JP5615657B2 - Indoor pressure control system - Google Patents

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Description

本発明は、空調空間を有する気密室の室内気圧をコントロールする室内気圧制御システムに関する。   The present invention relates to an indoor pressure control system that controls the indoor pressure of an airtight chamber having an air-conditioned space.

空調室に設置された圧力センサと、圧力センサから出力された測定室圧とあらかじめ設定された設定室圧とを比較してそれら室圧の差に応じた出力信号を発生する室圧コントローラと、空調室に接続された排気ダクトに設置された室圧調整用ダンパとを備え、室圧コントローラからの出力信号によって室圧調整用ダンパのダンパ開度を調整して空調室の室内気圧を設定室圧に保持する室圧制御装置がある（特許文献１参照）。   A pressure sensor installed in the air-conditioning chamber, a chamber pressure controller that compares the measurement chamber pressure output from the pressure sensor and a preset set chamber pressure and generates an output signal corresponding to the difference between the chamber pressures; And a room pressure adjusting damper installed in the exhaust duct connected to the air conditioning room, and adjust the damper opening of the room pressure adjusting damper according to the output signal from the room pressure controller to set the room pressure in the air conditioning room There is a room pressure control device that holds the pressure (see Patent Document 1).

この室圧制御装置は、空調室の扉の開閉を検出する開閉センサが空調室に設置され、開閉センサが扉の開放を検出してその開信号を室圧コントローラに出力すると、室圧コントローラがその作動を一旦停止し、開閉センサが扉の閉鎖を検出してその閉信号を室圧コントローラに出力すると、室圧コントローラがその作動を再度開始する。扉が開放されて室圧コントローラの作動が停止すると、ダンパのダンパ開度が扉を開放する直前の開度に固定され、扉を閉鎖すると、ダンパのダンパ開度が室内気圧を設定室圧にする開度に調整される。   In this room pressure control device, an open / close sensor that detects the opening / closing of the door of the air conditioning room is installed in the air conditioning room, and when the open / close sensor detects the opening of the door and outputs the open signal to the room pressure controller, the room pressure controller When the operation is temporarily stopped and the open / close sensor detects the closing of the door and outputs the close signal to the room pressure controller, the room pressure controller starts the operation again. When the door is opened and the operation of the room pressure controller stops, the damper opening of the damper is fixed at the opening just before the door is opened, and when the door is closed, the damper opening of the damper changes the room pressure to the set room pressure. The opening is adjusted.

特開昭６３−２４７５４２号公報JP-A 63-247542

前記公報に開示の室圧制御装置では、扉が開放されると、コントローラがその作動を一旦停止し、空調室の室内気圧のコントロールが一時的に中断するから、開放された扉を通して気圧の高い室から気圧の低い室に空気が流入したり、開放された扉を通して気圧の高い室から外部に空気が流出する。この室圧制御装置では、扉が開放されると、各空調室の室内気圧が大きく変動し、それら空調室の室内気圧が設定気圧から外れ、空調室の室内気圧を設定気圧に保持することができない。また、扉の開閉以外の室内気圧の変動要因によって空調室の室内気圧が変動した場合、その変動に対応するようにダンパ開度を調整することはないから、扉の開閉以外の変動要因による室内気圧の変動に対処することができず、室内気圧を設定気圧に戻すことができない。   In the room pressure control device disclosed in the above publication, when the door is opened, the controller temporarily stops its operation, and control of the indoor air pressure in the air conditioning room is temporarily interrupted. Air flows from the chamber into the low-pressure chamber or flows out from the high-pressure chamber through the opened door. In this room pressure control device, when the door is opened, the indoor air pressure of each air conditioning room fluctuates greatly, the indoor air pressure of these air conditioning rooms deviates from the set atmospheric pressure, and the indoor air pressure of the air conditioning room can be held at the set atmospheric pressure. Can not. In addition, if the indoor air pressure in the air-conditioned room fluctuates due to a factor that changes the indoor air pressure other than the opening / closing of the door, the damper opening is not adjusted to accommodate the fluctuation. It is impossible to cope with fluctuations in atmospheric pressure, and the indoor atmospheric pressure cannot be returned to the set atmospheric pressure.

本発明の目的は、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることがなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる室内気圧制御システムを提供する。本発明の他の目的は、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、気密室の環境を清浄に保持することができる室内気圧制御システムを提供する。本発明の他の目的は、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が変動したとしても、気密室の室内気圧をスムーズに設定気圧にすることができる室内気圧制御システムを提供する。   An object of the present invention is to provide an indoor air pressure control system capable of constantly maintaining the indoor air pressure of an airtight chamber at a set atmospheric pressure without interrupting control of the indoor air pressure of the airtight chamber. Another object of the present invention is to provide an indoor pressure control system that can keep the environment of a hermetic chamber clean even if the indoor pressure of the hermetic chamber deviates from a set atmospheric pressure due to various fluctuation factors. Another object of the present invention is to provide an indoor air pressure control system that can smoothly set the indoor air pressure of the hermetic chamber to the set atmospheric pressure even if the indoor air pressure of the airtight chamber varies due to various fluctuation factors.

前記課題を解決するための本発明の室内気圧制御システムは、空調空間を有する気密室と、気密室に空気を給気する給気ファンと、気密室から空気を排気する排気ファンと、ダンパ開度によって気密室から排気する空気の流量を調節可能な制御ダンパと、制御ダンパの近傍に設置されてダンパ開度を調整する近接コントローラと、制御ダンパから離隔した箇所に設置されて近接コントローラに所定の操作指令を出力する遠隔操作コントローラと、気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれらコントローラに出力する室圧センサとを備え、気密室の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時では、近接コントローラが室圧センサから出力された測定気圧を参照しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行し、変動要因の発生時では、遠隔操作コントローラが制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが開度第１調整手段を中断しつつ遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を所定の開度に調整する開度第２調整手段を実行するとともに、開度第２調整手段を実行してから所定時間経過した後、遠隔操作コントローラが室圧センサから出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第２出力手段を実行し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を微調整する開度第３調整手段を実行することを特徴とする。 In order to solve the above problems, an indoor pressure control system of the present invention includes an airtight chamber having an air-conditioned space, an air supply fan that supplies air to the airtight chamber, an exhaust fan that exhausts air from the airtight chamber, and a damper opening. A control damper that can adjust the flow rate of air exhausted from the hermetic chamber according to the degree, a proximity controller that is installed in the vicinity of the control damper and adjusts the damper opening, and that is installed in a location separated from the control damper and is set in the proximity controller Remote control controller that outputs the operation command and a room pressure sensor that measures the atmospheric pressure in the hermetic chamber and outputs the measured atmospheric pressure to these controllers, when no fluctuation factors that fluctuate the atmospheric pressure in the hermetic chamber occur The proximity controller finely adjusts the damper opening of the control damper while referring to the measured atmospheric pressure output from the room pressure sensor, and keeps the indoor pressure in the hermetic chamber at the set atmospheric pressure. An operation command first output means for outputting an operation command for causing the remote operation controller to set the damper opening of the control damper to a predetermined opening when the fluctuation factor is generated. run, with proximity controller performs the opening second adjusting means for adjusting the damper opening of the control damper according to the operation instruction output from the remote control controller while interrupting the first adjusting means opening the predetermined opening The remote control controller compares the measured atmospheric pressure output from the room pressure sensor with the set atmospheric pressure, and responds to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure after a predetermined time has elapsed since the second opening degree adjusting means is executed. The operation command second output means for outputting an operation command to the proximity controller to finely adjust the damper opening of the control damper and set the air pressure of the hermetic chamber to the set pressure is executed by the proximity controller. There and executes the opening third adjusting means for fine adjustment of the damper opening of the control damper in accordance with the operation command output from the remote operation controller.

本発明の一例として、操作指令第２出力手段では、測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。   As an example of the present invention, the operation command second output means compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and outputs one operation command in the range of 0.1 to 0.5 s.

本発明の他の一例として、室内気圧制御システムでは、発生した変動要因がなくなって変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラが操作指令第１出力手段と操作指令第２出力手段とを中断し、近接コントローラが開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する。   As another example of the present invention, in the indoor pressure control system, when the fluctuation factor that has occurred disappears and the control returns to the time when the fluctuation factor does not occur, the remote operation controller interrupts the operation command first output means and the operation command second output means. Then, the proximity controller interrupts the opening degree second adjustment means and the opening degree third adjustment means, and executes the opening degree first adjustment means again.

本発明の他の一例として、室内気圧制御システムでは、近接コントローラが開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、近接コントローラの運転を継続して気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する。   As another example of the present invention, in the indoor pressure control system, various types of remote control controllers for deriving operation commands output from the remote control controller while the proximity controller is executing the first opening degree adjusting means. The conditions can be changed, and various conditions are changed in the remote operation controller while maintaining the indoor pressure of the hermetic chamber at the set pressure by continuing the operation of the proximity controller.

本発明の他の一例としては、変動要因が稼働中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の風量変化であり、稼働中のファンの風量が変化した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。   As another example of the present invention, when the air flow of at least one of the air supply / exhaust fans in operation is changed and the air flow of the operating fan changes, the remote control controller sets the damper opening to the fan opening. The operation command first output means for outputting to the proximity controller an operation command for changing the opening to the opening corresponding to the change in the air volume or maintaining the damper opening at the opening just before the change in the air volume is executed. In accordance with the output operation command, the opening degree second adjusting means for changing the damper opening degree of the control damper to an opening degree corresponding to a change in the air volume of the fan or holding the damper opening degree at the opening degree immediately before the air volume change is executed.

本発明の他の一例としては、変動要因が稼動中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の停止であり、稼動中のファンが停止した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。   As another example of the present invention, when the fluctuation factor is a stop of at least one of the operating supply / exhaust fans, and the operating fan stops, the remote control controller may close the damper opening or the damper. The operation command first output means for outputting the operation command for maintaining the opening to the opening just before the fan is stopped is output to the proximity controller, and the proximity controller opens the damper opening of the control damper according to the operation command output from the remote operation controller. Is fully closed or the second opening degree adjusting means for holding the damper opening degree at the opening degree just before the fan stop is executed.

本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された扉の開放であり、扉が開放された場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する操作指令を近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。   As another example of the present invention, the fluctuation factor is the opening of the door installed in the hermetic chamber, and when the door is opened, the remote operation controller changes the damper opening to an opening corresponding to the opening of the door. Or the operation command 1st output means which outputs the operation command which maintains the damper opening to the opening just before opening the door to the proximity controller is executed, and the proximity controller controls the control damper according to the operation command output from the remote operation controller. The opening degree second adjusting means is executed to change the damper opening degree to an opening degree corresponding to the opening of the door or hold the damper opening degree at the opening degree just before the door opening.

本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、停止中の局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する操作指令を近距離コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。   As another example of the present invention, the fluctuation factor is the operation of the stopped local exhaust device or the local air supply device installed in the hermetic chamber, and when the stopped local exhaust device or the local air supply device is operated, Remote operation controller changes the damper opening to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device or local air supply device, or outputs an operation command to the short-range controller to keep the damper opening at the opening just before the operation of those devices And the proximity controller changes the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device or the local air supply device in accordance with the operation command output from the remote operation controller. An opening degree second adjusting means for holding the damper opening degree at the opening degree immediately before the operation of these devices is executed.

本発明の他の一例としては、変動要因が気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、稼動中の局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、遠隔操作コントローラが、ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する操作指令を近距離コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、近接コントローラが、遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する開度第２調整手段を実行する。   As another example of the present invention, the fluctuation factor is a stop of the active local exhaust device or the local air supply device installed in the hermetic chamber, and when the active local exhaust device or the local air supply device stops, Remote operation controller changes the damper opening to an opening corresponding to the stop of the local exhaust or local air supply, or outputs an operation command to the short-range controller to keep the damper opening at the opening just before the stop of the equipment The operation command first output means is executed, and the proximity controller changes the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the stop of the local exhaust device or the local air supply device in accordance with the operation command output from the remote operation controller or An opening degree second adjusting means for holding the damper opening degree at the opening degree immediately before stopping the devices is executed.

本発明の他の一例として、開度第１調整手段では、近接コントローラが室圧センサから出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整し、気密室の室内気圧を設定気圧に保持する。   As another example of the present invention, in the first opening degree adjusting means, the proximity controller compares the measured atmospheric pressure output from the room pressure sensor with the set atmospheric pressure, and controls the damper according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure. The damper opening is finely adjusted to maintain the air pressure in the airtight chamber at the set pressure.

本発明の他の一例として、開度第１調整手段では、測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。   As another example of the present invention, the first opening degree adjusting means compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and finely adjusts the damper opening of the control damper for a processing time of 0.1 to 0.5 s. Is in range.

本発明の他の一例としては、室内気圧制御システムが、独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧を第１〜第ｎ近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの前記遠隔操作コントローラが、第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する。   As another example of the present invention, the indoor pressure control system includes a plurality of independent first to nth airtight chambers, first to nth air supply fans for supplying air to the airtight chambers, and the airtight chambers. First to nth exhaust fans for exhausting air from the air, first to nth control dampers capable of adjusting the flow rate of air exhausted from the hermetic chambers, and first to nth control dampers installed in the vicinity of the control dampers. A remote controller including a proximity controller and first to n-th chamber pressure sensors that measure the atmospheric pressure of the hermetic chambers and output the measured atmospheric pressure to the first to n-th proximity controllers and the remote controller. The controller individually outputs a predetermined operation command to the first to nth proximity controllers.

