテーパ状に形成される。
As shown in FIG. 4, since the focal point F of the laser beam is located outside the
レーザ光は、ノズルプレート５を厚み方向に貫通した後、圧力室３１に入射する。そのため、圧力室３１に露出された保護膜４３は、ノズル１３の近傍でレーザ光の照射を受ける。
The laser light enters the
有機材料で構成された保護膜４３は、レーザ光が照射された時にダメージを受けるのを避けられない。しかるに、保護膜４３のうちレーザ光が照射された箇所は、溝２２の底面２４よりもノズル１３に近い溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６に対応している。第１の部分２６は、電極２５が存在しない領域３８となっている。
The
このため、保護膜４３のうちレーザ光の照射を受けた箇所に孔が開いたとしても、この孔から露出されるのは溝２２の側面２５ａ，２５ｂに止まる。したがって、電極２５は保護膜４３で覆われた状態に維持される。
For this reason, even if a hole is formed in a portion of the
接着剤３０の余剰部分３２の端部３２ａが圧力室３１内でノズル１３を形成すべき領域に張り出していた場合、余剰部分３２の端部３２ａは、レーザ光が圧力室３１に入射した時点で、レーザ光により除去される。
When the
この結果、接着剤３０の余剰部分３２がノズル１３を塞ぐことはない。よって、接着剤３０の余剰部分３２がノズル１３から吐出されるインクの流れに悪影響を及ぼすことはなく、印字品質を良好に維持できる。
As a result, the
［第２の実施形態］
図１４は、第２の実施形態を開示している。
[Second Embodiment]
FIG. 14 discloses a second embodiment.
第２の実施形態は、電極の構成が第１の実施形態と相違している。それ以外のインクジェットヘッドの基本的な構成は、第１の実施形態と同様である。そのため、第２の実施形態において、第１の実施形態と同一の構成部分には同一の参照符号を付して、その説明を省略する。 The second embodiment is different from the first embodiment in the configuration of the electrodes. Other basic configurations of the inkjet head are the same as those in the first embodiment. Therefore, in the second embodiment, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
図１４に示すように、電極６０は、銅めっき層６１、ニッケルめっき層６２および金めっき層６３を有する三層構造となっている。銅めっき層６１は、第１の金属層の一例であり、電極６０の下地を構成している。銅めっき層６１は、溝２２の底面２４および側面２５ａ，２５ｂの第２の部分２７の上に形成されている。銅めっき層６１の厚さは、例えば１μｍである。
As shown in FIG. 14, the
ニッケルめっき層６２は、銅めっき層６１の上に積層されて、銅めっき層６１を被覆している。ニッケルめっき層６２の厚さは、例えば０．８μｍである。
The
金めっき層６３は、ニッケルめっき層６２の上に積層されて、ニッケルめっき層６２を被覆している。金めっき層６３の厚さは、例えば０．１μｍである。ニッケルめっき層６２および金めっき層６３は、夫々第２の金属層の一例である。さらに、金めっき層６３は、電極６０の表層となるとともに、有機材料で構成された保護膜４３で覆われている。
The
第２の実施形態では、電極６０を形成する手順が第１の実施形態と異なっており、それ以外のインクジェットヘッド１を製造する手順は、第１の実施形態と同様である。そのため、第２の実施形態では、電極６０を形成する手順についてのみ説明する。
In the second embodiment, the procedure for forming the
アクチュエータ１５ａ，１５ｂの本体１６に溝２２を形成した後、本体１６の表面１８、側面２０ａ，２０ｂ、溝２２の底面２４および側面２５ａ，２５ｂに無電解銅めっきを施すことで、厚さが１μｍの銅めっき層６１を形成する。
After the
引き続いて、前記第１の実施形態と同様に、銅めっき層６１の上にポジタイプのレジストを積層した後、レジストを紫外線で露光する。さらに、露光されたレジストを現像して洗浄し、銅めっき層６１のうち溝２２の深さ方向に沿う中間部から本体１８の表面１８に至る部位を露出させる。
Subsequently, after laminating a positive type resist on the
この後、本体１８の外に露出された銅めっき層６１をエッチングにより除去し、溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６および本体１６の表面１８を露出させる。
Thereafter, the
エッチングが完了したら、溝２２内に残っているレジストを除去し、レジストで覆われていた銅めっき層６１を溝２２内に露出させる。
When the etching is completed, the resist remaining in the
この後、銅めっき層６１に無電解ニッケルめっきを施すことで、厚さが０．８μｍのニッケルめっき層６２を形成する。引き続いて、ニッケルめっき層６２に電解金めっきを施すことで、ニッケルめっき層６２の上に厚さが０．１μｍの金めっき層６３を形成する。この結果、溝２２の内側に三層構造の電極６０が形成される。
Thereafter, electroless nickel plating is applied to the
最後に、電極６０の上および電極６０が存在しない溝２２の側面２５ａ，２５ｂの領域３８の上に保護膜４３を形成することで、一連の電極６０の形成工程が完了する。
Finally, the
このような第２の実施形態においても、保護膜４３のうちレーザ光が照射される箇所は、溝２２の側面２５ａ，２５ｂの第１の部分２６に対応しており、第１の部分２６に電極６０は存在しない。そのため、保護膜４３のうちレーザ光の照射を受けた箇所に孔が開いたとしても、この孔から露出されるのは溝２２の側面２５ａ，２５ｂに止まる。
