JP5606270B2 - 力覚センサ - Google Patents
力覚センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5606270B2 JP5606270B2 JP2010242171A JP2010242171A JP5606270B2 JP 5606270 B2 JP5606270 B2 JP 5606270B2 JP 2010242171 A JP2010242171 A JP 2010242171A JP 2010242171 A JP2010242171 A JP 2010242171A JP 5606270 B2 JP5606270 B2 JP 5606270B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- displacement
- detection
- intermediate body
- body portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
2 本体下部
3 本体上部
4 上蓋
5 中間体下部
6 中間体上部
9a、9b、9c、10a、10b、10c 弾性連結部
13、24 センサ基板
14a、14b、14c、15a、15b、15c 検出電極
16a、16b、16c、17a、17b、17c 対象電極
22a、22b、22c 変位方向変換部材
33a、33b、33c、34a、34b、34c 受光素子
Claims (1)
- 基台に取付けられる第1の本体部と、
外力がかかる荷重導入部を構成する第2の本体部と、
前記第1の本体部と前記第2の本体部の間に配置された中間体と、
前記中間体と前記第1の本体部とをX方向およびY方向に相対変位自在に連結する第1の弾性連結部と、
前記中間体と前記第2の本体部とをZ方向に相対変位自在に連結する第2の弾性連結部と、
前記第1の本体部に対する、前記中間体または前記第2の本体部のX方向およびY方向の相対変位を検出する第1の変位検出手段と、
前記中間体に対する前記第2の本体部のZ方向の相対変位を検出する第2の変位検出手段と、
前記中間体に配設され、前記第1および前記第2の変位検出手段を搭載するセンサ基板と、
前記Z方向の相対変位をX方向およびY方向の相対変位に変換して検出するための変位方向変換手段と、を有することを特徴とする力覚センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010242171A JP5606270B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 力覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010242171A JP5606270B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 力覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012093291A JP2012093291A (ja) | 2012-05-17 |
JP5606270B2 true JP5606270B2 (ja) | 2014-10-15 |
Family
ID=46386769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010242171A Active JP5606270B2 (ja) | 2010-10-28 | 2010-10-28 | 力覚センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5606270B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019207120A (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力センサ |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6501746B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2019-04-17 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置、ロボット、ロボットアーム及び物品の製造方法 |
US11287340B2 (en) * | 2018-07-02 | 2022-03-29 | Flexiv Ltd. | Multi-axis force and torque sensor and robot having the same |
WO2023074781A1 (ja) * | 2021-10-27 | 2023-05-04 | キヤノン株式会社 | センサ、機器、システム、物品の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH085482A (ja) * | 1994-06-15 | 1996-01-12 | S K S Kk | 静電容量式触覚センサ |
-
2010
- 2010-10-28 JP JP2010242171A patent/JP5606270B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019207120A (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | ファナック株式会社 | 変位検出方式の力センサ |
US11353372B2 (en) | 2018-05-28 | 2022-06-07 | Fanuc Corporation | Displacement detection type force sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012093291A (ja) | 2012-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5489538B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP5836633B2 (ja) | 力覚センサ及び組立ロボット | |
US20200240865A1 (en) | Force sensor and device provided with force sensor | |
JP5568768B2 (ja) | 力検出装置 | |
JP2015197357A (ja) | 光学式力角センサおよびこれを用いた装置 | |
JP2004354049A (ja) | 力検出装置 | |
US20240077372A1 (en) | Force sensor and robot equipped with force sensor | |
JP6673979B2 (ja) | 変位検出方式の力センサ | |
KR20150123227A (ko) | 힘 및 토크를 측정하기 위한 센서 조립체 및 방법 | |
JP5606270B2 (ja) | 力覚センサ | |
US20220283047A1 (en) | Force sensor | |
JP6940037B2 (ja) | 力覚センサ装置 | |
JP2019078561A5 (ja) | 力覚センサ及び装置 | |
JP5602582B2 (ja) | 力覚センサ | |
JP4249735B2 (ja) | 力センサ | |
JP5719521B2 (ja) | 3軸力センサ | |
JP6983713B2 (ja) | 光学式センサ、およびその光学式センサを備えた装置 | |
KR20230017187A (ko) | 힘 및 토크 변환기 | |
JP7013303B2 (ja) | 力覚センサ | |
KR20150065497A (ko) | 자체감지가 가능한 적응형 굽힘 구조체 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131009 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140729 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140826 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5606270 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |