JP5613439B2 - Cutting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、切削ブレードを支持するフランジの端面を研削して修正する手段を有する切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus having means for grinding and correcting an end face of a flange that supports a cutting blade.
表面にIC、lSI等の電子回路が複数形成された半導体ウェーハや、電子部品、光学部品に使用される樹脂基板、ガラス基板、各種セラミック基板等の被加工物は、切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電気機器に広く利用されている。 Workpieces such as semiconductor wafers with a plurality of electronic circuits such as IC and lSI formed on the surface, resin substrates, glass substrates, various ceramic substrates used for electronic components and optical components are put into individual chips with a cutting device. The divided chips are widely used in various electric devices.
切削装置としては、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを具備し、切削手段が、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の超砥粒を金属や樹脂等で固めた砥石部を有する切削ブレードと、切削ブレードを高速回転させるスピンドルとから少なくとも構成されているものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 The cutting device includes a holding table for holding a workpiece and a cutting means for cutting the workpiece held on the holding table, and the cutting means is a superabrasive such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride). There is known one that is composed at least of a cutting blade having a grindstone portion in which grains are hardened with metal or resin, and a spindle that rotates the cutting blade at a high speed (for example, see Patent Document 1).
切削ブレードは、フランジを介してスピンドルの先端に装着され、例えば30000rpm等の高速で切削ブレードが回転しつつ被加工物へ切り込むことで切削が遂行される。
より詳細には、ワッシャーブレードと呼ばれる円環状に成形された砥石部からなる切削ブレードは、2つのフランジで挟持された状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。また、ハブブレードと呼ばれる円盤状基台の外周に円環状の砥石が配設された切削ブレードは、1つのフランジに対峙した状態でスピンドルの先端にナットで固定されている。
The cutting blade is attached to the tip of the spindle via a flange, and cutting is performed by cutting into the workpiece while the cutting blade rotates at a high speed of, for example, 30000 rpm.
More specifically, a cutting blade made of a grindstone formed in an annular shape called a washer blade is fixed with a nut to the tip of the spindle while being sandwiched between two flanges. Further, a cutting blade in which an annular grindstone is arranged on the outer periphery of a disk-shaped base called a hub blade is fixed to a tip of a spindle with a nut while facing a flange.
このように、切削ブレードは、ワッシャーブレード、ハブブレードのいずれについても、フランジに接触した状態でスピンドルの先端に装着される。したがって、ブレードに接触するフランジの端面が平坦ではない場合や、フランジの端面とスピンドルの軸線とのなす角度が直角でない場合には、スピンドル回転時に切削ブレードがばたつき、精密な加工ができないという問題がある。そこで、フランジの端面を修正するためのフランジ端面修正治具が提案されている(特許文献2参照)。このフランジ端面修正治具は、フランジの端面を研削するための研削部材(研削チップ)と、研削部材を固定する固定部と、固定部を支持する支持部とから構成されており、この研削部材をフランジの端面に当接させて、フランジを回転させつつ研削部材で研削することで、フランジの端面が平坦化されるとともに、スピンドルの軸線とフランジ端面とのなす角が直角に修正される。 As described above, the cutting blade is attached to the tip of the spindle in contact with the flange for both the washer blade and the hub blade. Therefore, if the end face of the flange that contacts the blade is not flat or if the angle between the end face of the flange and the axis of the spindle is not a right angle, the cutting blade will flutter when the spindle is rotated, and precision machining will not be possible. is there. Then, the flange end surface correction jig | tool for correcting the end surface of a flange is proposed (refer patent document 2). The flange end surface correcting jig is composed of a grinding member (grinding tip) for grinding the end surface of the flange, a fixing portion for fixing the grinding member, and a support portion for supporting the fixing portion. Is brought into contact with the end face of the flange and ground by the grinding member while rotating the flange, so that the end face of the flange is flattened and the angle between the spindle axis and the end face of the flange is corrected to a right angle.