本発明にかかる室内気圧制御システムによれば、気密室の室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。システムは、気密室の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、遠隔操作コントローラが制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を近接コントローラに出力し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を調整するから、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が変動したとしても、気密室の室内気圧を設定気圧にすることができる。さらに、各種の変動要因によって気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、気密室の環境を清浄に保持することができる。なお、変動要因の発生時にダンパ開度を微調整する近接コントローラを利用すると、ダンパ開度の調整が変動要因による気圧変動に追従することができず、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができないとともに、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合に気密室の清浄環境を維持することができないのみならず、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズに復帰させることができなくなるが、変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、変動要因による気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。室内気圧制御システムは、変動要因の発生時において開度第２調整手段を実行して所定時間経過した後、遠隔操作コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を近接コントローラに出力し、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を微調整するから、変動要因の発生時に遠隔操作コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整するフィードバック制御を実行することで、遠隔操作コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後に気密室の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。 According to the indoor air pressure control system of the present invention, the proximity controller finely adjusts the damper opening of the control damper to set the indoor air pressure in the airtight chamber when there is no fluctuation factor causing the air pressure in the airtight chamber to slightly change. Therefore, the control of the indoor pressure in the hermetic chamber is not interrupted, and the atmospheric pressure in the hermetic chamber can be constantly maintained at the set atmospheric pressure. When a fluctuation factor that fluctuates the air pressure in the airtight chamber occurs, the system outputs an operation command for setting the damper opening of the control damper to a predetermined opening to the proximity controller. Since the damper opening of the control damper is adjusted according to the output operation command, even if the indoor pressure of the hermetic chamber fluctuates due to various fluctuation factors, the indoor pressure of the hermetic chamber can be set to the set atmospheric pressure. Furthermore, even if the indoor pressure of the hermetic chamber deviates from the set atmospheric pressure due to various fluctuation factors, the environment of the hermetic chamber can be kept clean. If a proximity controller that finely adjusts the damper opening when a fluctuation factor occurs is used, the adjustment of the damper opening cannot follow the pressure fluctuation due to the fluctuation factor, and the room pressure in the airtight chamber is held at the set pressure. In addition to being unable to maintain the clean environment of the hermetic chamber when the air pressure in the hermetic chamber deviates from the set atmospheric pressure, the indoor pressure in the hermetic chamber cannot be smoothly returned to the set atmospheric pressure. However, by using the remote control controller when a fluctuation factor occurs, the damper opening can be adjusted in a state of following the fluctuation in atmospheric pressure due to the fluctuation factor, and the room pressure in the airtight chamber can be adjusted smoothly and quickly to the set atmospheric pressure. While being able to return, the atmospheric pressure of the airtight chamber can be maintained at the set atmospheric pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean. The indoor air pressure control system executes the second opening adjustment means when a fluctuation factor occurs, and after a predetermined time has elapsed, the remote controller compares the measured air pressure with the set air pressure while comparing the measured air pressure with the set air pressure. According to the difference, finely adjust the damper opening of the control damper to output the operation command to set the atmospheric pressure of the airtight chamber to the proximity controller, and the proximity controller outputs the control damper according to the operation command output from the remote operation controller. Since the damper opening is finely adjusted, the remote control controller executes the feedback control that finely adjusts the damper opening of the control damper while comparing the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure when a fluctuation factor occurs. By utilizing this, the indoor air pressure of the airtight chamber can be smoothly and quickly returned to the set atmospheric pressure. Further, when the indoor pressure in the hermetic chamber is within the range of the set atmospheric pressure after the fluctuation factor is generated, the indoor pressure in the hermetic chamber can be reliably maintained at the set atmospheric pressure.

操作指令第２出力手段において測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある室内気圧制御システムは、操作指令第２出力手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、変動要因の発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、遠隔操作コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後に気密室の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。   The indoor command pressure control system in which the processing time for one operation for outputting the operation command by comparing the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure in the operation command second output means is in the range of 0.1 to 0.5 s. Since the processing time of one time in the means is within the above range, the feedback time of the feedback control can be shortened, and a remote control controller can be used by applying a lot of feedback per unit time when a fluctuation factor occurs. Thus, the air pressure in the airtight chamber can be returned to the set pressure smoothly and quickly. Further, when the indoor pressure in the hermetic chamber is within the range of the set atmospheric pressure after the fluctuation factor is generated, the indoor pressure in the hermetic chamber can be reliably maintained at the set atmospheric pressure.

発生した変動要因がなくなって変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラが操作指令第１出力手段と操作指令第２出力手段とを中断し、近接コントローラが開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する室内気圧制御システムは、変動要因の非発生時に戻った後、気密室の室内気圧がわずかに変動したとしても、近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。   When the generated variation factor disappears and the control returns to the non-occurrence of the variation factor, the remote control controller interrupts the operation command first output means and the operation command second output means, and the proximity controller opens the opening degree second adjustment means and the opening degree. The indoor air pressure control system that interrupts the third adjusting means and executes the opening degree first adjusting means again returns to the proximity controller even if the indoor air pressure in the hermetic chamber fluctuates slightly after returning to the time when the fluctuation factor does not occur. Adjusts the damper opening of the control damper to maintain the air pressure in the airtight chamber at the set air pressure, so control of the air pressure in the airtight chamber is not interrupted, and the air pressure in the airtight chamber is always set to the set air pressure. Can be held.

近接コントローラが開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、近接コントローラの運転を継続して気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する室内気圧制御システムは、変動要因の各種設定条件によって遠隔操作コントローラに設定された各種条件の変更が必要になった場合でも、近接コントローラの稼動を中断することなく開度第１調整手段を継続して実行するから、気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。このシステムは、気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更することができるから、継続運転の要求に対応しつつ、変動要因の各種設定条件に対応して遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更することができる。   While the proximity controller is executing the first opening adjustment means, it is possible to change various conditions set in the remote operation controller for deriving an operation command output from the remote operation controller, and to continue the operation of the proximity controller The indoor air pressure control system that changes various conditions in the remote controller while maintaining the air pressure in the airtight chamber at the set air pressure needs to change the various conditions set in the remote controller according to the various setting conditions of the fluctuation factors. Even if it becomes, since the opening degree first adjusting means is continuously executed without interrupting the operation of the proximity controller, the control of the indoor pressure of the hermetic chamber is not interrupted, and the indoor pressure of the hermetic chamber is constantly maintained. It can be kept at the set atmospheric pressure. This system can change various conditions set in the remote control controller while maintaining the atmospheric pressure in the hermetic chamber at the set atmospheric pressure. Correspondingly, various conditions set in the remote control controller can be changed.

変動要因が給排気ダクトに設置された稼働中のファンの風量変化であり、ファンの風量が変化した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、給排気ダクトに設置されたファンの風量が変化した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度をファンの風量変化に対応した開度に変更またはダンパ開度を風量変化直前の開度に保持するから、風量変化による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、風量変化による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。   The fluctuation factor is a change in the air volume of the fan in operation installed in the air supply / exhaust duct.When the air volume of the fan changes, the proximity controller sets the damper opening of the control damper according to the operation command output from the remote controller. The indoor air pressure control system that changes to the opening corresponding to the air flow change or keeps the damper opening at the opening just before the air flow change, the operation command of the remote controller when the air flow of the fan installed in the air supply / exhaust duct changes The proximity controller changes the damper opening of the control damper to the opening corresponding to the fan airflow change or holds the damper opening at the opening just before the airflow change. By using this function, the damper opening can be adjusted in a state where the air pressure changes in the airtight chamber due to the change in the air flow. With the interior pressure can be smoothly and quickly return to the setting pressure, it is possible to hold the interior pressure of the hermetic chamber in the setting pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean.

変動要因が給排気ダクトに設置された稼働中にファンの停止であり、ファンが停止した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、給排気ダクトに設置されたファンが停止した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を全閉またはダンパ開度をファン停止直前の開度に保持するから、ファン停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、ファン停止による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。   The fluctuation factor is the fan stop during operation installed in the air supply / exhaust duct. When the fan stops, the proximity controller opens the damper opening of the control damper according to the operation command output from the remote operation controller or opens the damper When the fan installed in the air supply / exhaust duct stops, the proximity controller closes the damper opening of the control damper according to the operation command of the remote control controller. Since the damper opening is held at the opening just before the fan stops, the damper opening can be adjusted in a state that follows the air pressure fluctuation of the airtight chamber due to the fan stop by using the remote control controller when the fluctuation factor due to the fan stop occurs. It can be adjusted and the air pressure in the airtight chamber can be returned to the set air pressure smoothly and quickly. It can hold chamber pressure of the airtight chamber to set pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean.

変動要因が気密室に設置された扉の開放であり、扉が開放された場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された扉が開放された場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を扉の開放に対応した開度に変更またはダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持するから、扉の開放による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、扉の開放による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。   The fluctuation factor is the opening of the door installed in the airtight chamber. When the door is opened, the proximity controller opens the damper opening of the control damper corresponding to the opening of the door according to the operation command output from the remote operation controller. When the door installed in the airtight room is opened, the proximity controller controls the damper of the control damper according to the operation command of the remote controller. Since the opening is changed to the opening corresponding to the opening of the door, or the damper opening is held at the opening just before the opening of the door, by using the remote control controller when a fluctuation factor occurs due to the opening of the door, The damper opening can be adjusted while following the pressure fluctuation in the airtight chamber due to opening, and the air pressure in the airtight chamber can be returned to the set pressure smoothly and quickly. With wear, it is possible to hold the chamber pressure of the airtight chamber to set pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean.

変動要因が気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持するから、局所排気装置または局所給気装置の稼動による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、局所排気装置または局所給気装置の稼動による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。   When the local exhaust device or local air supply device that is stopped is installed in the hermetic chamber, and the local exhaust device or local air supply device operates, the proximity controller outputs an operation command output from the remote controller. Therefore, the indoor pressure control system that changes the damper opening of the control damper to the opening corresponding to the operation of the local exhaust device or the local air supply device or keeps the damper opening at the opening immediately before the operation of the device is installed in the airtight chamber. When the installed local exhaust device or local air supply device is activated, the proximity controller changes the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device or local air supply device according to the operation command of the remote control controller Or, because the damper opening is kept at the opening just before the operation of these devices, the cause of the fluctuation due to the operation of the local exhaust device or the local air supply device is generated. Sometimes, using a remote control controller, the damper opening can be adjusted in a state of following the pressure fluctuation in the airtight chamber due to the operation of the local exhaust device or local air supply device, and the room pressure in the airtight chamber can be set. The air pressure of the airtight chamber can be maintained at the set atmospheric pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean.

変動要因が気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する室内気圧制御システムは、気密室に設置された局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、遠隔操作コントローラの操作指令に従って近接コントローラが制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更またはダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持するから、局所排気装置または局所給気装置の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラを利用することで、局所排気装置または局所給気装置の停止による気密室の気圧変動に追従させた状態でダンパ開度を調整することができ、気密室の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、気密室の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、気密室の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、変動要因による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、気密室の環境を清浄に保持することができる。   When the local exhaust device or local air supply device in operation is stopped in the airtight chamber, and the local exhaust device or local air supply device stops, the proximity controller outputs an operation command output from the remote controller. The indoor pressure control system that changes the damper opening of the control damper to the opening corresponding to the stop of the local exhaust device or the local air supply device or keeps the damper opening at the opening just before the stop of the device is installed in the airtight chamber. When the installed local exhaust device or local air supply device stops, the proximity controller changes the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the stop of the local exhaust device or local air supply device according to the operation command of the remote control controller Or, because the damper opening is held at the opening just before the stop of those devices, the cause of the fluctuation due to the stop of the local exhaust device or the local air supply device is generated. Sometimes, using a remote control controller, the damper opening can be adjusted in a state that follows fluctuations in the air pressure in the airtight chamber due to the stop of the local exhaust device or local air supply device, and the air pressure in the airtight chamber is set to the set atmospheric pressure. The air pressure of the airtight chamber can be maintained at the set atmospheric pressure. Further, even when the indoor pressure in the airtight chamber deviates from the set atmospheric pressure, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the fluctuation factor, so that the environment of the airtight chamber can be kept clean.

開度第１調整手段において近接コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じて制御ダンパのダンパ開度を微調整して気密室の室内気圧を設定気圧に保持する室内気圧制御システムは、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に、近接コントローラが測定気圧と設定気圧とを比較しつつ制御ダンパのダンパ開度を微調整するフィードバック制御を実行するから、近接コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。   The proximity controller compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure in the first opening adjustment means, and finely adjusts the damper opening of the control damper according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure to set the indoor pressure in the airtight chamber The atmospheric pressure control system that maintains the atmospheric pressure is a feedback control that finely adjusts the damper opening of the control damper while the proximity controller compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure when there is no fluctuation factor that slightly changes the indoor atmospheric pressure. As a result, it is possible to reliably maintain the atmospheric pressure of the hermetic chamber at the set atmospheric pressure using the proximity controller.

開度第１調整手段において測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある室内気圧制御システムは、開度第１調整手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、近接コントローラを利用して気密室の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。   The indoor pressure control system in which the processing time of one time for finely adjusting the damper opening of the control damper by comparing the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure in the first opening adjustment means is in the range of 0.1 to 0.5 s. Since the processing time of one time in the first opening degree adjusting means is within the above range, the feedback time of the feedback control can be shortened, and many times per unit time when no fluctuation factors causing slight fluctuations in the indoor pressure are generated. By applying this feedback, it is possible to reliably maintain the atmospheric pressure of the hermetic chamber at the set atmospheric pressure using the proximity controller.

