JP5616717B2 - Linear motor - Google Patents

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Description

本発明は、工作機械等の産業機械で使用されるリニアモータに関する。 The present invention relates to a linear motor used in industrial machines such as machine tools.

従来から、工作機械等の産業機械では、高速、高精度を目的としてリニアモータが使用されている。このようなリニアモータの中で、特に長ストロークの機械において、高価な永久磁石を可動子側に配置することで、永久磁石の使用量を少なくして、リニアモータの低コスト化を実現したものがある(例えば、下記特許文献1)。   Conventionally, in industrial machines such as machine tools, linear motors have been used for the purpose of high speed and high accuracy. Among such linear motors, especially in long-stroke machines, the use of expensive permanent magnets on the mover side reduces the amount of permanent magnets used and realizes cost reduction of linear motors. (For example, Patent Document 1 below).

従来のリニアモータの一例について、図4から6を用いて説明する。図4(a)は、従来のリニアモータの概略構成を示す図であり、図4(b)と(c)は、永久磁石の配置を示す図である。図5は、図4(a)のC−C線による断面図である。図6は、リニアモータに巻回される巻線の結線図である。   An example of a conventional linear motor will be described with reference to FIGS. FIG. 4A is a diagram showing a schematic configuration of a conventional linear motor, and FIGS. 4B and 4C are diagrams showing the arrangement of permanent magnets. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG. FIG. 6 is a connection diagram of windings wound around the linear motor.

リニアモータは、並列して延びる二つの固定子52a,52bと、固定子52a,52b間を、これらの延びる方向に沿って移動可能な可動子51とを有する。   The linear motor includes two stators 52a and 52b extending in parallel and a movable element 51 movable between the stators 52a and 52b along the extending direction.

固定子52a,52bは、電磁鋼板を積層して形成される。固定子52a,52bは、互いに対向する面に所定間隔、例えばピッチPの間隔で配置される突極50を有する。また、固定子52a,52bは、図4(a)で示されるように、所定の長さLで製作される。そして、固定子52a,52bは、可動子51のストローク長に渡り、可動子51の移動方向に複数個並べて設置される。固定子52a,52bは、例えば工作機械のベース72(図5に示す)に固定される。具体的には、図5で示されるように、ボルト71により、固定子52a,52bの下面74がベース72に接するように固定される。   Stator 52a, 52b is formed by laminating electromagnetic steel plates. Stator 52a, 52b has the salient pole 50 arrange | positioned by the predetermined space | interval, for example, the space | interval of the pitch P, on the mutually opposing surface. Further, the stators 52a and 52b are manufactured with a predetermined length L as shown in FIG. A plurality of stators 52 a and 52 b are arranged side by side in the moving direction of the mover 51 over the stroke length of the mover 51. The stators 52a and 52b are fixed to a base 72 (shown in FIG. 5) of a machine tool, for example. Specifically, as shown in FIG. 5, the lower surfaces 74 of the stators 52 a and 52 b are fixed by bolts 71 so as to contact the base 72.

一方、可動子51は、ベース72とテーブル(図示せず)との間に設けられテーブルに固定されたころがりガイド等で図4中のX軸方向に移動可能に支持される。可動子51は、電磁鋼板を積層して形成される可動子ブロック53,54,55を有する。可動子ブロック53がU相の可動子ブロックであり、可動子ブロック54はW相の可動子ブロックであり、そして、可動子ブロック55がV相の可動子ブロックである。可動子ブロック53,54,55が、可動子51の進行方向であるX軸方向に相対的に120°、すなわち固定子52a,52bの磁極ピッチPの1/3だけズラして配置される。なお、可動子ブロック53,54,55はブロック間の寸法精度を維持するために、それらの一部が互いに機械的に結合されている場合もある。   On the other hand, the mover 51 is supported between a base 72 and a table (not shown) so as to be movable in the X-axis direction in FIG. 4 by a rolling guide or the like fixed to the table. The mover 51 has mover blocks 53, 54 and 55 formed by laminating electromagnetic steel plates. The mover block 53 is a U-phase mover block, the mover block 54 is a W-phase mover block, and the mover block 55 is a V-phase mover block. The mover blocks 53, 54, and 55 are arranged so as to be displaced by 120 ° relative to the X-axis direction, which is the moving direction of the mover 51, that is, by 1/3 of the magnetic pole pitch P of the stators 52 a and 52 b. The mover blocks 53, 54, and 55 may be mechanically coupled to each other in order to maintain the dimensional accuracy between the blocks.

可動子ブロック53,54,55には、3相交流巻線がそれぞれ巻回される。すなわち、可動子ブロック53にはU相の3相交流巻線56が、可動子ブロック54にはW相の3相交流巻線57が、そして可動子ブロック55にはV相の3相交流巻線58が、それぞれ巻回される。3相交流巻線56,57,58が巻回された可動子ブロック53,54,55は、モールド樹脂76で一体に成形されている。   Three-phase AC windings are wound around the mover blocks 53, 54, and 55, respectively. That is, the mover block 53 has a U-phase three-phase AC winding 56, the mover block 54 has a W-phase three-phase AC winding 57, and the mover block 55 has a V-phase three-phase AC winding. Each line 58 is wound. The mover blocks 53, 54, and 55 around which the three-phase AC windings 56, 57, and 58 are wound are integrally formed with a mold resin 76.

可動子ブロック53,54,55の表面には永久磁石59,64がN,S,N,・・の順に交互に配置される。具体的には、図4(b),(c)に示すように、N,Sを一組とすると3組の永久磁石対がピッチPで配置されている。ここで、図4(a)に示されるように、固定子52a側をSIDE−A、固定子52b側をSIDE−Bとすると、SIDE−A側の永久磁石59とSIDE−B側の永久磁石64は、SIDE−A側から見た極性と、SIDE−B側から見た極性とが逆になるように配置されている。   Permanent magnets 59, 64 are alternately arranged in the order of N, S, N,... On the surfaces of the mover blocks 53, 54, 55. Specifically, as shown in FIGS. 4B and 4C, when N and S are one set, three sets of permanent magnet pairs are arranged at a pitch P. Here, as shown in FIG. 4A, when the stator 52a side is SIDE-A and the stator 52b side is SIDE-B, the SIDE-A side permanent magnet 59 and the SIDE-B side permanent magnet are provided. 64 is arranged such that the polarity seen from the SIDE-A side is opposite to the polarity seen from the SIDE-B side.

