JP5595805B2 - Laser equipment - Google Patents
Laser equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP5595805B2 JP5595805B2 JP2010146218A JP2010146218A JP5595805B2 JP 5595805 B2 JP5595805 B2 JP 5595805B2 JP 2010146218 A JP2010146218 A JP 2010146218A JP 2010146218 A JP2010146218 A JP 2010146218A JP 5595805 B2 JP5595805 B2 JP 5595805B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- power
- output
- control unit
- pulse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
本発明は、パルス状の種光を光増幅して当該光増幅後のパルスレーザ光を出力するレーザ装置に関するものである。 The present invention relates to a laser device that optically amplifies pulsed seed light and outputs pulse laser light after the light amplification.
種光源および光増幅部を備えるＭＯＰＡ（Master Oscillator PowerAmplifier）構成のレーザ装置は、種光源から出力される種光を光増幅部において光増幅し、その光増幅した光を出力するものである。 A laser apparatus having a MOPA (Master Oscillator Power Amplifier) configuration including a seed light source and an optical amplifying unit optically amplifies the seed light output from the seed light source in the optical amplifying unit, and outputs the light amplified light.
光増幅部としては、希土類元素（例えばＹｂ、Ｅｒ、Ｎｄ、Ｔｍ、Ｈｏ、Ｔｂなど）がコアに添加された光ファイバを光増幅媒体として含むものが好適に用いられる。希土類元素添加光ファイバが光増幅媒体として用いられる場合、励起光およびレーザ光が光ファイバ内に閉じ込められることから取り扱いが容易であり、また、熱放射性が良いことから、大規模な冷却設備を必要とすることがない等、多くの利点がある。 As the optical amplifying unit, an optical amplifying medium including an optical fiber in which a rare earth element (for example, Yb, Er, Nd, Tm, Ho, Tb, etc.) is added to the core is preferably used. When rare earth element-doped optical fiber is used as an optical amplification medium, it is easy to handle because excitation light and laser light are confined in the optical fiber, and because it has good thermal radiation, a large-scale cooling facility is required. There are many advantages.
光増幅媒体としての光ファイバに添加される希土類元素の中でもＹｂ（イットリビウム）は高い変換効率を有することから、ハイパワー用の増幅用光ファイバとしてＹｂ添加光ファイバが広く用いられている。他の希土類元素と同じくＹｂも励起光の供給を受けて励起され、吸収しきれなかった励起光は増幅用光ファイバの他端から出射される。 Among rare earth elements added to an optical fiber as an optical amplifying medium, Yb (yttrium) has a high conversion efficiency. Therefore, a Yb-doped optical fiber is widely used as an optical fiber for high power amplification. Like other rare earth elements, Yb is also excited by the supply of excitation light, and the excitation light that has not been absorbed is emitted from the other end of the amplification optical fiber.
特許文献１では、Ｆｉｇ．５において、励起光をパルス入力し、励起光のパルス光の終端に一致させて、個々の注入信号（種光）パルスの終端を一致させることが開示されている。注入信号（種光）の個々のパルスと励起光のパルスを個々に対応させている。なお、種光を、パルス発振からＣＷ発振に切り替えた時の、励起光出力の調整についての開示はない。 In Patent Document 1, FIG. 5, it is disclosed that the pumping light is pulsed and matched with the end of the pulsed light of the pumping light to match the end of each injection signal (seed light) pulse. Each pulse of the injection signal (seed light) and the pulse of the excitation light are individually associated with each other. There is no disclosure about adjustment of the pumping light output when the seed light is switched from pulse oscillation to CW oscillation.
ＭＯＰＡ構成のレーザ装置は、高出力・高品質のパルスレーザ光を得ることができるので、加工や医療などの用途において需要が高まっている。このような用途では、加工対象物において、連続繰り返しパルスのレーザ光を照射して加工すべき箇所と、レーザ光を照射せずに加工しない箇所とが存在する場合がある。そのような場合に、レーザ装置からのパルスレーザ光の出力を或る時刻で開始し他の或る時刻で終了することが必要となる。開始時刻と終了時刻は、決まっている提携作業もあれば、対象物を測定しながら、随時決める場合もある。いずれの場合でも、瞬時に変更可能であることが求められている。しかし、レーザ加工では、繰り返しパルスを連続的に照射している加工中に、レーザ照射状態を高速に切替えてレーザ加工できない状態にし、その後しばらくして、再度高速に切替えてレーザ加工できる状態に戻すことは、高速性が増すほど難しく、いろいろな方法が提案されている。 The MOPA-structured laser apparatus can obtain high-power and high-quality pulsed laser light, so that there is an increasing demand for applications such as processing and medical treatment. In such an application, there may be a part to be processed by irradiating a laser beam of a continuous repetitive pulse and a part not to be processed without irradiating the laser light. In such a case, it is necessary to start the output of the pulsed laser light from the laser device at a certain time and end it at another certain time. The start time and the end time may be determined at any time while measuring a target object in some tie-up operations. In any case, it is required to be instantly changeable. However, in laser processing, the laser irradiation state is switched to a high speed during processing that continuously irradiates a repetitive pulse so that laser processing cannot be performed. This is difficult as the speed increases, and various methods have been proposed.
発明者は、これを解決するためにＭＯＰＡ構成の光ファイバレーザ装置で種光源を直変制御で、繰り返し周波数の連続パルス光（以後、繰返しパルス光という）をパルス発振でレーザ光を照射して、加工を行う。加工の必要のない部分では、パルス発振を止め、ＣＷ発振とし、加工しない状態とする。ＣＷ発振と繰返しパルス光のパルス発振をすばやく切替えることで、加工と非加工の高速切り替えを可能にした。しかし、この方法では、パルス発振からＣＷ発振に切替えた時に、ＭＯＰＡを構成する増幅用光ファイバが破断するという現象が発生することがあるという新規な問題点を発見した。 In order to solve this problem, the inventor irradiates laser light by pulse oscillation of continuous pulsed light with a repetition frequency (hereinafter referred to as repetitive pulsed light) by direct change control of the seed light source with an optical fiber laser device of MOPA configuration. , Processing. In a portion where machining is not necessary, pulse oscillation is stopped and CW oscillation is set to a state where machining is not performed. Fast switching between machining and non-machining is possible by quickly switching between CW oscillation and pulse oscillation of repetitive pulsed light. However, in this method, a novel problem has been discovered that when the pulse oscillation is switched to the CW oscillation, the phenomenon that the amplification optical fiber constituting the MOPA may break may occur.
