JP5581455B2 - Eccentric compensation scriber device - Google Patents

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Description

本発明は偏心補償用スクライバー装置に関するもので、さらに詳しくは、スクライビングラインに沿って基板を切断する際に、偏心補償用ヘッドユニットを簡単に設置することによって、別途の工程変更なしに５Ｒ（５ｍｍラウンド）以下の小さいラウンド形状も容易に裁断することができるようにした偏心補償用スクライバー装置に関するものである。   The present invention relates to an eccentricity compensation scriber device. More specifically, when cutting a substrate along a scribing line, an eccentricity compensation head unit can be easily installed without changing a separate process. The present invention relates to an eccentricity compensation scriber device that can easily cut a small round shape below.

一般的に、液晶ディスプレーパネル（display pannel）、プラズマ（plasma）ディスプレーパネル、有機ＥＬディスプレーパネルなどの平板ディスプレーパネルの表示装置では、２枚の脆性材料であるガラスを接合させてパネルを構成している。   In general, in a display device of a flat panel display panel such as a liquid crystal display panel (plasma display panel), a plasma display panel (plasma) display panel, or an organic EL display panel, the panel is formed by bonding two sheets of brittle material glass. Yes.

このようなパネルを製造する際には、マザーガラス（mother glass）基板（以下、「基板」という）を所定の大きさ及び形態に切断する。切断工程は、基板のスクライビング予定ラインに沿ってスクライビングラインを形成し、上記スクライビングラインを中心にして、所定の曲げ応力を印加して、スクライビングラインに沿って基板を切断する。   When manufacturing such a panel, a mother glass substrate (hereinafter referred to as “substrate”) is cut into a predetermined size and shape. In the cutting step, a scribing line is formed along a planned scribing line of the substrate, a predetermined bending stress is applied around the scribing line, and the substrate is cut along the scribing line.

このようなスクライビングラインの形成方法としては、基板を支持テーブル上に固定して、ホイール（wheel）を利用して基板上でスクライビングラインを形成するか、または、基板に予めクラック（crack）を形成し、そのクラックの先端にレーザービーム（laser beam）を照射して、基板に熱による捩じれを発生させると同時に、レーザービームの照射位置を移動させることによって、亀裂を成長させる。これによって基板の厚さ方向に沿う垂直クラックからなるスクライビングラインが生成される。   As a method of forming such a scribing line, the substrate is fixed on a support table and a scribing line is formed on the substrate using a wheel, or a crack is formed in advance on the substrate. Then, a laser beam (laser beam) is irradiated to the tip of the crack to cause the substrate to be twisted by heat, and at the same time, the laser beam irradiation position is moved to grow the crack. This creates a scribing line consisting of vertical cracks along the thickness direction of the substrate.

従来のスクライバー装置は、その一例として、図１に示すように、スクライビングラインを形成するホイール１が装着されたホイールホルダー３と、上記ホイールホルダー３のホルダー軸３ａがベアリング９を通じて回転運動可能に装着されたヘッドユニット１１と、上記ヘッドユニット１１の上端に設置されて、ヘッドユニット１１がスクライビングラインに沿って駆動するように、サーボモーター（図示しない）によって加圧される軸ホルダー１３とで構成されている。   As an example, a conventional scriber device has a wheel holder 3 on which a wheel 1 forming a scribing line is mounted, and a holder shaft 3a of the wheel holder 3 that is rotatably mounted through a bearing 9 as shown in FIG. And a shaft holder 13 installed at the upper end of the head unit 11 and pressed by a servo motor (not shown) so that the head unit 11 is driven along the scribing line. ing.

この時、上記ホイール１は上記ホイールホルダー３の下側に回転自在に装着される時、その中心軸線Ｃ２がホイールホルダー３の上側に突出して形成されたホルダー軸３ａの中心軸線Ｃ１から約１〜１．５ｍｍ偏心されるように構成されている。   At this time, when the wheel 1 is rotatably mounted on the lower side of the wheel holder 3, the central axis C2 of the wheel 1 projects from the central axis C1 of the holder shaft 3a formed so as to protrude above the wheel holder 3. It is configured to be eccentric by 1.5 mm.