3相交流巻線56,57,58は、図6に示されるようにスター結線されている。図4(a)に示されるように、例えば、3相交流巻線56,57,58にUからVとWの方向に電流が印加されると、リニアモータに磁束62が励磁される。   The three-phase AC windings 56, 57, and 58 are star-connected as shown in FIG. As shown in FIG. 4A, for example, when a current is applied to the three-phase AC windings 56, 57, and 58 in the directions of V and W, the magnetic flux 62 is excited in the linear motor.

リニアモータの動作について説明する。3相交流巻線56,57,58に電流を印加すると、可動子ブロック53,54,55はY軸方向(図4(a)参照)のプラスあるいはマイナス方向に励磁される。その際、永久磁石59,64のうち、交流巻線の励磁方向と同一の磁性方向に配置された永久磁石の磁束は強められる。一方、励磁方向と反対の磁性方向に配置された永久磁石の磁束は弱められる。このため、永久磁石59と64とは、互いに極性が反対になるように、すなわち一方がN極になり他方がS極になるように励磁される。そして各可動子ブロック53,54,55および固定子側52a,52bを通過した磁束は、図4(a)の符号62に示すような磁路を形成する。この時、可動子51と固定子52a,52bとの位置に応じた磁気吸引力が生ずることで、可動子51に推力が発生し、可動子51が移動する。   The operation of the linear motor will be described. When a current is applied to the three-phase AC windings 56, 57, 58, the mover blocks 53, 54, 55 are excited in the positive or negative direction in the Y-axis direction (see FIG. 4A). At that time, among the permanent magnets 59 and 64, the magnetic flux of the permanent magnet arranged in the same magnetic direction as the excitation direction of the AC winding is strengthened. On the other hand, the magnetic flux of the permanent magnet arranged in the magnetic direction opposite to the excitation direction is weakened. For this reason, the permanent magnets 59 and 64 are excited so that their polarities are opposite to each other, that is, one is an N pole and the other is an S pole. And the magnetic flux which passed each mover block 53,54,55 and stator side 52a, 52b forms a magnetic path as shown to the code | symbol 62 of Fig.4 (a). At this time, a magnetic attraction force corresponding to the position of the mover 51 and the stators 52a and 52b is generated, so that a thrust is generated in the mover 51 and the mover 51 moves.

さらに詳しく磁束の流れについて説明する。3相交流巻線56,57,58に電流を流す。一例として、U相からV相とW相へ、すなわち3相交流巻線56は図4(a)に示される巻線方向、3相交流巻線57,58には図4(a)に示される巻線方向と反対方向に電流を流す。そうすると、可動子ブロック53においては、SIDE−A側がS極に、SIDE−B側がN極になる。一方、可動子ブロック54,55においては、逆に、SIDE−A側がN極になり、SIDE−B側がS極になる。したがって、図4(a)に示されるように、磁束が可動子ブロック53から固定子52bを経て可動子ブロック54,55に流れ、つぎに固定子52aを通って再び可動子ブロック53に戻るという磁路62を形成する。すると、可動子51にはX軸方向に磁気吸引力が働き推力が発生する。   The flow of magnetic flux will be described in more detail. A current is passed through the three-phase AC windings 56, 57, and 58. As an example, from the U phase to the V phase and the W phase, that is, the three-phase AC winding 56 is shown in FIG. 4A in the winding direction shown in FIG. Current flows in the direction opposite to the winding direction. Then, in the mover block 53, the SIDE-A side becomes the S pole and the SIDE-B side becomes the N pole. On the other hand, in the mover blocks 54 and 55, the SIDE-A side is the N pole and the SIDE-B side is the S pole. Therefore, as shown in FIG. 4A, the magnetic flux flows from the mover block 53 to the mover blocks 54 and 55 through the stator 52b, and then returns to the mover block 53 again through the stator 52a. A magnetic path 62 is formed. Then, a magnetic attraction force acts on the mover 51 in the X-axis direction to generate a thrust.

また、下記特許文献2には、上述したリニアモータを、工作機械のベースに取り付ける取付構造の改良に関する技術が開示されている。この取付構造について、図7,8を用いて説明する。なお、下記特許文献2においては、1つのリニアモータの取付構造について開示されているが、下記の説明では、リニアモータを、可動子の移動方向に垂直な方向に並列に配置した場合の取付構造について説明する。   Patent Document 2 below discloses a technique related to an improvement in a mounting structure for attaching the above-described linear motor to a base of a machine tool. This mounting structure will be described with reference to FIGS. In addition, in the following Patent Document 2, a mounting structure of one linear motor is disclosed. However, in the following description, a mounting structure in a case where the linear motor is arranged in parallel in a direction perpendicular to the moving direction of the mover. Will be described.

図8において、ベース72の各部位に示す符号の名称は、以下の通りである。85はベース72に形成されたU字溝、82はベース72の側壁に形成されたU字溝側面壁、107は隣り合う可動子51a,51bの間に設けられたU字溝側面壁、84、108はU字形状の端部,言い換えればベース72の上面に該当するベース上面である。ベース上面84、108は、固定子上面73の高さと略一致する高さになるように形成されている。ベース上面84、108と固定子上面73を橋渡しするように平板状の板状支持部材81が配置される。板状支持部材81には、図7に示されるように、ボルト穴77が複数形成されている。板状支持部材81は、ボルト83によりベース上面84、108に固定され、ボルト71により固定子上面73に固定される。これにより、固定子52a,52bは、ボルト71を介してベース72のU字溝85の底部に固定されるとともに、固定子上面73に固定された板状支持部材81を介してベース72のベース上面84、108に固定される。   In FIG. 8, the name of the code | symbol shown to each site | part of the base 72 is as follows. 85 is a U-shaped groove formed in the base 72, 82 is a U-shaped groove side wall formed on the side wall of the base 72, 107 is a U-shaped groove side wall provided between the adjacent movable elements 51 a and 51 b, 84 , 108 are U-shaped end portions, in other words, the upper surface of the base corresponding to the upper surface of the base 72. The base upper surfaces 84 and 108 are formed to have a height that substantially matches the height of the stator upper surface 73. A flat plate-like support member 81 is arranged so as to bridge the base upper surfaces 84 and 108 and the stator upper surface 73. A plurality of bolt holes 77 are formed in the plate-like support member 81 as shown in FIG. The plate-like support member 81 is fixed to the base upper surfaces 84 and 108 by bolts 83 and is fixed to the stator upper surface 73 by bolts 71. Thereby, the stators 52a and 52b are fixed to the bottom of the U-shaped groove 85 of the base 72 via the bolt 71, and the base of the base 72 via the plate-like support member 81 fixed to the stator upper surface 73. Fixed to the upper surfaces 84 and 108.

