JP5595842B2 - Electronic component mounting equipment - Google Patents

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Description

この発明は基板としての液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置に関する。   The present invention relates to an electronic component mounting apparatus for mounting a TCP (Tape Carrier Package) as an electronic component on a liquid crystal display panel as a substrate.

たとえば、基板としての液晶表示パネルを製造する場合、その液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（ＴＡＢ部品）を実装装置によって実装するということが行われる。上記ＴＣＰを液晶表示パネルに実装する場合、まず、一側部にＴＣＰが異方性導電テープによって仮圧着された液晶表示パネルを水平方向（Ｘ、Ｙ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に駆動される載置テーブルに供給載置する。   For example, when manufacturing a liquid crystal display panel as a substrate, TCP (TAB component) as an electronic component is mounted on the liquid crystal display panel by a mounting device. When mounting the TCP on a liquid crystal display panel, first, the liquid crystal display panel in which the TCP is temporarily bonded to one side by an anisotropic conductive tape is driven in the horizontal direction (X, Y direction) and the vertical direction (Z direction). To be mounted on the mounting table.

上記液晶表示パネルはＴＣＰが仮圧着された一側部を上記載置テーブルの側辺部から外方へ突出させて供給載置されるとともに、少なくともその一側部に対応する側辺部が上記載置テーブルの上面に形成された吸引部に生じる吸引力によって吸着保持される。   The liquid crystal display panel is supplied and mounted with one side part to which the TCP is temporarily pressure-bonded protruding outward from the side part of the mounting table, and at least the side part corresponding to the one side part is the upper side. It is sucked and held by the suction force generated in the suction part formed on the upper surface of the writing table.

ついで、上記載置テーブルはＴＣＰが仮圧着された上記液晶表示パネルの一側部がバックアップツールの上端面に載置されるよう上記液晶表示パネルを搬送位置決めした後、上記バックアップツールの上方に配置された実装ツールを下降させ、上記ＴＣＰを加圧加熱する。それによって、上記異方性導電テープが溶融して硬化するから、上記液晶パネルの側辺部の上面にＴＣＰが実装されることになる。   Next, the placement table is positioned above the backup tool after transporting and positioning the liquid crystal display panel so that one side of the liquid crystal display panel to which TCP is temporarily bonded is placed on the upper end surface of the backup tool. The mounted tool is lowered and the TCP is heated under pressure. As a result, the anisotropic conductive tape is melted and cured, so that the TCP is mounted on the upper surface of the side portion of the liquid crystal panel.

ところで、上記液晶表示パネルは厚さが１ｍｍ以下の非常に薄い２枚のガラス板を貼り合せて形成される。そのため、液晶表示パネルを上記載置テーブルの上面に形成された吸引部に生じる吸引力によって吸着保持するとき、上記載置テーブルの上面と液晶表示パネルとの間に塵埃が介在すると、その塵埃が微細であっても、液晶表示パネルのガラス板に局部的な応力を加えることになるから、その応力によって液晶表示パネルが損傷するということがある。   By the way, the liquid crystal display panel is formed by bonding two very thin glass plates having a thickness of 1 mm or less. Therefore, when the liquid crystal display panel is sucked and held by the suction force generated in the suction portion formed on the upper surface of the mounting table, if dust is interposed between the upper surface of the mounting table and the liquid crystal display panel, the dust is Even if it is fine, since a local stress is applied to the glass plate of the liquid crystal display panel, the liquid crystal display panel may be damaged by the stress.

そこで、従来は載置テーブルの上面に弾性部材を取付け、載置テーブルの上面と液晶表示パネルとの間に微細な塵埃が介在した場合、上記弾性部材が弾性変形することによって、上記液晶表示パネルのガラス板に局部的な応力が加わるのを緩和するということが行なわれていた。特許文献１には載置テーブルの上面に弾性部材を取付けることが示されている。   Therefore, conventionally, when an elastic member is attached to the upper surface of the mounting table and fine dust is interposed between the upper surface of the mounting table and the liquid crystal display panel, the elastic member is elastically deformed, whereby the liquid crystal display panel It has been practiced to alleviate the application of local stress to the glass plate. Patent Document 1 discloses that an elastic member is attached to the upper surface of the mounting table.

特開平５−１０９８２７号公報JP-A-5-109827

ところで、載置テーブルの上面に弾性部材が設けられていると、この載置テーブルの上面の吸着部に生じる吸引力で液晶表示パネルを吸着保持すると、その吸引力によって液晶表示パネルを介して弾性部材が圧縮変形するから、弾性部材とともに液晶表示パネルのＴＣＰが実装される側辺部も変形するということがある。   By the way, if an elastic member is provided on the upper surface of the mounting table, if the liquid crystal display panel is sucked and held by the suction force generated in the suction portion on the upper surface of the mounting table, the suction force causes the elastic elasticity through the liquid crystal display panel. Since the member is compressively deformed, the side portion where the TCP of the liquid crystal display panel is mounted may be deformed together with the elastic member.

しかも、液晶表示パネルの側辺部に実装ツールによってＴＣＰを仮圧着或いは本圧着するときにも、上記実装ツールによって上記液晶表示パネルの側辺部に加圧力が加えられると、その加圧力によって弾性部材が圧縮変形するから、この弾性部材とともに液晶表示パネルが変形するということがある。   In addition, even when the TCP is temporarily crimped or permanently crimped to the side portion of the liquid crystal display panel by the mounting tool, if the pressing force is applied to the side portion of the liquid crystal display panel by the mounting tool, the pressure is elastic. Since the member is compressively deformed, the liquid crystal display panel may be deformed together with the elastic member.