上記ヘッドユニット１１は、その内径に対して、上側と下側が同軸線に置かれるように同心状に形成されている。   The head unit 11 is formed concentrically with respect to the inner diameter so that the upper side and the lower side are placed on a coaxial line.

上記軸ホルダー１３は、その内部に装着されたベアリング（図示しない）を介して軸１３ａが連結され、この軸１３ａは上記ヘッドユニット１１の上端に挿入されて、ヘッドユニットの上端周辺を加圧するボルト５によって固定されるように構成されている。   The shaft holder 13 is connected to a shaft 13a via a bearing (not shown) mounted therein, and the shaft 13a is inserted into the upper end of the head unit 11 and pressurizes the periphery of the upper end of the head unit. 5 to be fixed.

このような上記ヘッドユニット１１とホイールホルダー３は、ホルダー軸３ａによって互いに連結され、図示しない別途の移動手段によって、Ｘ軸またはＹ軸に移動するスクライビングラインを形成しながら、ホイールホルダー３の端部に装着されたホイール１を利用して、例えば図２のような形状の基板１７を裁断するようになる。   The head unit 11 and the wheel holder 3 are connected to each other by a holder shaft 3a, and an end portion of the wheel holder 3 is formed while forming a scribing line that moves to the X axis or the Y axis by a separate moving means (not shown). For example, the substrate 17 having a shape as shown in FIG.

一方、上記サーボモーターと連結された制御部は、基板に対してスクライビングラインを形成するためのスクライビングラインの長さ、方向及び間隔、ダミー領域の位置情報などが予め設定された値として保存され、制御部は上記設定値によってホイール１がダミー領域にあると判断されると、ホイール１の方向を切り替えるように制御する。   On the other hand, the controller connected to the servo motor stores the length, direction and interval of the scribing line for forming the scribing line with respect to the substrate, the position information of the dummy area, and the like as preset values. When it is determined that the wheel 1 is in the dummy area based on the set value, the control unit controls the direction of the wheel 1 to be switched.

しかし、このように構成された従来のスクライバー装置は、ホイール１の中心軸線Ｃ２から所定距離偏心されたホルダー軸３ａの中心軸線Ｃ１がヘッドユニット１１を通じて軸１３ａと同軸線を成しながら、ホイール１の中心軸線Ｃ２と軸１３ａの駆動中心が一致しない構造になっていることから、ホイール１がスクライビングラインに沿って基板１７を切断するために、直線四角区間１７ａまたは５Ｒ以上の大きいラウンド区間１７ｂを通過する時には所望の形状に裁断が適合するが、５Ｒ以下の小さいラウンド区間１７ｃを通過する時には、偏心量によって裁断された形状がプラス（＋）またはマイナス（−）方向に捻れる現象によってラウンド形状が正確でなく、また切り目が滑らかでないなどの不良率がたくさん発生されるという問題点があった。   However, in the conventional scriber device configured as described above, the center axis C1 of the holder shaft 3a decentered from the center axis C2 of the wheel 1 by a predetermined distance forms a coaxial line with the shaft 13a through the head unit 11, while the wheel 1 Since the center axis C2 of the shaft and the drive center of the shaft 13a do not coincide with each other, in order for the wheel 1 to cut the substrate 17 along the scribing line, a straight square section 17a or a large round section 17b of 5R or more is used. When passing, the cutting fits in the desired shape, but when passing through a small round section 17c of 5R or less, the shape cut by the eccentric amount is rounded by the phenomenon of twisting in the plus (+) or minus (-) direction. The problem is that the defect rate is not correct and the defect rate is not smooth. There was a point.

本発明は、上述した諸問題を解決するために提案されたもので、本発明の目的は、基板の小さいラウンド区間を裁断する際に、捻れることなく、ラウンド形状が正確に具現されるようにすることはもちろん、切り目を滑らかにすることができる偏心補償用スクライバー装置を提供することにある。   The present invention has been proposed to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to accurately implement a round shape without twisting when cutting a small round section of a substrate. Of course, an object of the present invention is to provide an eccentricity compensation scriber device capable of smoothing the cut line.