このような構造である理由は、電磁鋼板を積層して形成されている固定子の剛性を向上させるためである。これにより、磁気吸引力によるエアギャップの変化を防ぎ、モータ性能の低下を防ぐことができる。また、固定子の剛性の向上によって、モータ制御において、位置や速度のゲインを上げた場合、固定子が直ちに振動してしまうことを防止することができる。   The reason for this structure is to improve the rigidity of the stator formed by laminating electromagnetic steel sheets. Thereby, the change of the air gap by a magnetic attraction force can be prevented, and the fall of motor performance can be prevented. Further, by improving the rigidity of the stator, it is possible to prevent the stator from vibrating immediately when the gain of position and speed is increased in motor control.

特開2007−318839号公報JP 2007-318839 A 特開2009−213211号公報JP 2009-213211 A 特開2000−312464号公報JP 2000-31464 A

しかし、上述したような従来のリニアモータには以下に説明するような課題があった。   However, the conventional linear motor as described above has problems as described below.

従来のリニアモータを用いて、例えば、重量ワークを搭載する大型工作機械のテーブルを駆動させるためには、その駆動に必要な大きな推力を得る必要がある。このような大推力を得るために、可動子51の移動方向に対して並列、すなわち図4(a)のY軸方向に、可動子51を複数個配置する構成を取る例がある。この場合、固定子52a,52bの間には、図8に示されるようなU字溝側面壁107が必要となるため、Y軸方向、すなわち複数の可動子51が並ぶ方向におけるリニアモータの設置面積が大きくなり、リニアモータが機械のスペースに入らなくなるという問題がある。   For example, in order to drive a table of a large machine tool on which a heavy workpiece is mounted using a conventional linear motor, it is necessary to obtain a large thrust necessary for the driving. In order to obtain such a large thrust, there is an example in which a plurality of movers 51 are arranged in parallel with the moving direction of the mover 51, that is, in the Y-axis direction of FIG. In this case, since a U-shaped groove side wall 107 as shown in FIG. 8 is required between the stators 52a and 52b, the linear motor is installed in the Y-axis direction, that is, the direction in which the plurality of movable elements 51 are arranged. There is a problem that the area becomes large and the linear motor cannot enter the space of the machine.

また、工作機械等では、加工面品位や加工精度を向上させるために、推力リップルの小さいリニアモータが求められる。上記のように、可動子51を並列に複数個並べる場合には、推力リップルは単純に並べた台数に比例して大きくなってしまい、結果として加工面品位や加工精度が低下してしまうという問題がある。   Further, in a machine tool or the like, a linear motor with a small thrust ripple is required in order to improve the processing surface quality and processing accuracy. As described above, when a plurality of movable elements 51 are arranged in parallel, the thrust ripple increases in proportion to the number of elements arranged in a simple manner, and as a result, the quality of the machined surface and the machining accuracy decrease. There is.

上記特許文献3においては、可動子を並列に複数個並べる場合に、各可動子により発生する推力リップルを互いに相殺させて減少させる方法が開示されている。具体的には、並列配置された複数の可動子をi組にグループ分けし、各組ごとに可動子をモータ電気角で360度/(2×i)度ずらして配置することにより、推力リップルの低減を図っている。しかしながら、複数のリニアモータを、可動子の移動方向に垂直な方向に並列に配置すると、上述した理由によりY軸方向、すなわち複数の可動子が並ぶ方向におけるリニアモータの設置面積が大きくなり、リニアモータが機械のスペースに入らなくなるという問題がある。   In Patent Document 3, a method is disclosed in which when a plurality of movers are arranged in parallel, the thrust ripples generated by the movers are canceled and reduced. Specifically, a plurality of movers arranged in parallel are grouped into i groups, and the mover is shifted by 360 degrees / (2 × i) degrees in motor electrical angle for each group, thereby generating thrust ripple. We are trying to reduce it. However, if a plurality of linear motors are arranged in parallel in a direction perpendicular to the moving direction of the mover, the installation area of the linear motor in the Y-axis direction, that is, the direction in which the plurality of movers are arranged increases for the reason described above. There is a problem that the motor does not enter the machine space.

本発明の目的は、これら全ての課題を解決されるためになされたものであって、リニアモータを可動子の移動方向に対して垂直な方向に並列に複数配置した場合に、リニアモータの省スペース化を図るとともに、推力リップルを減少させて加工面品位や加工精度の向上を図ることができるリニアモータを提供することにある。   The object of the present invention is to solve all of these problems. When a plurality of linear motors are arranged in parallel in a direction perpendicular to the moving direction of the mover, the linear motor is saved. An object of the present invention is to provide a linear motor capable of improving the machined surface quality and machining accuracy by reducing the thrust ripple while reducing the space.