独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれら近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する室内気圧制御システムは、第１〜第ｎ気密室の室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時に第１〜第ｎ近接コントローラが第１〜第ｎ制御ダンパのダンパ開度を微調整してそれら気密室の室内気圧を設定気圧に保持するから、それら気密室の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、第１〜第ｎ気密室の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。さらに、各種の変動要因によって第１〜第ｎ気密室の室内気圧が設定気圧から外れたとしても、第１〜第ｎ気密室の環境を清浄に保持することができる。システムは、第１〜第ｎ気密室の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、１つの遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ近接コントローラをまとめて管理しつつ、遠隔操作コントローラが第１〜第ｎ制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を第１〜第ｎ近接コントローラに出力し、それら近接コントローラが遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従ってそれら制御ダンパのダンパ開度を調整するから、各種の変動要因によって第１〜第ｎ気密室の室内気圧が変動したとしても、それら気密室の室内気圧を設定気圧にすることができる。   A plurality of independent first to nth airtight chambers, first to nth air supply fans for supplying air to the airtight chambers, first to nth exhaust fans for exhausting air from the airtight chambers, and The first to nth control dampers that can adjust the flow rate of the air exhausted from the hermetic chamber, the first to nth proximity controllers installed in the vicinity of these control dampers, Including a first to n-th chamber pressure sensor for outputting a measured atmospheric pressure to the proximity controller and the remote control controller, and one remote control controller individually outputs a predetermined operation command to the first to n-th proximity controllers. In the atmospheric pressure control system, the first to n-th proximity controllers finely adjust the damper opening of the first to n-th control dampers when no fluctuation factor that slightly changes the indoor atmospheric pressure of the first to n-th airtight chambers occurs. Those airtight rooms Since holding the inner pressure in the setting pressure, never control chamber pressure thereof airtight chamber is interrupted, it is possible to retain the interior pressure of the first to n airtight chamber constantly set pressure. Furthermore, even if the indoor pressure of the first to nth hermetic chambers deviates from the set atmospheric pressure due to various fluctuation factors, the environment of the first to nth hermetic chambers can be kept clean. In the system, when a variable factor that fluctuates the atmospheric pressure of the first to nth hermetic chambers is generated, one remote control controller collectively manages the first to nth proximity controllers, while the remote control controller controls the first to first An operation command for setting the damper opening of the n-control damper to a predetermined opening is output to the first to n-th proximity controllers, and the proximity controller sets the damper opening of the control damper according to the operation command output from the remote operation controller. Since the adjustment is performed, even if the indoor pressures of the first to nth hermetic chambers vary due to various fluctuation factors, the indoor pressures of these hermetic chambers can be set to the set atmospheric pressure.

一例として示す室内気圧制御システムの構成図。The block diagram of the indoor pressure control system shown as an example. 給排気ファンの風量変化と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。The figure which shows an example of the relationship between the air volume change of an air supply / exhaust fan, and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade. 給排気ファンの風量変化と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の他の一例を示す図。The figure which shows another example of the relationship between the air volume change of an air supply / exhaust fan, and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade. 給排気ファンの停止と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。The figure which shows an example of the relationship between the stop of an air supply / exhaust fan, and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade. 扉の開放と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。The figure which shows an example of the relationship between opening of a door and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade. 局所排気装置または局所給気装置の稼動と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。The figure which shows an example of the relationship between operation | movement of a local exhaust apparatus or a local air supply apparatus, and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade. 局所排気装置または局所給気装置の停止と旋回羽根の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図。The figure which shows an example of the relationship between the stop of a local exhaust apparatus or a local air supply apparatus, and the turning angle (damper opening degree) of a turning blade.

一例として示す室内気圧制御システムの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる室内気圧制御システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図１は、第１および第２クリーンルーム１１，１２（気密室）をその側方から示している。図１では２室のクリーンルーム１１，１２を図示しているが、クリーンルームを２室に限定するものではなく、３室以上の第１〜第ｎクリーンルームに対してこのシステム１０の室内気圧コントロールを適用することもできる。   The details of the indoor pressure control system according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings such as FIG. 1 which is a configuration diagram of the indoor pressure control system shown as an example. In addition, FIG. 1 has shown the 1st and 2nd clean rooms 11 and 12 (airtight room) from the side. Although two clean rooms 11 and 12 are shown in FIG. 1, the clean room is not limited to two rooms, and the indoor pressure control of the system 10 is applied to three or more first to nth clean rooms. You can also

室内気圧制御システム１０は、独立した複数の第１および第２クリーンルーム１１，１２（第１〜第ｎクリーンルーム）（第１〜第ｎ気密室）と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を供給する第１および第２給気ダクト１３，１４（第１〜第ｎ給気ダクト）と、それらクリーンルーム１１，１２から室外に空気を排出する第１および第２排気ダクト１５，１６（第１〜第ｎ排気ダクト）と、それらクリーンルーム１１，１２に空気を給気する第１および第２給気ファン１７，１８（第１〜第ｎ給気ファン）と、それらクリーンルーム１１，１２から空気を排気する第１および第２排気ファン１９，２０（第１〜第ｎ排気ファン）と、第１および第２制御ダンパ２１，２２（第１〜第ｎ制御ダンパ）と、第１および第２近接コントローラ２３，２４（第１〜第ｎ近接コントローラ）と、１つの遠隔操作コントローラ２５と、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を測定する第１および第２室圧センサ２６，２７（第１〜第ｎ室圧センサ）と、局所排気装置２８（第１〜第ｎ局所排気装置）および局所給気装置２９（第１〜第ｎ局所給気装置）とを備えている。   The indoor atmospheric pressure control system 10 includes a plurality of independent first and second clean rooms 11 and 12 (first to n-th clean rooms) (first to n-th airtight chambers) and first to supply air to the clean rooms 11 and 12. First and second air supply ducts 13 and 14 (first to nth air supply ducts) and first and second exhaust ducts 15 and 16 (first to nth air supply ducts) for discharging air from the clean rooms 11 and 12 to the outside of the room. An exhaust duct), first and second air supply fans 17 and 18 (first to nth air supply fans) for supplying air to the clean rooms 11 and 12, and first air for exhausting air from the clean rooms 11 and 12. First and second exhaust fans 19 and 20 (first to nth exhaust fans), first and second control dampers 21 and 22 (first to nth control dampers), and first and second proximity controllers 3, 24 (first to n-th proximity controllers), one remote control controller 25, and first and second chamber pressure sensors 26, 27 (first to n-th sensors) for measuring the indoor pressure of the clean rooms 11, 12. A room pressure sensor), a local exhaust device 28 (first to nth local exhaust devices), and a local air supply device 29 (first to nth local air supply devices).

それらクリーンルーム１１，１２は、天井３０および床３１と前後壁３２，３３および側壁３４とに囲繞された所定容積の気密な空調空間を有し、天井３０、床３１、それら壁３２〜３４によって室外と仕切られている。天井３０には、給気ダクト１３，１４から供給される空気をクリーンルーム１１，１２の室内に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。側壁３４には、クリーンルーム１１，１２の室内の空気を排気ダクト１５，１６に取り入れるための排気口３５が施設されている。前壁３２には、クリーンルーム１１，１２の室内に出入りするための扉３６，３７（第１〜第ｎ扉）が設置されている。このシステム１０では、その利用中にそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧が厳密に管理され、室内気圧があらかじめ設定された設定気圧（目標室圧）に維持されている。   These clean rooms 11 and 12 have a predetermined volume of air-tight air-conditioned space surrounded by a ceiling 30 and a floor 31, front and rear walls 32 and 33, and a side wall 34. The ceiling 30, the floor 31, and these walls 32 to 34 are used as outdoor parts. And partitioned. The ceiling 30 is provided with an air supply port (not shown) for taking in air supplied from the air supply ducts 13 and 14 into the clean rooms 11 and 12. The side wall 34 is provided with an exhaust port 35 for taking the air in the clean rooms 11 and 12 into the exhaust ducts 15 and 16. The front wall 32 is provided with doors 36 and 37 (first to nth doors) for entering and exiting the clean rooms 11 and 12. In this system 10, the indoor air pressures of the clean rooms 11 and 12 are strictly managed during use, and the indoor air pressure is maintained at a preset set air pressure (target room pressure).

第１給気ダクト１３は、第１クリーンルーム１１の天井３０に施設された給気口につながり、第１クリーンルーム１１に連結されている。第２給気ダクト１４は、第２クリーンルーム１２の天井３０に施設された給気口につながり、第２クリーンルーム１２に連結されている。第１排気ダクト１５は、第１クリーンルーム１１の側壁３４に施設された排気口３５につながり、第１クリーンルーム１１に連結されている。第２排気ダクト１６は、第２クリーンルーム１２の側壁３４に施設された排気口３５につながり、第２クリーンルーム１２に連結されている。   The first air supply duct 13 is connected to the air supply port provided on the ceiling 30 of the first clean room 11 and is connected to the first clean room 11. The second air supply duct 14 is connected to an air supply port provided on the ceiling 30 of the second clean room 12 and is connected to the second clean room 12. The first exhaust duct 15 is connected to the exhaust port 35 provided in the side wall 34 of the first clean room 11 and is connected to the first clean room 11. The second exhaust duct 16 is connected to the exhaust port 35 provided in the side wall 34 of the second clean room 12 and is connected to the second clean room 12.

第１給気ファン１７は、第１給気ダクト１３に設置され、所定量の空気を第１クリーンルーム１１に強制的に給気する。第１給気ファン１７は、インターフェイス３８（有線または無線）を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第１給気ファン１７は、そのＯＮ信号（稼動信号）およびＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The first air supply fan 17 is installed in the first air supply duct 13 and forcibly supplies a predetermined amount of air to the first clean room 11. The first air supply fan 17 is connected to the remote operation controller 25 via an interface 38 (wired or wireless). The first air supply fan 17 outputs the ON signal (operation signal) and the OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25 and outputs the operating air volume (wind speed) to the controller 25.

第２給気ファン１８は、第２給気ダクト１４に設置され、所定量の空気を第２クリーンルーム１２に強制的に給気する。第２給気ファン１８は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第２給気ファン１８は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The second air supply fan 18 is installed in the second air supply duct 14 and forcibly supplies a predetermined amount of air to the second clean room 12. The second air supply fan 18 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The second air supply fan 18 outputs an ON signal (operation signal) and an OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25, and outputs an operating air volume (wind speed) to the controller 25.

第１排気ファン１９は、第１排気ダクト１５に設置され、所定量の空気を第１クリーンルーム１１から強制的に排気する。第１排気ファン１９は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第１排気ファン１９は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The first exhaust fan 19 is installed in the first exhaust duct 15 and forcibly exhausts a predetermined amount of air from the first clean room 11. The first exhaust fan 19 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The first exhaust fan 19 outputs an ON signal (operation signal) and an OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25 and outputs an operating air volume (wind speed) to the controller 25.

第２排気ファン２０は、第２排気ダクト１６に設置され、所定量の空気を第２クリーンルーム１２から強制的に排気する。第２排気ファン２０は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。第２排気ファン２０は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The second exhaust fan 20 is installed in the second exhaust duct 16 and forcibly exhausts a predetermined amount of air from the second clean room 12. The second exhaust fan 20 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The second exhaust fan 20 outputs an ON signal (operation signal) and an OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25, and outputs an operating air volume (wind speed) to the controller 25.

第１制御ダンパ２１は、第１クリーンルーム１１と第１排気ファン１９との間に延びる第１排気ダクト１５に設置されている。第２制御ダンパ２２は、第２クリーンルーム１２と第２排気ファン２０との間に延びる第２排気ダクト１６に設置されている。それら制御ダンパ２１，２２は、モジュトロールモータ（図示せず）と、モータの駆動力によって旋回する旋回羽根３９と、旋回羽根３９の旋回によって開閉される空気流路（図示せず）とから形成されている。それら制御ダンパ２１，２２では、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）によってそれらクリーンルーム１１，１２から排気される空気の流量を調節する。それら制御ダンパ２１，２２には、平行翼ダンパまたは対向翼ダンパを使用することができる。   The first control damper 21 is installed in the first exhaust duct 15 extending between the first clean room 11 and the first exhaust fan 19. The second control damper 22 is installed in the second exhaust duct 16 extending between the second clean room 12 and the second exhaust fan 20. The control dampers 21 and 22 are formed by a modular roll motor (not shown), a swirl vane 39 that is swung by the driving force of the motor, and an air flow path (not shown) that is opened and closed by swirling of the swirl vane 39. Has been. The control dampers 21 and 22 adjust the flow rate of the air exhausted from the clean rooms 11 and 12 according to the turning angle (damper opening) of the turning blade 39. For these control dampers 21 and 22, parallel blade dampers or counter blade dampers can be used.

第１近接コントローラ２３は、第１制御ダンパ２１に隣接した位置（ダンパ２１の近傍）に設置されている。第１近接コントローラ２３は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２６に接続されている。コントローラ２３は、第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の角度（所定の開度）に設定または変更する開度制御信号をダンパ２１に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調整する。   The first proximity controller 23 is installed at a position adjacent to the first control damper 21 (near the damper 21). The first proximity controller 23 is connected to the remote operation controller 26 via the interface 38. The controller 23 outputs an opening degree control signal for setting or changing the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 of the first control damper 21 to a predetermined angle (predetermined opening degree) to the damper 21. The opening degree of the flow path is adjusted to a predetermined opening degree.

第２近接コントローラ２４は、第２制御ダンパ２２に隣接した位置（ダンパ２２の近傍）に設置されている。第２近接コントローラ２４は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。コントローラ２４は、第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の角度（所定の開度）に設定または変更する開度制御信号をダンパ２２に出力することで、空気流路の開度を所定の開度に調整する。   The second proximity controller 24 is installed at a position adjacent to the second control damper 22 (near the damper 22). The second proximity controller 24 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The controller 24 outputs an opening degree control signal for setting or changing the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 of the second control damper 22 to a predetermined angle (predetermined opening degree). The opening degree of the flow path is adjusted to a predetermined opening degree.

第１および第２近接コントローラ２３，２４は、演算処理を行う中央処理部と各種条件を記憶可能な主記憶部（メモリ）とを有するマイクロプロセッサである。それら近接コントローラ２３，２４には、図示はしていないが、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。   The first and second proximity controllers 23 and 24 are microprocessors having a central processing unit that performs arithmetic processing and a main storage unit (memory) that can store various conditions. Although not shown, these proximity controllers 23 and 24 are connected via an interface to an input device for inputting various conditions and a display device for input confirmation.

第１近接コントローラ２３の主記憶部には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１制御ダンパ２１の空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気量とその空気量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。第２近接コントローラ２４の主記憶部には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２制御ダンパ２２の空気流路を通過する空気量との相関関係が格納され、設定気圧に対応する空気量とその空気量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との相関関係が格納されている。   The main storage unit of the first proximity controller 23 stores a correlation between the set atmospheric pressure of the first clean room 11 and the amount of air passing through the air flow path of the first control damper 21, and the air amount corresponding to the set atmospheric pressure The correlation with the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 of the first control damper 21 corresponding to the air amount is stored. The main storage unit of the second proximity controller 24 stores the correlation between the set atmospheric pressure of the second clean room 12 and the amount of air passing through the air flow path of the second control damper 22, and the air amount corresponding to the set atmospheric pressure The correlation with the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 of the second control damper 22 corresponding to the air amount is stored.

それら制御ダンパ２１，２２では、それら近接コントローラ２３，２４から出力された開度制御信号によってモジュトロールモータが回転し、それによって旋回羽根３９が所定角度に旋回する。旋回羽根３９が所定角度に旋回すると、ダンパ２１，２２の空気流路の開度が変わり、空気流路を通過する空気の流量が変わる。   In these control dampers 21, 22, the modular roll motor is rotated by the opening degree control signal output from the proximity controllers 23, 24, whereby the swirl vanes 39 are swung at a predetermined angle. When the swirl vane 39 swivels at a predetermined angle, the opening degree of the air flow path of the dampers 21 and 22 changes, and the flow rate of air passing through the air flow path changes.

遠隔操作コントローラ２５は、それら制御ダンパ２１，２２から離隔した箇所に設置されている。遠隔操作コントローラ２５の設置箇所としては、クリーンルーム１１，１２から離れた機械室４０や監視室４０等がある。遠隔操作コントローラ２５は、演算処理を行う中央処理装置と各種条件を記憶可能な主記憶装置（メモリ）とを有するコンピュータである。遠隔操作コントローラ２５には、図示はしていないが、各種条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置がインターフェイスを介して接続されている。   The remote control controller 25 is installed at a location separated from the control dampers 21 and 22. The installation location of the remote operation controller 25 includes a machine room 40 and a monitoring room 40 that are separated from the clean rooms 11 and 12. The remote operation controller 25 is a computer having a central processing unit that performs arithmetic processing and a main storage device (memory) that can store various conditions. Although not shown, the remote operation controller 25 is connected to an input device for inputting various conditions and a display device for input confirmation via an interface.

コントローラ２５の主記憶装置には、第１および第２クリーンルーム１１，１２の設定気圧が格納されている。コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１給気ファン１７の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第１給気ファン１７の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）が格納されている。   The main storage device of the controller 25 stores the set atmospheric pressure of the first and second clean rooms 11 and 12. The main storage device of the controller 25 stores the correlation between the set atmospheric pressure of the first clean room 11 and the air volume (wind speed) of the first air supply fan 17, and the swirl vanes 39 of the first control damper 21 corresponding to the air volume. The opening degree (turning angle) is stored. Further, when the air volume of the first air supply fan 17 changes to an air volume other than the air volume corresponding to the set atmospheric pressure, the air volume corresponding to the air volume for changing the indoor air pressure of the first clean room 11 to the set atmospheric pressure in those air volumes after the change. A plurality of opening degrees (turning angles) of the turning blades 39 of the first control damper 21 are stored.

コントローラ２５の主記憶装置には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２給気ファン１８の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第２給気ファン１８の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）が格納されている。   The main storage device of the controller 25 stores the correlation between the set air pressure of the second clean room 12 and the air volume (wind speed) of the second air supply fan 18, and the swirl vanes 39 of the second control damper 22 corresponding to the air volume. The opening degree (turning angle) is stored. Further, when the air volume of the second air supply fan 18 changes to an air volume other than the air volume corresponding to the set atmospheric pressure, the air volume corresponding to the air volume for changing the indoor air pressure of the second clean room 12 to the set atmospheric pressure in those air volumes after the change. A plurality of opening degrees (turning angles) of the turning blades 39 of the second control damper 22 are stored.

コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の設定気圧と第１排気ファン１９の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第１排気ファン１９の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。   The main storage device of the controller 25 stores the correlation between the set atmospheric pressure of the first clean room 11 and the air volume (wind speed) of the first exhaust fan 19, and the swirl vanes 39 of the first control damper 21 corresponding to the air volume are stored. The opening degree (turning angle) is stored. Further, when the air volume of the first exhaust fan 19 changes to an air volume other than the air volume corresponding to the set atmospheric pressure, the air volume corresponding to those air volumes for changing the indoor air pressure of the first clean room 11 to the set atmospheric pressure in those air volumes after the change. The correlation with the several opening degree (turning angle) of the turning blade | wing 39 of 1 control damper 21 is stored.

コントローラ２５の主記憶装置には、第２クリーンルーム１２の設定気圧と第２排気ファン２０の風量（風速）との相関関係が格納され、その風量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）が格納されている。また、第２排気ファン２０の風量が設定気圧に対応する風量以外の風量に変化した場合、変化後のそれら風量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら風量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。   The main storage device of the controller 25 stores the correlation between the set air pressure of the second clean room 12 and the air volume (wind speed) of the second exhaust fan 20, and the swirl vanes 39 of the second control damper 22 corresponding to the air volume are stored. The opening degree (turning angle) is stored. Further, when the air volume of the second exhaust fan 20 changes to an air volume other than the air volume corresponding to the set atmospheric pressure, the second air volume corresponding to the air volume for setting the indoor air pressure of the second clean room 12 to the set atmospheric pressure in those air volumes after the change. 2 Correlation with a plurality of opening degrees (turning angles) of the turning blades 39 of the control damper 22 is stored.

コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１の扉３６が開放されたときの扉３６の旋回角度とその旋回角度において扉３６の開放空間４１（図５参照）を通過する空気の流量との相関関係が格納され、扉３６の開放空間４１を通過する空気の流量とその流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするための第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。また、第２クリーンルーム１２の扉３７が開放されたときの扉３７の旋回角度とその旋回角度において扉３７の開放空間４１を通過する空気の流量との相関関係が格納され、扉３７の開放空間４１を通過する空気の流量とその流量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするための第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）との相関関係が格納されている。   The main storage device of the controller 25 includes a turning angle of the door 36 when the door 36 of the first clean room 11 is opened, and a flow rate of air passing through the open space 41 (see FIG. 5) of the door 36 at the turning angle. Of the air flow passing through the open space 41 of the door 36 and the opening degree of the swirl vane 39 of the first control damper 21 for setting the indoor air pressure of the first clean room 11 to the set air pressure at that flow rate ( The correlation with the turning angle is stored. The correlation between the turning angle of the door 37 when the door 37 of the second clean room 12 is opened and the flow rate of the air passing through the opening space 41 of the door 37 at the turning angle is stored. The correlation between the flow rate of air passing through 41 and the opening degree (swing angle) of the swirl vane 39 of the second control damper 22 for setting the indoor pressure of the second clean room 12 to the set pressure is stored. .

コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１に設置された停止中の局所排気装置２８が稼動した場合の排気ダクト１５から排気される空気の複数の排気流量と、それら排気流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧にするためのそれら排気流量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）とが格納されている。さらに、第２クリーンルーム１２に設置された停止中の局所給気装置２９が稼動した場合の排気ダクト１５から排気される空気の複数の排気流量と、それら排気流量において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら排気流量に対応した第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の複数の開度（旋回角度）とが格納されている。   The main storage device of the controller 25 includes a plurality of exhaust flow rates of air exhausted from the exhaust duct 15 when the stopped local exhaust device 28 installed in the first clean room 11 is operated, and the first in these exhaust flow rates. A plurality of openings (swing angles) of the swirl vanes 39 of the first control damper 21 corresponding to the exhaust flow rates for setting the room pressure of the clean room 11 to the set pressure are stored. Furthermore, the plurality of exhaust flow rates of the air exhausted from the exhaust duct 15 when the stopped local air supply device 29 installed in the second clean room 12 is operated, and the indoor air pressure of the second clean room 12 at these exhaust flow rates are set. A plurality of opening degrees (turning angles) of the swirl vanes 39 of the second control damper 22 corresponding to these exhaust gas flow rates for the set atmospheric pressure are stored.

コントローラ２５の主記憶装置には、第１クリーンルーム１１に設置された稼動中の局所排気装置２８が停止した場合の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量と、その排気流量において第１クリーンルーム１１の室内気圧を設定気圧に保持するためのその排気流量に対応した第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９の開度（旋回角度）とが格納されている。さらに、第２クリーンルーム１２に設置された稼動中の局所給気装置２９が停止した場合の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量と、その排気流において第２クリーンルーム１２の室内気圧を設定気圧にするためのその排気流量に対応する第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９の開度（旋回角度）とが格納されている。   The main storage device of the controller 25 includes an exhaust flow rate of air exhausted from the exhaust duct 15 when the active local exhaust device 28 installed in the first clean room 11 is stopped, and the first clean room 11 at the exhaust flow rate. The opening degree (swing angle) of the swirl vane 39 of the first control damper 21 corresponding to the exhaust flow rate for maintaining the indoor pressure at the set pressure is stored. Furthermore, the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust duct 15 when the operating local air supply device 29 installed in the second clean room 12 is stopped, and the indoor air pressure of the second clean room 12 are set in the exhaust flow. The opening degree (swivel angle) of the swirl vane 39 of the second control damper 22 corresponding to the exhaust flow rate is stored.

第１室圧センサ２６は、第１クリーンルーム１１の室内に設置され、インターフェイス３８を介して第１近接コントローラ２３に接続されている。第１室圧センサ２６は、第１クリーンルーム１１の室内の気圧を測定し、測定気圧を第１近接コントローラ２３に出力する。第２室圧センサ２７は、第２クリーンルーム１２の室内に設置され、インターフェイス３８を介して第２近接コントローラ２４に接続されている。第２室圧センサ２７は、第２クリーンルーム１２の室内の気圧を測定し、測定気圧を第２近接コントローラ２４に出力する。なお、それら室圧センサ２６，２７が測定した測定気圧は、それら近接コントローラ２３，２４を経由して遠隔操作コントローラ２５にも出力される。   The first chamber pressure sensor 26 is installed in the first clean room 11 and is connected to the first proximity controller 23 via the interface 38. The first chamber pressure sensor 26 measures the atmospheric pressure in the first clean room 11 and outputs the measured atmospheric pressure to the first proximity controller 23. The second chamber pressure sensor 27 is installed in the second clean room 12 and is connected to the second proximity controller 24 via the interface 38. The second chamber pressure sensor 27 measures the atmospheric pressure in the second clean room 12 and outputs the measured atmospheric pressure to the second proximity controller 24. The measured atmospheric pressure measured by the chamber pressure sensors 26 and 27 is also output to the remote operation controller 25 via the proximity controllers 23 and 24.

局所排気装置２８は、第１クリーンルーム１１に設置され、塵や微粉、ガス等の不要物をクリーンルーム１１の室内空気とともに吸引し、不要物を室外に排出する。局所排気装置２８は、第１クリーンルーム１１の一部から室外に空気を排出する局所排気ダクト４２と、クリーンルーム１１から所定量の空気を強制的に排気する局所排気ファン４３とから形成されている。局所排気ファン４３は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。局所排気ファン４３は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The local exhaust device 28 is installed in the first clean room 11, sucks unnecessary materials such as dust, fine powder, and gas together with room air in the clean room 11, and discharges the unnecessary materials to the outside. The local exhaust device 28 is formed by a local exhaust duct 42 that exhausts air from a part of the first clean room 11 to the outside, and a local exhaust fan 43 that forcibly exhausts a predetermined amount of air from the clean room 11. The local exhaust fan 43 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The local exhaust fan 43 outputs an ON signal (operation signal) and an OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25, and outputs an operating air volume (wind speed) to the controller 25.

局所給気装置２９は、第２クリーンルーム１２に設置され、クリーンルーム１２に施設された器具や機械の熱を冷却し、器具や機械の熱による損傷を防止する。局所給気装置２９は、第２クリーンルーム１２の一部に空気を供給する局所給気ダクト４４と、第２クリーンルーム１２に所定量の空気を強制的に給気する局所給気ファン４５とから形成されている。局所給気ファン４５は、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。局所給気ファン４５は、そのＯＮ信号（稼動信号）やＯＦＦ信号（停止信号）を遠隔操作コントローラ２５に出力するとともに、稼働中の風量（風速）をコントローラ２５に出力する。   The local air supply device 29 is installed in the second clean room 12, cools the heat of the equipment and machine installed in the clean room 12, and prevents damage due to the heat of the equipment and machine. The local air supply device 29 is formed of a local air supply duct 44 that supplies air to a part of the second clean room 12 and a local air supply fan 45 that forcibly supplies a predetermined amount of air to the second clean room 12. Has been. The local air supply fan 45 is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. The local air supply fan 45 outputs an ON signal (operation signal) and an OFF signal (stop signal) to the remote operation controller 25, and outputs an operating air volume (wind speed) to the controller 25.

給気ファン１７，１８から給気された空気は、給気ダクト１３，１４を通ってクリーンルーム１１，１２の室内に流入した後、排気ダクト１５，１６を通って排気ファン１９，２０に流入し、排気ファン１９，２０から排気ダクト１５，１６を通って室外に排気される。また、第１クリーンルーム１１では、局所排気装置２８が稼動すると、室内の空気が局所排気ダクト４２を通って局所排気ファン４３に流入し、局所排気ファン４３から局所排気ダクト４２を通って室外に排気される。第２クリーンルーム１２では、局所給気装置２９が稼動すると、空気が局所給気ダクト４４を通って局所吸気ファン４５に流入し、局所吸気ファン４５から局所吸気ダクト４４を通って室内に吸気される。   The air supplied from the air supply fans 17 and 18 flows into the rooms of the clean rooms 11 and 12 through the air supply ducts 13 and 14, and then flows into the exhaust fans 19 and 20 through the exhaust ducts 15 and 16. Then, the air is exhausted from the exhaust fans 19 and 20 through the exhaust ducts 15 and 16 to the outside. Further, in the first clean room 11, when the local exhaust device 28 is operated, indoor air flows into the local exhaust fan 43 through the local exhaust duct 42, and exhausts from the local exhaust fan 43 through the local exhaust duct 42 to the outside of the room. Is done. In the second clean room 12, when the local air supply device 29 is operated, air flows into the local intake fan 45 through the local air supply duct 44, and is taken into the room from the local intake fan 45 through the local intake duct 44. .