本発明のまた他の目的は、別途の工程変更及び追加部品なしに、基板の裁断品質の向上はもちろん、不良率を最小化させることができる偏心補償用スクライバー装置を提供することにある。   It is another object of the present invention to provide an eccentricity compensation scriber apparatus that can minimize the defect rate as well as improve the cutting quality of the substrate without any additional process change and additional parts.

本発明による偏心補償用スクライバー装置は、ホルダー軸の中心から所定距離偏心されるように、下部にホイールが装着されたホイールホルダーと、上記ホイールがスクライビングラインに沿って駆動されるように軸を有する軸ホルダーと、上記ホルダー軸に装着され、上側が上記軸に装着されてホイールホルダーと軸ホルダーを連結するヘッドユニットとを具備したスクライバー装置において、上記ヘッドユニットは、上記ホイールとホルダー軸との偏心量を補償するように、その下側に形成された第１内径部の中心軸線がその上側に形成された第２内径部の中心軸線から所定距離偏心されるように形成され、ヘッドユニットは、その下側に上記ホイールホルダーのホルダー軸がベアリングを介して固定されるように形成された第１内径部と、その上側に上記軸ホルダーの軸が挿入されるように形成された上記第２内径部と、その上側周辺一側に上記第２内径部の内径の大きさを調節するように上端から中間高さまで垂直に形成された切開部と、上記切開部の側面中央にボルトが水平に貫通して締結されるように形成された締結孔とで構成されたことを特徴とする。   A scriber device for eccentricity compensation according to the present invention has a wheel holder having a wheel mounted at a lower portion thereof so as to be decentered by a predetermined distance from the center of the holder shaft, and a shaft so that the wheel is driven along a scribing line. In a scriber device comprising a shaft holder and a head unit mounted on the holder shaft and having an upper side mounted on the shaft and connecting the wheel holder and the shaft holder, the head unit has an eccentricity between the wheel and the holder shaft. In order to compensate the amount, the center axis of the first inner diameter portion formed on the lower side is formed to be decentered by a predetermined distance from the center axis of the second inner diameter portion formed on the upper side, and the head unit is A first inner diameter portion formed so that a holder shaft of the wheel holder is fixed to the lower side via a bearing. The second inner diameter portion formed so that the shaft of the shaft holder is inserted on the upper side thereof, and an intermediate height from the upper end so as to adjust the size of the inner diameter of the second inner diameter portion on the upper peripheral side. The incision portion is vertically formed, and a fastening hole is formed so that a bolt is horizontally penetrated and fastened to the center of the side surface of the incision portion.

他の実施例として、本発明の第１内径部の中心軸線は、上記第２内径部の中心軸線から約１〜１．５ｍｍ偏心されるように構成されたことを特徴とする。   As another embodiment, the center axis of the first inner diameter portion of the present invention is configured to be decentered by about 1 to 1.5 mm from the center axis of the second inner diameter portion.

他の実施例として、本発明の第１内径部は、上記ホルダー軸と同軸線上に置かれるように構成され、上記第２内径部は軸及びホイールと同軸線上に置かれるように構成されたことを特徴とする。   As another embodiment, the first inner diameter portion of the present invention is configured to be placed on the same axis as the holder shaft, and the second inner diameter portion is configured to be positioned on the same axis as the shaft and the wheel. It is characterized by.

他の実施例として、本発明の第１内径部の中心軸線と第２内径部の中心軸線との距離に対する偏心量は上記ホルダー軸の中心とホイールの中心との距離に対する偏心量に対応するように構成されたことを特徴とする。   As another embodiment, the amount of eccentricity with respect to the distance between the center axis of the first inner diameter portion and the center axis of the second inner diameter portion of the present invention corresponds to the amount of eccentricity with respect to the distance between the center of the holder shaft and the center of the wheel. It is characterized by being configured.

