JP5607765B2 - 小型圧電音叉共振器 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 特定の支持体(60)に設置される、共通の面内に配置された第1および第2の平坦な音叉形状部分を含む圧電音叉共振器(21)であって、前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分はそれぞれ、内側の振動アーム(25a、25b)と、外側の振動アーム(23a、23b)と、交差部(27a、27b)を含んでおり、前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分それぞれの前記内側および前記外側の振動アームは、前記交差部から互いに対してほぼ平行に延び、前記内側および前記外側の振動アームを逆相に振動させるように構成された電極を担持しており、前記電極が接続パッド(51、52)に接続された前記圧電音叉共振器(21)において、
連結部(29)を介して前記支持体に設置されるように意図されており、前記連結部は、前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分の前記内側の振動アーム(25a、25b)の先端を接続するように配置されることで、前記第1の平坦な音叉形状部分と前記第2の平坦な音叉形状部分を併せて連結し、
前記外側の振動アーム(23a、23b)は、前記連結部を超えて延在するフリッパー(37、39)で終わっており、前記フリッパーの幅は、前記外側の振動アームの幅よりも大きく、前記フリッパーの横方向の端部が、前記外側の振動アームの端部と一直線になっており、
前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分が担持する前記電極は、前記連結部を介して相互に接続されることで、前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分の前記外側の振動アームを逆相に振動させることを特徴とする圧電音叉共振器。 - 前記内側および前記外側の振動アームはそれぞれ、上方の主要な面と、下方の主要な面と、前記上方の主要な面と前記下方の主要な面の間に延在する2つの側面を有しており、前記電極は、前記内側および前記外側の振動アームの前記上方および前記下方の主要な面に配置された中央電極と、前記内側および前記外側の振動アームの側部に配置された側面電極であり、前記第1の平坦な音叉形状部分の前記外側の振動アーム(23a)に配置された前記中央電極は、前記第1の平坦な音叉形状部分の前記内側の振動アーム(25a)に配置された前記側面電極と、前記第2の平坦な音叉形状部分の前記内側の振動アーム(25b)に配置された前記中央電極と、前記第2の平坦な音叉形状部分の前記外側の振動アーム(23b)に配置された前記側面電極に接続され、前記第2の平坦な音叉形状部分の前記外側の振動アーム(23b)に配置された中央電極は、前記第2の平坦な音叉形状部分の前記内側の振動アーム(25b)に配置された前記側面電極と、前記第1の平坦な音叉形状部分の前記内側の振動アーム(25a)に配置された前記中央電極と、前記第1の平坦な音叉形状部分の前記外側の振動アーム(23a)に配置された前記側面電極に接続される請求項1に記載の圧電音叉共振器。
- 前記第1および前記第2の平坦な音叉形状部分は、対称的かつ互いに対して平行に配置される、請求項1に記載の圧電音叉共振器。
- 単一の水晶結晶板から作製される、請求項1に記載の圧電音叉共振器。
- 少なくとも1つの溝 (33a, 33b, 35a, 35b)は、各々の振動アームの前記上方および前記下方の主要な面の少なくとも1つに形成される、請求項2に記載の圧電音叉共振器。
- 前記溝の深さは、深さ方向で前記振動アームの厚みの15%から50%である、請求項5に記載の圧電音叉共振器。
- 前記連結部(29)に装着される中央アーム(31)は、前記内側の振動アーム(25a、25b)の間にこれらのアームから等距離に位置する、請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電音叉共振器。
- 前記接続パッド(51、52)は前記中央アーム(31)に担持される、請求項7に記載の圧電音叉共振器。
- 前記中央アーム(31)は、前記内側および前記外側の振動アームの少なくとも2倍の幅である、請求項8に記載の圧電音叉共振器。
- 前記圧電音叉共振器を前記支持体(60)へ設置することは、前記接続パッド(51、52)を前記支持体の頂部面に形成された各々の導電スタッド(64、66)に対して半田付けまたは接着することによって実現される、請求項9に記載の圧電音叉共振器。
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