本発明は、互いに対向する面に所定間隔で配列される突極を有し、並行して延びる二つの固定子と、三相交流巻線によりそれぞれ三相の磁極となる3種の可動子ブロックと、前記可動子ブロックの、前記二つの固定子にそれぞれ対向する二面に、極性を交互にして配列された永久磁石とを有し、前記二つの固定子の間を、固定子の延びる方向に沿って移動可能な可動子と、を有するリニアモータであって、複数のリニアモータが可動子の移動方向に対して並列に配置され、複数の可動子は互いにモータ電気角で360/(2×可動子組数)度の位置関係にあり、隣り合う可動子の間に設けられた二つの固定子は、それらの可動子に対向する二面にそれぞれ前記突極を有するように一体化されており、前記一体化された固定子の突極と対向する固定子の突極とが前記可動子の移動方向において同じ位置に配置されており、前記可動子ブロックの二つの固定子に対向する二面に配置された永久磁石の極性が逆になるように配置される、ことを特徴とする。
他の本発明は、互いに対向する面に所定間隔で配列される突極を有し、並行して延びる二つの固定子と、三相交流巻線によりそれぞれ三相の磁極となる3種の可動子ブロックと、前記可動子ブロックの、前記二つの固定子にそれぞれ対向する二面に、極性を交互にして配列された永久磁石とを有し、前記二つの固定子の間を、固定子の延びる方向に沿って移動可能な可動子と、を有するリニアモータであって、複数のリニアモータが可動子の移動方向に対して並列に配置され、複数の可動子は互いにモータ電気角で360/(2×可動子組数)度の位置関係にあり、隣り合う可動子の間に設けられた二つの固定子は、それらの可動子に対向する二面にそれぞれ前記突極を有するように一体化されており、前記一体化された固定子の突極が対向する固定子の突極に対してピッチPの1/2だけ前記可動子の移動方向にずらして配置されており、前記可動子ブロックの二つの固定子に対向する二面に配置された永久磁石の極性が同じになるように配置されることを特徴とする。
The present invention has salient poles arranged at predetermined intervals on mutually facing surfaces, two stators extending in parallel, and three kinds of mover blocks each having three-phase magnetic poles by a three-phase AC winding And permanent magnets arranged with alternating polarities on two surfaces of the mover block facing the two stators, respectively, and the direction in which the stator extends between the two stators A plurality of linear motors arranged in parallel with respect to the moving direction of the mover, and the plurality of movers are 360 / (2 × The number of mover sets) The two stators provided between the adjacent movers are integrated so that the salient poles are respectively provided on two surfaces facing the movers. Facing the salient poles of the integrated stator And salient poles of the stator are arranged at the same position in the movement direction of the mover, arranged as the polarity of the permanent magnets arranged on the two surfaces facing the two stators of the slider blocks is reversed is Ru, characterized in that.
In another aspect of the present invention, there are three kinds of movable elements having salient poles arranged at predetermined intervals on mutually facing surfaces, and two stators extending in parallel and three-phase magnetic poles by three-phase AC windings. A stator block, and permanent magnets arranged with alternating polarities on two surfaces of the mover block facing the two stators, respectively, and between the two stators, A linear motor having a movable element movable along the extending direction, wherein the plurality of linear motors are arranged in parallel with respect to the moving direction of the movable element, and the plurality of movable elements mutually have a motor electrical angle of 360 / (2 × number of mover pairs) in the positional relationship, the two stators provided between the adjacent movers are integrated so that each of the two surfaces facing the movers has the salient poles. The salient poles of the integrated stator face each other Permanent magnets arranged on two surfaces facing the two stators of the mover block, being displaced in the moving direction of the mover by 1/2 of the pitch P with respect to the salient poles of the stator Are arranged so that their polarities are the same.

また、前記一体化された固定子における、可動子の移動方向に対して垂直な方向の幅が、最外側固定子の幅を2倍した数値より小さくすることが好適である。   In the integrated stator, it is preferable that the width in the direction perpendicular to the moving direction of the mover is smaller than a value obtained by doubling the width of the outermost stator.

本発明のリニアモータによれば、リニアモータを可動子の移動方向に対して垂直な方向に並列に複数配置した場合に、リニアモータの省スペース化を図るとともに、推力リップルを減少させて加工面品位や加工精度の向上を図ることができる。   According to the linear motor of the present invention, when a plurality of linear motors are arranged in parallel in the direction perpendicular to the moving direction of the mover, the linear motor is saved in space and the thrust ripple is reduced to reduce the machining surface. The quality and processing accuracy can be improved.

本実施形態のリニアモータの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the linear motor of this embodiment. 本実施形態のリニアモータの取付構造を示す図である。It is a figure which shows the attachment structure of the linear motor of this embodiment. 突極の位置が異なるリニアモータに本発明を適用した構成の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the structure which applied this invention to the linear motor from which the position of a salient pole differs. 永久磁石の配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of a permanent magnet. 永久磁石の配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of a permanent magnet. 従来のリニアモータの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the conventional linear motor. 永久磁石の配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of a permanent magnet. 永久磁石の配置を示す図である。It is a figure which shows arrangement | positioning of a permanent magnet. 図4(a)のC−C線による断面図である。It is sectional drawing by CC line of Fig.4 (a). リニアモータに巻回される巻線の結線図である。It is a connection diagram of the winding wound around the linear motor. 固定子の斜視図である。It is a perspective view of a stator. 2つのリニアモータを、可動子の移動方向に垂直な方向に並列に配置した図である。It is the figure which has arrange | positioned two linear motors in parallel in the direction perpendicular | vertical to the moving direction of a needle | mover.

以下、図面を参照しつつ本発明に係るリニアモータの実施形態について説明する。一例として、可動子の移動方向に対して並列に2列に配置されたリニアモータについて説明する。なお、本発明は、上述のように2列に配置されたリニアモータに限らず、複数列に配置されたリニアモータにも適用可能である。   Embodiments of a linear motor according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As an example, linear motors arranged in two rows in parallel with the moving direction of the mover will be described. The present invention is not limited to the linear motors arranged in two rows as described above, but can be applied to linear motors arranged in a plurality of rows.