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、パルスレーザ光の出力の開始および終了を行う際に高速応答が可能であって光増幅媒体の破損を抑制することができるレーザ装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and is a laser capable of high-speed response when starting and ending the output of pulsed laser light and suppressing damage to the optical amplifying medium. An object is to provide an apparatus.
本発明のレーザ装置は、パルス光の種光を出力する種光源と、励起光をＣＷ光で出力する励起光源と、励起光と種光を入力して種光を増幅する光増幅部とを有するレーザ装置であって、種光源を繰返しパルス発振状態とＣＷ発振状態とに変調するパルス変調器と、光増幅部に入力する励起光パワーを調整する励起光パワー制御部と、パルス変調器の制御と励起光パワー制御部の制御のタイミングを制御する主制御部とを有し、励起光パワー制御部は、光増幅部において種光が繰返しパルス発振状態からＣＷ発振状態に切り替わるのに先立って、励起光パワーを繰返しパルス発振状態でのパワーから所定のパワーまで低下させ、光増幅部において種光がＣＷ発振状態から繰返しパルス発振状態に切り替わるのに先立って、励起光パワーを所定のパワーから元の繰返しパルス発振状態でのパワーに戻すことを特徴とする。 A laser apparatus according to the present invention includes a seed light source that outputs seed light of pulsed light, an excitation light source that outputs excitation light as CW light, and an optical amplifying unit that amplifies the seed light by inputting the excitation light and the seed light. A pulse modulator that modulates the seed light source into a repetitive pulse oscillation state and a CW oscillation state, a pumping light power control unit that adjusts pumping light power input to the optical amplification unit, and a pulse modulator And a main control unit that controls the timing of control of the pumping light power control unit , and the pumping light power control unit is configured to switch the seed light from the repeated pulse oscillation state to the CW oscillation state in the optical amplification unit. , the power in the pulse oscillation state repeatedly pumping light power predetermined power to reduce, seed light in the optical amplifier unit is prior to the switching from CW oscillation state in repetitive pulsed oscillation state, the pumping light power given And returning to the power of the original repetitive pulsed oscillation state from Wah.
本発明のレーザ装置では、励起光パワー制御部は、励起光源の出力パワーを直接制御することで、光増幅媒体に供給される励起光のパワーを増減するのが好適である。或いは、励起光源と光増幅部の間の光路上に可変光減衰器を有し、励起光パワー制御部は、可変光減衰器を制御することで、光増幅媒体に供給される励起光のパワーを増減するのも好適である。 In the laser apparatus of the present invention, it is preferable that the pumping light power control unit directly increases or decreases the power of the pumping light supplied to the optical amplification medium by directly controlling the output power of the pumping light source. Alternatively, a variable optical attenuator is provided on the optical path between the excitation light source and the optical amplification unit, and the excitation light power control unit controls the power of the excitation light supplied to the optical amplification medium by controlling the variable optical attenuator. It is also suitable to increase or decrease.
本発明のレーザ装置では、光増幅部において種光が繰返しパルス発振状態からＣＷ発振状態に切り替わる際の励起光の所定のパワーが、光増幅部が破壊しない閾値未満であることが好適である。
In the laser apparatus of the present invention, it is preferable that the predetermined power of the pumping light when the seed light is switched from the repetitive pulse oscillation state to the CW oscillation state in the optical amplification unit is less than a threshold value at which the optical amplification unit is not destroyed .
本発明のレーザ装置では、主制御部は、種光のＣＷ光の立上り部が光増幅部に入力する際に、所定パワーの励起光が入力されるように、タイミング差を調整するためのタイミング差調整部を含むのが好適である。 In the laser apparatus of the present invention, the main control unit adjusts the timing difference so that the pumping light having a predetermined power is input when the rising portion of the seed CW light is input to the optical amplifying unit. It is preferable to include a difference adjustment unit.
本発明のレーザ装置では、励起光パワーは、光増幅部において種光が繰返しパルス状態からＣＷ状態に切り替わる際の所定のパワーとした後に、連続パルス時のパワーとなるように段階的に設定されているのが好適である。また、本発明のレーザ装置では、主制御部が励起光パワー制御部を含むのが好適である。 In the laser apparatus of the present invention, the pumping light power is set in a stepwise manner so that it becomes the power at the time of continuous pulse after the seed light is changed to a predetermined power when the seed light is repeatedly switched from the pulse state to the CW state in the optical amplifying unit. It is suitable. In the laser apparatus of the present invention, it is preferable that the main control unit includes a pumping light power control unit.
本発明のレーザ装置は、パルスレーザ光の出力の開始および終了を行う際に高速応答が可能であって光増幅媒体の破損を抑制することができる。 The laser device of the present invention can respond at high speed when starting and ending the output of pulsed laser light, and can suppress damage to the optical amplification medium.