上記のような本発明による偏心補償用スクライバー装置は、ホイールの中心軸線とホルダー軸の中心軸線との距離に対する偏心量を偏心補償用ヘッドユニットによって補償することによって、基板の小さいラウンド区間を裁断する際に、捻れることなく、ラウンド形状が正確に具現されるようにすることはもちろん、切り目を滑らかにすることができ、また別途の工程変更及び追加部品なしに基板の裁断品質を向上させるとともに、不良率を最小化させることができるという効果を奏する。     The eccentric compensation scriber apparatus according to the present invention as described above cuts a small round section of the substrate by compensating the eccentricity with respect to the distance between the central axis of the wheel and the central axis of the holder shaft by the eccentric compensation head unit. In addition to ensuring that the round shape is accurately realized without twisting, the cuts can be made smooth, and the cutting quality of the substrate can be improved without additional process changes and additional parts. The defect rate can be minimized.

従来によるスクライバー装置の構成図である。It is a block diagram of the conventional scriber apparatus. スクライビングラインに沿って裁断された一例の基板構成図である。It is a board | substrate block diagram of an example cut | judged along the scribing line. 本発明による偏心補償用ヘッドユニットを示した断面図である。It is sectional drawing which showed the head unit for eccentricity compensation by this invention. 本発明による偏心補償用ヘッドユニットが適用されたスクライバー装置の構成図である。It is a block diagram of the scriber apparatus to which the eccentricity compensation head unit by this invention was applied.

以下、本発明の一実施例について、添付図３及び図４を参照して詳しく説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 3 and FIG.

参考に、図面において従来の構成と同じ構成については同一名称及び同一符号を付与し、それに対する詳細な説明は省略する。   For reference, in the drawings, the same configuration and the same reference numerals are given to the same configuration as the conventional configuration, and detailed description thereof is omitted.

本発明による偏心補償用スクライバー装置は、ホルダー軸３ａの中心から所定距離偏心されるように下部にホイール１が装着されたホイールホルダー３と、上記ホイール１がスクライビングラインに沿って駆動されるように軸１３ａを有する軸ホルダー１３と、上記ホイール１とホルダー軸３ａとの偏心量を補償するように、下側の中心軸線Ｃ３が上側の中心軸線Ｃ４から所定距離偏心されるように形成されて、下側がホルダー軸３ａに装着され、上側が軸１３ａに装着されるヘッドユニット２０とで構成される。   The eccentric compensation scriber apparatus according to the present invention is configured such that the wheel holder 3 having the wheel 1 mounted on the lower portion thereof is eccentrically provided by a predetermined distance from the center of the holder shaft 3a, and the wheel 1 is driven along the scribing line. The lower center axis C3 is formed to be decentered from the upper center axis C4 by a predetermined distance so as to compensate for the amount of eccentricity between the shaft holder 13 having the shaft 13a and the wheel 1 and the holder shaft 3a. The lower unit is configured by the head unit 20 mounted on the holder shaft 3a and the upper unit mounted on the shaft 13a.

この時、上記ヘッドユニット２０は、その下側に上記ホイールホルダー３のホルダー軸３ａがベアリング９を介して固定されるように形成された第１内径部２０ａと、その上側に上記軸ホルダー１３の軸１３ａが挿入されるように形成された上記第２内径部２０ｂと、その上側周辺一側に上記第２内径部２０ｂの内径大きさを調節するように、上端から中間高さまで垂直に形成された切開部２０ｃと、上記切開部２０ｃの側面中央にボルト５が水平に貫通して締結されるように形成された締結孔２０ｄとで構成される。   At this time, the head unit 20 has a first inner diameter portion 20a formed so that the holder shaft 3a of the wheel holder 3 is fixed via the bearing 9 on the lower side, and the shaft holder 13 on the upper side. The second inner diameter portion 20b is formed so that the shaft 13a is inserted, and is formed vertically from the upper end to the intermediate height so as to adjust the inner diameter size of the second inner diameter portion 20b on the upper peripheral side. The incision portion 20c and a fastening hole 20d formed so that the bolt 5 is horizontally penetrated and fastened to the center of the side surface of the incision portion 20c.