このように、液晶表示パネルの側辺部に実装ツールによってＴＣＰを仮圧着或いは本圧着するときに、液晶表示パネルの側辺部が変形すると、この側辺部に対するＴＣＰの実装精度が低下し、実装不良を招くということがある。   Thus, when TCP is temporarily crimped or permanently crimped to the side part of the liquid crystal display panel with the mounting tool, if the side part of the liquid crystal display panel is deformed, the mounting accuracy of the TCP with respect to the side part decreases, In some cases, mounting defects are caused.

この発明は、載置テーブルと基板との間に塵埃が介在しても、その塵埃によって基板に応力が加わって損傷するのを防止できるようにするとともに、基板が載置テーブルに吸着保持される際に基板が変形し、電子部品の実装精度が低下することながないようにした電子部品の実装装置を提供することにある。   According to the present invention, even if dust is interposed between the mounting table and the substrate, it is possible to prevent the substrate from being damaged by applying stress to the dust, and the substrate is sucked and held on the mounting table. It is an object of the present invention to provide an electronic component mounting apparatus in which the substrate is not deformed and the mounting accuracy of the electronic component is not lowered.

この発明は、平坦な上面を有し、この上面に基板が少なくとも一側部を突出させて載置される載置テーブルと、この載置テーブルの上面に形成され少なくとも上記基板の一側部の上記載置テーブルの上面に位置する部分を吸引力によって保持する吸引部と、上記載置テーブルの上面に保持されこの上面から突出した上記基板の一側部の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に電子部品を実装する加圧ツールとを有し、上記バックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に上記電子部品を上記加圧ツールで加圧することでこの電子部品を上記基板の一側部の上面に実装する電子部品の実装装置において、
上記載置テーブルに形成される上記吸引部は、上記載置テーブルの上面に形成されて吸引力が付与される矩形溝及びこの矩形溝の対向する一対の側辺に両端を連結させて設けられた複数の直線溝を有する側部吸引部が、上記載置テーブルの一側部に沿って複数設けられて構成され、
上記載置テーブルの上面の全体には、上記吸引部の吸引力を上記基板に作用させるとともに、上記載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けたことを特徴とする電子部品の実装装置にある。 The present invention has a flat upper surface on which a substrate is mounted with at least one side protruding, and at least one side of the substrate formed on the upper surface of the mounting table. a suction portion for holding a portion located on the upper surface of the upper the placement table by a suction force, a backup tool that supports the lower surface of one side of the substrate projecting from the upper surface is held on the upper surface of the mount table, the A pressure tool for mounting electronic components on the upper surface of one side of the substrate whose lower surface is supported by a backup tool, and the electronic device on the upper surface of one side of the substrate whose lower surface is supported by the backup tool. In the electronic component mounting apparatus for mounting the electronic component on the upper surface of one side portion of the substrate by pressing the component with the pressing tool,
The suction part formed on the mounting table is provided by connecting both ends to a rectangular groove formed on the upper surface of the mounting table to which a suction force is applied and a pair of opposite sides of the rectangular groove. A plurality of side suction portions having a plurality of linear grooves are provided along one side portion of the placement table,
The entire upper surface of the mounting table is provided with a suction force of the suction unit causes to act on the substrate, a porous sheet having a large number of small holes are formed to form a recess on the entire upper surface of the upper the placement table The electronic component mounting apparatus is characterized by the above.

この発明によれば、載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けるようにしたから、載置テーブルと基板との間に介在する塵埃は小孔によって形成された凹部内に入り込むから、上記多孔性シートに弾性を持たせなくとも、塵埃が基板に応力を加えて損傷させるということが防止される。   According to the present invention, since the porous sheet in which a large number of small holes for forming the recesses are formed on the entire upper surface of the mounting table is provided, the dust interposed between the mounting table and the substrate is small holes. Therefore, even if the porous sheet is not made elastic, it is possible to prevent dust from applying stress to the substrate and damaging it.

しかも、多孔性シートに形成された小孔によって載置テーブルの吸引部で生じる吸引力を基板に確実に作用させることができるから、吸引力による基板の保持状態が損なわれるということもない。   In addition, since the suction force generated at the suction portion of the mounting table can be reliably applied to the substrate by the small holes formed in the porous sheet, the holding state of the substrate by the suction force is not impaired.

この発明の一実施の形態の実装装置の概略的構成を示す正面図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The front view which shows schematic structure of the mounting apparatus of one embodiment of this invention. 液晶表示パネルの斜視図。The perspective view of a liquid crystal display panel. 液晶表示パネルとＴＣＰに設けられた端子を示す斜視図。The perspective view which shows the terminal provided in the liquid crystal display panel and TCP. 上面に貼着された多孔性シートを破断して載置テーブルに設けられた側部吸引部と中央吸引部を示した平面図。The top view which showed the side part suction part and center suction part which fractured | ruptured the porous sheet stuck on the upper surface, and was provided in the mounting table. 載置テーブル側部吸引部が設けられた部分を拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands and shows the part in which the mounting table side part suction part was provided. 多孔性シートの一部を拡大して示す平面図。The top view which expands and shows a part of porous sheet. 載置テーブルに貼着された多孔性シートの一部を拡大して示す断面図。Sectional drawing which expands and shows a part of porous sheet affixed on the mounting table.

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。   An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１は実装装置の概略的構成図を示し、この実装装置では、図２に示すガラス製の基板として液晶表示パネル４の一側部に、粘着性を有するテープ状の異方性導電部材５によって仮圧着された電子部品としてのＴＣＰ６が後述するように本圧着される。   FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of a mounting apparatus. In this mounting apparatus, a tape-like anisotropic conductive member 5 having adhesiveness on one side of a liquid crystal display panel 4 as a glass substrate shown in FIG. As described later, the TCP 6 as the electronic component temporarily bonded by the pressure bonding is finally bonded.