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same or equivalent elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図１は、比較例のレーザ装置１の構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１は、種光源１０、光増幅部２０、デリバリ光ファイバ３０およびパルス変調器４０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a laser device 1 of a comparative example. The laser device 1 shown in this figure includes a
種光源１０は、パルス状の種光を繰り返し出力するもので、例えばレーザダイオードの出力が直接変調されることでパルス状の種光を繰り返し出力することができる。種光源１０は、パルス変調器４０から与えられる出力開始指示を受けて種光の出力を開始し、また、パルス変調器４０から与えられる出力終了指示を受けて種光の出力を終了する。
The
光増幅部２０は、光増幅媒体としての増幅用光ファイバ２１および合波部（例えば、光カプラ）２３を含む。励起光源２２は励起光を出力する。合波部２３は、種光源１０から出力された種光を入力して増幅用光ファイバ２１へ出力するとともに、励起光源２２から出力された励起光を入力して増幅用光ファイバ２１へ供給する。増幅用光ファイバ２１は、この励起光により励起され、種光を光増幅して、その光増幅後のパルスレーザ光を出力する。
The
増幅用光ファイバ２１は、ダブルクラッド型の屈折率プロファイルを有するものであるのが好ましい。この場合、増幅用光ファイバ２１は、希土類元素が添加されるコア部と、このコア部を取り囲みコア部の屈折率より低い屈折率を有する第１クラッド部と、この第１クラッド部を取り囲み第１クラッド部の屈折率より低い屈折率を有する第２クラッド部とを有する。増幅用光ファイバ２１のコア部は種光をシングルモードで導波させ、コア部および第１クラッド部は励起光をマルチモードで導波させる。
The amplification
増幅用光ファイバ２１における励起光の吸収は、増幅用光ファイバ２１の特性（主に、モードフィールド径、第１クラッド部の外径、コア部の希土類元素添加濃度）により決定される。例えば、希土類元素としてＹｂがコア部に添加された増幅用光ファイバ（以下、ＹｂＤＦ）において、Ｙｂ添加濃度が約１００００ｐｐｍであり、モードフィールド径が約７μｍであり、第１クラッド部の外径が約１３０μｍであり、長さが５ｍであるとすると、励起光波長９１５ｎｍ帯で約２.４ｄＢの励起光が吸収される。なお、励起光波長は９４０ｎｍ帯または９７５ｎｍ帯であってもよい。尚、増幅用光ファイバは、ＹｂＤＦに限定されず、用途に応じて、他の希土類元素が添加された光ファイバを用いても良い。
Absorption of excitation light in the amplification
高利得を得るために複数の励起光源２２を含むのが好適であり、また、この場合には合波部２３として光コンバイナが用いられるのが好適である。また、レーザ装置１は、高出力を得るために、種光源１０と光増幅部２０との間に１段または複数段の中間光増幅部が設けられていてもよい。
In order to obtain a high gain, it is preferable to include a plurality of
デリバリ光ファイバ３０は、増幅用光ファイバ２１から出力されたパルスレーザ光を一端に入力して導波させ、そのパルスレーザ光を出射端３１から出力する。デリバリ光ファイバ３０は、コア部と、このコア部を取り囲みコア部の屈折率より低い屈折率を有するクラッド部とを有し、パルスレーザ光をシングルモードで導波させる。
The delivery
パルス変調器４０は、外部トリガ発生器２から外部トリガ（ＴＴＬ信号）を与えられる出力開始指示および出力終了指示を受け、これらの指示を種光源１０へ与えて、種光源１０からの種光の繰返しパルスが発振する期間の開始および終了を制御する。パルス変調器４０へ与えられる期間の開始指示および終了指示は、手動で与えられてもよいが、種光源１０において高速に出力の開始および終了を行うには、外部トリガ発生器２から与えられるのが好ましい。外部トリガ発生器２は例えば加工装置本体内または外に設けられたパーソナルコンピュータ等である。
The
図２は、比較例のレーザ装置１における各信号を示すタイミングチャートである。同図（ａ）は外部トリガ発生器２からレーザ装置１に与えられる外部トリガ電圧を示し、同図（ｂ）は外部トリガ電圧に基づいて種光源１０に与えられる種光トリガ電圧を示し、また、同図（ｃ）は励起光源２２に与えられる励起光源の駆動電流を示す。
FIG. 2 is a timing chart showing each signal in the laser device 1 of the comparative example. FIG. 6A shows an external trigger voltage applied from the
外部トリガ発生器２からレーザ装置１に与えられる外部トリガ電圧（同図（ａ））は、ローレベルＶ１offからハイレベルＶ１onに転じることで種光源１０の出力の開始を指示し、また、ハイレベルＶ１onからローレベルＶ１offに転じることで種光源１０の出力の終了を指示する。
The external trigger voltage ((a) in the figure) given from the
パルス変調器４０から種光源１０に与えられる種光トリガ電圧（同図（ｂ））は、外部トリガ発生器２からレーザ装置１に与えられる種光トリガ（同図（ａ））と同じタイミングでレベル変化し、ローレベルＶ２offからハイレベルＶ２onに転じることで種光源１０の出力の開始を指示し、また、ハイレベルＶ２onからローレベルＶ２offに転じることで種光源１０の出力の終了を指示する。励起光源２２に与えられる励起光源の駆動電流（同図（ｃ））は、常にハイレベルＩ１であり、励起光源２２の一定強度の励起光の出力の継続を指示している。
The seed light trigger voltage (FIG. (B)) given from the
種光源では、パルス変調器からのパルスパターンを受けてパルス動作にするか、ＣＷ動作にするか選択が可能である。種光源のＣＷ動作かパルス動作の挙動は、ＭＯＰＡの場合、最終のレーザ出力まで影響する。レーザ出力にて、ＣＷ動作及びパルス動作の相違点は、瞬間的な出力であり、ＣＷ動作では、連続波である為、常に一定の出力なのに対し、パルス動作では、1パルスの短い時間に集中させる為、ＣＷ出力の数千倍もの出力にすることができる。この特性を活かし、加工分野において、ＣＷ出力では加工できない加工を達成している。 In the seed light source, it is possible to select a pulse operation or a CW operation by receiving a pulse pattern from the pulse modulator. The behavior of the CW operation or pulse operation of the seed light source affects the final laser output in the case of MOPA. In laser output, the difference between CW operation and pulse operation is instantaneous output. In CW operation, since it is a continuous wave, the output is always constant, whereas in pulse operation, it concentrates on a short time of 1 pulse. Therefore, the output can be several thousand times the CW output. Utilizing this characteristic, in the processing field, processing that cannot be processed with CW output has been achieved.
種光源でのＣＷ動作とパルス動作の挙動を示したのが図３である。種光源は、ＣＷ発振後、所定の期間複数のパルス光を連続発振し、その後、ＣＷ発振に戻る動作を示している。ＣＷ発振の定常状態のパワーレベルは、パルス発振のピークレベルに合わせた出力に設定されている。これは、ＣＷ発振からパルス発振に切替えた際に、パルス発振のピークレベルを調整する作業を省くことになり、レーザ加工のＯｎ／Ｏｆｆを可能にしている。 FIG. 3 shows the behavior of the CW operation and the pulse operation with the seed light source. The seed light source shows an operation of continuously oscillating a plurality of pulse lights for a predetermined period after CW oscillation and then returning to CW oscillation. The power level in the steady state of CW oscillation is set to an output that matches the peak level of pulse oscillation. This eliminates the work of adjusting the peak level of pulse oscillation when switching from CW oscillation to pulse oscillation, and enables laser processing On / Off.
