JP5620573B2 - オゾン生成システム - Google Patents
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Description
上記条件の窒素添加された原料ガスをオゾン発生装置に供給することができるガス流量調整装置を含むオゾン生成システムとして、図3に示す構成のものが考えられる。図3は、オゾン生成システム100の概略構成を示すブロック図である。
図5は、本実施の形態に係るオゾン生成システム200の概略構成を示すブロック図である。
本実施の形態に係るオゾン生成システム300の構成を示すブロック図を、図9に示す。
さて、実施の形態1,2におけるオゾン発生装置1は、所定の空間(放電空間)を隔てて2枚の電極が配置され、少なくとも一方の電極には、誘電体が配設されている(たとえば、図12の電極301a,301bおよび誘電体302参照)。ここで、誘電体は、放電空間に面する側に配設されている。そして、オゾン発生装置1では、当該電極間に所定の交流電圧を印加し、無声放電を発生させている。オゾン発生装置1には、実施の形態1,2のように窒素添加率γが調整された原料ガスが供給され、当該原料ガスに対する無声放電の作用により、オゾンガスが発生される。
2 酸素供給口
3 窒素供給口
4 オゾンガス出力口
5 ガス排出口
6 圧力調整器
7 ガス流量調整装置
8 冷媒供給口
9 冷媒出力口
20 制御部
30 電源装置
71 第一の酸素流量調整部
72 第二の酸素流量調整部
73,731 窒素流量調整部
73a,75a ニードルバルブ
73b,75b ガス流量表示計
74 第一のガス混合器74
75,751 混合ガス流量調整部
76 第二のガス混合器
77 第一混合ガス圧力調整器77
100,200,300 オゾン生成システム
300 窒素レスオゾン装置
301a,301b 電極
302 誘電体
303 光触媒物質
330 オゾン発生装置
Q0 酸素ガス流量(値)
Qx 窒素ガス流量(値)
QL 酸素ガス流量(値)
Qy 第一の混合ガス流量(値)
γ 窒素添加率
Claims (6)
- 酸素供給口(2)と、
窒素供給口(3)と、
流入される原料ガスからオゾンを発生させるオゾン発生装置(1,300)と、
前記酸素供給口から供給される酸素および前記窒素供給口から供給される窒素が流入し、前記酸素および前記窒素の流量を調整し、当該調整後の前記酸素および前記窒素を、前記原料ガスとして、前記オゾン発生装置に対して出力するガス流量調整装置(7)とを、備えており、
前記ガス流量調整装置は、
前記酸素供給口と接続され、前記酸素供給口から供給される前記酸素の流量を調整する第一の酸素流量調整器部(71)と、
前記酸素供給口と接続され、前記酸素供給口から供給される前記酸素の流量を調整する第二の酸素流量調整部(72)と、
前記窒素供給口と接続され、前記窒素供給口から供給される前記窒素の流量を調整する窒素流量調整部(73,731)と、
前記第二の酸素流量調整部から出力される前記酸素と前記窒素流量調整部から出力される前記窒素とから成る、第一の混合ガスの流量を調整する混合ガス流量調整部(75,751)とを、備え、
前記ガス流量調整装置は、
前記第一の酸素流量調整器から出力される前記酸素と前記混合ガス流量調整器から出力される前記第一の混合ガスとから成る第二の混合ガスを、前記原料ガスとして、前記オゾン発生装置に対して出力し、
前記ガス流量調整装置は、
前記第一の酸素流量調整器部、前記第二の酸素流量調整部、前記窒素流量調整部および前記混合ガス流量調整部を利用することにより、前記酸素に対する前記窒素の添加率が0ppmより大きく、100ppm以下の範囲に設定された前記第二の混合ガスを生成する、
ことを特徴とするオゾン生成システム。 - 前記ガス流量調整装置は、
前記第一の混合ガスのガス圧を調整する圧力調整部(77)を、さらに備えている、
ことを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成システム。 - 前記ガス流量調整装置は、
前記酸素に対する前記窒素の前記添加率が一定である前記第二の混合ガスを、前記オゾン発生装置に対して出力する、
ことを特徴とする請求項2に記載のオゾン生成システム。 - 前記ガス流量調整装置は、
当該前記ガス流量調整装置内における流量の制御を行う制御部(20)を、さらに備えており、
前記制御部は、
前記ガス流量調整装置が、前記酸素に対する前記窒素の前記添加率が一定である前記第二の混合ガスを生成するように、前記第一の酸素流量調整器部における前記酸素の流量値および前記窒素流量調整部における前記窒素の流量値に基づいて、前記第二の酸素流量調整部における前記酸素の流量および前記混合ガス流量調整部における前記第一の混合ガスの流量を制御する、
ことを特徴とする請求項3に記載のオゾン生成システム。 - 前記窒素流量調整部および前記混合ガス流量調整部は、各々、
バルブ(73a,75a)と流量表示計(73b,75b)とを含んでおり、
前記ガス流量調整装置は、
当該前記ガス流量調整装置内における流量の制御を行う制御部(20)を、さらに備えており、
前記制御部は、
前記ガス流量調整装置が、前記酸素に対する前記窒素の前記添加率が一定である前記第二の混合ガスを生成するように、前記第一の酸素流量調整器部における前記酸素の流量値および前記窒素流量調整部における前記バルブ調整後における前記流量表示計から読み取れる前記窒素の流量値および前記混合ガス流量調整部における前記バルブ調整後における前記流量表示計から読み取れる前記第一の混合ガスの流量値に基づいて、前記第二の酸素流量調整部における前記酸素の流量を制御する、
ことを特徴とする請求項3に記載のオゾン生成システム。 - 前記オゾン発生装置は、
第一の電極(301a)と、
前記第一の電極との間にギャップが形成されるように、前記第一の電極に対面して配置される第二の電極(301b)と、
前記ギャップに面するように配置され、所定のバンドギャップを有する光触媒物質(303)とを、備え、
前記第一の電極と前記第二の電極との間に交流電圧を印加することにより、前記ギャップ内において放電を発生させ、当該放電の放電光と前記光触媒物質とにより、前記ギャップ内に供給される前記第二の混合ガスに含まれる前記酸素を酸素原子に解離し、前記第二の混合ガスに含まれる前記酸素と前記解離した酸素原子との結合により、オゾンを発生する、
ことを特徴とする請求項1に記載のオゾン生成システム。
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