図1は、本実施形態のリニアモータの概略構成を示す図である。図2は、本実施形態のリニアモータの取付構造を示す図である。ここで、従来技術で述べたリニアモータと同じ構成要素については、同一の符号を付し、詳しい説明は省略する。   FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of the linear motor of the present embodiment. FIG. 2 is a view showing the mounting structure of the linear motor of this embodiment. Here, the same components as those of the linear motor described in the prior art are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

まず、リニアモータの固定子の取付構造について説明する。ベース72は、断面U字形状に形成される。図2において、ベース72の各部位に示す符号の名称は以下の通りである。すなわち、85はベース72に形成されたU字溝、82はベース72の側壁に成形されたU字溝面壁、84はU字形状の端部、言い換えればベース72の上面に該当するベース上面である。ベース上面84は、固定子上面73の高さと略一致する高さになるように形成されている。ベース上面84と、Y軸方向(図1参照)におけるリニアモータの外側に位置する固定子(以降、単に最外側固定子という)52a,52bの固定子上面73とを橋渡しするように平板状の板状支持部材81が配置される。板状支持部材81は、ボルト83によりベース上面84に固定され、ボルト71により最外側固定子52a,52bの固定子上面73に固定される。これにより、最外側固定子52a,52bは、ボルト71を介してベース72のU字溝85の底部に固定されるとともに、固定子上面73に固定された板状支持部材81を介してベース72のベース上面84に固定される。なお、本実施形態においては、最外側固定子は、Y軸方向(図1参照)におけるリニアモータの外側に位置する固定子である場合について説明したが、2列以上に並列配置されたリニアモータの場合、最外側固定子は、並列配置された複数のリニアモータの最も外側の、二つのリニアモータの固定子であって、Y軸方向の外側にそれぞれ位置する固定子である。   First, the mounting structure of the stator of the linear motor will be described. The base 72 is formed in a U-shaped cross section. In FIG. 2, the names of the symbols shown in the respective parts of the base 72 are as follows. That is, 85 is a U-shaped groove formed in the base 72, 82 is a U-shaped groove surface wall formed on the side wall of the base 72, 84 is a U-shaped end, in other words, a base upper surface corresponding to the upper surface of the base 72. is there. The base upper surface 84 is formed to have a height that substantially matches the height of the stator upper surface 73. A flat plate is formed so as to bridge the base upper surface 84 and the stator upper surfaces 73 of the stators (hereinafter simply referred to as outermost stators) 52a and 52b located outside the linear motor in the Y-axis direction (see FIG. 1). A plate-like support member 81 is disposed. The plate-like support member 81 is fixed to the base upper surface 84 by bolts 83 and fixed to the stator upper surfaces 73 of the outermost stators 52a and 52b by bolts 71. As a result, the outermost stators 52 a and 52 b are fixed to the bottom of the U-shaped groove 85 of the base 72 via the bolts 71 and the base 72 via the plate-like support member 81 fixed to the stator upper surface 73. Fixed to the upper surface 84 of the base. In the present embodiment, the outermost stator is a stator positioned outside the linear motor in the Y-axis direction (see FIG. 1). However, the linear motors arranged in parallel in two or more rows In this case, the outermost stator is a stator of the two outermost linear motors of the plurality of linear motors arranged in parallel, and is a stator positioned on the outer side in the Y-axis direction.

図1,2では、隣り合う可動子51a,51bの間に設けられた2つの固定子が一体化されて形成されている。この一体化された一体化固定子を、以降、一体化固定子52cと記す。一体化固定子52cは、可動子51a,51bに対向する二面に、それぞれ突極50を有する。そして、一体化固定子52cは、図2に示されるように、ボルト71によりベース72に固定される。なお、従来のリニアモータを示す図4(a)に示した固定子52a,52bの境界部101は図示していない。   In FIGS. 1 and 2, two stators provided between adjacent movers 51a and 51b are integrally formed. Hereinafter, this integrated integrated stator is referred to as an integrated stator 52c. The integrated stator 52c has salient poles 50 on two surfaces facing the movers 51a and 51b, respectively. And the integrated stator 52c is fixed to the base 72 with the volt | bolt 71, as FIG. 2 shows. In addition, the boundary part 101 of the stators 52a and 52b shown to Fig.4 (a) which shows the conventional linear motor is not shown in figure.

また、並列配置された複数のリニアモータの推力リップルを互いに相殺するために、可動子51は、i組にグループ分けされ、各組ごとに可動子51をモータ電気角で360度/(2×i)度ずらして配置される。図1は、i=2組のため、隣り合う可動子51a,51bは、90度に相当するLsだけずらして配置されている。   In order to cancel out thrust ripples of a plurality of linear motors arranged in parallel, the movable elements 51 are grouped into i groups, and the movable elements 51 are 360 degrees / (2 × i) Arranged at different degrees. In FIG. 1, since i = 2 sets, the adjacent movable elements 51a and 51b are arranged so as to be shifted by Ls corresponding to 90 degrees.

上記のように構成されたリニアモータにおいては、一体化固定子52cの面であって、可動子51a,51bに対向する各面に、突極50がそれぞれ形成されている。このため、可動子51aと一体化固定子52cとの間に働く磁気吸引力と、可動子51bと一体化固定子52cとの間に働く磁気吸引力とは、互いに同じ力で反対方向に働くので、磁気吸引力は相殺される。したがって、一体化固定子52cが可動子51a,51bの方向にそれぞれたわむことを防ぐことができる。   In the linear motor configured as described above, salient poles 50 are respectively formed on the surfaces of the integrated stator 52c and facing the movers 51a and 51b. For this reason, the magnetic attraction force acting between the mover 51a and the integrated stator 52c and the magnetic attraction force acting between the mover 51b and the integrated stator 52c work in the opposite direction with the same force. Therefore, the magnetic attractive force is canceled out. Therefore, it is possible to prevent the integrated stator 52c from bending in the directions of the movers 51a and 51b.

また、一体化固定子52cは、最外側固定子52a,52bのように、可動子51a,51bに向かう一方向のみに磁気吸引力が働くことがないため、図8に示されるように、板状支持部材81を介してU字溝側面壁107に固定する必要がなくなる。よって、隣接するリニアモータの間に、U字溝側面壁107を設置する必要がなくなるため、可動子51の移動方向に対して並列に複数配置するリニアモータの設置面積を小さくすることができる。また、U字溝側面壁107や固定子52a,52bを固定する固定ボルト83用のタップが不要になるため加工コストを低減することができる。   Further, since the integrated stator 52c does not have a magnetic attractive force acting only in one direction toward the movers 51a and 51b unlike the outermost stators 52a and 52b, as shown in FIG. It is not necessary to fix to the U-shaped groove side wall 107 via the support member 81. Therefore, it is not necessary to install the U-shaped groove side wall 107 between adjacent linear motors, so that the installation area of a plurality of linear motors arranged in parallel with the moving direction of the mover 51 can be reduced. Further, since the tap for the fixing bolt 83 for fixing the U-shaped groove side wall 107 and the stators 52a and 52b is not necessary, the processing cost can be reduced.