種光出力は、徐々に出力パワーをＣＷ発振の定常状態レベルに回復させている。なお、ＹｂＤＦの出力波長は、パルス発振時は、１０６０ｎｍであるが、ＣＷ発振時は、ＡＳＥ光の自励発振で１０６０ｎｍ以外（例えば、シングルクラッド型では、１０３０ｎｍ帯、ダブルクラッド型では１０４０〜１０５０ｎｍ帯）で発振し、基本波の１０６０ｎｍより強いパワーを出力する。 The seed light output gradually recovers the output power to the steady state level of CW oscillation. The output wavelength of YbDF is 1060 nm during pulse oscillation, but other than 1060 nm due to self-oscillation of ASE light during CW oscillation (for example, the 1030 nm band for the single clad type and 1040 to 1050 nm for the double clad type). Oscillates at a band) and outputs a power stronger than the fundamental wave of 1060 nm.
図４は、図３の種光出力の制御を行った場合の比較例のレーザ装置１の出力開始時の動作例を示す図である。同図（ａ）に示されるように、外部トリガ電圧がローレベルからハイレベルに転じることで種光出力の開始が指示されると、その出力開始指示の時刻から或る一定の遅延時間が経過した後にレーザ光のパルス動作が開始される。この遅延時間は、外部トリガ電圧がローレベルから或る一定のレベルまでに達する時間と、パルス変調器４０が種光源１０に出力開始指示を与える際に必要な処理に要する時間とにより決定される。パルスレーザ光の出力の開始時からパルスレーザ光の強度が安定するまで時間を要するものの、出力開始指示によりパルスレーザ光の出力が開始される。
FIG. 4 is a diagram illustrating an operation example at the start of output of the laser device 1 of the comparative example when the seed light output control of FIG. 3 is performed. As shown in FIG. 5A, when the start of the seed light output is instructed by the external trigger voltage changing from the low level to the high level, a certain delay time elapses from the output start instruction time. After that, the pulse operation of the laser beam is started. This delay time is determined by the time required for the external trigger voltage to reach a certain level from the low level and the time required for processing necessary when the
同図（ｂ）は、図３に示したように一定パルス周期で一定のパルス幅のパルスを繰り返しパルス出力する。外部トリガ電圧がハイレベルからローレベルに転じると、その出力開始指示の時刻から或る一定の遅延時間が経過した後にＣＷ発振し、ＣＷ光を出力する。ＣＷ発振の立上り部では、繰り返しパルスがＯｆｆの時のパワーレベルからＣＷ発振の定常状態の出力パワーレベルに或る所定時間（ＴSeed pulse→ＣＷ）をかけて、急激に変化をする。同図（ｃ）は、励起光出力を示し、励起光源の駆動電流が一定に設定されており、励起光パワーは一定である。 FIG. 3B repeatedly outputs pulses having a constant pulse width and a constant pulse width as shown in FIG. When the external trigger voltage changes from the high level to the low level, CW oscillation occurs after a certain delay time has elapsed from the output start instruction time, and CW light is output. At the rising edge of the CW oscillation, the power level at the time when the repetitive pulse is off is changed from the power level at the steady state of the CW oscillation over a predetermined time (TSeed pulse → CW) to change rapidly. FIG. 3C shows the pumping light output, the driving current of the pumping light source is set to be constant, and the pumping light power is constant.
同図（ｄ）は、レーザ出力を示す。レーザ出力は、光出射端３１からのレーザ光を受光器（図示せず）で受光した際の光電気変換の電圧値に基づく出力パワーを示す。ＣＷ発振が定常状態のときは、或る一定パワーのレーザ出力を示す。ＣＷ状態から繰り返しパルス発振の状態となると、種光パワーは単パルスがＯｆｆの部分では、ＡＳＥ光のみを発振し、その出力レベルは、低レベルとなる。この間は、励起光の消費が少なく、励起光パワー過剰状態となる。単パルスがＯＮの状態では、それまでの単パルスがＯｆｆ状態での励起光パワーを単パルス光が利得として消費し、高ピークパワーのパルス光をレーザ出力として放出する。繰り返しパルス発振の状態からＣＷ発振の状態に移行する際は、上記の通り、ＣＷ発振の立上り部で、種光パワーはその出力が急激に変化し、或る一定時間をかけて、ＣＷ定常状態へ移行するために、レーザ出力もそれに合わせて急激に変化することを確認した。ＣＷ発振の立上り部の先頭では、過渡応答に似た急激なレーザ出力の増大を示した。その後、種光パワーがＣＷ発振の定常状態に移行する間、レーザ出力もＣＷ定常発振時レーザ出力となるように徐々に移行する。
FIG. 4D shows the laser output. The laser output indicates output power based on a voltage value of photoelectric conversion when laser light from the
ＣＷ発振の定常状態では、常時出力となるが、低パワーレベルで、通常特に問題を発生させることはない。繰り返しパルス発振時は、レーザ加工を行うため、或る程度のピークパワーを出力するが、そのレーザ出力は、光増幅部が破壊されない程度の出力レベルで行っている。しかし、出力終了の際に最後に出力されるパルスレーザ光のパルス波形は、それ以前の他のパルスレーザ光のパルス波形と比べると、ピークパワーが２倍以上高く、かつ、底幅が広く１μｍとなっている。これは、前図で示したＣＷ発振が立ち上がる際に、種光がパルス化した部分による影響と考えられる。この部分の影響で、パルスの底幅が拡大し、ピークパワー増大したと推測される。パルス発振が終了したことにより、種光の増幅に消費されなくなった励起光がＡＳＥ光となり、自励発振しやすい状況になり、その分余計にピークパワーが増大している可能性も考えられる。これらの要因により、光増幅部での励起光パワーが大きいと、ＣＷ発振の立上り時に、巨大なパルスが発生して、増幅用光ファイバ２１等が損傷する危険性を有していることが分かった。以下に説明する実施形態のレーザ装置は、このような問題の解消を図るものである。
In the steady state of CW oscillation, the output is always constant, but usually does not cause a problem at a low power level. During repetitive pulse oscillation, a certain level of peak power is output to perform laser processing, but the laser output is performed at an output level that does not destroy the optical amplification section. However, the pulse waveform of the pulse laser beam that is finally output at the end of output has a peak power that is more than twice as high as that of other pulse laser beams before that, and has a wide bottom width of 1 μm. It has become. This is considered to be due to the influence of the portion where the seed light is pulsed when the CW oscillation shown in the previous figure rises. It is presumed that the bottom width of the pulse is expanded and the peak power is increased due to the influence of this portion. When the pulse oscillation is completed, the excitation light that is no longer consumed for the amplification of the seed light becomes ASE light, and it becomes easy to self-oscillate, and the peak power may be increased by that amount. Due to these factors, it is understood that if the pumping light power at the optical amplifier is large, a huge pulse is generated at the rising edge of the CW oscillation, and there is a risk of damaging the