図３に示すように、上記液晶表示パネル４の一側部の上面には複数の第１のリード４ａが所定のピッチで設けられ、上記ＴＣＰ６の一端部の下面には上記第１のリード４ａが接続される複数の第２のリード６ａが設けられている。   As shown in FIG. 3, a plurality of first leads 4a are provided at a predetermined pitch on the upper surface of one side of the liquid crystal display panel 4, and the first lead 4a is disposed on the lower surface of one end of the TCP 6. Are provided with a plurality of second leads 6a.

そして、後述するように上記液晶表示パネル４の側辺部の下面をバックアップツール１７の上端面で支持して上記側辺部の上面に仮圧着された上記ＴＣＰ６を加圧ツール１５で加圧加熱して上記ＴＣＰ６が上記液晶表示パネル４に本圧着されるようになっている。   Then, as will be described later, the lower surface of the side portion of the liquid crystal display panel 4 is supported by the upper end surface of the backup tool 17 and the TCP 6 temporarily bonded to the upper surface of the side portion is pressurized and heated by the pressure tool 15. Then, the TCP 6 is finally pressure-bonded to the liquid crystal display panel 4.

図２に示すように、上記液晶表示パネル４は、一対のガラス板４ｂを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板４ｂの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｃ（一方のみ図示）が貼着されている。下側のガラス板４ｂの側辺部の上面には上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、仮圧着されてから後述するように本圧着される。   As shown in FIG. 2, the liquid crystal display panel 4 has a pair of glass plates 4b bonded to each other at a predetermined interval via a sealing agent (not shown), and liquid crystal is sealed between them, and each glass plate 4b A polarizing plate 4c (only one is shown) is stuck to the outer surface over the entire surface excluding the peripheral portion. The TCP 6 is temporarily pressure-bonded to the upper surface of the side portion of the lower glass plate 4b via the anisotropic conductive member 5, and is finally pressure-bonded as described later.

図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット１１及び後述する載置テーブル３７を水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び矢印で示す上下方向（Ｚ方向）に移動させる位置決めユニット１２を備えている。   As shown in FIG. 1, the mounting apparatus includes a crimping unit 11 as a pressurizing unit and a mounting table 37 to be described later in a horizontal direction (X and Y directions), a rotational direction (θ direction), and a vertical direction (Z The positioning unit 12 is moved in the direction).

上記圧着ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には実装手段としての加圧ツール１５がサーボモータなどの上下駆動源１６によって上下方向に対して駆動及び位置決め可能に設けられている。   The crimping unit 11 has a gantry 13, and a pressing tool 15 as a mounting means is driven in a vertical direction by a vertical driving source 16 such as a servo motor on a support portion 14 provided at the upper end of the gantry 13. It is provided so that it can be positioned.

上記加圧ツール１５には第１のヒータ１５ｂが内蔵され、この加圧ツール１５を数百度に加熱することができるようになっている。また、加圧ツール１５の下端面は加圧面１５ａに形成され、この加圧面１５ａの下方には後述する構成のバックアップツール１７が垂直に立設されている。このバックアップツール１７の上端部には第２のヒータ１７ｂが埋設されていて、その上端面は上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと平行な支持面１７ａとなっている。   The pressurizing tool 15 includes a first heater 15b so that the pressurizing tool 15 can be heated to several hundred degrees. Further, the lower end surface of the pressurizing tool 15 is formed on the pressurizing surface 15a, and a backup tool 17 having a configuration to be described later is erected vertically below the pressurizing surface 15a. A second heater 17 b is embedded in the upper end portion of the backup tool 17, and the upper end surface is a support surface 17 a parallel to the pressing surface 15 a of the pressing tool 15.

上記バックアップツール１７は液晶表示パネル４の側辺部の全長を支持できる長さを有し、上記加圧ツール１５は上記バックアップツール１７と対応する長さに設定されている。   The backup tool 17 has a length capable of supporting the entire length of the side portion of the liquid crystal display panel 4, and the pressure tool 15 is set to a length corresponding to the backup tool 17.

上記位置決めユニット１２は上記圧着ユニット１１の側方に配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ１８を有し、このＸステージ１８にはＸ駆動源１９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体２０が設けられている。   The positioning unit 12 is disposed on the side of the crimping unit 11. The positioning unit 12 includes an X stage 18, and the X stage 18 is provided with an X movable body 20 driven in the X direction by an X drive source 19.

なお、上記圧着ユニット１１のバックアップツール１７の長手方向と平行な方向である、図１の紙面に対して直交する方向をＸ方向とし、このＸ方向と交差する方向をＹ方向とする。Ｙ方向は図１に矢印で示す。したがって、上記加圧ツール１５と上記バックアップツール１７はＸ方向に対して長く形成されていることになる。   A direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1, which is a direction parallel to the longitudinal direction of the backup tool 17 of the crimping unit 11, is defined as an X direction, and a direction intersecting the X direction is defined as a Y direction. The Y direction is indicated by an arrow in FIG. Therefore, the pressurizing tool 15 and the backup tool 17 are formed long in the X direction.

上記加圧ツール１５の加圧面１５ａと、上記バックアップツール１７の支持面１７ａとの間には上記Ｘ方向に沿ってクッションシート２４が設けられている。このクッションシート２４はたとえばフッ素樹脂などの耐熱性を有する樹脂によって形成されている。   A cushion sheet 24 is provided along the X direction between the pressing surface 15 a of the pressing tool 15 and the support surface 17 a of the backup tool 17. The cushion sheet 24 is formed of a heat resistant resin such as a fluororesin.

上記クッションシート２４は、上記液晶表示パネル４に仮圧着されたＴＣＰ６を上記加圧ツール１５によって本圧着するときに、これらの間に介在して溶融した異方性導電部材５が上記加圧ツール１５の加圧面１５ａに付着するのを阻止する。   When the TCP 6 temporarily press-bonded to the liquid crystal display panel 4 is finally pressure-bonded by the pressure tool 15, the cushion sheet 24 is melted by being interposed between the anisotropic conductive members 5. The adhesion to the 15 pressure surfaces 15a is prevented.

なお、クッションシート２４は上記加圧ツール１５の長手方向一端側に配置された図示しない供給リールから繰り出され、使用された部分は長手方向他端側に配置された同じく図示しない巻き取りリールによって巻き取られるようになっている。   The cushion sheet 24 is fed out from a supply reel (not shown) arranged on one end side in the longitudinal direction of the pressure tool 15, and the used part is wound by a take-up reel (not shown) arranged on the other end side in the longitudinal direction. It has come to be taken.

上記Ｘ可動体２０の上面にはＹステージ２１が一体的に設けられている。このＹステージ２１の上面にはＹ可動体２２が設けられている。このＹ可動体２２はＹ駆動源２３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。   A Y stage 21 is integrally provided on the upper surface of the X movable body 20. A Y movable body 22 is provided on the upper surface of the Y stage 21. The Y movable body 22 is driven by a Y drive source 23 in the Y direction orthogonal to the X direction.

上記Ｙ可動体２２の上面には側面形状がクランク状の支持体２５が立設されている。この支持体２５の上端部の支持部２６と上記Ｙ可動体２２との間にはねじ軸２７とガイド軸２８とが軸線をＸ方向とＹ方向がなす平面に対して垂直にして設けられている。ねじ軸２７は回転可能に設けられ、ガイド軸２８は固定的に設けられている。   On the upper surface of the Y movable body 22, a support body 25 having a crank-shaped side surface is erected. A screw shaft 27 and a guide shaft 28 are provided between the support portion 26 at the upper end of the support body 25 and the Y movable body 22 so that the axis is perpendicular to the plane formed by the X and Y directions. Yes. The screw shaft 27 is rotatably provided, and the guide shaft 28 is fixedly provided.

上記ねじ軸２７にはＺ可動体２９が螺合され、このＺ可動体２９には上記ガイド軸２８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸２７を回転させれば、上記Ｚ可動体２９は回転することなく、上記ガイド軸２８に沿って上下動するようになっている。   A Z movable body 29 is screwed onto the screw shaft 27, and the guide shaft 28 is slidably inserted into the Z movable body 29. Therefore, if the screw shaft 27 is rotated, the Z movable body 29 moves up and down along the guide shaft 28 without rotating.

上記ねじ軸２７の上端部は上記支持部２６の上面から突出し、その突出端には従動歯車３０が嵌着されている。この従動歯車３０には駆動歯車３１が噛合している。この駆動歯車３１は上記支持体２５に設けられたＺ駆動源３２の駆動軸３２ａに固定されている。したがって、Ｚ駆動源３２が作動してその駆動軸３２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車３０、３１を介してねじ軸２７が回転されるから、上記Ｚ可動体２９が図１に矢印で示すＺ方向に駆動されることになる。   An upper end portion of the screw shaft 27 protrudes from the upper surface of the support portion 26, and a driven gear 30 is fitted to the protruding end. A driving gear 31 is engaged with the driven gear 30. The drive gear 31 is fixed to a drive shaft 32 a of a Z drive source 32 provided on the support 25. Therefore, when the Z drive source 32 is actuated and the drive shaft 32a rotates, the screw shaft 27 is rotated via the pair of meshed gears 30, 31, so that the Z movable body 29 is indicated by an arrow in FIG. It is driven in the Z direction shown.

上記Ｚ可動体２９にはＬ字状の取付け部材３４の一辺が固着されている。この取付け部材３４の水平となった他辺の下面にはθ駆動源３５が設けられ、上面にはθ駆動源３５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体３６が設けられている。   One side of an L-shaped attachment member 34 is fixed to the Z movable body 29. A θ drive source 35 is provided on the lower surface of the other side of the mounting member 34 that is horizontal, and a θ movable body 36 that is rotationally driven about the vertical axis by the θ drive source 35 is provided on the upper surface. .

上記θ可動体３６の上面には平面形状が矩形状の上記載置テーブル３７がその中央部をθ可動体３６の回転中心に一致させて設けられている。この載置テーブル３７の平坦に形成された上面３７ａには、後述するように上記液晶表示パネル４が吸着保持されるようになっている。   On the upper surface of the θ movable body 36, the above-described table 37 having a rectangular planar shape is provided with its center portion aligned with the center of rotation of the θ movable body 36. As will be described later, the liquid crystal display panel 4 is sucked and held on the flat upper surface 37a of the mounting table 37.

なお、液晶表示パネル４は、図１に示すように、ＴＣＰ６が仮圧着された側辺部を載置テーブル３７のＸ方向に沿う側縁から外方へ突出させた状態で上記載置テーブル３７上に保持される。   In addition, as shown in FIG. 1, the liquid crystal display panel 4 has the above-mentioned mounting table 37 in a state in which the side part to which the TCP 6 is temporarily bonded is protruded outward from the side edge along the X direction of the mounting table 37. Held on.

