JP5587126B2 - Plasma display panel - Google Patents
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Description
本発明はプラズマディスプレイパネルの保護膜、特に低電圧特性及びインピーダンス特性の改善に関する。 The present invention relates to a protective film of a plasma display panel, particularly to improvement of low voltage characteristics and impedance characteristics.
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚のガラス基板の隙間に密閉された微少な放電空間を多数設けた表示デバイスである。 A plasma display panel (PDP) is a display device provided with a large number of minute discharge spaces sealed in a gap between two glass substrates.
現在一般的なＡＣ型ＰＤＰでは、前面板の表示電極は誘電体層で被覆され、被覆後の誘電体層に保護膜層が形成されている。この誘電体層は、電極への電圧印加により生じた電荷を蓄積するために設けられている。また、保護膜層は放電ガス中のイオンの衝突による誘電体層の損傷を防ぐと同時に、二次電子放出により放電開始電圧を低減するために設けられている。 In the current general AC type PDP, the display electrode of the front plate is covered with a dielectric layer, and a protective film layer is formed on the dielectric layer after coating. This dielectric layer is provided for accumulating charges generated by applying a voltage to the electrodes. Further, the protective film layer is provided to prevent damage to the dielectric layer due to collision of ions in the discharge gas, and at the same time to reduce the discharge start voltage by secondary electron emission.
この保護膜層の材料としては、酸化マグネシウムＭｇＯが一般的に使用されている。特開２０１０−５０１９９６号公報（特許文献１）には、酸化マグネシウムを二層に分けてその間に酸化挿入膜設けることでプラズマ放電開始電圧を低下させることが開示されている。 As a material for this protective film layer, magnesium oxide MgO is generally used. Japanese Patent Laying-Open No. 2010-501996 (Patent Document 1) discloses that the plasma discharge start voltage is lowered by dividing magnesium oxide into two layers and providing an oxide insertion film therebetween.
しかし、特許文献１記載の方法では、３層に分かれた保護膜層を構成せねばならず、製造工程が増加し、製品原価に影響が大きい。 However, in the method described in Patent Document 1, it is necessary to form a protective film layer divided into three layers, which increases the manufacturing process and greatly affects the product cost.
本発明の目的は、保護膜材料のみに着目し、優れた低電圧特性と電荷を蓄積できる十分な絶縁性を持ち、ＰＤＰ作製時の大気プロセス中での変質に強い保護膜層を取得する手段を提供することにある。 The object of the present invention is to focus only on the protective film material, and to obtain a protective film layer having excellent low voltage characteristics and sufficient insulation capable of accumulating electric charge, and being resistant to alteration during atmospheric processes during PDP fabrication. Is to provide.
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。 The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。 Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows.
本発明のプラズマディスプレイパネルは、放電電極及び誘電体層が設けられたガラス基板を保護する保護膜層を持つプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜層は、成形された膜上にクラックが入った不連続膜で、１種類の金属酸化膜により形成され、前記金属酸化膜を形成する酸化金属は、原子半径が１８０ｐｍ以上２０５ｐｍ以下の酸化ランタン、酸化ユウロピウム、酸化イッテルビウムのいずれか１つであることを特徴とする。 The plasma display panel of the present invention is a plasma display panel having a protective film layer for protecting a glass substrate provided with a discharge electrode and a dielectric layer, and the protective film layer is cracked on the formed film. The discontinuous film is formed of one kind of metal oxide film, and the metal oxide forming the metal oxide film is any one of lanthanum oxide, europium oxide, and ytterbium oxide having an atomic radius of 180 pm to 205 pm. It is characterized by that.
本発明に関わる保護膜層を用いることで、優れた低電圧特性を持つＰＤＰを製作することが可能となる。 By using the protective film layer according to the present invention, a PDP having excellent low voltage characteristics can be manufactured.
また、本発明に関わる保護膜層を用いることで、長期間にわたり優れたインピーダンス特性を持つＰＤＰを製作することが可能となる。 In addition, by using the protective film layer according to the present invention, it is possible to manufacture a PDP having excellent impedance characteristics over a long period of time.