しかし、従来は、研削部材とフランジの端面とを作業者が当接させており、オペレータが、当接の有無を目視で確認するとともに、端面修正を開始する位置への位置付けも目視で位置の確認を行っており、作業が煩雑であった。また、手作業であるために、不適切な位置に端面修正治具を設置してしまう場合もあった。さらに、端面に研削部材を必要以上に押し当ててしまうと、端面に傷をつけてしまうことがあった。端面を傷つけてしまうと端面修正で削らねばならない端面の量は増え、フランジの寿命が縮むとともに、端面修正にかかる時間も増大するという問題が生じる。その一方、端面と研削部材とが当接していない場合には、端面修正時に必要以上に端面修正治具を動かす必要があり、端面修正にかかる時間を増大させてしまう。 Conventionally, however, the operator makes contact between the grinding member and the end face of the flange, and the operator visually confirms the presence or absence of contact, and the positioning to the position where the end face correction is started is also visually confirmed. Confirmation was performed and the work was complicated. Moreover, since it is a manual work, the end face correction jig may be installed at an inappropriate position. Furthermore, if the grinding member is pressed more than necessary on the end surface, the end surface may be damaged. If the end face is damaged, the amount of the end face that must be cut by the end face correction increases, and the life of the flange is shortened, and the time required for the end face correction also increases. On the other hand, when the end surface and the grinding member are not in contact, it is necessary to move the end surface correction jig more than necessary when correcting the end surface, which increases the time required for the end surface correction.
本発明は、上記事実に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、適切な端面修正作業を自動で遂行できる切削装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described facts, and a technical problem thereof is to provide a cutting apparatus that can automatically perform an appropriate end face correction operation.
本発明は、鉛直方向をZ方向とし、Z方向に直交する方向をY方向とし、Z方向及びY方向に直交する方向をX方向とした場合に、ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、支持面を有し保持テーブルをZ方向を回転軸として回転させる回転支持部とを有する保持手段と、保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと切削ブレードをY方向を回転軸として回転させるスピンドルとスピンドルの先端に切削ブレードを端面で支持するフランジとを有する切削手段と、保持手段と切削手段とをZ方向に相対的に移動させるZ方向移動手段と、保持手段と切削手段とをY方向に相対的に移動させるY方向移動手段と、保持手段と切削手段とをX方向に相対的に移動させるX方向移動手段と、フランジの端面を研削する研削砥石と研削砥石を支持する砥石支持部材とを有する端面修正治具を用いてフランジの該端面を修正する端面修正手段とを有する切削装置に関するもので、端面修正治具は、保持テーブルの保持面又は回転支持部の支持面上に配設され、砥石支持部材が板部材の上面に固定され、端面修正手段は、板部材に配設され、保持テーブルの保持面又は回転支持部の支持面に配設される端面修正治具の砥石支持部材を保持面又は支持面に対して位置決めする位置決め部と、フランジの端面と研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の相対位置を記憶する記憶部と、フランジと研削砥石とのY方向の相対的移動によるフランジの端面と研削砥石との接触を検出する検出部と、フランジの端面と研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の位置関係を調整した後にフランジの端面と研削砥石とを互いにY方向に接近させてフランジの端面と研削砥石とが接触したことを検出部が検出することによってY方向の端面修正開始位置を決定する制御部とを有する。 The present invention provides a holding table having a holding surface for holding a workpiece when the vertical direction is the Z direction, the direction orthogonal to the Z direction is the Y direction, and the direction orthogonal to the Z direction and the Y direction is the X direction. A holding means having a support surface and a rotation support portion for rotating the holding table about the Z direction as a rotation axis, a cutting blade for cutting a workpiece held by the holding means, and the cutting blade with the Y direction as a rotation axis. Cutting means having a spindle to be rotated and a flange for supporting a cutting blade at the end face of the spindle, a Z direction moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in the Z direction, a holding means and a cutting means, Y direction moving means for relatively moving the Y direction, X direction moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in the X direction, and a grinding wheel for grinding the end face of the flange Relates a cutting device having an end surface correction means for correcting the end face of the flange with the end surface modifying tool and a grinding wheel support member for supporting the grinding wheel, the end surface modifying jig holding surface of the holding table or The grindstone support member is disposed on the support surface of the rotation support unit, the grindstone support member is fixed to the upper surface of the plate member, and the end surface correcting means is disposed on the plate member and is disposed on the holding surface of the holding table or the support surface of the rotation support unit. A positioning unit for positioning the grindstone support member of the provided end surface correction jig with respect to the holding surface or the support surface, a storage unit for storing at least the relative positions of the end surface of the flange and the grinding grindstone in the X direction and the Z direction, Adjust the positional relationship between the end face of the flange and the grinding wheel at least in the X and Z directions by detecting the contact between the end face of the flange and the grinding wheel due to the relative movement of the flange and the grinding wheel in the Y direction. A control unit that determines an end surface correction start position in the Y direction by detecting that the end surface of the flange and the grinding wheel are brought into contact with each other in the Y direction after the flange end surface and the grinding wheel are in contact with each other; .