Also in the second embodiment, the portion of the
したがって、第１の実施形態と同様に、電極６０は保護膜４３で覆われた状態に維持され、電極６０の損傷を防止することができる。
Therefore, similarly to the first embodiment, the
第１および第２の実施形態において、レジストはポジタイプで電着法を用いて使用できるものであれば、その種類は問わない。 In the first and second embodiments, the type of resist is not limited as long as it is a positive type and can be used by using an electrodeposition method.
さらに、ポジタイプのレジストの代わりに、ネガタイプのレジストを用いても良い。 Further, a negative type resist may be used instead of the positive type resist.
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
以下、本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］
圧電材料で構成され、インクが供給される複数の溝を有するアクチュエータと、
前記アクチュエータに接着剤で固定され、前記溝の開口端を前記アクチュエータの上側から覆うとともに、前記溝に向けて照射されたレーザ光により形成された複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記溝の内面に形成され、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光が照射される前記溝内の領域から外れた電極と、
前記電極の上および前記レーザ光が照射される前記溝内の領域に対応する前記溝の内面に形成された電気絶縁性を有する保護膜と、
を具備するインクジェットヘッド。
［２］
［１］の記載において、前記レーザ光が照射される前記溝内の領域は、前記溝の底面よりも前記ノズルの近傍に位置されたインクジェットヘッド。
［３］
［２］の記載において、前記電極は、互いに積層された複数の金属層を含むインクジェットヘッド。
［４］
［３］の記載において、前記保護膜は、有機材料で構成されたインクジェットヘッド。
［５］
ノズルプレートに照射されたレーザ光で形成された複数のノズルを有するインクジェットヘッドを製造する方法であって、
圧電材料で構成されたアクチュエータに、前記アクチュエータの表面および側面に連続して開口された複数の溝を互いに間隔を存して形成し、
前記溝の内面を覆うように金属層を積層し、
前記金属層のうち前記ノズルを形成するレーザ光が照射される部位を除いた領域をレジストで被覆し、
前記金属層のうち前記レジストから外れて前記溝内に露出された部位をエッチングで除去した後、前記レジストを除去することで前記エッチングで除去されずに残った前記金属層を前記溝内に露出させて電極とし、
前記電極の上および前記金属層が除去された前記溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜を形成し、
前記アクチュエータの前記表面に、前記ノズルプレートを接着剤で固定することにより、前記アクチュエータの表面に開口された前記溝の開口端を前記ノズルプレートで閉塞し、
前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの上側からレーザ光を照射して、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光を前記保護膜のうち前記溝の内面を覆う部位に入射させることで、前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するようにしたインクジェットヘッドの製造方法。
［６］
ノズルプレートに照射されたレーザ光で形成された複数のノズルを有するインクジェットヘッドを製造する方法であって、
圧電材料で構成されたアクチュエータに、前記アクチュエータの表面および側面に連続して開口された複数の溝を互いに間隔を存して形成し、
前記溝の内面を覆うように第１の金属層を積層し、
前記第１の金属層のうち前記ノズルを形成するレーザ光が照射される部位を除いた領域をレジストで被覆し、
前記第１の金属層のうち前記レジストから外れて前記溝内に露出された部位をエッチングで除去した後、前記レジストを除去することで前記エッチングで除去されずに残った前記第１の金属層を前記溝内に露出させるとともに、前記溝内に露出された前記第１の金属層の上に第２の金属層を積層することで、前記溝内に電極を形成し、
前記電極の上および前記第１の金属層が除去された前記溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜を形成し、
前記アクチュエータの前記表面に、前記ノズルプレートを接着剤で固定することにより、前記アクチュエータの表面に開口された前記溝の開口端を前記ノズルプレートで閉塞し、
前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの上側からレーザ光を照射して、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光を前記保護膜のうち前記溝の内面を覆う部位に入射させることで、前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するようにしたインクジェットヘッドの製造方法。
Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
Hereinafter, the invention described in the scope of claims at the beginning of the application of the present application will be added.