図４に示すように、上記載置テーブル３７の一側部の上面には、この一側部の長手方向に対して所定間隔で複数の側部吸引部、この実施の形態では上記一側部の長手方向中央部に第１の側部吸引部４１ａが設けられ、この側部吸引部４１ａを中心にして対称に第２乃至第７の側部吸引部４１ｂ〜４１ｇが形成されている。また、上記載置テーブル３７の中央部分には中央吸引部４２が形成されている。ここで、複数の側部吸引部の全てを示す番号を図５に示すように４１とする。   As shown in FIG. 4, the upper surface of one side portion of the placement table 37 has a plurality of side suction portions at a predetermined interval with respect to the longitudinal direction of the one side portion, and in this embodiment, the one side portion. The first side suction part 41a is provided at the central part in the longitudinal direction of the first and second side suction parts 41b to 41g symmetrically with respect to the side suction part 41a. A central suction portion 42 is formed at the central portion of the mounting table 37 described above. Here, the number indicating all of the plurality of side suction portions is 41 as shown in FIG.

なお、上記液晶表示パネル４は、上記載置テーブル３７の側部吸引部４１が形成された一側部から、ＴＣＰ６が実装される一側部を所定長さ突出させて載置される。   The liquid crystal display panel 4 is placed with one side portion on which the TCP 6 is mounted protruding from the one side portion where the side suction portion 41 of the placement table 37 is formed by a predetermined length.

図４と図５に示すように各側部吸引部４１は、載置テーブル３７の上面に形成された矩形溝４４ａ及びこの矩形溝４４ａの対向する一対の側辺に両端を連通させて設けられた複数の直線溝４４ｂを有する。   As shown in FIGS. 4 and 5, each side suction portion 41 is provided with a rectangular groove 44 a formed on the upper surface of the mounting table 37 and a pair of opposite sides of the rectangular groove 44 a that communicate with both ends. And a plurality of straight grooves 44b.

図５に示すように、複数の直線溝４４ｂの１つには吸引孔４５ａが一端を連通させて設けられている。この吸引孔４５ａの他端は上記載置テーブル３７の下面に開口し、この他端には吸引管４５の一端が接続されている。図４に示すように、各側部吸引部４１に接続された吸引管４５は開閉制御弁４６を介してヘッダー４７に接続されている。このヘッダー４７には吸引ポンプ４８が接続されている。   As shown in FIG. 5, a suction hole 45a is provided at one end of one of the plurality of linear grooves 44b. The other end of the suction hole 45a opens on the lower surface of the mounting table 37, and one end of the suction tube 45 is connected to the other end. As shown in FIG. 4, the suction pipe 45 connected to each side suction part 41 is connected to a header 47 via an opening / closing control valve 46. A suction pump 48 is connected to the header 47.

なお、第１の側部吸引部４１ａと、一対の第７の側部吸引部４１ｇは他の側部吸引部よりも大きな矩形溝４４ａを有し、第１の側部吸引部４１ａの矩形溝４４ａには直線溝４４ｂと交差する縦溝４４ｃが形成されていて、この縦溝４４ｃと直線溝４４ｂとの交点に吸引孔４５ａの一端が開口している。   The first side suction part 41a and the pair of seventh side suction parts 41g have a rectangular groove 44a larger than the other side suction parts, and the rectangular groove of the first side suction part 41a. A vertical groove 44c intersecting the straight groove 44b is formed in 44a, and one end of the suction hole 45a is opened at the intersection of the vertical groove 44c and the straight groove 44b.

上記中央吸引部４２は大きさの異なる３つの矩形溝５１ａが同心状に設けられ、これら矩形溝５１ａは直線状の複数の連通溝５１ｂによって連通している。１つの矩形溝５１ａと連通溝５１ｂとの交点に図示しない吸引孔が一端を連通させて形成されている。   The central suction portion 42 is provided with three rectangular grooves 51a having different sizes concentrically, and these rectangular grooves 51a communicate with each other by a plurality of linear communication grooves 51b. A suction hole (not shown) is formed at one intersection of one rectangular groove 51a and the communication groove 51b.

上記吸引孔の他端は載置テーブル３７の下面に開口していて、この他端には上記側部吸引部４１ａ〜４１ｇと同様、開閉制御弁を有する吸引管（ともに図示せず）によってヘッダー４７を介して吸引ポンプ４８に接続されている。   The other end of the suction hole is opened on the lower surface of the mounting table 37, and at the other end, like the side suction portions 41a to 41g, a header is provided by a suction pipe (both not shown) having an open / close control valve. A suction pump 48 is connected via 47.

第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇと吸引ポンプ４８を連通するそれぞれの吸引管４５に設けられた開閉制御弁４６の開閉を制御すれば、吸引ポンプ４８を作動させたときに吸引力が発生する側部吸引部４１ａ〜４１ｇを制御することができる。   If the opening / closing control valve 46 provided in each suction pipe 45 communicating with the first to seventh side suction parts 41a to 41g and the suction pump 48 is controlled, suction is performed when the suction pump 48 is operated. The side suction portions 41a to 41g where the force is generated can be controlled.

つまり、載置テーブル３７に供給載置される液晶表示パネル４の大きさが代わった場合、その大きさである、液晶表示パネル４の側辺部の長さに応じて吸引力が発生する側部吸引部４１ａ〜４１ｇを制御できる。それによって、液晶表示パネル４の側辺部によって覆われていない部分の側部吸引部に吸引力が生じないようになっている。   That is, when the size of the liquid crystal display panel 4 supplied and placed on the placement table 37 is changed, the suction force is generated according to the length of the side portion of the liquid crystal display panel 4 that is the size. The part suction parts 41a to 41g can be controlled. As a result, a suction force is not generated in the side suction portion of the portion not covered by the side portion of the liquid crystal display panel 4.

なお、上記圧着ユニット１１、位置決めユニット１２、開閉制御弁４６及び吸引ポンプ４８は図示しない制御装置によって駆動が制御されるようになっている。   The crimp unit 11, positioning unit 12, opening / closing control valve 46 and suction pump 48 are controlled by a control device (not shown).