本発明は、制御部による制御の下で、切削手段を構成するフランジの端面と端面研削用の研削砥石との位置関係が3次元に認識されるため、フランジの端面と研削砥石との当接をオペレータが目視により確認したりする必要がなく、すべて自動で適切な端面修正作業を遂行することができる。 In the present invention, since the positional relationship between the end face of the flange constituting the cutting means and the grinding wheel for end face grinding is recognized three-dimensionally under the control of the control unit, the contact between the end face of the flange and the grinding wheel It is not necessary for the operator to visually confirm the above, and it is possible to automatically perform an appropriate end face correction operation.
図1に示す切削装置1は、保持手段2において保持された被加工物(ワーク)を2つの切削手段3a、3bが切削加工する装置である。なお、切削手段は、1つだけであってもよい。切削対象のワークは特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハ、ガリウム砒素等の半導体ウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるDAF(Die Attach Film)等の粘着部材、半導体製品のパッケージ、セラミックス、ガラス、サファイア(Al2O3)系の無機材料基板、LCDドライバ等の各種電子部品、さらには、ミクロンオーダーの加工位置精度が要求される各種加工材料が挙げられる。
A cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus in which two cutting means 3 a and 3 b cut a workpiece (workpiece) held by a
保持手段2は、ワークを保持する保持テーブル20と、鉛直方向であるZ方向を回転軸として保持テーブル20を回転させる回転支持部21と、ワークを外周側から固定するクランプ部22とを有している。保持テーブル20は、多孔質部材で形成され負圧によりワークを保持する吸引部200と吸引部200を囲繞する枠体201とを有し、吸引部200及び枠体201の上面は面一に形成された保持面20aとなっている。一方、回転支持部21は、保持テーブル20を所定角度回転させることができる。
The
2つの切削手段3a、3bは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。切削手段3a、3bは、保持手段2に保持されたワークを切削加工する切削ブレード30と、Z方向に直交する方向であるY方向を回転軸として切削ブレード30を回転させるスピンドル31とを有している。スピンドル31は、SUS等の金属によって形成され導電性を有している。
Since the two cutting means 3a and 3b are configured in the same manner, they will be described with common reference numerals. The cutting means 3a and 3b have a
保持手段2は、X方向移動手段4によって駆動されてZ方向及びY方向に直交するX方向)に移動可能となっている。X方向移動手段4は、X軸方向の回転軸を有するボールスクリュー40と、ボールスクリュー40と平行に配設されたガイドレール41と、ボールスクリュー40の一端に連結されたモータ42と、下部がガイドレール41に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー40に螺合する移動基台43とを備えており、モータ42によって駆動されたボールスクリュー40が回動することにより移動基台43がガイドレール41にガイドされてX方向に移動する構成となっている。
The
2つの切削手段3a、3bは、2つのZ方向移動手段5a、5bによってそれぞれ駆動されてZ方向に移動可能となっているとともに、2つのY方向移動手段6a、6bによってそれぞれ駆動されてY方向に移動可能となっている。 The two cutting means 3a and 3b are driven by the two Z-direction moving means 5a and 5b, respectively, and can be moved in the Z-direction, and are driven by the two Y-direction moving means 6a and 6b, respectively. It is possible to move to.