このシステム１０において、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時における室内気圧制御を説明すると、以下のとおりである。なお、変動要因には、稼働中の排気ファン１９，２０の風量変化、稼働中の給気ファン１７，１８の風量変化、稼動中の排気ファン１９，２０の停止、稼動中の給気ファン１７，１８の停止、扉３６，３７の開放、停止中の局所排気装置２８の稼動、停止中の局所給気装置２９の稼動、稼働中の局所排気装置２８の停止、稼働中の局所給気装置２９の停止がある。クリーンルーム１１，１２における変動要因の非発生時とは、扉３６，３７が閉鎖され、給排気ファン１７〜２０が初期設定の風量で稼動し、装置２８，２９が停止または装置２８，２９が稼動している状態である。   In this system 10, the indoor pressure control when the fluctuation factors that change the indoor pressure in the clean rooms 11 and 12 are not generated will be described as follows. The fluctuation factors include a change in the air volume of the exhaust fans 19 and 20 in operation, a change in the air volume of the air supply fans 17 and 18 in operation, a stop of the exhaust fans 19 and 20 in operation, and an air supply fan 17 in operation. , 18 is opened, the doors 36 and 37 are opened, the local exhaust device 28 is stopped, the local air supply device 29 is stopped, the local exhaust device 28 is stopped, and the local air supply device is operating. There are 29 stops. When the fluctuation factors in the clean rooms 11 and 12 do not occur, the doors 36 and 37 are closed, the air supply and exhaust fans 17 to 20 are operated at the initial air volume, and the devices 28 and 29 are stopped or the devices 28 and 29 are operated. It is in a state of being.

変動要因の非発生時では、第１および第２近接コントローラ２３，２４が第１および第２室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧を参照しつつ、第１および第２制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整してそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行する。   When the fluctuation factor does not occur, the first and second proximity controllers 23, 24 refer to the measured atmospheric pressure output from the first and second chamber pressure sensors 26, 27, and the first and second control dampers 21, The first opening degree adjusting means for finely adjusting the turning angle (damper opening degree) of the twenty-two turning blades 39 and maintaining the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 at the set atmospheric pressure is executed.

開度第１調整手段では、それら近接コントローラ２３，２４がそれら室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御（ＰＤ制御またはＰＩＤ制御）を実行する。第１および第２近接コントローラ２３，２４では、測定気圧と設定気圧とを比較して制御ダンパ２１，２２の旋回角度（ダンパ開度）を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。   In the first opening degree adjusting means, the proximity controllers 23 and 24 compare the measured atmospheric pressure output from the chamber pressure sensors 26 and 27 with the set atmospheric pressure, and control them according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure. Feedback control (PD control or PID control) for finely adjusting the turning angle (damper opening) of the turning blades 39 of the dampers 21 and 22 is executed. The first and second proximity controllers 23 and 24 compare the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and finely adjust the turning angle (damper opening) of the control dampers 21 and 22 for one processing time of 0.1 to 0. It is in the range of .5s.

変動要因の非発生時では、それら近接コントローラ２３，２４が測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御を実行し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持するから、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧のコントロールが中断されることはなく、それら近接コントローラ２３，２４を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。また、開度第１調整手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、室内気圧がわずかに変動する変動要因の非発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、それら近接コントローラ２３，２４を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。   When no fluctuation factors occur, the proximity controllers 23 and 24 compare the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure, and according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure, the turning angle of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 Since the feedback control for finely adjusting the (damper opening) is performed and the indoor pressures of the clean rooms 11 and 12 are held at the set atmospheric pressure, the control of the indoor pressures of the clean rooms 11 and 12 is not interrupted. By using the proximity controllers 23 and 24, the indoor pressure in the clean rooms 11 and 12 can be constantly maintained at the set pressure. In addition, since the processing time for one time in the first opening adjusting means is within the above range, the feedback time of the feedback control can be shortened, and the unit time per unit time can be reduced when there is no fluctuation factor that slightly changes the indoor pressure. By applying a large amount of feedback, it is possible to reliably maintain the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 at the set atmospheric pressure using the proximity controllers 23 and 24.

図２は、給排気ファン１７〜２０の風量変化と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図であり、図３は、給排気ファン１７〜２０の風量変化と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の他の一例を示す図である。図２では、給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量から増加した場合を示し、図３は、給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量から減少した場合を示す。   FIG. 2 is a diagram showing an example of the relationship between the change in the air volume of the supply / exhaust fans 17-20 and the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39. FIG. 3 shows the change in the air volume of the supply / exhaust fans 17-20. It is a figure which shows another example of the relationship with the turning angle (damper opening degree) of the turning blade | wing 39. FIG. FIG. 2 shows a case where the air volume of the air supply / exhaust fans 17-20 increases from the initial air volume, and FIG. 3 shows a case where the air volume of the air supply / exhaust fans 17-20 decreases from the initial air volume.

給排気ファン１７〜２０が稼働中に、それらファン１７〜２０の少なくとも一方の風量が初期設定のそれから増加または減少（風量が変化）し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。給排気ファン１７〜２０のうちの少なくとも一方の風量が増加または減少した場合、その風量（増加後または減少後の風量）が給排気ファン１７〜２０から遠隔操作コントローラ２５に出力される。   While the air supply / exhaust fans 17 to 20 are in operation, the air volume of at least one of the fans 17 to 20 increases or decreases (the air volume changes) from that of the initial setting, and there is a variation factor that fluctuates the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12. The indoor pressure control when it occurs will be described as follows. When the air volume of at least one of the air supply / exhaust fans 17-20 increases or decreases, the air volume (the air volume after the increase or decrease) is output from the air supply / exhaust fans 17-20 to the remote control controller 25.

遠隔操作コントローラ２５は、ファン１７〜２０の風量が増加または減少した場合、ファン１７〜２０の風量が変化したと判断する。コントローラ２５は、増加後または減少後の風量に対応してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（増加後または減少後の風量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。   When the air volume of the fans 17-20 increases or decreases, the remote operation controller 25 determines that the air volume of the fans 17-20 has changed. The controller 25 stores the swivel angle (damper opening) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 for setting the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 to the set air pressure corresponding to the increased or decreased air volume. The proximity controller 23 receives an opening degree control signal (operation command) indicating the turning angle (the turning angle corresponding to the increased or decreased air volume) of the turning blades 39 of the dampers 21 and 22 taken out from the main storage device. , 24 to output the operation command first output means. Alternatively, an operation of outputting an opening degree control signal (operation command) to the proximity controllers 23 and 24 for holding the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the air volume increase or immediately before the air volume decrease. The command first output means is executed.

遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を変化後の風量に対応したそれにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を変化後の風量に対応したそれに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を風量増加直前または風量減少直前のそれに調整する。   The remote operation controller 25 outputs an opening degree control signal corresponding to the air volume after changing the turning angle (damper opening degree) of the turning blades 39 of the control dampers 21 and 22 to the proximity controllers 23 and 24, so that the dampers The opening degree of the air passages 21 and 22 is adjusted to that corresponding to the changed air volume. Alternatively, by outputting to the proximity controllers 23 and 24 an opening degree control signal that maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the air volume increase or immediately before the air volume decrease, The opening degree of the 22 air flow paths is adjusted to that just before the increase of the air volume or just before the decrease of the air volume.

近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、遠隔操作コントローラ２５から出力された開度制御信号に従ってダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を増加後または減少後の風量に対応した旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。   When the proximity controllers 23 and 24 receive the opening degree control signal from the remote operation controller 25, the first opening degree adjusting means is interrupted, and the swirl vanes of the dampers 21 and 22 according to the opening degree control signal output from the remote operation controller 25. The opening degree second adjusting means for adjusting the turning angle (damper opening degree) of 39 to the turning angle (predetermined opening degree) corresponding to the air volume after being increased or decreased is executed. Or the opening degree 2nd adjustment means which maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the air volume increase or immediately before the air volume decrease is executed.

制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって増加後または減少後の風量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度に保持する。   The swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 are swung at a swivel angle corresponding to the increased or decreased air volume according to a command from the proximity controllers 23 and 24. In addition, the control dampers 21 and 22 hold the turning angle of the swirl vane 39 at the turning angle immediately before the air volume increase or immediately before the air volume decrease in response to a command from the proximity controllers 23 and 24.

室内気圧制御システム１０は、給排気ダクト１３〜１６に設置されたファン１７〜２０の風量が増加または減少（変化）した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０の風量の増加または減少に対応した旋回角度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を風量増加直前または風量減少直前の旋回角度に保持するから、風量の増加または減少による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、風量の増加または減少によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、風量の増加または減少によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、風量の増加または減少による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。   When the air volume of the fans 17 to 20 installed in the air supply and exhaust ducts 13 to 16 increases or decreases (changes), the indoor pressure control system 10 allows the proximity controllers 23 and 24 to control the damper 21 according to the operation command of the remote operation controller 25. , 22 is changed to a turning angle corresponding to the increase or decrease of the air volume of the fans 17 to 20 or the turning angle (damper opening) of the rotating blade 39 is just before the air volume increase or the air volume. Since the turning angle immediately before the decrease is maintained, the remote control controller 25 is used when a fluctuation factor is generated due to the increase or decrease in the air volume, and the air pressure fluctuations in the clean rooms 11 and 12 due to the increase or decrease in the air volume are tracked. The swivel angle (damper opening) of the swirl vane 39 can be adjusted with the chambers of the clean rooms 11 and 12. It is possible to smoothly and promptly return to the set pressure of the pressure can hold chamber pressure of the clean room 11, 12 to the setting pressure. Further, even when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 deviates from the set air pressure due to the increase or decrease of the air volume, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the increase or decrease of the air volume. The environment can be kept clean.

図４は、給排気ファン１７〜２０の停止と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。給排気ファン１７〜２０が稼働中に、それらファン１７〜２０の少なくとも一方が停止し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。給排気ファン１７〜２０のうちの少なくとも一方が停止した場合、そのＯＦＦ信号（停止信号）が給排気ファン１７〜２０から遠隔操作コントローラ２５に出力される。   FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a relationship between the stop of the supply / exhaust fans 17 to 20 and the turning angle (damper opening) of the turning blade 39. An explanation will be given of the indoor pressure control when at least one of the fans 17 to 20 is stopped while the supply / exhaust fans 17 to 20 are in operation and a fluctuation factor for changing the indoor pressures of the clean rooms 11 and 12 occurs. It is as follows. When at least one of the supply / exhaust fans 17 to 20 is stopped, an OFF signal (stop signal) is output from the supply / exhaust fans 17 to 20 to the remote control controller 25.

給排気ファン１７〜２０からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９を全閉にする開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。   The remote control controller 25 that has received the OFF signal from the supply / exhaust fans 17 to 20 outputs to the proximity controllers 23 and 24 an opening control signal (operation command) that fully closes the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22. The operation command first output means is executed. Alternatively, an operation command for outputting to the proximity controllers 23 and 24 an opening control signal (operation command) that holds the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 at the turning angle (opening) immediately before the fans 17 to 20 are stopped. The first output means is executed.

遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を全閉にする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を全閉に調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度をファン１７〜２０停止直前のそれに調整する。   The remote operation controller 25 outputs an opening degree control signal for fully closing the turning angle (damper opening degree) of the turning blades 39 of the control dampers 21 and 22 to the proximity controllers 23 and 24, whereby the air of the dampers 21 and 22 is output. Adjust the opening of the channel to fully closed. Alternatively, the dampers 21 and 22 are output by outputting to the proximity controllers 23 and 24 an opening degree control signal that holds the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the fans 17 to 20 are stopped. The opening of the air flow path is adjusted to that just before the fans 17 to 20 are stopped.

近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９を全閉に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。   When the proximity controllers 23 and 24 receive the opening degree control signal from the remote control controller 25, the first opening degree adjusting means is interrupted and the swirl vanes 39 are adjusted to be fully closed according to the opening degree control signal output from the controller 25. The opening degree second adjusting means is executed. Or the opening degree 2nd adjustment means which maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the fans 17 to 20 are stopped is executed.

制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって全閉になる。または、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度をファン１７〜２０停止直前の旋回角度に保持する。   The swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 are fully closed by a command from the proximity controllers 23 and 24. Or the control dampers 21 and 22 hold | maintain the turning angle of the turning blade 39 to the turning angle just before the fans 17-20 stop according to the command from the proximity controllers 23 and 24.

室内気圧制御システム１０は、稼働中の給排気ファン１７〜２０が停止した場合、遠隔操作コントローラ２５から出力された操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９（ダンパ開度）を全閉または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をファン１７〜２０停止直前の開度に保持するから、ファン１７〜２０の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、ファン１７〜２０の停止によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、ファン１７〜２０の停止によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、ファン１７〜２０の停止による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。   When the air supply / exhaust fans 17 to 20 in operation are stopped, the indoor pressure control system 10 allows the proximity controllers 23 and 24 to rotate the swirl vanes 39 (damper open) of the control dampers 21 and 22 in accordance with the operation command output from the remote operation controller 25. Degree) is fully closed or the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 is held at the opening just before the fans 17 to 20 are stopped. By doing so, the swirl angle (damper opening) of the swirl vane 39 can be adjusted in a state in which the air pressure fluctuations of the clean rooms 11 and 12 due to the stop of the fans 17 to 20 are followed. Can be returned to the set atmospheric pressure smoothly and quickly, and the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 can be reduced. It can be held to a constant pressure. Further, even when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 deviates from the set atmospheric pressure due to the stop of the fans 17 to 20, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the stop of the fans 17 to 20, so that the clean room 11, Twelve environments can be kept clean.