[1]
An actuator composed of a piezoelectric material and having a plurality of grooves to which ink is supplied;
A nozzle plate that is fixed to the actuator with an adhesive, covers the opening end of the groove from the upper side of the actuator, and has a plurality of nozzles formed by laser light irradiated toward the groove;
An electrode formed on an inner surface of the groove and deviated from a region in the groove irradiated with the laser light penetrating the nozzle plate;
A protective film having electrical insulation formed on the inner surface of the groove corresponding to a region in the groove on which the laser beam is irradiated;
An inkjet head comprising:
[2]
[1] The inkjet head according to [1], wherein a region in the groove irradiated with the laser light is positioned closer to the nozzle than a bottom surface of the groove.
[3]
[2] In the inkjet head, the electrode includes a plurality of metal layers stacked on each other.
[4]
[3] In the inkjet head, the protective film is made of an organic material.
[5]
A method of manufacturing an inkjet head having a plurality of nozzles formed by laser light irradiated on a nozzle plate,
A plurality of grooves continuously opened on the surface and side surfaces of the actuator are formed in the actuator made of a piezoelectric material at intervals,
A metal layer is laminated so as to cover the inner surface of the groove,
Covering the region of the metal layer excluding the portion irradiated with the laser beam forming the nozzle with a resist,
After removing the portion of the metal layer that has been removed from the resist and exposed in the groove by etching, the metal layer remaining without being removed by the etching is exposed in the groove by removing the resist. Let it be an electrode,
Forming a protective film having electrical insulation on the electrode and on the inner surface of the groove from which the metal layer has been removed;
By fixing the nozzle plate to the surface of the actuator with an adhesive, the opening end of the groove opened on the surface of the actuator is closed with the nozzle plate,
The nozzle plate is irradiated with laser light from above the nozzle plate, and the laser light penetrating the nozzle plate is incident on a portion of the protective film that covers the inner surface of the groove. A method of manufacturing an ink jet head in which nozzles are formed.
[6]
A method of manufacturing an inkjet head having a plurality of nozzles formed by laser light irradiated on a nozzle plate,
A plurality of grooves continuously opened on the surface and side surfaces of the actuator are formed in the actuator made of a piezoelectric material at intervals,
Laminating a first metal layer so as to cover the inner surface of the groove;
Covering the region of the first metal layer excluding the portion irradiated with the laser beam forming the nozzle with a resist,
The portion of the first metal layer that is removed from the resist and exposed in the groove is removed by etching, and then the resist is removed to remove the first metal layer that is not removed by the etching. In the groove, and by laminating a second metal layer on the first metal layer exposed in the groove, an electrode is formed in the groove,
Forming a protective film having electrical insulation on the electrode and on the inner surface of the groove from which the first metal layer has been removed;
By fixing the nozzle plate to the surface of the actuator with an adhesive, the opening end of the groove opened on the surface of the actuator is closed with the nozzle plate,
The nozzle plate is irradiated with laser light from above the nozzle plate, and the laser light penetrating the nozzle plate is incident on a portion of the protective film that covers the inner surface of the groove. A method of manufacturing an ink jet head in which nozzles are formed.