なお、本実施形態のリニアモータにおいては、リニアモータの設置面積を、U字溝側面壁107を無くした状態よりも、さらに小さくすることができる。以下に、具体的に説明する。   In the linear motor of this embodiment, the installation area of the linear motor can be made smaller than the state in which the U-shaped groove side wall 107 is eliminated. This will be specifically described below.

上述したように、本実施形態においては、図1に示されるように、可動子51a,51bは、可動子の移動方向に相対的にモータ電気角で90度ずらして配置されている。可動子51a,51bには、それぞれ異なる2つの制御装置により、モータ電気角を90度ずらした位相の電流が印加される。例えば、可動子51aの3相交流巻線56,57,58にU相からV相とW相の方向に電流が印加された場合、可動子51aと最外側固定子52aと一体化固定子52cとには、図1に示される磁束111が励磁される。一方、可動子52bの3相交流巻線93,94,95には、モータ電気角を90度ずらしたV相からW相の方向に電流が印加され、可動子51bと最外側固定子52bと一体化固定子52cとには、磁束112が励磁される。この時、最外側固定子52a,52bの固定子ヨーク61の幅は、磁束111,112によって磁気飽和しないように所定の幅を確保する必要がある。   As described above, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the movers 51 a and 51 b are arranged so as to be shifted by 90 degrees relative to the moving direction of the mover by the motor electrical angle. A current having a phase in which the motor electrical angle is shifted by 90 degrees is applied to the movers 51a and 51b by two different control devices. For example, when a current is applied to the three-phase AC windings 56, 57, and 58 of the mover 51a from the U phase to the V phase and the W phase, the mover 51a, the outermost stator 52a, and the integrated stator 52c. The magnetic flux 111 shown in FIG. 1 is excited. On the other hand, a current is applied to the three-phase AC windings 93, 94, 95 of the mover 52b in the direction from the V phase to the W phase with the motor electrical angle shifted by 90 degrees, and the mover 51b, the outermost stator 52b, The magnetic flux 112 is excited to the integrated stator 52c. At this time, it is necessary to secure a predetermined width of the stator yoke 61 of the outermost stators 52a and 52b so as not to be magnetically saturated by the magnetic fluxes 111 and 112.

一方、一体化固定子52cにも、磁束111と112がX軸方向、すなわち可動子移動方向に励磁される。しかし、可動子51a,51bには、モータ電気角で90度ずれた電流が印加されるため、一体型固定子52cには、磁束111と112が可動子移動方向にずれて励磁される。よって、一体化固定子52cの固定子ヨーク102の幅は、一方の最外側固定子52a,52bの固定子ヨーク61の幅を2倍した長さよりも小さくすることが可能となる。これにより、リニアモータの設置面積をさらに小さくすることができる。   On the other hand, the magnetic fluxes 111 and 112 are also excited in the integrated stator 52c in the X-axis direction, that is, the mover moving direction. However, since a current shifted by 90 degrees in terms of motor electrical angle is applied to the movers 51a and 51b, the magnetic fluxes 111 and 112 are excited in the integral stator 52c with a shift in the mover moving direction. Therefore, the width of the stator yoke 102 of the integrated stator 52c can be made smaller than the length obtained by doubling the width of the stator yoke 61 of one of the outermost stators 52a and 52b. Thereby, the installation area of the linear motor can be further reduced.

次に、一体化固定子52cの固定子ヨーク102の幅が、最外側固定子52a,52bの固定子ヨーク61の幅より、どの程度狭くできるかについて説明する。説明の前に、一体化固定子52cにおいてX軸に直交する仮想の面である仮想面130,131を、最外側固定子52aにおいてX軸に直交する仮想の面である仮想面132,133を設定する。これらの仮想面130,131,132,133は、X軸方向において、可動子51a,51bの各相ブロック間に位置し、一体化固定子52cと最外側固定子52aで磁束が最も集中する面である。ただし、仮想面130,131と仮想面132,133に励磁する磁束の大きさは、可動子51a,51bの位置により変化するため、今回は、仮想面131と仮想面132ついて、それぞれの仮想面で励磁される最大磁束を求め比較する。   Next, how much the width of the stator yoke 102 of the integrated stator 52c can be made smaller than the width of the stator yoke 61 of the outermost stators 52a and 52b will be described. Before the description, the virtual surfaces 130 and 131 that are virtual surfaces orthogonal to the X axis in the integrated stator 52c and the virtual surfaces 132 and 133 that are virtual surfaces orthogonal to the X axis in the outermost stator 52a are displayed. Set. These virtual surfaces 130, 131, 132, and 133 are located between the phase blocks of the movers 51a and 51b in the X-axis direction, and the surfaces on which the magnetic flux is most concentrated by the integrated stator 52c and the outermost stator 52a. It is. However, since the magnitudes of magnetic fluxes excited on the virtual surfaces 130 and 131 and the virtual surfaces 132 and 133 vary depending on the positions of the movers 51a and 51b, this time, the virtual surfaces 131 and 132 will be described with respect to the respective virtual surfaces. The maximum magnetic flux excited by is obtained and compared.

まず、仮想面132に励磁される最大磁束をΦとする。これに対して、仮想面131に励磁される磁束の大きさは、可動子ブロック53から一体化固定子52cへ流れ込む磁束と、可動子ブロック121から一体化固定子52cへ流れ込む磁束の和となる。電源周波数をfとし、可動子ブロック53から一体化固定子52cへ流れ込む方向を正とすると、可動子ブロック53に励磁される磁束は、Φ・sin(2π・f・t)で表わすことができる。一方、可動子ブロック121には可動子ブロック53に対してモータ電気角を90度ずらした電流が印加されるため、可動子ブロック121に励磁される磁束は−Φ・sin(2π・f・t−π/2)となる。そうすると、仮想面131を通過する磁束は、Φ・sin(2π・f・t)−Φ・sin(2π・f・t−π/2)=√2・Φ・cos(2π・f・t−π/4)となり、最大磁束は、√2・Φとなる。   First, let Φ be the maximum magnetic flux excited on the virtual surface 132. On the other hand, the magnitude of the magnetic flux excited on the virtual surface 131 is the sum of the magnetic flux flowing from the mover block 53 to the integrated stator 52c and the magnetic flux flowing from the mover block 121 to the integrated stator 52c. . Assuming that the power supply frequency is f and the direction of flow from the mover block 53 to the integrated stator 52c is positive, the magnetic flux excited in the mover block 53 can be expressed as Φ · sin (2π · f · t). . On the other hand, since a current obtained by shifting the motor electrical angle by 90 degrees with respect to the mover block 53 is applied to the mover block 121, the magnetic flux excited in the mover block 121 is -Φ · sin (2π · f · t −π / 2). Then, the magnetic flux passing through the virtual surface 131 is Φ · sin (2π · f · t) −Φ · sin (2π · f · t−π / 2) = √2 · Φ · cos (2π · f · t− π / 4), and the maximum magnetic flux is √2 · Φ.