図５は、扉３６，３７の開放と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。それら扉３６，３７は、一方の縦方向側部が蝶番（図示せず）を介して前壁３２に取り付けられている。扉３６，３７は、縦方向側部を軸として旋回するスイング式片開き自在戸である。それら扉３６，３７は、クリーンルーム１１，１２から室外に向かって旋回させることはできるが、クリーンルーム１１，１２の室内に向かって旋回させることはできない。扉３６，３７は、前壁３２に対して０〜１８０度の範囲で旋回する。   FIG. 5 is a diagram illustrating an example of the relationship between the opening of the doors 36 and 37 and the turning angle (damper opening) of the swirl vanes 39. One of the doors 36 and 37 is attached to the front wall 32 through a hinge (not shown) at one longitudinal side. The doors 36 and 37 are swing-type single-open doors that swing around a vertical side. The doors 36 and 37 can be swung outward from the clean rooms 11 and 12 but cannot be swung toward the interior of the clean rooms 11 and 12. The doors 36 and 37 pivot in the range of 0 to 180 degrees with respect to the front wall 32.

扉３６，３７を開けると、扉３６，３７の開放空間４１を介してクリーンルーム１１，１２と室外とがつながり、開放空間４１を通ってクリーンルーム１１，１２と室外とを行き来することができる。それら扉３６，３７には、クリーンルーム１１，１２の気密性を保持するためにエアタイトのそれが使用されている。ドアノブは、グレモンハンドルであり、扉３６，３７の閉鎖後にグレモンハンドルをロック（回転）することで扉３６，３７の気密性を高めている。   When the doors 36 and 37 are opened, the clean rooms 11 and 12 are connected to the outside through the open space 41 of the doors 36 and 37, and the clean rooms 11 and 12 can be moved back and forth through the open space 41. The doors 36 and 37 are made of air tight to keep the airtightness of the clean rooms 11 and 12. The door knob is a gremon handle, and locks (rotates) the glemon handle after the doors 36 and 37 are closed, thereby improving the airtightness of the doors 36 and 37.

それら扉３６，３７には、図示はしていないが、複数の開閉センサが設置されている。それら開閉センサは、蝶番の側であって扉３６，３７が納まる前壁３２の扉枠に取り付けられ、扉３６，３７の開閉を検出する。開閉センサは、インターフェイス３８を介して遠隔操作コントローラ２５に接続されている。開閉センサには、マグネットスイッチが使用されている。センサ（マグネットスイッチ）が反応するまでの遊び（ストローク）を利用することで、センサが反応する扉旋回角度に差を設けることができ、それらセンサの取り付け位置を選択することで、センサが反応する扉３６，３７の開度を自由に設定することができる。扉３６，３７の開度とは、扉３６，３７が開放されたときの前壁３２と扉３６，３７とのなす角度（扉の旋回角度）をいう。扉３６，３７では、その開度が１５度、３０度、４５度、６０度、７５度、９０度、１０５度、１２０度、１３０度、１４５度、１６０度、１７５度に達したときに各センサが反応し、扉３６，３７の開放を検出するようになっている。   Although not shown, the doors 36 and 37 are provided with a plurality of open / close sensors. These open / close sensors are attached to the door frame of the front wall 32 on the hinge side and in which the doors 36 and 37 are accommodated, and detect the opening and closing of the doors 36 and 37. The open / close sensor is connected to the remote operation controller 25 via the interface 38. A magnet switch is used for the open / close sensor. By using the play (stroke) until the sensor (magnet switch) reacts, a difference can be made in the door turning angle to which the sensor reacts, and the sensor reacts by selecting the mounting position of these sensors. The opening degree of the doors 36 and 37 can be set freely. The opening degree of the doors 36 and 37 refers to an angle (door turning angle) formed by the front wall 32 and the doors 36 and 37 when the doors 36 and 37 are opened. When the opening degree of the doors 36 and 37 reaches 15 degrees, 30 degrees, 45 degrees, 60 degrees, 75 degrees, 90 degrees, 105 degrees, 120 degrees, 130 degrees, 145 degrees, 160 degrees, and 175 degrees. Each sensor reacts to detect the opening of the doors 36 and 37.

扉３６，３７が開放され、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。扉３６，３７が開放された場合、扉３６，３７の開信号が開閉センサから遠隔操作コントローラ２５に出力される。扉３６，３７の開信号は、ＯＮ信号としてコントローラ２５に入力される。なお、扉３６，３７が閉鎖されているとき（変動要因非発生時）は、開閉センサからＯＦＦ信号（閉信号）がコントローラ２５に出力されている。   The indoor air pressure control when the doors 36 and 37 are opened and a fluctuation factor that fluctuates the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 occurs will be described as follows. When the doors 36 and 37 are opened, an opening signal of the doors 36 and 37 is output from the open / close sensor to the remote operation controller 25. The opening signal of the doors 36 and 37 is input to the controller 25 as an ON signal. Note that when the doors 36 and 37 are closed (when no variation factor is generated), an OFF signal (close signal) is output to the controller 25 from the open / close sensor.

遠隔操作コントローラ２５は、それら開閉センサから出力されたＯＮ信号によって扉３６，３７が開放されたと判断し、それらＯＮ信号に基づいて扉３６，３７の旋回角度を割り出す。コントローラ２５は、割り出した旋回角度に対応する扉３６，３７の開放空間４１を通過する空気の流量を主記憶装置から取り出すとともに、その流量に対応してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするための制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（扉３６，３７の開放に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。   The remote operation controller 25 determines that the doors 36 and 37 are opened based on the ON signals output from the open / close sensors, and determines the turning angle of the doors 36 and 37 based on the ON signals. The controller 25 takes out the flow rate of air passing through the open space 41 of the doors 36 and 37 corresponding to the determined turning angle from the main storage device, and sets the indoor pressure of the clean rooms 11 and 12 to the set pressure corresponding to the flow rate. The swivel angle (damper opening) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 to be taken out from the main storage device, and the swivel angles of the swirl vanes 39 of the dampers 21 and 22 taken out from the main storage device (of the doors 36 and 37) An operation command first output means for outputting an opening degree control signal (operation command) indicating a turning angle corresponding to opening) to the proximity controllers 23 and 24 is executed. Alternatively, an operation of outputting an opening degree control signal (operation command) to the proximity controllers 23 and 24 for holding the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the doors 36 and 37 are opened. The command first output means is executed.

遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応したそれにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を扉３６，３７の開放に対応したそれに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、ダンパ２１，２２の空気流路の開度を扉３６，３７の開放直前のそれに調整する。   The remote operation controller 25 outputs to the proximity controllers 23 and 24 an opening degree control signal that makes the turning angle (damper opening degree) of the turning blades 39 of the control dampers 21 and 22 correspond to the opening of the doors 36 and 37. The opening degree of the air flow path of the dampers 21 and 22 is adjusted to that corresponding to the opening of the doors 36 and 37. Alternatively, by outputting to the proximity controllers 23 and 24 an opening control signal that maintains the turning angle (opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the doors 36 and 37 are opened, The opening degree of the air flow path 22 is adjusted to that just before the doors 36 and 37 are opened.

近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応した旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。   When the proximity controllers 23 and 24 receive the opening degree control signal from the remote control controller 25, the first opening degree adjusting means is interrupted, and the turning angle (damper) of the swirling blades 39 according to the opening degree control signal output from the controller 25 is interrupted. The opening degree second adjusting means for adjusting the opening degree to a turning angle (predetermined opening degree) corresponding to the opening of the doors 36 and 37 is executed. Or the opening degree 2nd adjustment means which maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the doors 36 and 37 are opened is executed.

制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって扉３６，３７の開放に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１，２２は、近接コントローラ２３，２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を扉３６，３７の開放直前の旋回角度に保持する。   The swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 are swung at a swivel angle corresponding to the opening of the doors 36 and 37 according to a command from the proximity controllers 23 and 24. Further, the control dampers 21 and 22 hold the turning angle of the swirl vane 39 at the turning angle just before the doors 36 and 37 are opened according to a command from the proximity controllers 23 and 24.

室内気圧制御システム１０は、クリーンルーム１１，１２の扉３６，３７が開放された場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放に対応した旋回角度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を扉３６，３７の開放直前の旋回角度に保持するから、扉３６，３７の開放による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、扉３６，３７の開放によるそれらクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、扉３６，３７の開放によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、扉３６，３７の開放による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。   When the doors 36 and 37 of the clean rooms 11 and 12 are opened, the indoor pressure control system 10 allows the proximity controllers 23 and 24 to rotate the swivel angle (damper) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 according to the operation command of the remote operation controller 25. Opening degree) is changed to a turning angle corresponding to the opening of the doors 36 and 37, or the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 is held at the turning angle immediately before the doors 36 and 37 are opened. By using the remote control controller 25 when a fluctuation factor due to opening occurs, the turning angle (damper opening) of the swirling blade 39 can be adjusted in a state in which the air pressure fluctuations in the clean rooms 11 and 12 due to the opening of the doors 36 and 37 are followed. It can be adjusted and the room pressure in the clean rooms 11 and 12 can be returned to the set pressure smoothly and quickly. It can hold chamber pressure of the clean room 11, 12 to the setting pressure. Further, even when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 deviates from the set atmospheric pressure due to the opening of the doors 36 and 37, the damper opening is quickly adjusted in response to the atmospheric pressure fluctuation due to the opening of the doors 36 and 37. Twelve environments can be kept clean.

図６は、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。停止中の局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動し、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合、それらのＯＮ信号（稼動信号）が排気装置２８（局所排気ファン４３）または給気装置２９（局所給気ファン４５）から遠隔操作コントローラ２５に出力される。   FIG. 6 is a diagram showing an example of the relationship between the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 and the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39. The indoor air pressure control when the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 that is stopped is operated and a variation factor that changes the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 occurs will be described as follows. When the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated, an ON signal (operation signal) thereof is sent from the exhaust device 28 (local exhaust fan 43) or the air supply device 29 (local air supply fan 45) to the remote control controller 25. Is output.

局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動し、それら装置２８，２９からＯＮ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、それら装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持するためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、それら装置２８，２９からＯＮ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を装置２８，２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。   When the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated and the remote operation controller 25 receives the ON signal from the devices 28 and 29, the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the devices 28 and 29 are operated. The swivel angles (damper opening degrees) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 for keeping the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 at the set air pressure are taken out from the main memory device. Opening control signal (operation) indicating the turning angle of the swirling blades 39 of the dampers 21 and 22 taken out from the air (the turning angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the operation of the devices 28 and 29) Command) is output to the proximity controllers 23, 24. Alternatively, the remote controller 25 that has received the ON signal from the devices 28 and 29 opens the swing angle (damper opening) of the swirl vane 39 at the turning angle (opening) immediately before the devices 28 and 29 are operated. An operation command first output means for outputting a control signal (operation command) to the proximity controllers 23 and 24 is executed.

遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）それにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）それに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の稼動直前のそれに調整する。   The remote operation controller 25 determines the turning angle (damper opening) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 to exhaust the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated. The opening degree control signal corresponding to the flow rate (corresponding to the operation of the devices 28 and 29) is output to the proximity controllers 23 and 24, whereby the opening degree of the air flow path of the control dampers 21 and 22 is set to the devices 28 and 29. It is adjusted to correspond to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the operation (corresponding to the operation of the devices 28 and 29). Alternatively, an opening degree control signal that maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is output to the proximity controllers 23 and 24. Thus, the opening degree of the air flow path of the control dampers 21 and 22 is adjusted to that immediately before the operation of the devices 28 and 29.

第１および第２近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の稼動に対応した）旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。   When the first and second proximity controllers 23 and 24 receive the opening degree control signal from the remote operation controller 25, the first and second proximity controllers 23 and 24 interrupt the opening degree first adjusting means, and the swirl vanes 39 according to the opening degree control signal output from the controller 25. The swivel angle (damper opening) of the exhaust air corresponds to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated (corresponding to the operation of the devices 28 and 29). The opening degree second adjusting means for adjusting the turning angle (predetermined opening degree) is executed. Or the opening degree 2nd adjustment means which maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is executed.

第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９は、第１近接コントローラ２３からの指令によって局所排気装置２８の稼動後の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１は、近接コントローラ２３からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所排気装置２８の稼動直前の旋回角度に保持する。第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９は、第２近接コントローラ２４からの指令によって局所給気装置２９の稼動後の排気ダクト１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２２は、近接コントローラ２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所給気装置２９の稼動直前の旋回角度に保持する。   The swirl vane 39 of the first control damper 21 swirls at a swivel angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust duct 15 after the operation of the local exhaust device 28 according to a command from the first proximity controller 23. Further, the control damper 21 holds the turning angle of the swirl vane 39 at the turning angle immediately before the local exhaust device 28 is operated according to a command from the proximity controller 23. The swirl vane 39 of the second control damper 22 swirls at a swivel angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust duct 16 after the operation of the local air supply device 29 according to a command from the second proximity controller 24. In addition, the control damper 22 holds the turning angle of the turning blade 39 at the turning angle immediately before the local air supply device 29 is operated according to a command from the proximity controller 24.

室内気圧制御システム１０は、局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動に対応した開度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をそれら装置２８，２９の稼動直前の開度に保持するから、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、それら装置２８，２９の稼動によるクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、局所排気装置２８または局所給気装置２９の稼動による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。   In the indoor pressure control system 10, when the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated, the proximity controllers 23, 24 are operated according to the operation command of the remote operation controller 25 so that the swivel angle (damper) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21, 22. The opening) is changed to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, or the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 is held at the opening just before the operation of the devices 28, 29. From the above, by using the remote control controller 25 when a fluctuation factor is generated due to the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, a state in which the pressure fluctuations of the clean rooms 11 and 12 due to the operation of the devices 28 and 29 are followed. Can adjust the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 and set the indoor pressure in the clean rooms 11 and 12. It can be smoothly and it is possible to return quickly to hold the chamber pressure of the clean room 11, 12 to set pressure to. Further, even when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 deviates from the set atmospheric pressure due to the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, it corresponds to the pressure fluctuation due to the operation of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29. Since the damper opening is quickly adjusted, the environment of the clean rooms 11 and 12 can be kept clean.