2つのZ方向移動手段5a、5bは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。Z方向移動手段5は、鉛直方向の回転軸を有するボールスクリュー50と、ボールスクリュー50と平行に配設されたガイドレール51と、ボールスクリュー50の一端に連結されたパルスモータ52と、側部がガイドレール51に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー50に螺合する昇降基台53とを備えており、パルスモータ52によって駆動されたボールスクリュー50が回動することにより昇降基台53がガイドレール51にガイドされてZ方向に移動し、昇降基台53に固定された切削手段3a、3bをZ方向に昇降させる構成となっている。
Since the two Z-
2つのY方向移動手段6a、6bは同様に構成されるため、共通の符号を付して説明する。Z方向移動手段6は、Y軸方向の回転軸を有するボールスクリュー60と、ボールスクリュー60と平行に配設されたガイドレール61と、ボールスクリュー60の一端に連結されたパルスモータ62と、側部がガイドレール61に摺接するとともに内部の図示しないナットがボールスクリュー60に螺合する移動基台63とを備えており、パルスモータ62によって駆動されたボールスクリュー60が回動することにより移動基台63がガイドレール61にガイドされてY軸方向に移動して切削手段3a、3bをY方向に移動させる構成となっている。
Since the two Y-
X方向移動手段4、Z方向移動手段5及びY方向移動手段6の動作は制御部10によって制御される。したがって、X方向移動手段4によって駆動される保持テーブル2のX方向の位置、Z方向移動手段5及びY方向移動手段6によって駆動される切削手段3a、3bのY方向及びZ方向の位置も、制御部10によって制御される。制御部10は、保持テーブル2及び切削手段3a、3bの制御に必要な位置情報を記憶部11に記憶させ、必要に応じてその記憶内容を読み出して制御に利用することができる。
The operations of the X direction moving means 4, the Z direction moving means 5 and the Y direction moving means 6 are controlled by the
切削手段3a、3bの切削ブレード30としては、例えば、図2に示すハブブレード32と図3に示すワッシャーブレード33という2種類のものがある。図2に示すハブブレード32は、スピンドル31に挿通させるための貫通孔が厚さ方向に形成されリング状に形成された基台320と、基台320の一面側の外周部に電着された切り刃321とから構成される。切り刃321は、例えば、ニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散して形成されている。一方、図3に示すワッシャーブレード33は、例えば、ニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散し極薄のリング状に形成された切り刃のみからなるブレードである。
As the
図2及び図3に示すように、切削手段3a、3bのスピンドル31にはフランジ34が装着される。フランジ34は、SUS等の金属によって形成され導電性を有しており、Y方向に突出するボス部340と、ボス部340から拡径する拡径部341とを備えている。ボス部340の先端部には雄ねじ340aが形成されている。また、拡径部341の周縁部には、ハブブレード32またはワッシャーブレード33を側方から支持する端面341aを有している。
As shown in FIGS. 2 and 3, a
図2に示すハブブレード32は、切り刃321がフランジ34の端面341aに当接するように挿入され、ナット36がボス部340に形成された雄ねじ340aに螺着されることによりフランジ34に固定される。フランジ34は、スピンドル31の先端部に形成された雌ねじ310にボルト35が螺着されることによりスピンドル31に固定される。
The
図3に示すワッシャーブレード33は、一方の面がフランジ34の端面341aに当接するように挿入され、フランジ34と同じ外径を有する着脱フランジ37をボス部340に挿入し、ナット36をボス部340に形成された雄ねじ340aに螺着することによりフランジ34に固定される。フランジ34は、スピンドル31の先端部に形成された雌ねじ310にボルト35が螺着されることによりスピンドル31に固定される。
The
図4に示すように、保持テーブル20の保持面20aには、複数の収容穴20bが形成されている。そして、保持面20に対しては、端面修正治具7を着脱可能となっている。
As shown in FIG. 4, the holding
端面修正治具7は、板部材70と、板部材70の下面から突出する複数の位置決めピン71と、板部材70の上面70aに固定された砥石支持部材72と、砥石支持部材72によって支持された研削砥石73とから構成されており、位置決めピン71を収容穴20bに挿入することにより、保持面20に対して一定の位置に位置決めされた状態で端面修正治具7を取り付けることができる。
The end
砥石支持部材72は、SUS等の金属によって形成され導電性を有している。研削砥石73も導電性を有しており、例えばホワイトアランダムやグリーンカーボランダム等の砥粒を樹脂と導電性材料との混合材で固めて構成される。研削砥石73は、砥粒を導電性樹脂材中に分散させ固めて構成してもよいし、超硬材によって形成してもよい。
The
回転支持部21の上面は、支持面210となっており、支持面210には、凹部211が形成されている。凹部211の底部には、吸引源22と連通し保持テーブル20を吸引保持するための吸引孔212が形成されている。また、凹部211の底部の中央部にはさらに凹部213が形成されており、凹部213の底部には、吸引源22と連通し保持テーブル20の吸引部200に負圧を作用させてワークを保持するための吸引孔214が形成されている。
The upper surface of the