１…インクジェットヘッド、５…ノズルプレート、１３…ノズル、１５ａ，１５ｂ…アクチュエータ、１８…表面、２０ａ，２０ｂ…側面、２２…溝、３０…接着剤、３５，６０…電極、３６，３７，６１，６２，６３…金属層（ニッケルめっき層、金めっき層、銅めっき層）、４３…保護膜。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet head, 5 ... Nozzle plate, 13 ... Nozzle, 15a, 15b ... Actuator, 18 ... Surface, 20a, 20b ... Side, 22 ... Groove, 30 ... Adhesive, 35, 60 ... Electrode, 36, 37, 61 , 62, 63 ... metal layer (nickel plating layer, gold plating layer, copper plating layer), 43 ... protective film.
Claims (6)
前記アクチュエータの前記第１の圧電部材に接着剤で固定され、前記溝の開口端を前記アクチュエータの上側から覆うとともに、前記溝に向けて照射されたレーザ光により形成された前記溝に向けて拡開するテーパー状の複数のノズルを有するノズルプレートと、
前記溝の内面で且つ前記第２の圧電部材のみに形成され、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光が照射される前記溝内の領域から外れた電極と、
前記電極の上および前記レーザ光が照射される前記溝内の領域に対応する前記溝の内面に形成された電気絶縁性を有する保護膜と、を具備し、
前記ノズルプレートの前記ノズルのテーパー状の内面を延長した仮想線は、前記第１の圧電部材の前記溝の内面と交差するインクジェットヘッド。 The first and second piezoelectric members are made of a piezoelectric material and overlap each other, and have a plurality of grooves that are supplied with ink that passes through the first piezoelectric member and extends to the second piezoelectric member. An actuator,
The actuator is fixed to the first piezoelectric member of the actuator with an adhesive, covers the open end of the groove from the upper side of the actuator, and expands toward the groove formed by the laser beam irradiated toward the groove. A nozzle plate having a plurality of tapered nozzles to be opened ;
An electrode formed on the inner surface of the groove and only on the second piezoelectric member and deviated from a region in the groove irradiated with the laser light penetrating the nozzle plate;
An electrically insulating protective film formed on the electrode and on the inner surface of the groove corresponding to a region in the groove irradiated with the laser beam ;
An imaginary line obtained by extending a tapered inner surface of the nozzle of the nozzle plate intersects the inner surface of the groove of the first piezoelectric member .
圧電材料で構成され互いに重ねられた第１および第２の圧電部材を有するアクチュエータに、前記第１の圧電部材を貫通して前記第２の圧電部材まで延びて前記アクチュエータの前記第１の圧電部材側の表面および前記アクチュエータの側面に連続して開口された複数の溝を互いに間隔を存して形成し、
前記溝の内面を覆うように金属層を積層し、
前記金属層のうち前記ノズルを形成するレーザ光が照射される前記第１の圧電部材側の部位を除いた前記第２の圧電部材側の領域をレジストで被覆し、
前記金属層のうち前記レジストから外れて前記溝内に露出された前記第１の圧電部材側の部位をエッチングで除去した後、前記レジストを除去することで前記エッチングで除去されずに前記第２の圧電部材側のみに残った前記金属層を前記溝内に露出させて電極とし、
前記電極の上および前記金属層が除去された前記溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜を形成し、
前記アクチュエータの前記表面に、前記ノズルプレートを接着剤で固定することにより、前記アクチュエータの表面に開口された前記溝の開口端を前記ノズルプレートで閉塞し、
前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの上側から前記溝に向けて拡開するレーザ光を照射して、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光を前記保護膜のうち前記第１の圧電部材側の前記溝の内面を覆う部位に入射させることで、前記ノズルプレートに前記ノズルをテーパー状に形成するようにしたインクジェットヘッドの製造方法。 A method of manufacturing an inkjet head having a plurality of nozzles formed by laser light irradiated on a nozzle plate,
An actuator having first and second piezoelectric members stacked together is a piezoelectric material, said first piezoelectric member of the actuator extends to the second piezoelectric member through said first piezoelectric member A plurality of grooves continuously opened on the side surface and the side surface of the actuator are formed at intervals from each other;
A metal layer is laminated so as to cover the inner surface of the groove,
A region on the second piezoelectric member side excluding a portion on the first piezoelectric member side irradiated with a laser beam forming the nozzle in the metal layer is covered with a resist,
After removing the portion of the metal layer from the resist and exposed to the first piezoelectric member exposed in the groove by etching, the resist is removed to remove the second without being removed by the etching . The metal layer remaining only on the piezoelectric member side is exposed in the groove to form an electrode,
Forming a protective film having electrical insulation on the electrode and on the inner surface of the groove from which the metal layer has been removed;
By fixing the nozzle plate to the surface of the actuator with an adhesive, the opening end of the groove opened on the surface of the actuator is closed with the nozzle plate,
The nozzle plate is irradiated with laser light spreading from the upper side of the nozzle plate toward the groove, and the laser light penetrating the nozzle plate is irradiated with the groove on the first piezoelectric member side of the protective film. A method of manufacturing an ink-jet head, wherein the nozzle is formed in a tapered shape on the nozzle plate by being incident on a portion covering the inner surface of the nozzle plate.