以下の実施の形態においては、便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明する。しかし、特に明示した場合を除き、それは互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部又は全部の変形例、詳細、補足説明などの関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数など（個数、数値、量、範囲などを含む）に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものでなく、特定の数以上でも以下でも良い。 In the following embodiment, when it is necessary for the sake of convenience, the description will be divided into a plurality of sections or embodiments. However, unless otherwise specified, it is not irrelevant to one another, and one is related to some or all of the other, details, supplementary explanations, and the like. Also, in the following embodiments, when referring to the number of elements (including the number, numerical value, quantity, range, etc.), especially when clearly indicated and when clearly limited to a specific number in principle, etc. Except for the specific number, the number may be more than or less than the specified number.
以下、図を用いて本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
（第１の実施の形態）
図１は、一般的なプラズマディスプレイパネルのセル１つの断面構成を表す断面図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a cross-sectional configuration of one cell of a general plasma display panel.
このＰＤＰは前面側板ガラス１、表示電極２、誘電体層３、保護膜層４、隔壁（リブ）５、蛍光体６、誘電体層７、アドレス電極８、背面側板ガラス９を含んで構成される。 The PDP includes a front side glass plate 1, a display electrode 2, a dielectric layer 3, a protective film layer 4, a partition wall (rib) 5, a phosphor 6, a dielectric layer 7, an address electrode 8, and a back side glass plate 9. The
前面側板ガラス１はＰＤＰの表示面となるガラス基板である。 The front side plate glass 1 is a glass substrate that serves as a display surface of the PDP.
表示電極２は、いわゆるＸ電極及びＹ電極と言われる前面側板ガラス１上に設けられる電極である。ＰＤＰの動作周期である１）リセット期間、２）アドレス期間、３）サステイン期間、の内、３）サステイン期間中にサステインパルスが各電極の駆動回路（図示せず）から入力される。また１）リセット期間及び２）アドレス期間にも所定の信号が入力される。 The display electrode 2 is an electrode provided on the front side glass plate 1 called a so-called X electrode and Y electrode. A sustain pulse is input from a drive circuit (not shown) of each electrode during the 3) sustain period among the 1) reset period, 2) address period, and 3) sustain period, which are PDP operation cycles. A predetermined signal is also input during 1) the reset period and 2) the address period.
誘電体層３は、表示電極２が設けられた後に前面側板ガラス１を被覆する誘電体の層である。 The dielectric layer 3 is a dielectric layer that covers the front side glass plate 1 after the display electrode 2 is provided.
保護膜層４は、放電ガス中のイオンによる誘電体層３の損傷を防止するための保護膜の層である。 The protective film layer 4 is a protective film layer for preventing the dielectric layer 3 from being damaged by ions in the discharge gas.
背面側板ガラス９は、前面側板ガラス１とで所定の圧力で放電ガスを密封するためのガラス基板である。 The back side plate glass 9 is a glass substrate for sealing the discharge gas at a predetermined pressure with the front side plate glass 1.
この背面側板ガラス９上にはアドレス電極８が設けられている。アドレス電極は２）アドレス期間にその駆動回路（図示せず）から駆動される。 Address electrodes 8 are provided on the rear side glass plate 9. The address electrode is driven from its drive circuit (not shown) in the address period 2).
誘電体層７は、アドレス電極８が設けられた後に背面側板ガラス９を被覆する誘電体の層である。 The dielectric layer 7 is a dielectric layer that covers the rear side glass plate 9 after the address electrodes 8 are provided.
この誘電体層７の上に隔壁５が設けられる。この隔壁５の間に蛍光体６が塗布される。隔壁５により放電空間が隔離され、この放電空間でのプラズマ発光に反応して蛍光体６が反応・発光し、有色の光がＰＤＰ操作者の目に届くこととなる。 A partition wall 5 is provided on the dielectric layer 7. A phosphor 6 is applied between the barrier ribs 5. The discharge space is isolated by the barrier rib 5, and the phosphor 6 reacts and emits light in response to the plasma emission in the discharge space, and the colored light reaches the eyes of the PDP operator.
なお、ＰＤＰ全体としてはＲＧＢ（赤、緑、青）や可能性としてＣＭＹ（シアン、マゼンタ、黄色）の蛍光体を用いることになる。ここで蛍光体６の出力する色の周波数が何かの特定はしない。 Note that RGB (red, green, blue) and possibly CMY (cyan, magenta, yellow) phosphors are used for the entire PDP. Here, the frequency of the color output from the phosphor 6 is not specified.
図２は、本発明における保護膜層４に用いる候補となる素材の最小放電維持電圧Ｖｓｍ１を表すグラフである。ここで最小放電維持電圧Ｖｓｍ１とは、ＰＤＰ全面の素子全てが消える電圧を意味する。 FIG. 2 is a graph showing the minimum discharge sustain voltage Vsm1 of a candidate material used for the protective film layer 4 in the present invention. Here, the minimum discharge sustain voltage Vsm1 means a voltage at which all elements on the entire surface of the PDP disappear.
本明細書では以下の物を対象の材料として最小放電維持電圧の計測を行った。 In this specification, the minimum discharge sustaining voltage was measured using the following materials as objects.
・酸化スカンジウムＳｃ２Ｏ３
・酸化イットリウムＹ２Ｏ３
・酸化ランタンＬａ２Ｏ３
・酸化ネオジムＮｄ２Ｏ３
・酸化サマリウムＳｍ２Ｏ３
・酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３
・酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３
・酸化ジスプロシウムＤｙ２Ｏ３
・酸化ホルミウムＨｏ２Ｏ３
・酸化エルビウムＥｒ２Ｏ３
・酸化ツリウムＴｍ２Ｏ３
・酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３
・酸化ルテチウムＬｕ２Ｏ３
また、比較の対象として、酸化マグネシウムＭｇＯの最小放電維持電圧も同図には記載する。
・ Scandium oxide Sc 2 O 3
・ Yttrium oxide Y 2 O 3
-Lanthanum oxide La 2 O 3
・ Neodymium oxide Nd 2 O 3
・ Samarium oxide Sm 2 O 3
Europium oxide Eu 2 O 3
・ Gadolinium oxide Gd 2 O 3
・ Dysprosium oxide Dy 2 O 3
・ Holmium oxide Ho 2 O 3
-Erbium oxide Er 2 O 3
・ Thulium oxide Tm 2 O 3
・ Ytterbium oxide Yb 2 O 3
・ Lutetium oxide Lu 2 O 3
For comparison, the minimum discharge sustain voltage of magnesium oxide MgO is also shown in FIG.
このグラフを見ても分かるとおり、酸化マグネシウムＭｇＯの最小放電維持電圧Ｖｓｍ１を下回る最小放電維持電圧を持つ素材は、酸化イットリウムＹ２Ｏ３、酸化ランタンＬａ２Ｏ３、酸化ネオジムＮｄ２Ｏ３、酸化サマリウムＳｍ２Ｏ３、酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３及び酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３である。 As can be seen from this graph, materials having a minimum discharge sustain voltage lower than the minimum discharge sustain voltage Vsm1 of magnesium oxide MgO are yttrium oxide Y 2 O 3 , lanthanum oxide La 2 O 3 , neodymium oxide Nd 2 O 3 , Samarium oxide Sm 2 O 3 , europium oxide Eu 2 O 3 , gadolinium oxide Gd 2 O 3 and ytterbium oxide Yb 2 O 3 .
特に酸化ランタンＬａ２Ｏ３、酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３及び酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３の性能は他に比べて良好であるといえる。 In particular, it can be said that the performances of lanthanum oxide La 2 O 3 , europium oxide Eu 2 O 3 , gadolinium oxide Gd 2 O 3 and ytterbium oxide Yb 2 O 3 are better than others.
つぎに、これらの透過率について検討を行う。保護膜層４は前面側板ガラス１の表示面側に配置される。従って、蛍光体６の出力する光は、保護膜層４を通して外部の操作者に認識される。よって、保護膜層４の透過率は高ければ高いほど良い。 Next, these transmittances are examined. The protective film layer 4 is disposed on the display surface side of the front side glass sheet 1. Therefore, the light output from the phosphor 6 is recognized by an external operator through the protective film layer 4. Therefore, the higher the transmittance of the protective film layer 4, the better.