図７は、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止と旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）との関係の一例を示す図である。稼動中の局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を変動させる変動要因が発生したときの室内気圧コントロールを説明すると、以下のとおりである。局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、それらのＯＦＦ信号（停止信号）が排気装置２８（局所排気ファン４３）または給気装置２９（局所給気ファン４５）から遠隔操作コントローラ２５に出力される。   FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the relationship between the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 and the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39. The indoor air pressure control when the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 in operation stops and a fluctuation factor that fluctuates the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 occurs will be described as follows. When the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped, the OFF signal (stop signal) is sent from the exhaust device 28 (local exhaust fan 43) or the air supply device 29 (local air supply fan 45) to the remote control controller 25. Is output.

局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止し、それら装置２８，２９からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、それら装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応し、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にするためのそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を主記憶装置から取り出し、主記憶装置から取り出したダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度）を示す開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。または、それら装置２８，２９からＯＦＦ信号を受信した遠隔操作コントローラ２５は、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を装置２８，２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号（操作指令）を近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第１出力手段を実行する。   When the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped and the remote control controller 25 receives the OFF signal from the devices 28 and 29, the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the devices 28 and 29 stop. The swivel angles (damper opening degrees) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 for setting the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 to the set atmospheric pressure are taken out from the main storage device and An opening degree control signal (operation command) indicating the turning angle of the swirling blades 39 of the extracted dampers 21 and 22 (the turning angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the devices 28 and 29 are stopped). ) Is output to the proximity controllers 23, 24. Alternatively, the remote control controller 25 that has received the OFF signal from the devices 28 and 29 opens the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 at the turning angle (opening) immediately before the devices 28 and 29 are stopped. An operation command first output means for outputting a control signal (operation command) to the proximity controllers 23 and 24 is executed.

遠隔操作コントローラ２５は、制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）それにする開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）それに調整する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度制御信号を近接コントローラ２３，２４に出力することで、制御ダンパ２１，２２の空気流路の開度を装置２８，２９の停止直前のそれに調整する。   The remote operation controller 25 determines the turning angle (damper opening) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 to exhaust the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped. The opening degree control signal corresponding to the flow rate (corresponding to the stop of the devices 28 and 29) is output to the proximity controllers 23 and 24, whereby the opening degree of the air flow path of the control dampers 21 and 22 is set to the devices 28 and 29. It is adjusted to correspond to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the stop (corresponding to the stop of the devices 28 and 29). Alternatively, an opening degree control signal for holding the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is output to the proximity controllers 23 and 24. Thus, the opening degree of the air flow path of the control dampers 21 and 22 is adjusted to that immediately before the devices 28 and 29 are stopped.

第１および第２近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から開度制御信号を受信すると、開度第１調整手段を中断し、コントローラ２５から出力された開度制御信号に従っての旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１５，１６から排気される空気の排気流量に対応した（装置２８，２９の停止に対応した）旋回角度（所定の開度）に調整する開度第２調整手段を実行する。または、旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止直前の旋回角度（開度）に保持する開度第２調整手段を実行する。   When the first and second proximity controllers 23 and 24 receive the opening degree control signal from the remote operation controller 25, the first and second proximity controllers 23 and 24 interrupt the opening degree first adjusting means, and the swirl vanes 39 according to the opening degree control signal output from the controller 25. , Corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust ducts 15 and 16 after the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped (corresponding to the stop of the devices 28 and 29). The opening degree second adjusting means for adjusting the turning angle (predetermined opening degree) is executed. Or the opening degree 2nd adjustment means which maintains the turning angle (damper opening degree) of the turning blade 39 at the turning angle (opening degree) immediately before the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is executed.

第１制御ダンパ２１の旋回羽根３９は、第１近接コントローラ２３からの指令によって局所排気装置２８の停止後の排気ダクト１５から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２１は、近接コントローラ２３からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所排気装置２８の停止直前の旋回角度に保持する。第２制御ダンパ２２の旋回羽根３９は、第２近接コントローラ２４からの指令によって局所給気装置２９の停止後の排気ダクト１６から排気される空気の排気流量に対応した旋回角度に旋回する。また、制御ダンパ２２は、近接コントローラ２４からの指令によって旋回羽根３９の旋回角度を局所給気装置２９の停止直前の旋回角度に保持する。   The swirl vane 39 of the first control damper 21 swirls at a swivel angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust duct 15 after stopping the local exhaust device 28 according to a command from the first proximity controller 23. Further, the control damper 21 holds the turning angle of the swirl vane 39 at the turning angle immediately before the local exhaust device 28 is stopped by a command from the proximity controller 23. The swirl vane 39 of the second control damper 22 swirls at a swivel angle corresponding to the exhaust flow rate of the air exhausted from the exhaust duct 16 after the local air supply device 29 is stopped by a command from the second proximity controller 24. Further, the control damper 22 holds the turning angle of the swirl vane 39 at the turning angle immediately before the local air supply device 29 is stopped by a command from the proximity controller 24.

室内気圧制御システム１０は、局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、遠隔操作コントローラ２５の操作指令に従って近接コントローラ２３，２４が制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止に対応した開度に変更または旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）をそれら装置２８，２９の停止直前の開度に保持するから、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止による変動要因の発生時に遠隔操作コントローラ２５を利用することで、それら装置２８，２９の停止によるクリーンルーム１１，１２の気圧変動に追従させた状態で旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を調整することができ、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができるとともに、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持することができる。また、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止によってクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧から外れた場合でも、局所排気装置２８または局所給気装置２９の停止による気圧変動に対応して素早くダンパ開度を調整するから、クリーンルーム１１，１２の環境を清浄に保持することができる。   When the local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped, the indoor pressure control system 10 allows the proximity controllers 23 and 24 to rotate the swivel angle (damper) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 according to the operation command of the remote operation controller 25. Opening) is changed to an opening corresponding to the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, or the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 is held at the opening just before the stop of the devices 28, 29. From the above, by using the remote control controller 25 when a fluctuation factor is generated due to the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, a state in which the pressure fluctuations of the clean rooms 11 and 12 due to the stop of the devices 28 and 29 are followed. Can adjust the turning angle (damper opening) of the swirl vane 39 and set the indoor pressure in the clean rooms 11 and 12. It can be smoothly and it is possible to return quickly to hold the chamber pressure of the clean room 11, 12 to set pressure to. Further, even when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 deviates from the set atmospheric pressure due to the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29, it corresponds to the pressure fluctuation due to the stop of the local exhaust device 28 or the local air supply device 29. Since the damper opening is quickly adjusted, the environment of the clean rooms 11 and 12 can be kept clean.

遠隔操作コントローラ２５は、図２〜図７に示すそれら室内気圧の変動要因の発生時において、上述したそれら開度第２調整手段を実行してから所定時間経過後、室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整してそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にする操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する操作指令第２出力手段を実行する。それら近接コントローラ２３，２４は、遠隔操作コントローラ２５から出力された操作指令に従って制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整する開度第３調整手段を実行する。   The remote operation controller 25, when the fluctuation factors of the indoor pressure shown in FIGS. 2 to 7 are generated, from the room pressure sensors 26 and 27 after a predetermined time has elapsed since the execution of the second opening degree adjusting means described above. While comparing the output measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure, according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure, finely adjust the turning angle (damper opening) of the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22 to clean rooms. An operation command second output means for outputting an operation command for setting the indoor pressure of 11 and 12 to the set pressure to the proximity controllers 23 and 24 is executed. The proximity controllers 23 and 24 execute an opening degree third adjusting means for finely adjusting the turning angle (damper opening degree) of the turning blades 39 of the control dampers 21 and 22 in accordance with the operation command output from the remote operation controller 25.

操作指令第２出力手段では、遠隔操作コントローラ２５がそれら室圧センサ２６，２７から出力された測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御（ＰＤ制御またはＰＩＤ制御）を実行する操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力する。遠隔操作コントローラ２５では、測定気圧と設定気圧とを比較して操作指令を近接コントローラ２３，２４に出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある。   In the operation command second output means, the remote operation controller 25 compares the measured atmospheric pressure output from the chamber pressure sensors 26 and 27 with the set atmospheric pressure, and controls the control damper 21 according to the difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure. , 22, an operation command for executing feedback control (PD control or PID control) for finely adjusting the turning angle (damper opening) of the turning blade 39 is output to the proximity controllers 23, 24. The remote operation controller 25 compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and outputs one operation command to the proximity controllers 23 and 24 within a range of 0.1 to 0.5 s.

室内気圧制御システム１０は、変動要因の発生時において、遠隔操作コントローラ２５が測定気圧と設定気圧とを比較しつつ、測定気圧と設定気圧との差に応じてそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を微調整するフィードバック制御を実行する操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力するから、遠隔操作コントローラ２５を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。また、変動要因が発生した後にクリーンルーム１１，１２の室内気圧が設定気圧の範囲内にある場合は、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に確実に保持することができる。また、操作指令第２出力手段における１回の処理時間が前記範囲にあるから、フィードバック制御のフィードバック時間を短くすることができ、変動要因の発生時において単位時間当たりに多くのフィードバックをかけることで、遠隔操作コントローラ２５を利用してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧にスムーズかつ速やかに復帰させることができる。   In the indoor pressure control system 10, when the fluctuation factor is generated, the remote operation controller 25 compares the measured pressure and the set pressure, and according to the difference between the measured pressure and the set pressure, the swirl vanes of the control dampers 21 and 22. Since the operation command for executing the feedback control for finely adjusting the turning angle (damper opening) 39 is output to the proximity controllers 23 and 24, the room pressure in the clean rooms 11 and 12 is set using the remote operation controller 25. Can be smoothly and quickly restored. Further, when the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 is within the set atmospheric pressure after the fluctuation factor is generated, the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 can be reliably maintained at the set atmospheric pressure. In addition, since the processing time for one time in the operation command second output means is within the above range, the feedback time of the feedback control can be shortened, and a large amount of feedback is applied per unit time when the fluctuation factor occurs. By using the remote control controller 25, the indoor pressure in the clean rooms 11 and 12 can be returned to the set pressure smoothly and quickly.

なお、発生したそれら変動要因がなくなり（変化した給排気ファン１７〜２０の風量が初期設定の風量に戻った場合、停止した給排気ファン１７〜２０が稼動した場合、開放された扉３６，３７が閉鎖された場合、稼動した局所排気装置２８または局所給気装置２９が停止した場合、停止した局所排気装置２８または局所給気装置２９が稼動した場合）、変動要因の非発生時に戻ると、遠隔操作コントローラ２５は操作指令第１出力手段と第２操作指令出力手段とを中断し、近接コントローラ２３，２４は開度第２調整手段と開度第３調整手段とを中断して開度第１調整手段を再び実行する。   The generated fluctuation factors disappear (when the changed air volume of the air supply / exhaust fans 17-20 returns to the initial air volume, when the stopped air supply / exhaust fans 17-20 are operated, the opened doors 36, 37 are opened. Is closed, when the activated local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is stopped, when the stopped local exhaust device 28 or the local air supply device 29 is operated), when the fluctuation factor is not generated, The remote control controller 25 interrupts the operation command first output means and the second operation command output means, and the proximity controllers 23 and 24 interrupt the opening degree second adjustment means and the opening degree third adjustment means, One adjustment means is executed again.

また、システム１０では、それら近接コントローラ２３，２４が開度第１調整手段を実行中に、遠隔操作コントローラ２５から出力される操作指令を導出するためのコントローラ２５に設定された各種条件を変更可能である。したがって、それら近接コントローラ２３，２４の運転を継続してクリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、遠隔操作コントローラ２５において各種条件を変更する。   Further, in the system 10, various conditions set in the controller 25 for deriving an operation command output from the remote operation controller 25 can be changed while the proximity controllers 23 and 24 are executing the first opening degree adjusting means. It is. Therefore, various conditions are changed in the remote operation controller 25 while continuing the operation of the proximity controllers 23 and 24 and maintaining the indoor air pressure of the clean rooms 11 and 12 at the set atmospheric pressure.

室内気圧制御システム１０は、変動要因の各種設定条件によって遠隔操作コントローラ２５に設定された各種条件の変更が必要になった場合でも、それら近接コントローラ２３，２４の稼動を中断することなく開度第１調整手段を継続して実行するから、それらクリーンルーム１１，１２の室内気圧コントロールが中断されることはなく、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を常時設定気圧に保持することができる。   The indoor pressure control system 10 can adjust the opening degree without interrupting the operation of the proximity controllers 23 and 24 even when various conditions set in the remote control controller 25 are required to be changed due to various setting conditions of the fluctuation factors. Since one adjustment means is continuously executed, the indoor air pressure control of the clean rooms 11 and 12 is not interrupted, and the indoor air pressures of the clean rooms 11 and 12 can be constantly maintained at the set atmospheric pressure.

室内気圧制御システム１０は、第１〜第２クリーンルーム１１，１２（第１〜第ｎクリーンルーム）の室内気圧を変動させる変動要因の発生時に、１つの遠隔操作コントローラ２５が第１〜第２近接コントローラ２３，２４（第１〜第ｎ近接コントローラ）をまとめて管理しつつ、コントローラ２５が第１〜第２制御ダンパ２１，２２（第１〜第ｎ制御ダンパ）の旋回羽根３９の旋回角度（ダンパ開度）を所定の開度にする操作指令をそれら近接コントローラ２３，２４に出力し、それら近接コントローラ２３，２４がコントローラ２５から出力された操作指令に従ってそれら制御ダンパ２１，２２の旋回羽根３９の旋回角度を調整するから、各種の変動要因によってそれらクリーンルーム１１，１２の室内気圧が変動したとしても、クリーンルーム１１，１２の室内気圧を設定気圧のすることができる。   The indoor pressure control system 10 is configured such that one remote control controller 25 is used for the first to second proximity controllers when a fluctuation factor that fluctuates the indoor pressure in the first to second clean rooms 11 and 12 (first to nth clean rooms) is generated. 23 and 24 (first to n-th proximity controllers) are managed together, and the controller 25 turns the swirl angle (damper) of the swirl vanes 39 of the first to second control dampers 21 and 22 (first to n-th control dampers). An operation command for setting the opening) to a predetermined opening is output to the proximity controllers 23 and 24, and the proximity controllers 23 and 24 follow the operation command output from the controller 25 to control the swirl vanes 39 of the control dampers 21 and 22. Since the turning angle is adjusted, even if the indoor air pressure in the clean rooms 11 and 12 fluctuates due to various fluctuation factors, The interior pressure of the room 11 and 12 can be the set pressure.