圧電材料で構成され互いに重ねられた第１および第２の圧電部材を有するアクチュエータに、前記第１の圧電部材を貫通して前記第２の圧電部材まで延びて前記アクチュエータの前記第１の圧電部材側の表面および前記アクチュエータの側面に連続して開口された複数の溝を互いに間隔を存して形成し、
前記溝の内面を覆うように第１の金属層を積層し、
前記第１の金属層のうち前記ノズルを形成するレーザ光が照射される前記第１の圧電部材側の部位を除いた前記第２の圧電部材側の領域をレジストで被覆し、
前記第１の金属層のうち前記レジストから外れて前記溝内に露出された前記第１の圧電部材側の部位をエッチングで除去した後、前記レジストを除去することで前記エッチングで除去されずに前記第２の圧電部材側のみに残った前記第１の金属層を前記溝内に露出させるとともに、前記溝内に露出された前記第１の金属層の上に第２の金属層を積層することで、前記溝内に電極を形成し、
前記電極の上および前記第１の金属層が除去された前記溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜を形成し、
前記アクチュエータの前記表面に、前記ノズルプレートを接着剤で固定することにより、前記アクチュエータの表面に開口された前記溝の開口端を前記ノズルプレートで閉塞し、
前記ノズルプレートに前記ノズルプレートの上側から前記溝に向けて拡開するレーザ光を照射して、前記ノズルプレートを貫通した前記レーザ光を前記保護膜のうち前記第１の圧電部材側の前記溝の内面を覆う部位に入射させることで、前記ノズルプレートに前記ノズルをテーパー状に形成するようにしたインクジェットヘッドの製造方法。 A method of manufacturing an inkjet head having a plurality of nozzles formed by laser light irradiated on a nozzle plate,
The actuator having a first and second piezoelectric members stacked together is a piezoelectric material, said first piezoelectric member of the actuator extends to the second piezoelectric member through said first piezoelectric member A plurality of grooves continuously opened on the side surface and the side surface of the actuator are formed at intervals from each other;
Laminating a first metal layer so as to cover the inner surface of the groove;
A region on the second piezoelectric member side excluding a portion on the first piezoelectric member side irradiated with a laser beam forming the nozzle in the first metal layer is covered with a resist,
The first metal layer is removed from the resist and exposed to the first piezoelectric member side exposed in the groove by etching, and then the resist is removed so that the resist is not removed by the etching. The first metal layer remaining only on the second piezoelectric member side is exposed in the groove, and a second metal layer is laminated on the first metal layer exposed in the groove. By forming an electrode in the groove,
Forming a protective film having electrical insulation on the electrode and on the inner surface of the groove from which the first metal layer has been removed;
By fixing the nozzle plate to the surface of the actuator with an adhesive, the opening end of the groove opened on the surface of the actuator is closed with the nozzle plate,
The nozzle plate is irradiated with laser light spreading from the upper side of the nozzle plate toward the groove, and the laser light penetrating the nozzle plate is irradiated with the groove on the first piezoelectric member side of the protective film. A method of manufacturing an ink-jet head, wherein the nozzle is formed in a tapered shape on the nozzle plate by being incident on a portion covering the inner surface of the nozzle plate.
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