ここで、上記第１内径部２０ａの中心軸線Ｃ３は上記第２内径部２０ｂの中心軸線Ｃ４から約１〜１．５ｍｍ偏心されるように構成される。即ち、上記第１内径部２０ａは上記ベアリング９及びホルダー軸３ａと同軸線上に置かれるように構成され、上記第２内径部２０ｂは軸１３ａ及びホイール１と同軸線上に置かれるように構成される。   Here, the central axis C3 of the first inner diameter portion 20a is configured to be decentered by about 1 to 1.5 mm from the central axis C4 of the second inner diameter portion 20b. That is, the first inner diameter portion 20a is configured to be placed on the same axis as the bearing 9 and the holder shaft 3a, and the second inner diameter portion 20b is configured to be positioned on the same axis as the shaft 13a and the wheel 1. .

上記第１内径部２０ａの中心軸線Ｃ３と第２内径部２０ｂの中心軸線Ｃ４との距離に対する偏心量は上記ホルダー軸３ａの中心とホイール１の中心との距離に対する偏心量に対応するように構成される。   The amount of eccentricity with respect to the distance between the center axis C3 of the first inner diameter portion 20a and the center axis C4 of the second inner diameter portion 20b corresponds to the amount of eccentricity with respect to the distance between the center of the holder shaft 3a and the center of the wheel 1. Is done.

このように、本発明のヘッドユニット２０は、その下側に形成された第１内径部２０ａの中心軸線Ｃ３がその上側に形成された第２内径部２０ｂの中心軸線Ｃ４から所定距離偏心されるように構成することによって、ホイール１の中心軸線が第２内径部２０ｂの中心軸線Ｃ４と一致するとともに、軸１３ａの駆動軸線と一致するので、ホイール１の中心軸線とホルダー軸３ａの中心軸線との距離に対する偏心量を補償するようになる。   As described above, in the head unit 20 of the present invention, the central axis C3 of the first inner diameter portion 20a formed on the lower side thereof is eccentric from the central axis C4 of the second inner diameter portion 20b formed on the upper side by a predetermined distance. With this configuration, the center axis of the wheel 1 coincides with the center axis C4 of the second inner diameter portion 20b and the drive axis of the shaft 13a. Therefore, the center axis of the wheel 1 and the center axis of the holder shaft 3a The amount of eccentricity with respect to the distance is compensated.

これによって、ホイール１はスクライビングラインに沿って基板１７を切断するために、直線四角区間１７ａ及び５Ｒ 以上の大きいラウンド区間１７ｂを通過する時と同じく、５Ｒ以下の小さいラウンド区間１７ｃを通過する時にもプラス（＋）またはマイナス（−）方向に裁断形状が捻れることなく正確に動作されることはもちろん、切り目を滑らかにすることができる。   As a result, the wheel 1 cuts the substrate 17 along the scribing line, and also when passing through the small round section 17c of 5R or less, as well as passing through the straight square section 17a and the large round section 17b of 5R or more. The cut shape can be made smooth as well as being accurately operated without being twisted in the plus (+) or minus (−) direction.

また、ホイール１の中心軸線とホルダー軸３ａの中心軸線との距離に対する偏心量をヘッドユニット２０の内径に形成された偏心量で容易に補償することができるので、別途の工程変更及び追加部品なしに、基板１７の裁断品質向上はもちろん、不良率を最小化させることができる。   Further, since the amount of eccentricity with respect to the distance between the center axis of the wheel 1 and the center axis of the holder shaft 3a can be easily compensated by the amount of eccentricity formed on the inner diameter of the head unit 20, there is no additional process change and no additional parts. In addition, not only the cutting quality of the substrate 17 can be improved, but also the defect rate can be minimized.

一方、本発明は上述した実施例のみによって限定されるのではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で修正及び変形して実施することができ、このような修正及び変形が加えられた技術思想も以下の特許請求の範囲に属するものとすべきである。   On the other hand, the present invention is not limited only to the above-described embodiments, but can be modified and modified within the scope not departing from the gist of the present invention, and the technology to which such modifications and variations are added. The idea should also belong to the following claims.