図４と図５に示すように、上記載置テーブル３７の上面には樹脂又はゴムなどの材料で形成された多孔性シート５３が図７に示すように裏面に粘着材を塗布するなどして形成された粘着面５３ａを貼着して着脱可能に設けられている。   As shown in FIGS. 4 and 5, a porous sheet 53 formed of a material such as resin or rubber is applied to the upper surface of the mounting table 37, as shown in FIG. The formed adhesive surface 53a is attached to be detachable.

上記多孔性シート５３はたとえば厚さが１ｍｍ以下であって、厚さ方向に貫通する直径が数十μｍの多数の小孔５４が規則的、たとえば図６に示すように千鳥状に形成されている。上記小孔５４の直径は、所定間隔で形成された複数の側部吸引部４１ａ〜４１ｇの隣り合う矩形溝４４ａを跨ることのない大きさ以下に設定される。   The porous sheet 53 has a thickness of 1 mm or less, for example, and a large number of small holes 54 having a diameter of several tens of μm penetrating in the thickness direction are regularly formed, for example, in a staggered manner as shown in FIG. Yes. The diameter of the small hole 54 is set to a size that does not straddle the adjacent rectangular grooves 44a of the plurality of side suction portions 41a to 41g formed at a predetermined interval.

樹脂やゴムによって形成した多孔性シート５３の厚さを１ｍｍ以下とすることで、上記載置テーブル３７に液晶表示パネル４を吸着したとき、上記多孔性シート５３がほとんど弾性的に圧縮変形することがない。
なお、多孔性シート５３の厚さが１ｍｍ以上であっても、液晶表示パネル４を吸着したとき加わる圧縮力で弾性変形することのない材料で形成されていればよい。 By setting the thickness of the porous sheet 53 made of resin or rubber to 1 mm or less, when the liquid crystal display panel 4 is adsorbed to the mounting table 37, the porous sheet 53 is almost elastically compressed and deformed. There is no.
Even if the thickness of the porous sheet 53 is 1 mm or more, it may be formed of a material that is not elastically deformed by the compressive force applied when the liquid crystal display panel 4 is adsorbed.

しかも、多孔性シート５３に形成される小孔５４の直径を、隣り合う側部吸引部の矩形溝４４ａに跨ることのない大きさにした。
そのため、液晶表示パネル４の大きさに応じて、隣り合う一対の側部吸引部、たとえば第６の側部吸引部４１ｆと第７の側部吸引部４１ｇのうち、第６の側部吸引部４１ｆに吸引力を発生させ、第７の側部吸引部４１ｇに吸引力を生じさせないようにしたとき、第６の側部吸引部４１ｆに生じた吸引力が多孔性シート５３の小孔５４を通して吸引力を発生させない隣りの第７の側部吸引部４１ｇに作用するのが防止される。つまり、第６の側部吸引部４１ｆの吸引力が第７の側部吸引部４１ｇに漏れ、第６の側部吸引部４１ｆの吸引力が低下するのを防止できる。 And the diameter of the small hole 54 formed in the porous sheet 53 was made into the magnitude | size which does not straddle the rectangular groove | channel 44a of an adjacent side part suction part.
Therefore, according to the size of the liquid crystal display panel 4, among the pair of adjacent side suction portions, for example, the sixth side suction portion among the sixth side suction portion 41f and the seventh side suction portion 41g. When a suction force is generated in 41f and no suction force is generated in the seventh side suction portion 41g, the suction force generated in the sixth side suction portion 41f passes through the small holes 54 of the porous sheet 53. It is prevented from acting on the adjacent seventh side suction part 41g that does not generate a suction force. That is, it is possible to prevent the suction force of the sixth side suction part 41f from leaking to the seventh side suction part 41g and reducing the suction force of the sixth side suction part 41f.

上記多孔性シート５３を形成した樹脂やゴムなどの材料は電気抵抗が１０５ 〜１０１０オウム、つまり多孔性シート５３が帯電防止材としての性質をもつよう電気抵抗が設定されている。 The material such as resin or rubber forming the porous sheet 53 has an electric resistance of 10 5 to 10 10 ohms, that is, the electric resistance is set so that the porous sheet 53 has a property as an antistatic material.

そのため、載置テーブル３７に対して液晶表示パネル４の供給と取出しを繰り返して行なって摩擦されても、多孔性シート５３が帯電することがないから、帯電によって液晶表示パネル４に形成された回路パターンが損傷するのを防止することができる。   Therefore, even if the liquid crystal display panel 4 is repeatedly supplied to and removed from the mounting table 37 and rubbed, the porous sheet 53 will not be charged. Therefore, a circuit formed on the liquid crystal display panel 4 by charging. It is possible to prevent the pattern from being damaged.

上記構成の実装装置によれば、載置テーブル３７の上面には多数の小孔５４が穿設された多孔性シート５３が着脱可能に貼着されている。上記小孔５４は載置テーブル３７の上面に多孔性シート５３の厚さに応じた深さで多数の凹部を形成することになる。   According to the mounting apparatus having the above configuration, the porous sheet 53 having a large number of small holes 54 is detachably attached to the upper surface of the mounting table 37. The small holes 54 form a large number of recesses on the upper surface of the mounting table 37 with a depth corresponding to the thickness of the porous sheet 53.