よって、一体化固定子52cをX軸方向に通過する磁束は、最外側固定子52a,52bを通過する磁束の√2倍となる。以上のことから、従来技術においては、図4(a)に示される1組のリニアモータを可動子の移動方向と垂直な方向に並列に並べると、2つの可動子に挟まれた固定子の幅は、通常の固定子(例えば最外側固定子)の幅の2倍となるが、本発明のリニアモータによれば、一体化固定子52cにおける可動子の移動方向に励磁される磁束の最大値は、最外側固定子52a,52bの√2倍であるため、磁気飽和しない一体化固定子52cの幅は、最外側固定子の1/√2倍に狭くすることができる。   Therefore, the magnetic flux that passes through the integrated stator 52c in the X-axis direction is √2 times the magnetic flux that passes through the outermost stators 52a and 52b. From the above, in the prior art, when a set of linear motors shown in FIG. 4A is arranged in parallel in a direction perpendicular to the moving direction of the mover, the stator sandwiched between the two movers The width is twice that of a normal stator (for example, the outermost stator). However, according to the linear motor of the present invention, the maximum magnetic flux excited in the moving direction of the mover in the integrated stator 52c. Since the value is √2 times that of the outermost stators 52a and 52b, the width of the integrated stator 52c that is not magnetically saturated can be reduced to 1 / √2 times that of the outermost stator.

本実施形態によれば、リニアモータを、可動子の移動方向に対して並列に複数配置した場合に、リニアモータの設置面積をより小さくして、リニアモータの省スペース化を図ることができる。さらに、本実施形態によれば、各可動子51a,51bの発生する推力リップルを互いに相殺し、推力リップルを低減させて、加工面品位や加工精度の向上を図ることができる。   According to the present embodiment, when a plurality of linear motors are arranged in parallel with respect to the moving direction of the mover, the installation area of the linear motor can be further reduced and space saving of the linear motor can be achieved. Furthermore, according to the present embodiment, thrust ripples generated by the movable elements 51a and 51b can be offset from each other, and thrust ripples can be reduced to improve the quality of the machined surface and machining accuracy.

なお、図1に示される最外側固定子52a,52bと一体化固定子52cの各突極50は、X軸方向において全て同じ位置に配置されている。しかしながら、これらの突極50は、そのように同じ位置に無くても、本発明と同様の効果を得ることができる。以下にその理由について説明する。   Note that the salient poles 50 of the outermost stators 52a and 52b and the integrated stator 52c shown in FIG. 1 are all arranged at the same position in the X-axis direction. However, even if these salient poles 50 are not in the same position, the same effects as those of the present invention can be obtained. The reason will be described below.

図3は、各固定子の突極50の位置が、X軸方向においてそれぞれ異なるリニアモータに本発明を適用した構成の一例を示す図である。最外側固定子52aは、可動子51aに対向する面に突極50aを有する。最外側固定子52bは、可動子51bに対向する面に突極50bを有する。一体化固定子52cは、可動子51aに対向する面に突極50cbを有し、可動子51bに対向する面に突極50caを有する。突極50ca,50cbは、突極50a,50bに対して、ピッチPの1/2だけ、X軸方向にずらして配置されている。一方、可動子ブロック53,54,55のSIDE−A,SIDE−Bに配置した磁石64と59は、図3(b),図3(c)に示されるように配置される。これは、本発明に係るリニアモータの実施形態の磁石配置を示した図4(b),図4(c)に対して、図4(c)に示したSIDE−Bの磁石のみN極とS極が逆になる配置、すなわち磁石の磁極もピッチPの1/2だけずらすように配置されているということである。これにより、図3に示されるようなリニアモータの構成において、可動子51a,51bには図1と同じ磁気吸引力が発生し、同じ推力が発生する。   FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a configuration in which the present invention is applied to linear motors in which the salient poles 50 of the stators are different in the X-axis direction. The outermost stator 52a has a salient pole 50a on the surface facing the mover 51a. The outermost stator 52b has a salient pole 50b on the surface facing the mover 51b. The integrated stator 52c has a salient pole 50cb on a surface facing the mover 51a, and a salient pole 50ca on a surface facing the mover 51b. The salient poles 50ca and 50cb are shifted from the salient poles 50a and 50b by 1/2 of the pitch P in the X-axis direction. On the other hand, the magnets 64 and 59 arranged on the SIDE-A and SIDE-B of the mover blocks 53, 54 and 55 are arranged as shown in FIGS. 3 (b) and 3 (c). 4B and 4C showing the magnet arrangement of the linear motor according to the present invention, only the SIDE-B magnet shown in FIG. This means that the S poles are reversed, that is, the magnetic poles of the magnets are also shifted by 1/2 of the pitch P. Thereby, in the configuration of the linear motor as shown in FIG. 3, the same magnetic attractive force as that in FIG. 1 is generated in the movers 51a and 51b, and the same thrust is generated.

以上のように、図3に示されるようなリニアモータの構成においても、リニアモータの性能に変わりはなく、一体化固定子52cの幅や、一体化固定子52c内に生成される磁束111,112も図1と同じであるため、本発明と同様の効果を得ることができる。   As described above, even in the configuration of the linear motor as shown in FIG. 3, the performance of the linear motor is not changed, and the width of the integrated stator 52c and the magnetic fluxes 111, 111 generated in the integrated stator 52c. Since 112 is the same as that in FIG. 1, the same effect as the present invention can be obtained.