１：ホイール
３：ホイールホルダー
３ａ：ホルダー軸
５：ボルト
９：ベアリング
１３：軸ホルダー
１３ａ：軸
１７：基板
１７ａ：直線四角区間
１７ｂ：大きいラウンド区間
１７ｃ：小さいラウンド区間
２０：ヘッドユニット
２０ａ：第１内径部
２０ｂ：第２内径部
２０ｃ：切開部
２０ｄ：締結孔 1: Wheel 3: Wheel holder 3a: Holder shaft 5: Bolt 9: Bearing 13: Shaft holder 13a: Shaft 17: Substrate 17a: Linear square section 17b: Large round section 17c: Small round section 20: Head unit 20a: First Inner diameter portion 20b: second inner diameter portion 20c: incision portion 20d: fastening hole

Claims (4)

ホルダー軸の中心から所定距離偏心されるように、下部にホイールが装着されたホイールホルダーと、前記ホイールがスクライビングラインに沿って駆動されるように、軸を有する軸ホルダーと、前記ホルダー軸に装着され、上側が前記軸に装着されホイールホルダーと軸ホルダーとを連結するヘッドユニットとを具備したスクライバー装置において、
前記ヘッドユニットは、前記ホイールとホルダー軸との偏心量を補償するように、その下側に形成された第１内径部の中心軸線がその上側に形成された第２内径部の中心軸線から所定距離偏心されるように形成され、前記ヘッドユニットは、その下側に前記ホイールホルダーのホルダー軸がベアリングを介して固定されるように形成された第１内径部と、その上側に前記軸ホルダーの軸が挿入されるように形成された前記第２内径部と、その上側周辺一側に前記第２内径部の内径大きさを調節するように、上端から中間高さまで垂直に形成された切開部と、前記切開部の側面中央にボルトが水平に貫通して締結されるように形成された締結孔とで構成されたことを特徴とする偏心補償用スクライバー装置。 A wheel holder with a wheel attached to the lower part so as to be decentered by a predetermined distance from the center of the holder shaft, a shaft holder having a shaft so that the wheel is driven along a scribing line, and attached to the holder shaft In a scriber apparatus comprising a head unit that is mounted on the shaft on the upper side and connects the wheel holder and the shaft holder,
In the head unit, the center axis of the first inner diameter portion formed on the lower side is predetermined from the center axis of the second inner diameter portion formed on the upper side so as to compensate for the amount of eccentricity between the wheel and the holder shaft. The head unit is formed so as to be eccentric, and the head unit has a first inner diameter portion formed so that a holder shaft of the wheel holder is fixed via a bearing on the lower side, and an upper portion of the shaft holder on the upper side. The second inner diameter portion formed so that the shaft is inserted, and the incision portion formed vertically from the upper end to the intermediate height so as to adjust the inner diameter size of the second inner diameter portion on one side of the upper periphery thereof And a fastening hole formed so that a bolt penetrates horizontally in the center of the side surface of the incision and is fastened. 前記第１内径部の中心軸線は前記第２内径部の中心軸線から約１〜１．５ｍｍ偏心されるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の偏心補償用スクライバー装置。   The eccentric scriber according to claim 1, wherein the central axis of the first inner diameter portion is decentered by about 1 to 1.5 mm from the central axis of the second inner diameter portion. 前記第１内径部は前記ホルダー軸と同軸線上に置かれるように構成され、前記第２内径部は軸及びホイールと同軸線上に置かれるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の偏心補償用スクライバー装置。   The first inner diameter portion is configured to be placed on a coaxial line with the holder shaft, and the second inner diameter portion is configured to be placed on a coaxial line with the shaft and the wheel. Eccentricity compensation scriber device. 前記第１内径部の中心軸線と第２内径部の中心軸線との距離に対する偏心量は前記ホルダー軸の中心とホイールの中心との距離に対する偏心量に対応するように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の偏心補償用スクライバー装置。   The amount of eccentricity with respect to the distance between the center axis of the first inner diameter portion and the center axis of the second inner diameter portion corresponds to the amount of eccentricity with respect to the distance between the center of the holder shaft and the center of the wheel. The scriber device for eccentricity compensation according to claim 1.
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