そのため、載置テーブル３７の上面に、液晶表示パネル４を吸着保持するとき、たとえば液晶表示パネル４に付着した塵埃が載置テーブル３７の上面に落下するようなことがあっても、図７に示すように落下した塵埃Ｐのほとんどは載置テーブル３７の凹部である、小孔５４内に入り込むことになる。   Therefore, when the liquid crystal display panel 4 is sucked and held on the upper surface of the mounting table 37, for example, even if dust attached to the liquid crystal display panel 4 falls on the upper surface of the mounting table 37, FIG. As shown, most of the dropped dust P enters the small hole 54, which is a recess of the mounting table 37.

したがって、載置テーブル３７に形成された側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２に吸引力を生じさせて液晶表示パネル４を吸着保持したとき、載置テーブル３７に落下した塵埃Ｐが液晶表示パネル４に局部的な応力を与えて液晶表示パネル４を損傷させるのを防止することができるということがある。   Therefore, when the liquid crystal display panel 4 is sucked and held by causing suction to the side suction parts 41a to 41g and the central suction part 42 formed on the mounting table 37, the dust P that has fallen on the mounting table 37 is liquid crystal. It may be possible to prevent the liquid crystal display panel 4 from being damaged by applying a local stress to the display panel 4.

しかも、塵埃Ｐが小孔５４内に入り込むことで、液晶表示パネル４が載置テーブル３７の上面から浮き上がるのが防止されるから、側部吸引部４１ａ〜４１ｇや中央吸引部４２で発生する吸引力によって液晶表示パネル４が載置テーブル３７の上面に確実に吸着保持されるということもある。
In addition, since the dust P enters the small holes 54, the liquid crystal display panel 4 is prevented from floating from the upper surface of the mounting table 37. Therefore, suction generated by the side suction portions 41a to 41g and the central suction portion 42 is prevented. The liquid crystal display panel 4 may be reliably sucked and held on the upper surface of the mounting table 37 by the force.

上記載置テーブル３７と、この載置テーブル３７の上面に吸着保持される液晶表示パネル４との間に多孔性シート５３が介在することで、液晶表示パネル４の板面に、載置テーブル３７に形成された第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２が直接接触するのがない。それによって、液晶表示パネル４の板面に側部吸引部４１ａ〜４１ｇ及び中央吸引部４２の吸着痕が付着するのを防止することができる。   Since the porous sheet 53 is interposed between the mounting table 37 and the liquid crystal display panel 4 held by suction on the upper surface of the mounting table 37, the mounting table 37 is placed on the plate surface of the liquid crystal display panel 4. The first to seventh side suction parts 41a to 41g and the central suction part 42 formed in the above are not in direct contact with each other. Thereby, it is possible to prevent the suction marks of the side suction parts 41 a to 41 g and the central suction part 42 from adhering to the plate surface of the liquid crystal display panel 4.

上記多孔性シート５３はその粘着面５３ａによって上記載置テーブル３７の上面に対して着脱可能に貼着されている。そのため、上記多孔性シート５３が所定期間の使用によって傷んだならば、新たな多孔性シート５３への貼り代えを容易に行なうことができる。   The porous sheet 53 is detachably attached to the upper surface of the mounting table 37 by the adhesive surface 53a. Therefore, if the porous sheet 53 is damaged by use for a predetermined period, it can be easily attached to a new porous sheet 53.

上記多孔性シート５３は電気的に帯電防止材としての性質を有するため、上記載置テーブル３７に対する液晶表示パネル４の供給、搬出を繰り返して行なっても、その際の摩擦力で上記多孔性シート５３に帯電することがない。
そのため、上記多孔性シート５３が放電し、その放電によって載置テーブル３７に載置された液晶表示パネル４の回路パターンを損傷させるということがない。 Since the porous sheet 53 has a property as an antistatic material electrically, even if the liquid crystal display panel 4 is repeatedly supplied to and removed from the mounting table 37, the porous sheet 53 is subjected to the frictional force at that time. 53 is not charged.
Therefore, the porous sheet 53 is not discharged, and the discharge does not damage the circuit pattern of the liquid crystal display panel 4 placed on the placement table 37.

上記多孔性シート５３は圧縮変形することのない厚さ、たとえば１ｍｍ以下の厚さである。そのため、載置テーブル３７に載置された液晶表示パネル４を第１乃至第７の側部吸引部４１ａ〜４１ｇに生じる吸引力で吸着することで、上記多孔性シート５３が液晶表示パネル４によって押圧されても、多孔性シート５３は弾性的に圧縮変形するということがほとんどないから、液晶表示パネル４の側辺部が下方へ撓むということもない。   The porous sheet 53 has a thickness that does not compressively deform, for example, a thickness of 1 mm or less. Therefore, the porous sheet 53 is absorbed by the liquid crystal display panel 4 by adsorbing the liquid crystal display panel 4 placed on the placement table 37 with the suction force generated in the first to seventh side suction portions 41a to 41g. Even if pressed, the porous sheet 53 hardly elastically compresses and deforms, so that the side portion of the liquid crystal display panel 4 is not bent downward.

したがって、液晶表示パネル４の側辺部にＴＣＰ６を本圧着するとき、液晶表示パネル４の側辺部が下方へ撓むことで、ＴＣＰ６の実装精度が低下するのを防止することができる。   Therefore, when the TCP 6 is finally pressure-bonded to the side portion of the liquid crystal display panel 4, it is possible to prevent the mounting accuracy of the TCP 6 from being lowered because the side portion of the liquid crystal display panel 4 is bent downward.

つまり、液晶表示パネル４を、載置テーブル３７の上面との間に介在する塵埃によって損傷させることなく、しかも側辺部を撓ませることなく、載置テーブル３７の上面に吸着保持することができるから、その側辺部に対するＴＣＰ６の実装精度を向上させることができる。   That is, the liquid crystal display panel 4 can be sucked and held on the upper surface of the mounting table 37 without being damaged by dust interposed between the upper surface of the mounting table 37 and without bending the side portion. Therefore, it is possible to improve the mounting accuracy of the TCP 6 on the side portion.

上記一実施の形態では載置テーブルの側辺部に複数の側部吸引部を形成し、各吸引部に生じる吸引力を別々に制御できるようにしたが、載置テーブルに供給される液晶表示パネルのサイズが一定であれば、載置テーブルの側辺部には１つの側部吸引部をその側辺部のほぼ全長にわたって形成するようにしてもよい。   In the above embodiment, a plurality of side suction portions are formed on the side portions of the mounting table so that the suction force generated in each suction portion can be controlled separately, but the liquid crystal display supplied to the mounting table If the size of the panel is constant, one side suction portion may be formed on the side portion of the mounting table over almost the entire length of the side portion.

また、側部吸引部や中央吸引部の溝の形状はなんら限定されるものではない。
また、載置テーブルの上面に多孔性シートを貼着する代わりに、載置テーブルの上面に樹脂などの材料をコーティングして小孔を有する多孔性シートを設けるようにしてもよい。
Moreover, the shape of the groove | channel of a side part suction part or a center suction part is not limited at all.
Further, instead of sticking the porous sheet on the upper surface of the mounting table, a porous sheet having small holes may be provided by coating a material such as resin on the upper surface of the mounting table.

また、上記一実施の形態では液晶表示パネルの側辺部にＴＣＰを本圧着するときの例を挙げて説明したが、仮圧着するときであっても、適用することができる。   In the above-described embodiment, an example in which the TCP is permanently bonded to the side portion of the liquid crystal display panel has been described. However, the present invention can be applied even when temporarily bonded.

４…液晶表示パネル（基板）、６…ＴＣＰ（電子部品）、１７…バックアップツール、１５…加圧ツール（実装手段）、３７…載置テーブル、４１ａ〜４１ｇ…第１〜第７の側部吸引部、４２…中央吸引部、５３…多孔性シート、５４…小孔。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 ... Liquid crystal display panel (board | substrate), 6 ... TCP (electronic component), 17 ... Backup tool, 15 ... Pressurization tool (mounting means), 37 ... Mounting table, 41a-41g ... 1st-7th side part Suction part, 42 ... central suction part, 53 ... porous sheet, 54 ... small hole.

Claims (4)

平坦な上面を有し、この上面に基板が少なくとも一側部を突出させて載置される載置テーブルと、この載置テーブルの上面に形成され少なくとも上記基板の一側部の上記載置テーブルの上面に位置する部分を吸引力によって保持する吸引部と、上記載置テーブルの上面に保持されこの上面から突出した上記基板の一側部の下面を支持するバックアップツールと、このバックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に電子部品を実装する加圧ツールとを有し、上記バックアップツールによって下面が支持された上記基板の一側部の上面に上記電子部品を上記加圧ツールで加圧することでこの電子部品を上記基板の一側部の上面に実装する電子部品の実装装置において、
上記載置テーブルに形成される上記吸引部は、上記載置テーブルの上面に形成されて吸引力が付与される矩形溝及びこの矩形溝の対向する一対の側辺に両端を連結させて設けられた複数の直線溝を有する側部吸引部が、上記載置テーブルの一側部に沿って複数設けられて構成され、
上記載置テーブルの上面の全体には、上記吸引部の吸引力を上記基板に作用させるとともに、上記載置テーブルの上面全体に凹部を形成する多数の小孔が形成された多孔性シートを設けたことを特徴とする電子部品の実装装置。 A mounting table having a flat upper surface, on which the substrate is mounted with at least one side protruding, and a mounting table formed on the upper surface of the mounting table, at least on one side of the substrate a suction portion for holding a part positioned by the suction force to the upper surface of the backup tool that supports the lower surface of one side of the substrate projecting from the upper surface is held on the upper surface of the mount table, the lower surface by the backup tool A pressure tool for mounting an electronic component on the upper surface of one side of the substrate on which is supported, and the electronic component is added to the upper surface of the one side of the substrate whose lower surface is supported by the backup tool. In an electronic component mounting apparatus that mounts this electronic component on the upper surface of one side of the substrate by applying pressure with a pressure tool,
The suction part formed on the mounting table is provided by connecting both ends to a rectangular groove formed on the upper surface of the mounting table to which a suction force is applied and a pair of opposite sides of the rectangular groove. A plurality of side suction portions having a plurality of linear grooves are provided along one side portion of the placement table,
The entire upper surface of the mounting table is provided with a suction force of the suction unit causes to act on the substrate, a porous sheet having a large number of small holes are formed to form a recess on the entire upper surface of the upper the placement table mounting apparatus of electronic components, characterized in that the. 上記多孔性シートは、上記載置テーブルの上面に着脱可能に貼着されることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。 2. The electronic component mounting apparatus according to claim 1 , wherein the porous sheet is detachably attached to the upper surface of the mounting table. 上記多孔性シートに形成された小孔は、隣り合う上記側部吸引部の矩形溝を連通させることのない大きさであることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。 2. The electronic component mounting apparatus according to claim 1 , wherein the small holes formed in the porous sheet have a size that does not allow the rectangular grooves of the side suction portions adjacent to each other to communicate with each other. 上記多孔性シートは、上記吸引部が上記載置テーブルの上面に載置された基板を吸引力によって吸着したときに、上記基板に圧縮されて弾性変形することのない厚さまたは材料によって形成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。   The porous sheet is formed of a thickness or material that is not compressed and elastically deformed by the substrate when the suction unit adsorbs the substrate placed on the upper surface of the mounting table by suction. The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the electronic component mounting apparatus is an electronic component mounting apparatus.
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