図5に示すように、回転支持部21に保持テーブル20が保持されていない状態で、回転支持部21に対して端面修正治具7を直接固定してもよい。この場合は、図5に示すように、回転支持部21の支持面210に収容穴210aを位置決めピン71と同数形成しておくことにより、収容穴210aに位置決めピン71を収容し、支持面210に対する端面修正治具7の位置決めを行うことができる。この場合においても、端面修正治具7は、回転支持部21に支持された状態で回転可能となっている。
As shown in FIG. 5, the end
図6に示すように、砥石支持部材72は、導通検出部80、電源81及びスピンドル31と直列に接続されている。導通検出部80は、例えば電流計により構成される。また、導通検出部80における検出結果は、制御部10において読み出すことができ、制御部10では、検出結果に応じた処理を行うことができる。なお、図6においては、スピンドル31に切削ブレード30が装着されていない状態を示している。
As shown in FIG. 6, the
このように構成される切削装置1では、図2及び図3に示したフランジ34の端面341aとハブブレード32の切り刃321またはワッシャーブレード33とを密着させるとともに、フランジ34の端面341aとスピンドル31の軸線とを直角とするために、端面341aの研削による端面修正を行う。かかる研削には、端面修正治具7を構成する研削砥石73を用いることができる。
In the cutting apparatus 1 configured as described above, the
フランジ34の端面341aを研削するにあたり、まず、図4及び図5に示した端面修正治具7を、保持テーブル20または回転支持部21に装着する。
In grinding the
端面修正治具7は、図4に示したように、位置決めピン71を収容穴20bまたは収容穴210aに挿入することで保持テーブル20に対して位置決めされた状態で載置される。そして、吸引源22からの吸引力を吸引部200に作用させることにより吸引保持される。
As shown in FIG. 4, the end
フランジ341の端面341aの研削を開始する前に、制御部10は、例えば図7に示すように、端面341aの下端と研削砥石73のX方向の中心との距離X0、及び、端面341aの下端と研削砥石73のZ方向の下端との距離Z0とを端面341aと研削砥石73との相対位置に関する情報として記憶部11に記憶している。なお、端面341aと研削砥石73とのX方向及びZ方向の相対的な位置関係に加えて、端面341aと研削砥石73とのY方向の相対的な位置関係を記憶部11に記憶させてもよい。
Before starting the grinding of the
次いで、かかる位置関係を利用して、フランジ341と研削砥石73とを相対的にX方向及びZ方向に移動させることにより、フランジ341の端面341aと研削砥石73とのX方向及びZ方向の位置合わせを行う。具体的には、制御部10による制御の下で、図1に示したZ方向移動手段5aまたは5bが切削手段3aまたは3bをZ方向にZ0だけ移動させるとともに、図1に示したX方向移動手段4が、保持手段2をX0だけ移動させる。かかる移動により、フランジ341の端面の下端と研削砥石73とのX方向及びZ方向の位置合わせが正確に行われる。
Next, by using the positional relationship, the
こうしてフランジ341の端面341aと研削砥石73とのX方向及びZ方向の位置合わせが行われた後、切削手段3aまたは切削手段3bと端面修正治具7とをY方向に相対移動させ、図8に示すように、フランジ341の端面341aの下端と研削砥石73とを当接させる。本実施形態では、切削手段3aまたは切削手段3bをY方向移動手段6aまたはY方向移動手段6bの駆動によりフランジ341を研削砥石73に接近させることにより端面341aの下端と研削砥石73とを当接させる。ここで、端面341aと研削砥石73とのY方向の相対的な位置関係を記憶部11に記憶させておいた場合は、制御部10がそのY方向の相対的な位置関係を記憶部11から読み出し、フランジ341の端面341aと研削砥石73とが接触する付近まではその位置関係情報を利用して高速でY方向にフランジ341を移動させ、その後の微調整は低速でY方向にフランジ341を移動させて接触検出を行うことで、フランジ341の端面341aと研削砥石73とが接触するまでの時間を短縮することができる。
After the
端面341aと研削砥石73とが当接すると、閉回路8が形成され、導通検出部80によってフランジ341と研削砥石73とが接触したことが検知される。制御部10は、フランジ341と研削砥石73とが接触したことを確認すると、直ちにY方向移動手段6aまたはY方向移動手段6bによる切削手段3aまたは切削手段3bのY方向への移動を停止させる。このときの接触位置が、Y方向の端面修正開始位置となる。
When the
次に、端面341aの下端と研削砥石73とが当接した図9(A)に示す状態から、フランジ341と研削砥石73とを相対的にZ方向に移動させることにより、図9(B)に示すように、研削砥石73をフランジ341との関係でZ方向の所定位置に位置決めする。そして、その状態から保持手段2をX方向に移動させることにより、図9(C)に示すように、研削砥石73をフランジ341との関係でX方向の所定位置に位置決めする。
Next, by moving the
こうして研削砥石73の位置がフランジ341の端面341aとの関係で所定位置に位置決めされた後、図10に示すように、スピンドル31の回転によりフランジ341を矢印A方向に回転させながら、保持手段2の研削砥石73をX方向に複数回往復移動させることにより、フランジ341の端面341aを研削する。また、フランジ341をY方向に所定距離ずつインデックス送りし、同様の研削を行う。そうすると、端面341aが平坦化されるとともに、スピンドル31の軸線と端面341aとが直角となる。
Thus, after the position of the
以上のようにして、位置決めピン(位置決め部)71により保持手段2に対する端面修正治具7の位置決めが行われ、その位置決め状態における研削砥石73とフランジ341とのX方向及びZ方向の相対位置が記憶部11に記憶され、導通検出部(検出部)80によってフランジ341の端面341aと研削砥石73との接触が検出され、制御部10によって研削砥石73とフランジ341とのX方向及びZ方向の相対位置が調整された後に、フランジ341の端面341aと研削砥石73との接触が認識されY方向の端面修正開始位置が認識されるため、位置決め部71と記憶部11と検出部80と制御部10とで端面修正手段が構成される。
As described above, the end
フランジ341の端面341aと研削砥石73とのと位置決め及び研削作業は、すべて制御部10による制御の下で位置関係が認識された状態で正確に行われるため、端面341aの適切な位置に研削砥石73を接触させることができる。また、研削砥石73を端面341aに必要以上に押し当ててしまうことがないため端面341aに傷をつけることがなく、端面341aに対して押し当てる力が足りないために研削に時間がかかりすぎるといった問題も生じない。
Since the positioning and grinding operations between the
図1に示した切削装置1のように、2つの切削手段を有している装置においては、片方の切削手段のフランジの端面を研削して修正した後、端面修正治具7を180度回転させることにより、他方のフランジについても同様に端面を研削することができる。その場合も、制御部10が同様の制御を行うことができる。また、端面修正治具に、互いに背を向けた状態で配設された2つの研削砥石を備える場合は、2つの切削手段のそれぞれのフランジの端面を同時に研削することができる。
In an apparatus having two cutting means such as the cutting apparatus 1 shown in FIG. 1, the end
さらに、図11に示す端面修正治具9のように、円形の板部材90の上面に円弧状に複数の砥石支持部材91を配置し、各砥石支持部材91から外周側に向けて径方向に突出した研削砥石92を配設すれば、複数のフランジの端面を同時に研削することができ、さらに、特定の研削砥石92に摩耗や目詰まりが生じた場合には、板部材90を回転させることにより、摩耗や目詰まりのない別の研削砥石を用いた研削をすぐに開始することができる。
Further, as in the end
本実施形態では、保持手段2がX方向に移動する構成としたが、切削手段3a、3bがX方向に移動することにより、保持手段2と切削手段3a、3bとのX方向の相対移動が実現される構成としてもよい。また、本実施形態では、切削手段3a、3bがY方向に移動する構成としたが、保持手段2がY方向に移動することにより保持手段2と切削手段3a、3bとのY方向の相対移動が実現される構成としてもよい。さらに、本実施形態では、切削手段3a、3bがZ方向に移動する構成としたが、保持手段2がZ方向に移動することにより保持手段2と切削手段3a、3bとのZ方向の相対移動が実現される構成としてもよい。
In the present embodiment, the holding
1:切削装置
2:保持手段
20:保持テーブル 20a:保持面 20b:収容穴 200:吸引部 201:枠体
21:回転支持部 210:支持面 210a:収容穴
211:凹部 212:吸引孔 213:凹部
214:吸引孔
22:クランプ部
3a、3b:切削手段
30:切削ブレード 31:スピンドル 310:雄ねじ
32:ハブブレード 320:基台 321:切り刃
33:ワッシャーブレード
34:フランジ 340:ボス部 340a:雄ねじ
341:拡径部 341a:端面
35:ボルト 36:ナット
4:X方向移動手段
40:ボールスクリュー 41:ガイドレール 42:モータ 43:移動基台
5a、5b:Z方向移動手段
50:ボールスクリュー 51:ガイドレール 52:パルスモータ 53:昇降基台
6a、6b:Y方向移動手段
60:ボールスクリュー 61:ガイドレール 62:パルスモータ 63:移動基台
7:端面修正治具 70:板部材 70a:上面 71:位置決めピン(位置決め部)
72:砥石支持部材 73:研削砥石
8:閉回路 80:導通検出部(検出部) 81:電源
9:端面修正治具 90:板部材 91:砥石支持部材 92:研削砥石
10:制御部 11:記憶部
1: Cutting device 2: Holding means 20: Holding table 20a: Holding
72: Grinding wheel support member 73: Grinding wheel 8: Closed circuit 80: Conduction detection unit (detection unit) 81: Power supply 9: End face correction jig 90: Plate member 91: Grinding wheel support member 92: Grinding wheel 10: Control unit 11: Memory
Claims (1)
ワークを保持する保持面を有する保持テーブルと、支持面を有し該保持テーブルを該Z方向を回転軸として回転させる回転支持部と、を有する保持手段と、
該保持手段に保持されたワークを切削加工する切削ブレードと、該切削ブレードを該Y方向を回転軸として回転させるスピンドルと、該スピンドルの先端に該切削ブレードを端面で支持するフランジと、を有する切削手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Z方向に相対的に移動させるZ方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該Y方向に相対的に移動させるY方向移動手段と、
該保持手段と該切削手段とを該X方向に相対的に移動させるX方向移動手段と、
該フランジの該端面を研削する研削砥石と、該研削砥石を支持する砥石支持部材と、を有する端面修正治具を用いて該フランジの該端面を修正する端面修正手段と、
を有する切削装置であって、
該端面修正治具は、該保持テーブルの該保持面又は該回転支持部の該支持面上に配設され、該砥石支持部材が板部材の上面に固定され、
該端面修正手段は、
該板部材に配設され、該保持テーブルの該保持面又は該回転支持部の該支持面に配設される該端面修正治具の該砥石支持部材を該保持面又は該支持面に対して位置決めする位置決め部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の相対位置を記憶する記憶部と、
該フランジと該研削砥石とのY方向の相対的移動による該フランジの該端面と該研削砥石との接触を検出する検出部と、