図５は、第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１Ａは、種光源１０、光増幅部２０、励起光源２２、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０、励起光パワー制御部５０および主制御部６０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図１に示された比較例のレーザ装置１の構成と比較すると、この図５に示される第１実施形態のレーザ装置１Ａは、励起光パワー制御部５０および主制御部６０を更に備える点で相違する。なお、励起光パワー制御部５０は、主制御部６０とは別のものであってもよいし、小型化・高速化のために主制御部６０に含まれていてもよい。
FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of the
パルス変調器４０は、主制御部６０から与えられる繰返し周波数による複数パルスが発振する期間の開始指示および終了指示を受け、これらの指示を種光源１０へ与えて、種光源１０からの種光の出力の開始および終了を制御する。具体的には、開始指示の際は、CW出力を終了するとともに、繰返しパルス出力を開始する。また、終了指示の際は、繰返しパルス出力を終了するとともに、CW出力を開始する。励起光パワー制御部５０は、主制御部６０から与えられる励起光トリガ信号を受け、この励起光トリガ信号に基づいて、励起光源２２が出力する励起光のパワーを、励起光源の駆動電力を制御することで、増減することで、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを増減する。
The
主制御部６０は、外部トリガ発生器２から与えられる繰返しパルスの出力開始指示および出力終了指示を受け、これらの指示に基づいて繰返しパルス光の出力の開始および終了の際に所定の手順で励起光パワー制御部５０および主制御部６０それぞれに対して指示を与える。繰返しパルス光の出力の開始に際しては、主制御部６０は、比較例と同様に、種光源１０からの種光の出力をパルス変調器５０により開始させる。
The
一方、繰返しパルス光の出力の終了に際しては、主制御部６０は、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを励起光パワー制御部５０により低下させた後に、種光源１０からの種光の出力をパルス変調器５０により終了させる。その後に、主制御部６０は、次の出力開始指示に備えて、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを励起光パワー制御部５０により元に復帰させる。
On the other hand, at the end of the output of the repetitive pulse light, the
図６は、第１実施形態のレーザ装置１Ａにおける各信号を示すタイミングチャートである。同図（ａ）は外部トリガ発生機器２からの外部トリガ電圧を示し、同図（ｂ）は主制御部６０からパルス変調器４０への種光トリガ電圧を示し、また、同図（ｃ）は主制御部６０から励起光パワー制御部５０への励起光トリガ信号に起因する励起光源の駆動電流を示す。
FIG. 6 is a timing chart showing each signal in the
主制御部６０は、外部トリガ信号電圧がタイミングT1またはT3でローレベルＶ１offからハイレベルＶ１onに転じることで、種光トリガ電圧がタイミングts１またはts3で種光源１０の繰返しパルス光の出力の開始を指示し、同様に、タイミングT2でハイレベルＶ１onからローレベルＶ１offに転じることで、タイミングts2で種光源１０の繰返しパルス光の出力の終了を指示する。つまり、タイミングts1、タイミングts3は、それぞれ、タイミングT1、タイミングT3に基づいて設定される。
The
励起光トリガ信号に対しては、外部トリガ電圧がタイミングT2でハイレベルＶ１onからローレベルＶ１offに転じることで、励起光源の駆動電流がタイミングtp1でハイレベルＩ１からローレベルＩ２に転じ、さらに、タイミングtp1から少し経過したタイミングtp2でローレベルＩ２からハイレベルＩ１に転じる。つまり、タイミングtp1とタイミングtp2は、タイミングT2に基づいて設定される。 For the excitation light trigger signal, the external trigger voltage changes from the high level V1on to the low level V1off at the timing T2, so that the drive current of the excitation light source changes from the high level I1 to the low level I2 at the timing tp1. At a timing tp2 a little after tp1, the level changes from the low level I2 to the high level I1. That is, the timing tp1 and the timing tp2 are set based on the timing T2.
種光トリガ電圧と励起光トリガ電圧のタイミング関係は、図６では、ts1、tp1、ts2、tp2、ts3の順番となっている。なお、図６のタイミングチャートは、光増幅部２０への励起光、種光の入力に、タイミング差が存在しないという前提での図である。タイミング差が生じる場合は、それを補完するようにタイミング差を設定する。このタイミングがレーザ装置１Aにおける実際のタイミングと異なるような事態が想定される場合は、さらにタイミング差の設定を行うことになる。例えば、種合源１０と光増幅部２０の間に、予備の光増幅部を複数段追加した場合は、微妙にタイミング差が生じることになる。その場合は、後述のタイミング差設定部を追加して、調整することになる。
In FIG. 6, the timing relationship between the seed light trigger voltage and the excitation light trigger voltage is in the order of ts1, tp1, ts2, tp2, and ts3. Note that the timing chart of FIG. 6 is a diagram on the assumption that there is no timing difference in the input of pumping light and seed light to the
なお、励起光パワー制御信号のローレベルＩ２は、励起光源２２から励起光が全く出力されないようなレベルであってもよいし、上記のような増幅用光ファイバ２１等に対するダメージを与えないような或る閾値レベルＩｔｈより小さいレベルであればよい（図７）。すなわち、励起光パワー制御部５０は、繰り返しパルス光の出力の終了に際して、増幅用光ファイバ２１におけるＡＳＥ光の利得が種光の利得より小さくなるまで、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを低下させる。
種光源の動作をパルス動作からＣＷ動作に切り替える際、図３で示すように種光源出力が通常ＣＷ出力より弱い出力の条件になりえる為、CW出力時の種光利得よりもＡＳＥ光の利得の方が大きくなり、光増幅部を損傷させるリスクが生じる。上記リスクを避ける為に、励起光入力パワーを下げ、増幅ファイバが破壊しない所定のパワーの閾値レベルまで下げておくことが好ましい。なお、ＣＷ光立上り部の過渡応答による高ピークパワー値の影響を下げたい場合は、「最後のパルスからＣＷ光入力までの時間」の蓄積励起光パワーを低減することも検討すべきである。例えば、最後のパルス後ＣＷ光入力までの時間を短く設定するとか、最後のパルス時に供給される励起光パワーを低下させておく。
The low level I2 of the pumping light power control signal may be a level at which no pumping light is output from the pumping
When the operation of the seed light source is switched from the pulse operation to the CW operation, as shown in FIG. 3, since the seed light source output can be a weaker output condition than the normal CW output, the gain of the ASE light is higher than the seed light gain at the CW output. This increases the risk of damaging the optical amplification section. In order to avoid the risk, it is preferable to lower the pumping light input power to a predetermined power threshold level at which the amplification fiber does not break. In order to reduce the influence of the high peak power value due to the transient response of the rising edge of the CW light, it should be considered to reduce the accumulated pumping light power in the “time from the last pulse to the CW light input”. For example, the time until the CW light input after the last pulse is set short, or the pumping light power supplied at the last pulse is lowered.