また、突極50a,50ca,50cbは同じ位置で、突極50bだけピッチPの1/2ずらすといった構成や、突極50b,50ca,50cbは同じ位置で、突極50aだけピッチPの1/2ずらすといった構成でも同様である。以上のように、各固定子52の突極50の位置が可動子51の移動方向にずれている構成についても、本発明と同様の効果を得ることができるため本発明に包括される。   The salient poles 50a, 50ca, 50cb are arranged at the same position and the salient pole 50b is shifted by 1/2 of the pitch P, or the salient poles 50b, 50ca, 50cb are at the same position and the salient pole 50a is 1 / of the pitch P. The same applies to the configuration of shifting by two. As described above, the configuration in which the position of the salient pole 50 of each stator 52 is shifted in the moving direction of the mover 51 can be obtained in the present invention because the same effect as the present invention can be obtained.

上述した全ての実施形態においては、可動子51の構造が図1および図3に示されるような場合のリニアモータについて説明したが、これに限定されない。可動子51の構造が図1および図3と異なるタイプのリニアモータであっても、固定子52の形状が同様であれば、本発明を適用することができる。   In all the above-described embodiments, the linear motor in the case where the structure of the mover 51 is as shown in FIGS. 1 and 3 has been described, but the present invention is not limited to this. Even if the structure of the mover 51 is a linear motor of a type different from that shown in FIGS. 1 and 3, the present invention can be applied as long as the shape of the stator 52 is the same.

50,50a,50b,50ca,50cb 突極、51,51a,51b 可動子、52,52a,52b,52c 固定子、53,54,55,121,122,123 可動子ブロック、56,57,58,93,94,95 3相交流巻線、59,64 永久磁石、62,111,112 磁束。   50, 50a, 50b, 50ca, 50cb Salient pole, 51, 51a, 51b Movable element, 52, 52a, 52b, 52c Stator, 53, 54, 55, 121, 122, 123 Movable element block, 56, 57, 58 , 93, 94, 95 Three-phase AC winding, 59, 64 permanent magnet, 62, 111, 112 magnetic flux.

Claims (3)

互いに対向する面に所定間隔で配列される突極を有し、並行して延びる二つの固定子と、
三相交流巻線によりそれぞれ三相の磁極となる3種の可動子ブロックと、前記可動子ブロックの、前記二つの固定子にそれぞれ対向する二面に、極性を交互にして配列された永久磁石とを有し、前記二つの固定子の間を、固定子の延びる方向に沿って移動可能な可動子と、
を有するリニアモータであって、
複数のリニアモータが可動子の移動方向に対して並列に配置され、
複数の可動子は互いにモータ電気角で360/(2×可動子組数)度の位置関係にあり、
隣り合う可動子の間に設けられた二つの固定子は、それらの可動子に対向する二面にそれぞれ前記突極を有するように一体化されており、
前記一体化された固定子の突極と対向する固定子の突極とが前記可動子の移動方向において同じ位置に配置されており、
前記可動子ブロックの二つの固定子に対向する二面に配置された永久磁石の極性が逆になるように配置される、
ことを特徴とするリニアモータ。
Two stators having salient poles arranged at predetermined intervals on opposite surfaces, and extending in parallel;
Three types of mover blocks, each of which is a three-phase magnetic pole by a three-phase AC winding, and permanent magnets arranged alternately on the two surfaces of the mover block that face the two stators. A mover movable between the two stators along the direction in which the stator extends, and
A linear motor having
A plurality of linear motors are arranged in parallel to the moving direction of the mover,
The plurality of movers are in a positional relationship of 360 / (2 × number of mover sets) degrees in terms of motor electrical angle,
Two stators provided between adjacent movers are integrated so as to have the salient poles on two surfaces facing the movers,
The salient pole of the stator that opposes the salient pole of the integrated stator is arranged at the same position in the moving direction of the mover ,
The polarity of the arranged permanent magnets are two opposing surfaces on two of the stator of the movable element blocks Ru are arranged to have opposite,
A linear motor characterized by that.
互いに対向する面に所定間隔で配列される突極を有し、並行して延びる二つの固定子と、  Two stators having salient poles arranged at predetermined intervals on opposite surfaces, and extending in parallel;
三相交流巻線によりそれぞれ三相の磁極となる3種の可動子ブロックと、前記可動子ブロックの、前記二つの固定子にそれぞれ対向する二面に、極性を交互にして配列された永久磁石とを有し、前記二つの固定子の間を、固定子の延びる方向に沿って移動可能な可動子と、  Three types of mover blocks, each of which is a three-phase magnetic pole by a three-phase AC winding, and permanent magnets arranged alternately on the two surfaces of the mover block that face the two stators. A mover movable between the two stators along the direction in which the stator extends, and
を有するリニアモータであって、  A linear motor having
複数のリニアモータが可動子の移動方向に対して並列に配置され、  A plurality of linear motors are arranged in parallel to the moving direction of the mover,
複数の可動子は互いにモータ電気角で360/(2×可動子組数)度の位置関係にあり、  The plurality of movers are in a positional relationship of 360 / (2 × number of mover sets) degrees in terms of motor electrical angle,
隣り合う可動子の間に設けられた二つの固定子は、それらの可動子に対向する二面にそれぞれ前記突極を有するように一体化されており、  Two stators provided between adjacent movers are integrated so as to have the salient poles on two surfaces facing the movers,
前記一体化された固定子の突極が対向する固定子の突極に対してピッチPの1/2だけ前記可動子の移動方向にずらして配置されており、  The salient poles of the integrated stator are arranged to be shifted in the moving direction of the mover by 1/2 of the pitch P with respect to the salient poles of the opposing stator,
前記可動子ブロックの二つの固定子に対向する二面に配置された永久磁石の極性が同じになるように配置される、  The permanent magnets arranged on the two surfaces facing the two stators of the mover block have the same polarity.
ことを特徴とするリニアモータ。  A linear motor characterized by that.
請求項1または2に記載のリニアモータであって、
前記一体化された固定子における、可動子の移動方向に対して垂直な方向の幅が、最外側固定子の幅を2倍した数値より小さい、
ことを特徴とするリニアモータ。
The linear motor according to claim 1 or 2 ,
In the integrated stator, the width in the direction perpendicular to the moving direction of the mover is smaller than the value obtained by doubling the width of the outermost stator.
A linear motor characterized by that.
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