図３は、各保護膜材料の大気焼成前後での透過率の変化を表す表である。参考情報として、酸化マグネシウムＭｇＯだけでなく、酸化カルシウムＣａＯ及び酸化ストロンチウムＳｒＯも合わせて記載する。これらは、保護膜の材料としての酸化マグネシウムの代替材料の候補として上がっているものである。 FIG. 3 is a table showing the change in transmittance of each protective film material before and after firing in the atmosphere. As reference information, not only magnesium oxide MgO but also calcium oxide CaO and strontium oxide SrO are described together. These are raised as candidates for alternative materials for magnesium oxide as a material for the protective film.
なお、透過率１００％とは、蛍光体６の出力する光が、保護膜層４を通しても減衰することなく、外部の操作者に認識されることである。 The term “transmittance of 100%” means that the light output from the phosphor 6 is recognized by an external operator without being attenuated through the protective film layer 4.
上記の素材中、酸化サマリウムＳｍ２Ｏ３は焼成後の透過率が９０％を割り込むが、代替材料の候補よりは良い透過率を持つ。また、酸化イットリウムＹ２Ｏ３、酸化ランタンＬａ２Ｏ３、酸化ネオジムＮｄ２Ｏ３、酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３及び酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３の６種は９０％以上の透過率を有する。 Among the above materials, samarium oxide Sm 2 O 3 has a transmittance after firing of less than 90%, but has a better transmittance than the alternative material candidates. Moreover, 90% or more of six kinds of yttrium oxide Y 2 O 3 , lanthanum oxide La 2 O 3 , neodymium oxide Nd 2 O 3 , europium oxide Eu 2 O 3 , gadolinium oxide Gd 2 O 3, and ytterbium oxide Yb 2 O 3 Of transmittance.
従って、透過率の面で、上記本明細書で挙げる各材料の候補（酸化イットリウムＹ２Ｏ３、酸化ランタンＬａ２Ｏ３、酸化ネオジムＮｄ２Ｏ３、酸化サマリウムＳｍ２Ｏ３、酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３及び酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３）が問題を有することはない。 Therefore, in terms of transmittance, each of the materials listed in the present specification (yttrium oxide Y 2 O 3 , lanthanum oxide La 2 O 3 , neodymium oxide Nd 2 O 3 , samarium oxide Sm 2 O 3 , europium oxide Eu 2 O 3 , gadolinium oxide Gd 2 O 3 and ytterbium oxide Yb 2 O 3 ) have no problem.
次に、金属原子半径の面で考察する。金属原子半径とは、分子・結晶内などに存在するそれぞれの原子を剛体球とみなした場合の半径のことを言う。 Next, the metal atom radius will be considered. The metal atomic radius is a radius when each atom existing in a molecule / crystal is regarded as a hard sphere.
図４は、本発明に関わる各保護膜材料の金属原子半径を表すグラフである。 FIG. 4 is a graph showing the metal atomic radius of each protective film material according to the present invention.
これを見ても分かるとおり、図２で特に良い、とした酸化ランタンＬａ２Ｏ３、酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３及び酸化イッテルビウムＹｂ２Ｏ３のうち、酸化ガドリニウムＧｄ２Ｏ３以外のものは大きな金属原子半径を持つことが分かる。 As can be seen from FIG. 2, among lanthanum oxide La 2 O 3 , europium oxide Eu 2 O 3 , gadolinium oxide Gd 2 O 3, and ytterbium oxide Yb 2 O 3 which are particularly good in FIG. 2, gadolinium oxide Gd 2 It can be seen that things other than O 3 have a large metal atomic radius.
以上のことから、発明者は以下の点を考察する。すなわち金属原子半径が１８０ｐｍ以上２０５ｐｍ以下の金属酸化物、特に希土類酸化物を用いると優れた低電圧特性を有すると考えられる。 From the above, the inventors consider the following points. That is, when a metal oxide having a metal atomic radius of 180 pm or more and 205 pm or less, particularly a rare earth oxide, it is considered that excellent low voltage characteristics are obtained.