該フランジの該端面と該研削砥石との少なくともX方向及びZ方向の位置関係を調整した後に、該フランジの該端面と該研削砥石とを互いにY方向に接近させて該フランジの該端面と該研削砥石とが接触したことを該検出部が検出することによって該Y方向の端面修正開始位置を決定する制御部と、
を有する切削装置。 When the vertical direction is the Z direction, the direction orthogonal to the Z direction is the Y direction, and the Z direction and the direction orthogonal to the Y direction are the X direction,
Holding means having a holding table having a holding surface for holding a workpiece, and a rotation support portion having a support surface and rotating the holding table around the Z direction as a rotation axis;
A cutting blade for cutting the work held by the holding means; a spindle for rotating the cutting blade around the Y direction as a rotation axis; and a flange for supporting the cutting blade at an end surface at the tip of the spindle. Cutting means;
Z-direction moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in the Z direction;
Y-direction moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in the Y direction;
An X direction moving means for relatively moving the holding means and the cutting means in the X direction;
End face correcting means for correcting the end face of the flange using an end face correcting jig having a grinding wheel for grinding the end face of the flange and a grinding wheel support member for supporting the grinding wheel;
A cutting device comprising:
The end surface correction jig is disposed on the holding surface of the holding table or the support surface of the rotation support portion, and the grindstone support member is fixed to the upper surface of the plate member,
The end face correcting means includes
The grindstone support member of the end face correction jig disposed on the plate member and disposed on the holding surface of the holding table or the support surface of the rotation support portion is disposed on the holding surface or the support surface. A positioning part for positioning;
A storage unit that stores relative positions of at least the X direction and the Z direction between the end face of the flange and the grinding wheel;
A detection unit for detecting contact between the end face of the flange and the grinding wheel due to relative movement in the Y direction between the flange and the grinding wheel;
After adjusting the positional relationship between the end surface of the flange and the grinding wheel in at least the X direction and the Z direction, the end surface of the flange and the grinding wheel are moved closer to each other in the Y direction to thereby adjust the end surface of the flange and the grinding wheel. A control unit that determines an end face correction start position in the Y direction by detecting that the grinding wheel has come into contact;
Cutting device having
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