励起光パワー制御部５０は、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを１ステップで変化させてもよいし、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを複数段階でステップ状に変化させてもよい。後者の場合、急激な熱変化を防ぐことができる。
The pumping light
図８は、第１実施形態のレーザ装置１Ａの出力の動作例を示す図である。同図（ａ）は、外部トリガ電圧の変化を示す。同図（ｂ）は、外部トリガ電圧の変化に伴う種光出力の動作パターンを示す。同図（ｃ）は、外部トリガ電圧の変化に伴う励起光出力の動作パターンを示す。同図（ｄ）は、同図（ｂ）、（ｃ）の変化に伴うレーザ装置１Ａの出力の動作パターンを示す。
FIG. 8 is a diagram illustrating an operation example of the output of the
図８（ｄ）は、「ＣＷ１」と「パルス」の期間は、図４と同様のレーザ出力を示す。切り替え制御期間では、種光出力は、同図（ｂ）に示すように、種光出力が繰り返しパルス状態からＣＷ発振への立上りへの切り替えのための移行期間を示す。この期間で、励起光出力が、ＯＮ（ＣＷ発振の定常状態やパルス出力状態を維持するパワーレベルの励起光出力）状態からＯｆｆ（光増幅部への損傷を発生させないためのパワーレベルの励起光出力）状態へ移行する。これにより、移行期間での、レーザ出力は、光増幅部への損傷を発生させないためのパワーレベルまでに低下する。光増幅部への損傷の可能性のあるＣＷ発振への立上り状態を経過した後は、励起光パワーをＯＮ状態に戻し、ＣＷ２の期間となる。このように第１実施形態のレーザ装置１Ａに切り替え制御期間を設け、励起光出力を制御することで、図４に示された比較例のレーザ装置１の動作例と比較すると、ＣＷ定常発振時以上のレーザ出力のレーザ光は出力されていないことが判る。
FIG. 8D shows the same laser output as in FIG. 4 during the period of “CW1” and “pulse”. In the switching control period, the seed light output indicates a transition period for switching the seed light output from the repeated pulse state to the rising to CW oscillation, as shown in FIG. During this period, the pumping light output is turned off (power level pumping light output that maintains the steady state or pulse output state of CW oscillation) and off (power level pumping light to prevent damage to the optical amplifier). (Output) state. As a result, the laser output during the transition period is reduced to a power level for preventing damage to the optical amplification unit. After the rising state to CW oscillation that may cause damage to the optical amplification unit has elapsed, the pumping light power is returned to the ON state, and the period of CW2 is reached. In this way, by providing the switching control period in the
このように、第１実施形態のレーザ装置１Ａは繰返しパルス光の出力の開始および終了を行う際に高速応答が可能であって光増幅媒体の破損を抑制することができる。また、励起光源２２に供給される電流を通常の電流値より低く設定する時間を短くできるので、励起光源２２の出力を開始／終了させて繰返しパルス光出力を開始／終了させる方法より励起光源２２の温度安定性が向上する。
As described above, the
図９は、第２実施形態のレーザ装置１Ｂの構成を示す図である。図１０は、第２実施形態のレーザ装置１Ｂにおける各信号を示すタイミングチャートである。この図に示されるレーザ装置１Ｂは、種光源１０、光増幅部２０、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０、励起光パワー制御部５０および主制御部６０Ｂを備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図５に示された第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成と比較すると、この図１０に示される第２実施形態のレーザ装置１Ｂは、主制御部６０に替えて主制御部６０Ｂを備える点で相違する。
FIG. 9 is a diagram illustrating a configuration of a
主制御部６０Ｂはタイミング差調整部６１を含む。タイミング差調整部６１は、繰返しパルス光の出力の終了に際して、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを低下させる指示を励起光パワー制御部５０へ送出した時刻から、種光源１０からの種光の出力を終了させる指示をパルス変調器４０へ送出する時刻までの遅延を設定する。
The
このようなタイミング差調整部６１を主制御部６０Ｂが含むのが好ましい理由は以下のとおりである。パルス変調器４０の制御の対象は種光源１０からの種光の出力であり、その種光源１０から出力された種光が光増幅部２０に入射するまでに伝搬する時間が存在する。また、励起光パワー制御部５０の制御の対象は励起光源２２からの励起光の出力であり、その励起光源２２から出力された励起光が増幅用光ファイバ２１に入射して応答するまでにも時間を必要とする。そこで、各部位での位相を調整する為に、タイミング差調整部６１によりタイミング差調整時間を設定することで、より正確に励起光パワーの入力タイミングを制御することができる。
The reason why the
図１1は、第３実施形態のレーザ装置１Ｃの構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１Ｃは、種光源１０、光増幅部２０Ｃ、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０、励起光パワー制御部５０および主制御部６０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図５に示された第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成と比較すると、この図１１に示される第３実施形態のレーザ装置１Ｃは、光増幅部２０Ｃと励起光源２２の光路間に可変光減衰器２４を備える点で相違し、また、励起光パワー制御部５０とともに励起光パワー制御を補完する励起光パワー制御部５０Ｃを備える点で相違する。
FIG. 11 is a diagram illustrating a configuration of a laser apparatus 1C according to the third embodiment. The laser device 1C shown in this figure includes a
励起光源２２は一定強度の励起光を継続して出力する。可変光減衰器２４は、励起光源２２から増幅用光ファイバ２１へ至る励起光の光路上に設けられ、この励起光に対する減衰率が可変である。励起光パワー制御部５０Ｃは、主制御部６０からの制御信号を受けて、可変光減衰器２４における励起光の減衰率を増減することで、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを増減する。第３実施形態のレーザ装置１Ｃも、第１実施形態のレーザ装置１Ａと同様の効果を奏することができる。
The
図１２は、第４実施形態のレーザ装置１Ｄの構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１Ｄは、種光源１０Ｄ、光増幅部２０、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０Ｄ、励起光パワー制御部５０および主制御部６０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図５に示された第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成と比較すると、この図１２に示される第４実施形態のレーザ装置１Ｄは、種光源１０Ｄとして、種光源１０の他に外部変調器１１を更に備える点で相違し、また、パルス変調器４０に替えてパルス変調器４０Ｄを備える点で相違する。種光源１０Ｄは、種光源１０がＣＷ発振し、外部変調器１１で、繰り返しパルス発振状態が、Ｏｎ／Ｏｆｆすることで、ＣＷ発振状態と繰り返しパルス発振状態とが交互に出現する。パルス変調器４０Ｄは、外部変調器１１の繰り返しパルス発振状態のみを制御する。本図の場合も、ＣＷが立ち上がる状態が出現し、急激に立ち上がる際は、過渡応答の問題が発生し、急激なパルスピークが発生する可能性があり、ゆっくり立ち上がる際は、ＡＳＥ光の自励発振の問題が発生する可能性がある。外部変調器１１を用いる形態としては、本図以外に、種光源を繰り返しパルス発振状態とし、外部変調器で、繰り返しパルス状態をＯｎ／Ｏｆｆ制御することが可能である。
FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration of a
種光源１０から一定強度で出力される種光は、外部変調器１１により変調されてパルス光とされる。外部変調器１１は、パルス変調器４０Ｄから種光トリガ信号が与えられて、パルス状の種光の出力の開始および終了を行う。第４実施形態のレーザ装置１Ｄも、第１実施形態のレーザ装置１Ａと同様の効果を奏することができる。
The seed light output at a constant intensity from the
図１３は、第５実施形態のレーザ装置１Ｅの構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１Ｅは、種光源１０、光アイソレータ１２、光増幅部２０Ｅ、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０、励起光パワー制御部５０Ｅおよび主制御部６０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図５に示された第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成と比較すると、この図１３に示される第５実施形態のレーザ装置１Ｅは、光アイソレータ１２を更に備える点で相違し、光増幅部２０に替えて光増幅部２０Ｅを備える点で相違し、また、励起光パワー制御部５０に替えて励起光パワー制御部５０Ｅを備える点で相違する。
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a
光アイソレータ１２は、種光源１０から光増幅部２０Ｅに至る種光の光路上に設けられ、順方向に光を通過させるが、逆方向には光を通過させない。
The
光増幅部２０Ｅは、光増幅媒体としての増幅用光ファイバ２１、励起光源２５および合波部２６を含む。励起光源２５は励起光を出力する。合波部２６は、増幅用光ファイバ２１から出力された繰返しパルス光をデリバリ光ファイバ３０へ出力するとともに、励起光源２５から出力された励起光を入力して増幅用光ファイバ２１へ供給する。増幅用光ファイバ２１は、この励起光により励起され、種光を光増幅して、その光増幅後の繰返しパルス光を出力する。
The
励起光パワー制御部５０Ｅは、第１実施形態における励起光パワー制御部５０と同様に、主制御部６０から与えられる励起光トリガ信号を受け、この励起光トリガ信号に基づいて、励起光源２５が出力する励起光のパワーを増減することで、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを増減する。
The pumping light
第１実施形態における光増幅部２０では前方励起であったのに対して、この第５実施形態における光増幅部２０Ｅでは後方励起である。第５実施形態のレーザ装置１Ｅも、第１実施形態のレーザ装置１Ａと同様の効果を奏することができる。
While the
図１４は、第６実施形態のレーザ装置１Ｆの構成を示す図である。この図に示されるレーザ装置１Ｆは、種光源１０、光アイソレータ１２、光増幅部２０Ｆ、デリバリ光ファイバ３０、パルス変調器４０、励起光パワー制御部５０Ｆおよび主制御部６０を備え、外部トリガ発生器２とともに用いられる。図５に示された第１実施形態のレーザ装置１Ａの構成と比較すると、この図１５に示される第６実施形態のレーザ装置１Ｆは、光アイソレータ１２を更に備える点で相違し、光増幅部２０に替えて光増幅部２０Ｆを備える点で相違し、また、励起光パワー制御部５０に替えて励起光パワー制御部５０Ｆを備える点で相違する。
FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration of a
光アイソレータ１２は、種光源１０から光増幅部２０Ｆに至る種光の光路上に設けられ、順方向に光を通過させるが、逆方向には光を通過させない。
The
光増幅部２０Ｆは、光増幅媒体としての増幅用光ファイバ２１、励起光源２２、合波部２３、励起光源２５および合波部２６を含む。励起光源２２，２５それぞれは励起光を出力する。合波部２３は、種光源１０から出力された種光を入力して増幅用光ファイバ２１へ出力するとともに、励起光源２２から出力された励起光を入力して増幅用光ファイバ２１へ供給する。合波部２６は、増幅用光ファイバ２１から出力された繰返しパルス光をデリバリ光ファイバ３０へ出力するとともに、励起光源２５から出力された励起光を入力して増幅用光ファイバ２１へ供給する。増幅用光ファイバ２１は、これらの励起光により励起され、種光を光増幅して、その光増幅後の繰返しパルス光を出力する。
The
励起光パワー制御部５０Ｆは、第１実施形態における励起光パワー制御部５０と同様に、主制御部６０から与えられる励起光トリガ信号を受け、この励起光トリガ信号に基づいて、励起光源２２，２５それぞれが出力する励起光のパワーを増減することで、増幅用光ファイバ２１に供給される励起光のパワーを増減する。
Similarly to the pumping light
第１実施形態における光増幅部２０では前方励起であり、第５実施形態における光増幅部２０Ｅでは後方励起であったのに対して、この第６実施形態における光増幅部２０Ｆでは双方励起である。第６実施形態のレーザ装置１Ｆも、第１実施形態のレーザ装置１Ａと同様の効果を奏することができる。
The
１，１Ａ〜１Ｆ…レーザ装置、１０…種光源、１１…外部変調器、１２…光アイソレータ、２０…光増幅部、２１…増幅用光ファイバ（光増幅媒体）、２２…励起光源、２３…合波部、２４…可変光減衰器、２５…励起光源、２６…合波部、３０…デリバリ光ファイバ、３１…出射端、４０…パルス変調器、５０…励起光パワー制御部、６０…主制御部、６１…遅延設定部。
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記種光源を繰返しパルス発振状態とＣＷ発振状態とに変調するパルス変調器と、光増幅部に入力する励起光パワーを調整する励起光パワー制御部と、前記パルス変調器の制御と励起光パワー制御部の制御のタイミングを制御する主制御部とを有し、
前記励起光パワー制御部は、
前記光増幅部において種光が繰返しパルス発振状態からＣＷ発振状態に切り替わるのに先立って、前記励起光パワーを繰返しパルス発振状態でのパワーから所定のパワーまで低下させ、
前記光増幅部において種光がＣＷ発振状態から繰返しパルス発振状態に切り替わるのに先立って、前記励起光パワーを前記所定のパワーから元の繰返しパルス発振状態でのパワーに戻す、
ことを特徴とするレーザ装置。 A laser device comprising: a seed light source that outputs seed light of pulsed light; an excitation light source that outputs excitation light as CW light; and an optical amplification unit that amplifies the seed light by inputting the excitation light and the seed light. There,
A pulse modulator that modulates the seed light source repeatedly into a pulse oscillation state and a CW oscillation state, a pumping light power control unit that adjusts pumping light power input to the optical amplification unit, control of the pulse modulator, and pumping light power A main control unit for controlling the control timing of the control unit,
The excitation light power control unit is
Before the seed light is switched from the repetitive pulse oscillation state to the CW oscillation state in the optical amplification unit, the pumping light power is reduced from the power in the repetitive pulse oscillation state to a predetermined power ,
Prior to the seed light switching from the CW oscillation state to the repetitive pulse oscillation state in the optical amplification unit, the pumping light power is returned from the predetermined power to the power in the original repetitive pulse oscillation state.
A laser device characterized by that.