１０ 室内気圧制御システム
１１ 第１クリーンルーム（第１気密室）
１２ 第２クリーンルーム（第２気密室）
１３ 第１給気ダクト
１４ 第２給気ダクト
１５ 第１排気ダクト
１６ 第２排気ダクト
１７ 第１給気ファン
１８ 第２給気ファン
１９ 第１排気ファン
２０ 第２排気ファン
２１ 第１制御ダンパ
２２ 第２制御ダンパ
２３ 第１近接コントローラ
２４ 第２近接コントローラ
２５ 遠隔操作コントローラ
２６ 第１室圧センサ
２７ 第２室圧センサ
２８ 局所排気装置
２９ 局所給気装置
３６ 扉
３７ 扉 10 Indoor pressure control system 11 First clean room (first airtight room)
12 Second clean room (second airtight room)
13 First air supply duct 14 Second air supply duct 15 First exhaust duct 16 Second exhaust duct 17 First air supply fan 18 Second air supply fan 19 First exhaust fan 20 Second exhaust fan 21 First control damper 22 Second control damper 23 First proximity controller 24 Second proximity controller 25 Remote operation controller 26 First chamber pressure sensor 27 Second chamber pressure sensor 28 Local exhaust device 29 Local air supply device 36 Door 37 Door

Claims (12)

空調空間を有する気密室と、前記気密室に空気を給気する給気ファンと、前記気密室から空気を排気する排気ファンと、ダンパ開度によって前記気密室から排気する空気の流量を調節可能な制御ダンパと、前記制御ダンパの近傍に設置されて前記ダンパ開度を調整する近接コントローラと、前記制御ダンパから離隔した箇所に設置されて前記近接コントローラに所定の操作指令を出力する遠隔操作コントローラと、前記気密室の室内気圧を測定してその測定気圧をそれらコントローラに出力する室圧センサとを備え、
前記気密室の室内気圧を変動させる変動要因の非発生時では、前記近接コントローラが前記室圧センサから出力された測定気圧を参照しつつ前記制御ダンパのダンパ開度を微調整して前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持する開度第１調整手段を実行し、
前記変動要因の発生時では、前記遠隔操作コントローラが前記制御ダンパのダンパ開度を所定の開度にする操作指令を前記近接コントローラに出力する操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが前記開度第１調整手段を中断しつつ前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を所定の開度に調整する開度第２調整手段を実行するとともに、前記開度第２調整手段を実行してから所定時間経過した後、前記遠隔操作コントローラが前記室圧センサから出力された前記測定気圧と前記設定気圧とを比較しつつ、前記測定気圧と前記設定気圧との差に応じて前記制御ダンパのダンパ開度を微調整して前記気密室の室内気圧を設定気圧にする操作指令を前記近接コントローラに出力する操作指令第２出力手段を実行し、前記近接コントローラが前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を微調整する開度第３調整手段を実行することを特徴とする室内気圧制御システム。 An airtight chamber having an air-conditioned space, an air supply fan for supplying air to the airtight chamber, an exhaust fan for exhausting air from the airtight chamber, and a flow rate of air exhausted from the airtight chamber can be adjusted by a damper opening degree. Control damper, a proximity controller installed in the vicinity of the control damper to adjust the damper opening, and a remote operation controller installed at a location separated from the control damper to output a predetermined operation command to the proximity controller And a room pressure sensor for measuring the room pressure of the hermetic chamber and outputting the measured pressure to the controller,
In the absence of a variable factor that fluctuates the air pressure in the airtight chamber, the proximity controller finely adjusts the damper opening of the control damper while referring to the measured air pressure output from the room pressure sensor. The opening first adjusting means for maintaining the indoor atmospheric pressure at the set atmospheric pressure is executed,
When the fluctuation factor occurs, the remote operation controller executes an operation command first output means for outputting an operation command for setting the damper opening of the control damper to a predetermined opening to the proximity controller, and the proximity controller While opening the first opening adjusting means, executing the opening second adjusting means for adjusting the damper opening of the control damper to a predetermined opening according to the operation command output from the remote control controller, and opening the opening After a predetermined time has elapsed since the second adjusting means is executed, the remote control controller compares the measured atmospheric pressure output from the room pressure sensor with the set atmospheric pressure, and the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure. An operation to finely adjust the damper opening of the control damper according to the difference between the two, and to output an operation command to set the atmospheric pressure in the airtight chamber to the proximity controller Decrees second run output means, a room the proximity controller and executes the opening third adjusting means for fine adjustment of the damper opening degree of the control damper in accordance with an operation command output from the remote operation controller Barometric control system. 前記操作指令第２出力手段では、前記測定気圧と前記設定気圧とを比較して操作指令を出力する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある請求項１記載の室内気圧制御システム。 2. The indoor atmospheric pressure according to claim 1, wherein the operation command second output means compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and outputs one operation command within a range of 0.1 to 0.5 s. Control system. 前記システムでは、発生した前記変動要因がなくなって該変動要因の非発生時に戻ると、前記遠隔操作コントローラが前記操作指令第１出力手段と前記操作指令第２出力手段とを中断し、前記近接コントローラが前記開度第２調整手段と前記開度第３調整手段とを中断して前記開度第１調整手段を再び実行する請求項１または請求項２に記載の室内気圧制御システム。 In the system, when the generated fluctuation factor disappears and the process returns when the fluctuation factor is not generated, the remote operation controller interrupts the operation command first output means and the operation command second output means, and the proximity controller The indoor pressure control system according to claim 1 or 2, wherein the second opening degree adjusting means and the third opening degree adjusting means are interrupted and the first opening degree adjusting means is executed again . 前記システムでは、前記近接コントローラが前記開度第１調整手段を実行中に、前記遠隔操作コントローラから出力される操作指令を導出するための該遠隔操作コントローラに設定された各種条件を変更可能であり、前記近接コントローラの運転を継続して前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持しつつ、前記遠隔操作コントローラにおいて各種条件を変更する請求項１ないし請求項３いずれかに記載の室内気圧制御システム。 In the system, various conditions set in the remote operation controller for deriving an operation command output from the remote operation controller can be changed while the proximity controller is executing the first opening degree adjusting means. The indoor pressure control system according to any one of claims 1 to 3 , wherein various conditions are changed in the remote operation controller while maintaining the indoor pressure of the airtight chamber at a set pressure by continuing the operation of the proximity controller. . 前記変動要因が、稼働中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の風量変化であり、稼働中のファンの風量が変化した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を前記ファンの風量変化に対応した開度に変更または該ダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を前記ファンの風量変化に対応した開度に変更または該ダンパ開度を風量変化直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項４いずれかに記載の室内気圧制御システム。 When the fluctuation factor is a change in the air volume of at least one of the air supply / exhaust fans in operation, and the air volume of the operating fan changes, the remote control controller changes the damper opening to a change in the air volume of the fan. The operation command first output means for outputting to the proximity controller an operation command for changing to a corresponding opening or maintaining the damper opening at the opening just before the air flow change is executed. The opening degree second adjusting means for changing the damper opening degree of the control damper to an opening degree corresponding to a change in the air volume of the fan or holding the damper opening degree at an opening immediately before the air volume change in accordance with an operation command output from The indoor atmospheric pressure control system according to any one of claims 1 to 4, which is executed . 前記変動要因が、稼動中の給排気ファンのうちの少なくとも一方の停止であり、稼動中のファンが停止した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を全閉または該ダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を全閉または該ダンパ開度をファン停止直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項５いずれかに記載の室内気圧制御システム。 When the fluctuation factor is the stop of at least one of the operating supply / exhaust fans, and the operating fan stops, the remote control controller either fully closes the damper opening or sets the damper opening to the fan. The operation command first output means for outputting to the proximity controller an operation command held at the opening just before the stop is executed, and the proximity controller opens the damper of the control damper according to the operation command output from the remote operation controller. The indoor air pressure control system according to any one of claims 1 to 5, wherein the opening degree second adjusting means that fully closes the degree or maintains the damper opening degree at an opening degree immediately before the fan stop is executed . 前記変動要因が、前記気密室に設置された扉の開放であり、前記扉が開放された場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を前記扉の開放に対応した開度に変更または該ダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する操作指令を前記近接コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を前記扉の開放に対応した開度に変更または該ダンパ開度を扉の開放直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項６いずれかに記載の室内気圧制御システム。 The fluctuation factor is the opening of a door installed in the hermetic chamber, and when the door is opened, the remote control controller changes the damper opening to an opening corresponding to the opening of the door, or The operation command first output means for outputting to the proximity controller an operation command for maintaining the damper opening at the position immediately before opening the door is executed, and the proximity controller is operated according to the operation command output from the remote operation controller. The opening degree second adjusting means for changing the damper opening degree of the control damper to an opening degree corresponding to opening of the door or holding the damper opening degree at an opening degree immediately before opening the door is executed. Item 7. The indoor atmospheric pressure control system according to any one of Items 6 to 7. 前記変動要因が、前記気密室に設置された停止中の局所排気装置または局所給気装置の稼動であり、停止中の局所排気装置または局所給気装置が稼動した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する操作指令を前記近距離コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の稼動に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の稼動直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項７いずれかに記載の室内気圧制御システム。 When the fluctuation factor is the operation of the local exhaust device or the local air supply device being stopped installed in the hermetic chamber, and the local exhaust device or the local air supply device being stopped is operating, the remote operation controller is The damper opening is changed to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device or the local air supply device, or an operation command for maintaining the damper opening at the opening immediately before the operation of the device is output to the short distance controller The operation command first output means is executed, and the proximity controller sets the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the operation of the local exhaust device or the local air supply device in accordance with the operation command output from the remote operation controller. chamber according to any one of claims 1 to 7 to perform the opening second adjusting means for holding the change or the damper opening degree pedal travel immediately before the operation of those devices - Pressure control system. 前記変動要因が、前記気密室に設置された稼動中の局所排気装置または局所給気装置の停止であり、稼動中の局所排気装置または局所給気装置が停止した場合、前記遠隔操作コントローラが、前記ダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する操作指令を前記近距離コントローラに出力する前記操作指令第１出力手段を実行し、前記近接コントローラが、前記遠隔操作コントローラから出力された操作指令に従って前記制御ダンパのダンパ開度を局所排気装置または局所給気装置の停止に対応した開度に変更または該ダンパ開度をそれら装置の停止直前の開度に保持する前記開度第２調整手段を実行する請求項１ないし請求項８いずれかに記載の室内気圧制御システム。 When the fluctuation factor is a stop of the active local exhaust device or the local air supply device installed in the hermetic chamber, and the active local exhaust device or the local air supply device is stopped, the remote operation controller is The damper opening degree is changed to an opening degree corresponding to a stop of the local exhaust device or the local air supply device, or an operation command for maintaining the damper opening degree at an opening immediately before the stop of the device is output to the short distance controller The operation command first output means is executed, and the proximity controller sets the damper opening of the control damper to an opening corresponding to the stop of the local exhaust device or the local air supply device according to the operation command output from the remote operation controller. chamber according to any one of claims 1 to 8 to perform the opening second adjusting means for holding the change or the damper opening to an opening immediately before stopping their device Pressure control system. 前記開度第１調整手段では、前記近接コントローラが前記室圧センサから出力された前記測定気圧と前記設定気圧とを比較しつつ、前記測定気圧と前記設定気圧との差に応じて前記制御ダンパのダンパ開度を微調整し、前記気密室の室内気圧を設定気圧に保持する請求項１ないし請求項９いずれかに記載の室内気圧制御システム。 In the first opening degree adjusting means, the proximity controller compares the measured atmospheric pressure output from the room pressure sensor with the set atmospheric pressure, and controls the control damper according to a difference between the measured atmospheric pressure and the set atmospheric pressure. The indoor air pressure control system according to any one of claims 1 to 9 , wherein a damper opening of the airtight chamber is finely adjusted, and an indoor air pressure of the airtight chamber is maintained at a set air pressure . 前記開度第１調整手段では、前記測定気圧と前記設定気圧とを比較して前記制御ダンパのダンパ開度を微調整する１回の処理時間が０．１〜０．５ｓの範囲にある請求項１０記載の室内気圧制御システム。 The first opening adjustment means compares the measured atmospheric pressure with the set atmospheric pressure and finely adjusts the damper opening of the control damper within a range of 0.1 to 0.5 s. Item 11. The indoor pressure control system according to Item 10 . 前記システムが、独立した複数の第１〜第ｎ気密室と、それら気密室に空気を給気する第１〜第ｎ給気ファンと、それら気密室から空気を排気する第１〜第ｎ排気ファンと、それら気密室から排気する空気の流量を調節可能な第１〜第ｎ制御ダンパと、それら制御ダンパの近傍に設置された第１〜第ｎ近接コントローラと、それら気密室の室内気圧を測定してその測定気圧を前記第１〜第ｎ近接コントローラと遠隔操作コントローラとに出力する第１〜第ｎ室圧センサとを含み、１つの前記遠隔操作コントローラが、前記第１〜第ｎ近接コントローラに所定の操作指令を個別に出力する請求項１ないし請求項１１いずれかに記載の室内気圧制御システム。

 The system includes a plurality of independent first to nth hermetic chambers, first to nth air supply fans that supply air to the hermetic chambers, and first to nth exhausts that exhaust air from the hermetic chambers. The fan, first to nth control dampers capable of adjusting the flow rate of air exhausted from the hermetic chambers, first to nth proximity controllers installed in the vicinity of these control dampers, and the indoor pressures of these hermetic chambers Including first to n-th chamber pressure sensors that measure and output the measured atmospheric pressure to the first to n-th proximity controllers and the remote-control controller. The indoor atmospheric pressure control system according to any one of claims 1 to 11 , wherein predetermined operation commands are individually output to a controller.

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