JP5621957B2 - トリクロロシランの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
〔1〕塩化水素と金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを生成させる塩化炉の生成ガスから分離された四塩化珪素よりも高沸点のクロロシラン類含有物(ポリマーと云う)、またはトリクロロシランと水素の混合ガスを赤熱したシリコンに接触させて多結晶シリコンを製造する反応炉の排ガスから分離されたポリマーを塩化水素と分解炉で反応させてトリクロロシランを製造する方法であって、塩化水素およびポリマーを分解炉本体の内部に延びる供給管または分解炉本体の外周を囲むように延びる供給管を通じて分解炉に導入することによって塩化水素およびポリマーを予熱して炉内に導き、ポリマーと塩化水素とを450℃以上〜700℃以下で反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とするトリクロロシランの製造方法。
〔2〕高沸点クロロシラン類を20〜50質量%含むポリマーに対して10〜30質量%の塩化水素を分解炉に導入して反応させる上記[1]に記載するトリクロロシランの製造方法。
〔3〕分解炉本体の炉内に延びる別々の供給管を通じてポリマーと塩化水素を炉内に導くことによってポリマーと塩化水素が予熱される間は混合されずに炉内で混合される上記[1]または上記[2]に記載するトリクロロシランの製造方法。
〔4〕塩化水素と金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを生成させる塩化炉の生成ガスから分離された四塩化珪素よりも高沸点のクロロシラン類含有物(ポリマーと云う)、またはトリクロロシランと水素の混合ガスを赤熱したシリコンに接触させて多結晶シリコンを製造する反応炉の排ガスから分離されたポリマーを塩化水素と反応させる分解炉を有するトリクロロシランの製造装置であって、塩化水素およびポリマーを分解炉に導く供給管が分解炉本体の内部に延びており、または分解炉本体の外周を囲むように延びており、塩化水素およびポリマーを予熱して炉内に導き、ポリマーと塩化水素とを450℃以上〜700℃以下で反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とするトリクロロシランの製造装置。
〔5〕ポリマーの供給管と塩化水素の供給管が別々に分解炉本体の炉内に延びており、該供給管を通じるポリマーと塩化水素が予熱される間は混合されずに炉内で混合される上記[4]に記載するトリクロロシランの製造装置。
本発明の方法は、塩化水素と金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを生成させる塩化炉の生成ガスから分離された四塩化珪素よりも高沸点のクロロシラン類含有物(ポリマーと云う)、またはトリクロロシランと水素の混合ガスを赤熱したシリコンに接触させて多結晶シリコンを製造する反応炉の排ガスから分離されたポリマーを塩化水素と分解炉で反応させてトリクロロシランを製造する方法であって、塩化水素およびポリマーを分解炉本体の内部に延びる供給管または分解炉本体の外周を囲むように延びる供給管を通じて分解炉に導入することによって塩化水素およびポリマーを予熱して炉内に導き、ポリマーと塩化水素とを450℃以上〜700℃以下で反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とするトリクロロシランの製造方法である。
〔1〕四塩化二珪素(Si2H2Cl4)の分解反応
Si2H2Cl4 + HCl → SiH2Cl2 + SiHCl3
Si2H2Cl4 + 2HCl → 2SiHCl3 + H2
〔2〕六塩化二珪素(Si2Cl6)の分解反応
Si2Cl6 + HCl → SiHCl3 + SiCl4
塩化工程または反応炉排ガスの蒸留工程から分離したポリマーを図2に示すポリマー分解工程に導入し、塩化水素ガスと混合して図3に示す分解炉に導入し、450℃〜700℃に加熱して反応させ、TCSを生成させた。塩化水素を混合する前のポリマーの組成、分解炉から抜き出した分解ガスの組成(%)、分解温度、ポリマーおよび塩化水素の投入量を表1および表2に示す。表中の質量%の数値は、面積%から換算した値である。
比較例1は分解温度が本発明の範囲よりも低い例(300℃)、試験例1は分解温度が本発明の好ましい範囲より高い例(900℃)、試験例2は塩化水素の供給量が本発明の好ましい範囲より少ない例(6g/min)である。上記条件以外は実施例1〜3と同様にしてポリマーを分解してTCSを生成させた。これらの結果を表3に示した。
Claims (5)
- 塩化水素と金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを生成させる塩化炉の生成ガスから分離された四塩化珪素よりも高沸点のクロロシラン類含有物(ポリマーと云う)、またはトリクロロシランと水素の混合ガスを赤熱したシリコンに接触させて多結晶シリコンを製造する反応炉の排ガスから分離されたポリマーを塩化水素と分解炉で反応させてトリクロロシランを製造する方法であって、塩化水素およびポリマーを分解炉本体の内部に延びる供給管または分解炉本体の外周を囲むように延びる供給管を通じて分解炉に導入することによって塩化水素およびポリマーを予熱して炉内に導き、ポリマーと塩化水素とを450℃以上〜700℃以下で反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とするトリクロロシランの製造方法。
- 高沸点クロロシラン類を20〜50質量%含むポリマーに対して10〜30質量%の塩化水素を分解炉に導入して反応させる請求項1に記載するトリクロロシランの製造方法。
- 分解炉本体の炉内に延びる別々の供給管を通じてポリマーと塩化水素を炉内に導くことによってポリマーと塩化水素が予熱される間は混合されずに炉内で混合される請求項1または請求項2に記載するトリクロロシランの製造方法。
- 塩化水素と金属シリコンとを反応させてトリクロロシランを生成させる塩化炉の生成ガスから分離された四塩化珪素よりも高沸点のクロロシラン類含有物(ポリマーと云う)、またはトリクロロシランと水素の混合ガスを赤熱したシリコンに接触させて多結晶シリコンを製造する反応炉の排ガスから分離されたポリマーを塩化水素と反応させる分解炉を有するトリクロロシランの製造装置であって、塩化水素およびポリマーを分解炉に導く供給管が分解炉本体の内部に延びており、または分解炉本体の外周を囲むように延びており、塩化水素およびポリマーを予熱して炉内に導き、ポリマーと塩化水素とを450℃以上〜700℃以下で反応させてトリクロロシランを製造することを特徴とするトリクロロシランの製造装置。
- ポリマーの供給管と塩化水素の供給管が別々に分解炉本体の炉内に延びており、該供給管を通じるポリマーと塩化水素が予熱される間は混合されずに炉内で混合される請求項4に記載するトリクロロシランの製造装置。
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