次に絶縁性の点について考察する。 Next, the point of insulation is considered.
ＰＤＰの保護膜層４の形成に際しては、蒸着処理によるものが一般的である。すなわち酸化マグネシウムなどの焼結体をターゲット材にし、電子ビームを用いて誘電体層上に保護膜の層を形成する。 When forming the protective film layer 4 of PDP, it is common to use a vapor deposition process. That is, a sintered body such as magnesium oxide is used as a target material, and a protective film layer is formed on the dielectric layer using an electron beam.
本発明においては、絶縁性確保のため保護膜層４の形成に際し、不連続膜を用いることを特徴とする。図５は本発明に関わる酸化ユウロピウムＥｕ２Ｏ３で作製した保護膜層４のＳＥＭ写真である。 The present invention is characterized in that a discontinuous film is used in forming the protective film layer 4 in order to ensure insulation. FIG. 5 is an SEM photograph of the protective film layer 4 made of europium oxide Eu 2 O 3 according to the present invention.
本明細書における「不連続膜」とは、成形された膜上にクラックが入り、導電パスが長くなることで電気抵抗が増した膜のことをさすものとする。図５（ａ）は保護膜層４上方から見たＳＥＭ写真である。このＳＥＭ写真からもこのクラックが入っていることが理解できる。 In the present specification, the “discontinuous film” refers to a film having an increased electrical resistance due to a crack formed on the formed film and a longer conductive path. FIG. 5A is an SEM photograph viewed from above the protective film layer 4. It can be understood from this SEM photograph that this crack is present.
なお、不連続膜を生成するには、成膜時の温度のコントロール、成膜後の熱処理で容易に「ヒビをいれる」事が可能となる。 In order to generate a discontinuous film, it is possible to easily “crack” by controlling the temperature during film formation and heat treatment after film formation.
図５（ｂ）は保護膜層４側方から見たＳＥＭ写真である。保護膜層４を蒸着処理によって形成すると図に見えるように柱状構造をとる。クラックが入ることにより柱状構造の保護膜層４が誘電体層近くでのみクラックを跨いで電気的に接続される。これにより、「断面」が極小な配線が設けられることにより、電気抵抗が増大することとなる。 FIG. 5B is an SEM photograph viewed from the side of the protective film layer 4. When the protective film layer 4 is formed by vapor deposition, a columnar structure is formed as shown in the figure. When the cracks are formed, the columnar protective film layer 4 is electrically connected across the cracks only near the dielectric layer. As a result, the electrical resistance is increased by providing the wiring having a very small “cross section”.
結果として保護膜層４の絶縁性が向上することとなる。 As a result, the insulating property of the protective film layer 4 is improved.
次に、通常の保護膜層と本発明に関わる不連続膜で構成された保護膜層との性能差について説明する。 Next, the difference in performance between the normal protective film layer and the protective film layer composed of the discontinuous film according to the present invention will be described.
図６は不連続膜でない保護膜層４を持つＰＤＰの性能を表すグラフである。また図７は、本発明に関わる不連続膜の保護膜層４を持つＰＤＰの性能を表すグラフである。 FIG. 6 is a graph showing the performance of a PDP having a protective film layer 4 that is not a discontinuous film. FIG. 7 is a graph showing the performance of a PDP having a discontinuous protective film layer 4 according to the present invention.
これらのグラフの縦軸は電圧（Ｖ）であり、横軸は加速エージング試験の時間（加速エージング時間：単位分）を表す。 The vertical axis of these graphs represents voltage (V), and the horizontal axis represents the time of accelerated aging test (accelerated aging time: unit).
これらの各グラフの計測項目は４項目である。 There are four measurement items in each graph.
・Ｖｆｎ：ＰＤＰの全てのセルが点灯する電圧
・Ｖｆ１：ＰＤＰのセルの任意の一つが点灯する電圧
・Ｖｓｍｎ：ＰＤＰのセルの任意の一つが消灯する電圧
・Ｖｓｍ１：ＰＤＰの全てのセルが消灯する電圧
これらの計測項目はエージング試験を進めてもグラフ上平行で、長時間たっても電圧の差が維持されることが望ましい。また、これらの電圧は低ければ低いほど消費電力の低減に直結し望ましい。
-Vfn: Voltage that turns on all cells of PDP-Vf1: Voltage that turns on any one of PDP cells-Vsmn: Voltage that turns off any one of PDP cells-Vsm1: Turns off all cells of PDP Voltage to be measured These measurement items are parallel on the graph even if the aging test is advanced, and it is desirable that the voltage difference be maintained even for a long time. In addition, it is desirable that these voltages are directly connected to reduction in power consumption as the voltage is lower.
これらの点から考えると、図６の不連続膜でないものはエージング試験を続けるほどＶｆ１とＶｓｍｎが接近していく。より具体的には、経時変化によりＶｓｍｎの電圧が増加していく事が分かる。これは時間が経過することで保護膜が導電性を持つことを意味する。 Considering these points, Vf1 and Vsmn approach each other as the aging test is continued for the non-discontinuous film of FIG. More specifically, it can be seen that the voltage of Vsmn increases with time. This means that the protective film has conductivity as time passes.
これに対し、本発明に関わる不連続膜を用いた保護膜層では、加速エージング時間が一定以上（２００分超）になると、Ｖｆ１とＶｓｍｎの電圧差を保つことが可能となっている。すなわち、不連続膜を保護膜層に適用すると、時間経過により導電性を保護膜層が有することを抑止することが見て取れる。 On the other hand, in the protective film layer using the discontinuous film according to the present invention, the voltage difference between Vf1 and Vsmn can be maintained when the acceleration aging time exceeds a certain value (over 200 minutes). That is, when the discontinuous film is applied to the protective film layer, it can be seen that the protective film layer is prevented from having conductivity over time.
すなわちインピーダンス特性が図７ではθ＝−９０度で直交性を有し続けている。これに対し、図６ではインピーダンス特性がθ＝−９０度より大きく（θ＞−９０度）なっていることを意味する。 That is, in FIG. 7, the impedance characteristic continues to be orthogonal at θ = −90 degrees. On the other hand, in FIG. 6, it means that the impedance characteristic is larger than θ = −90 degrees (θ> −90 degrees).
このように保護膜層に「不連続膜」を維持することで、ＰＤＰ製造時の保護膜層の性能を拠り長期間維持し続けることが可能となる。 By maintaining the “discontinuous film” in the protective film layer in this way, it is possible to maintain the film for a long period of time based on the performance of the protective film layer at the time of manufacturing the PDP.
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能であることは言うまでもない。 As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.
本発明は、一般的なプラズマディスプレイパネルの前面側ガラス基板上の誘電体層の保護に用いる保護膜での利用を考えたものである。当然、これらのプラズマディスプレイパネルを用いた表示装置も本発明の射程に含まれる。 The present invention is intended for use in a protective film used to protect a dielectric layer on a front glass substrate of a general plasma display panel. Of course, display devices using these plasma display panels are also included in the range of the present invention.
１…前面側板ガラス、２…表示電極、３…誘電体層、４…保護膜層、
５…隔壁（リブ）、６…蛍光体、７…誘電体層、８…アドレス電極、
９…背面側板ガラス。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Front side plate glass, 2 ... Display electrode, 3 ... Dielectric layer, 4 ... Protective film layer,
5 ... partition wall (rib), 6 ... phosphor, 7 ... dielectric layer, 8 ... address electrode,
9: Back side plate glass.
Claims (1)
前記保護膜層は、成形された膜上にクラックが入った不連続膜で、１種類の金属酸化膜により形成され、前記金属酸化膜を形成する酸化金属は、原子半径が１８０ｐｍ以上２０５ｐｍ以下の酸化ランタン、酸化ユウロピウム、酸化イッテルビウムのいずれか１つであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 A plasma display panel having a protective film layer for protecting a glass substrate provided with a discharge electrode and a dielectric layer,
The protective film layer is a discontinuous film having cracks formed on the formed film, and is formed of one kind of metal oxide film. The metal oxide forming the metal oxide film has an atomic radius of 180 pm or more and 205 pm or less. A plasma display panel, which is one of lanthanum oxide, europium oxide, and ytterbium oxide.
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