前記励起光パワー制御部は、前記可変光減衰器を制御することを特徴とする請求項１に記載のレーザ装置。 A variable optical attenuator on an optical path between the excitation light source and the optical amplification unit;
The laser apparatus according to claim 1, wherein the pumping light power control unit controls the variable optical attenuator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010146218A JP5595805B2 (en) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | Laser equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010146218A JP5595805B2 (en) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | Laser equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012009743A JP2012009743A (en) | 2012-01-12 |
| JP5595805B2 true JP5595805B2 (en) | 2014-09-24 |
Family
ID=45539929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010146218A Expired - Fee Related JP5595805B2 (en) | 2010-06-28 | 2010-06-28 | Laser equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5595805B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6392789B2 (en) * | 2013-02-28 | 2018-09-19 | アイピージー フォトニクス コーポレーション | Laser system for processing sapphire and method using the same |
| WO2016121090A1 (en) * | 2015-01-30 | 2016-08-04 | ギガフォトン株式会社 | Solid-state laser system |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003236685A (en) * | 2003-01-06 | 2003-08-26 | Sunx Ltd | Laser marking device |
| JP2008147335A (en) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hiroshi Ogawa | Composite laser light output device |
| JP5340545B2 (en) * | 2007-01-23 | 2013-11-13 | 株式会社フジクラ | Pulse laser apparatus and pulse output control method thereof |
| JP5546119B2 (en) * | 2008-11-14 | 2014-07-09 | 株式会社アマダミヤチ | Fiber laser processing apparatus and fiber laser processing method |
| JP5245854B2 (en) * | 2009-01-19 | 2013-07-24 | 富士通株式会社 | WDM optical amplifier |
| JP5338334B2 (en) * | 2009-01-21 | 2013-11-13 | オムロン株式会社 | Laser light source device and laser processing device |
-
2010
- 2010-06-28 JP JP2010146218A patent/JP5595805B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012009743A (en) | 2012-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8411710B2 (en) | Laser apparatus | |
| JP5338334B2 (en) | Laser light source device and laser processing device | |
| US7885298B2 (en) | Method and apparatus for producing arbitrary pulsetrains from a harmonic fiber laser | |
| JP5546119B2 (en) | Fiber laser processing apparatus and fiber laser processing method | |
| JP5612964B2 (en) | Laser emission method | |
| JP5817215B2 (en) | Optical amplification apparatus and laser processing apparatus | |
| US20120236881A1 (en) | Pulsed fiber laser | |
| JP2011181761A (en) | Laser processing apparatus | |
| US20120069860A1 (en) | Gain-Switched Fiber Laser | |
| JP5623706B2 (en) | Laser light source | |
| US8649403B2 (en) | Fiber laser device | |
| US8693514B2 (en) | Pulse generation method and laser light source apparatus | |
| JP5151018B2 (en) | Light source device | |
| JP2011187825A (en) | Fiber laser device and method of controlling the same | |
| JP2010103253A (en) | Fiber optical device, and method for driving the same | |
| JP5595805B2 (en) | Laser equipment | |
| JP4360638B2 (en) | Pulse light source device | |
| JP5662770B2 (en) | Fiber laser equipment | |
| JP2012156175A (en) | Fiber laser light source device and wavelength conversion laser light source device using the same | |
| WO2012165495A1 (en) | Laser device | |
| JP2009176944A (en) | Fiber laser device and control method | |
| JP5024118B2 (en) | Laser oscillation method, laser, laser processing method, and laser measurement method | |
| WO2024024388A1 (en) | Laser machining device and control method and program for laser machining device | |
| JP2012129423A (en) | Fiber laser and continuous light oscillation method for fiber laser | |
| KR102373232B1 (en) | Pulse laser generation apparatus using multi-stage high-speed optical switch |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130215 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130604 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140212 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140408 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140722 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140806 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5595805 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |