JP5583550B2 - Gcib(ガスクラスターイオンビーム)銃、表面分析装置および表面分析方法 - Google Patents
Gcib(ガスクラスターイオンビーム)銃、表面分析装置および表面分析方法 Download PDFInfo
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Description
しかしながら、一次イオンビームとしてGCIBを従来の液体金属イオンに置き換えて使用しようとすると次のような問題点が生じる。
すなわちGCIBでは従来のイオンビームのように数nsec以下のパルス幅の短いイオンパケットを生成することは困難であった。
本発明はGCIB銃であって、前記第一のシャッター部を通過した前記GCIBの進行方向を曲げる四重極偏向電極部を有し、前記選別部は進行方向を曲げられた前記GCIBが入射する位置に配置されたGCIB銃である。
本発明はGCIB銃であって、前記選別部から射出された前記GCIBのパルス幅を圧縮する圧縮部を有し、前記圧縮部は、前記GCIBが順に通過する第一、第二の通過孔がそれぞれ設けられた第一、第二の加速電極と、前記第一の加速電極に前記GCIBと同極性の電圧をパルス状に印加し、前記第一の通過孔から前記第一、第二の加速電極間に進入した前記GCIBを前記第一の電極から前記第二の電極に向けて加速させるパルス電源と、を有するGCIB銃である。
本発明はGCIB銃であって、前記制御装置は、予め決められた質量範囲内の前記GCIBが前記第二のシャッター部に到達する時刻を求め、予め決められた時間だけ前記一対の偏向電極板を接地電位にし、他の時刻は前記一対の偏向電極板に互いに逆極性の直流電圧を継続して印加しておくように構成されたGCIB銃である。
本発明は、前記GCIB銃を有する表面分析装置である。
本発明は、前記GCIB銃から照射された前記GCIBを試料に照射して表面分析を行う表面分析方法である。
第一のシャッター部から一定距離だけ離れた位置に第二のシャッター部を設置する。第一のシャッター部からパルス幅T1のパルスビームを第二のシャッター部に向けて入射する。第二のシャッター部までの飛行時間をT0、第二のシャッター部のパルス幅をT2とすると、サイズ選別の分解能R=M/ΔMはR=T0/2(T1+T2)で与えられる。すなわち飛行距離を大きくすれば分解能を大きくすることができる。
図1はGCIB銃10の一例の内部構成図を示している。
GCIB銃10は、真空容器11と、真空容器11内に中性のガスクラスターを生成するノズル室20と、生成されたガスクラスターをイオン化するイオン化室30と、イオン化されたガスクラスターから成るGCIBをパルス化するパルス化室40と、パルス化されたGCIBを真空容器11の外側に射出する射出室50を有している。
ノズル室20とイオン化室30とパルス化室40と射出室50は真空容器11の内側にそれぞれ配置され、この順序で直列に接続されている。射出室50は銃口13に接続されている。
ここでは真空容器11の銃口13には不図示の真空槽が気密に接続され、真空容器11の内側は外側の大気と遮断されている。
ノズル室20内には、ノズル21とスキマー22が配置されている。
スキマー22はノズル21の先端と対向して配置されている。
生成されたガスクラスターの中心部はスキマー22によって切り出され、イオン化室30に導かれる。
ここではイオン化部31は、イオン化室30内に熱電子を放出するフィラメント32と、放出された熱電子を加速してガスクラスターに照射する熱電子加速電極33を有している。
形成されたガスクラスターイオンは、引出電極部34が形成する電場により加速されて引き出されてGCIBとなり、パルス化室40に導かれる。
パルス化室40内には、イオン化室30から射出されたGCIBを予め決められた時間T1だけ通過させてパルス化する第一のシャッター部41が配置されている。
第一のシャッター部41はここではGCIBの飛行経路を間に挟んで互いに平行に対向する一対のパルス化電極板42、43を有している。
以下では、イオン化室30とパルス化室40との間の隔壁を第一の隔壁17と呼び、パルス化室40と射出室50との間の隔壁を第二の隔壁18と呼ぶ。
制御装置55は、GCIBが一対のパルス化電極板42、43の間に入射し始める前に、予め一対のパルス化電極板42、43に対して互いに逆極性の直流電圧を印加しておくように構成されている。
制御装置55は、GCIBが一対のパルス化電極板42、43の間に連続的に入射している間に、予め決められた時間T1だけパルス状に一対のパルス化電極板42、43をそれぞれ接地電位にするように構成されている。
一対の偏向電極板53a、53bはそれぞれ電源装置54に電気的に接続されている。電源装置54は一方の偏向電極板53aに正電圧を印加し、他方の偏向電極板53bに負電圧を印加するように構成されている。
GCIBの運動エネルギーが分かっている場合には、第一のシャッター部41を通過してから所定距離を移動するまでの時間は、GCIBのサイズ(すなわち質量)に応じて計算で求めることができる。
第二の貫通孔18aを通過した後、第一のミラー貫通孔56aに入射するGCIBのパケットは、第一のミラー貫通孔56aと第一のレンズ貫通孔56bを順に通過する。
従って、第一、第二の選別工程を、周期T=173μsecで繰り返すと、サイズ2000付近のGCIBが選別される。
すなわち本実施例では、選別部59を通過したGCIBは、サイズが2000(サイズ分解能865)、時間幅が5μsecのパケットである。
圧縮部71は、第一、第二の加速電極72、73を有している。第一、第二の加速電極72、73は、選別部59から射出されたGCIBの飛行経路上に、選別部59に近い側から第一の加速電極72、第二の加速電極73の順に並んで配置されている。GCIBの飛行経路と交差する位置には第一、第二の通過孔72a、73aが設けられており、GCIBは第一、第二の通過孔72a、73aを順に通過するようになっている。
第一の加速電極72にはパルス電源74が電気的に接続され、第二の加速電極73は接地電位に置かれている。パルス電極74は第一の加速電極72にGCIBと同極性の直流電圧をパルス状に印加するように構成されている。
第一、第二の加速電極72、73の間を飛行するGCIBは電場E1=5×104V/mで加速される。
第一の加速電極72に電圧を印加してから距離L2までの所要時間は次式で与えられる。第1項は第一、第二の加速電極72、73間の所要時間、第2項はドリフト空間L2の所要時間である。
U2=U1+E1×(s−s0)
s0:パルスゲートの中間点
s−s0:パルスゲートの中間点からの位置
δ<<1、E1×(s−s0)/U1<<1として上式を級数展開し、一次の項を求めると
この位置に予め試料5を配置しておくと、圧縮部71から射出されたGCIBはほぼ同時刻に試料5に照射される。
本発明のGCIB銃の第二例の構造を説明する。
図4はこのGCIB銃10’の内部構成図を示している。上述の第一例のGCIB銃10と構造の同じ部分には同じ符号を付して示している。
選別部59の第二のミラー電極52aには第二のミラー貫通孔57aが設けられていてもよいし、設けられていなくてもよい。
四重極偏向電極部76と選別部59の間には第三の貫通孔19aが設けられた第三の隔壁19が配置されている。
四重極偏向電極部76から射出されたGCIBのうち、所定の電荷質量比のGCIBは、第三の貫通孔19aを通過して選別部59に入射する。一方、電荷質量比が所定の値と異なるGCIBは第三の隔壁19に衝突して遮断される。
第二例のGCIB銃10’は、第一例のGCIB銃10に較べて、真空容器11の長手方向である銃身の長さを短く形成でき、装置の設計が容易になる。
11……真空容器
20……ノズル室
30……イオン化室
41……第一のシャッター部
59……選別部
51a……第一のミラー電極
52a……第二のミラー電極
53……第二のシャッター部
53a、53b……一対の偏向電極板
54……電源装置
55……制御装置
71……圧縮部
72……第一の加速電極
72a……第一の通過孔
73……第二の加速電極
73a……第二の通過孔
74……パルス電源
76……四重極偏向電極部
Claims (6)
- 真空容器と、前記真空容器内にガスクラスターを生成するノズル室と、生成された前記ガスクラスターをイオン化するイオン化室とを有し、イオン化された前記ガスクラスターからなるGCIBを前記イオン化室から射出するGCIB銃であって、
前記イオン化室から射出された前記GCIBを予め決められた時間だけ通過させる第一のシャッター部と、
前記第一のシャッター部を通過した前記GCIBのうち予め決められた質量範囲外の前記GCIBを除去する選別部とを有し、
前記選別部は、
前記GCIBを交互に反射して往復移動させる第一、第二のミラー電極と、
前記第一、第二のミラー電極の間に配置され、前記質量範囲内の前記GCIBを、予め決められた時間だけ通過させる第二のシャッター部と、
を有し、
前記第二のシャッター部は、
前記GCIBの飛行経路を間に挟んで互いに対向する一対の偏向電極板と、
前記一対の偏向電極板のうち一方の偏向電極板に正電圧を印加し、他方の偏向電極板に負電圧を印加する電源装置と、
前記電源装置の出力電圧値を制御する制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、
前記質量範囲外の前記GCIBが前記一対の偏向電極板の間を飛行しているときは、前記一対の偏向電極板に互いに逆極性の電圧を印加して、前記GCIBを偏向除去し、
前記質量範囲内の前記GCIBが前記一対の偏向電極板の間を飛行しているときは、前記一対の偏向電極板をそれぞれ接地電位にして、前記GCIBを通過させるように構成され、
前記第二のシャッター部は、前記制御装置により、前記第一のシャッター部から前記第二のシャッター部にパルス状に入射された前記GCIBが、前記第一、第二のミラー電極の間を予め決められた回数往復移動する間に、前記第一のシャッター部から前記第二のシャッター部にパルス状に入射された前記GCIBのうち、前記決められた質量範囲外の前記GCIBを繰り返し除去し、前記質量範囲内の前記GCIBを前記選別部から射出するGCIB銃。 - 前記第一のシャッター部を通過した前記GCIBの進行方向を曲げる四重極偏向電極部を有し、
前記選別部は進行方向を曲げられた前記GCIBが入射する位置に配置された請求項1記載のGCIB銃。 - 前記選別部から射出された前記GCIBのパルス幅を圧縮する圧縮部を有し、
前記圧縮部は、
前記GCIBが順に通過する第一、第二の通過孔がそれぞれ設けられた第一、第二の加速電極と、
前記第一の加速電極に前記GCIBと同極性の電圧をパルス状に印加し、前記第一の通過孔から前記第一、第二の加速電極間に進入した前記GCIBを前記第一の電極から前記第二の電極に向けて加速させるパルス電源と、
を有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のGCIB銃。 - 前記制御装置は、予め決められた質量範囲内の前記GCIBが前記第二のシャッター部に到達する時刻を求め、予め決められた時間だけ前記一対の偏向電極板を接地電位にし、他の時刻は前記一対の偏向電極板に互いに逆極性の直流電圧を継続して印加しておくように構成された請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のGCIB銃。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のGCIB銃を有する表面分析装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載のGCIB銃から照射された前記GCIBを試料に照射して表面分析を行う表面分析方法。
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