JP5579472B2 - 通電検査装置 - Google Patents

通電検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5579472B2
JP5579472B2 JP2010067641A JP2010067641A JP5579472B2 JP 5579472 B2 JP5579472 B2 JP 5579472B2 JP 2010067641 A JP2010067641 A JP 2010067641A JP 2010067641 A JP2010067641 A JP 2010067641A JP 5579472 B2 JP5579472 B2 JP 5579472B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
terminal
inspected
contact
probe
elastic member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010067641A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011202963A (ja
Inventor
一石 日江井
陸男 遠藤
大輔 山村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Motor Co Ltd filed Critical Honda Motor Co Ltd
Priority to JP2010067641A priority Critical patent/JP5579472B2/ja
Publication of JP2011202963A publication Critical patent/JP2011202963A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5579472B2 publication Critical patent/JP5579472B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

本発明は、被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置に関する。
従来から、通電検査装置として、プリント基板等の被検査体の端子にプローブ本体を押し付けて通電したり(特許文献1参照)、集積回路素子等の被検査体の球形電極をプローブピンに押し付けて通電したり(特許文献2参照)することにより、該被検査体の電気特性を検査するものが知られている。
特開2009−42090号公報 特許第4045687号公報
小電流用の通電検査装置は、プローブ本体の径が細く、又該プローブ本体と被検査体の端子(装置端子)の間の電気抵抗が数[mΩ]〜数十[mΩ]と大きいため、大電流(数百[A]〜数千[A])を流す検査では、該プローブ本体自体が発熱して壊れたり、前記プローブ本体と前記装置端子の接触箇所が発熱して破壊(溶融)したりする可能性がある。
そのため、大電流用の通電検査装置では、プローブ本体の径を太くすることでプローブ本体自体の電気抵抗を低くしたり、プローブ本体に平面を形成して該平面を前記装置端子に押し当てることにより、該プローブ本体と該装置端子の接触面積を大きくして電気抵抗を低くしたりすることがある。
そして、前記プローブ本体を前記装置端子に確実に接触させるために、前記プローブ本体と前記装置端子をねじ等によって締め付けることが考えられる。しかしながら、この場合、ねじの締め付け時間が必要で検査工程が煩雑になり、サイクルタイムが長期化する。
上述した特許文献1(特許文献2)のように、プローブ本体を装置端子に押し付ける方法を採用すれば、サイクルタイムの長期化を抑えることができるが、前記通電検査装置は、小電流用に構成されているため、該プローブ本体の押圧力が低く、十分な接触面積を確保することができないことがある。
つまり、十分な接触面積を確保するためには、前記プローブ本体の押圧力を高めればよいが、例えば、装置端子が被検査体本体から突出するようにして形成されていると、前記プローブ本体の押圧力を該装置端子と該被検査体本体との接続部で受けることとなるので、該接続部が破損することがある。
前記接続部の破損を防止する対策としては、例えば、前記装置端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に該プローブ本体の押圧力を受ける接触部材を配置することが考えられる。
しかしながら、通常、被検査体は複数の部品の組立品として構成されており、該装置端子には積み上げ公差(各部品の公差の総和)が発生するため、前記被検査体を検査位置に配置した際に、該装置端子と該接触部材が非接触となり、上述したように接続部(装置端子)が破損するおそれがある。
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、被検査体の端子と接触部材とを確実に接触させた状態でプローブ本体を該端子に押圧させることにより、該端子の破損を抑えることができる通電検査装置を提供することを目的とする。
本発明に係る通電検査装置は、被検査体本体と、前記被検査体本体から外方に突出する端子と、を有する被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置であって、前記端子に接触する導電性のプローブ本体と、前記プローブ本体を前記端子に押圧する押圧手段と、前記端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に位置し、且つ前記端子に接触可能な第1接触部材と、前第1記接触部材を移動可能に支持すると共に、前記端子に向かう方向に前記第1接触部材を付勢する第1付勢支持手段と、を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、被検査体の積み上げ公差によって被検査体本体に対する端子の接続位置にバラツキがあっても、第1接触部材を移動させることで該バラツキを吸収することができる。これにより、前記第1接触部材を前記端子に確実に接触させることができる。なお、第1接触部材を前記端子に向かう方向に付勢しているので、その付勢力にてプローブ本体の押圧力を好適に受けることができる。よって、該端子と前記被検査体本体の接続部が破損することを抑えることができる。
また、前記第1付勢支持手段は、前記端子に向かう方向に前記第1接触部材を付勢する第1弾性部材を有してもよい。この場合、第1弾性部材の弾発力を利用して第1接触部材を付勢することができるので、第1付勢支持手段を簡易な構成にすることができる。
ところで、被検査体の通電検査は、被検査体本体を載置台等(支持手段)に載置した状態で行われることがある。しかしながら、前記被検査体本体には積み上げ公差があるので、該被検査体本体の前記載置台に対する接触が不安定になり易い。そのため、プローブ本体を端子に押圧した際に、該被検査体本体が揺らぎ(ふらつき)該プローブ本体と該端子の接触位置がずれることがある。
そこで、本発明では、前記被検査体本体を支持する支持手段を備え、前記支持手段は、前記被検査体本体に接触可能な第2接触部材と、前記第2接触部材を移動可能に支持すると共に、前記被検査体本体に向かう方向に前記第2接触部材を付勢する第2付勢支持手段と、を有してもよい。
このような構成によれば、前記被検査体本体に積み上げ公差があったとしても、第2接触部材を移動させることで該積み上げ公差を吸収することができる。これにより、該被検査体本体の支持手段に対する接触が安定する。よって、プローブ本体を端子に押圧した際に、該被検査体本体が揺らぐことを抑えることができる。なお、第2接触部材を前記被検査体本体に向かう方向に付勢しているので、その付勢力にて該被検査体本体の重量を好適に支持することができる。
また、前記第2付勢支持手段は、前記被検査体本体に向かう方向に前記第2接触部材を付勢する第2弾性部材を有してもよい。この場合、第2弾性部材の弾発力を利用して第2接触部材を付勢することができるので、第2付勢支持手段を簡易な構成にすることができる。
さらに、前記1弾性部材のばね係数は、前記第2弾性部材のばね定数よりも大きく設定されていてもよい。
この場合、プローブ本体の押圧力に応じて、第1弾性部材及び第2弾性部材を圧縮させて、第1弾性部材の弾発力を調整することができる。つまり、第1弾性部材のばね定数が第2弾性部材のばね定数よりも大きいので、第2弾性部材を被検査体の位置調整用の弾性部材として機能させると共に、第1弾性部材を前記プローブ本体の押圧力を受けるための弾性部材として機能させることができる。これにより、前記プローブ本体の押圧力を第2弾性部材の弾発力で受けるのではなく、第1弾性部材の弾発力で受けることができるので、前記端子と前記被検査体本体の接続部の破損をより確実に抑えることができる。
また、前記被検査体は、前記端子を複数有しており、前記プローブ本体と前記押圧手段と前記第1付勢支持手段とは、各端子に対応して設けられていてもよい。
そうすると、一度に複数箇所の端子の通電検査が可能となるので、被検査体の通電検査を効率的に行うことができる。
本発明によれば、被検査体の公差によって被検査体本体に対する端子の接続位置にバラツキがあっても、第1接触部材を移動させることで該バラツキを吸収することができる。これにより、前記第1接触部材を前記端子に確実に接触させることができるので、該端子と前記被検査体本体の接続部が破損することを抑えることができる。
被検査体を支持機構に配置した状態の本実施形態に係る通電検査装置の一部断面側面図である。 被検査体を支持機構に配置した状態の本実施形態に係る通電検査装置の一部断面正面図である。 被検査体本体の積み上げ公差を説明するための図である。 本実施形態に係る通電検査装置を用いた被検査体の通電検査の手順を示したフローチャートである。 第1及び第2プローブの接触部が第1及び第2端子の端子板に接触した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。 第3プローブの接触部が第3端子の端子板に接触した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。 第1〜第3プローブが第1〜第3端子を押圧している状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。 第1〜第3プローブの押圧力が予め設定した所定範囲内に到達した状態を示す通電検査装置の一部断面正面図である。
以下、本発明に係る通電検査装置について好適な実施形態を例示し、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態に係る通電検査装置10は、被検査体100の電気特性を検査するために用いられるものである(図1及び図2参照)。被検査体100としては、例えば、大電流を通電するインバータ等が挙げられる。
なお、以下の説明では、通電検査装置10に関する部材については参照符号10以降を付し、被検査体100に関する部材については参照符号100以降を付して説明する。
そして、図1及び図2に示すように、被検査体100は、被検査体本体102と、被検査体本体102の側部から外方に突出した第1〜第3端子104a、104b、104c(図2参照)とを備えている。
被検査体本体102は、筐体の中にパワーモジュール等が設けられたインバータ106とヒートシンク108とを有している。
ヒートシンク108は、インバータ106の下面に設けられた天板部110と、天板部110の下面から下方に延びたフィン部112とを含む。図2から諒解されるように、天板部110は、その両端部がフィン部112よりも外側に張り出すようにして形成されている。なお、ヒートシンク108は、フィンを有する形状のものでなくても、天板部110が張り出しているものであればよい。
第1〜第3端子104a、104b、104cは、等間隔に離間して配置されている(図2参照)。第1端子104aは、前記筐体に対して一体に設けられて中央に貫通孔が形成された端子本体114と、端子本体114の上面に埋め込まれたナット116と、ナット116の上面に配置されてインバータ106の前記パワーモジュールに電気的に接続された端子板118とを有している。
なお、第2端子104b及び第3端子104cは、第1端子104aと同一の構成を有しているので、その構成の説明を省略する。
上述したように、被検査体100は、複数の部品を組み合わせた組立品として構成されている。そのため、被検査体100には積み上げ公差が発生することとなる。その結果、図2に示すように、第3端子104cが第2端子104bよりも距離Aだけ下方にずれて位置すると共に、図3に示すように、天板部110の両端部(張出部110a、110b)のうち、一方の張出部110aの下面が他方の張出部110bの下面よりも距離Bだけ下方にずれて位置している。
なお、前記距離A及び前記距離Bは、被検査体100の積み上げ公差範囲内となる。また、図2では一例として、第1端子104aと第2端子104bは、第1端子104aの厚さ方向の位置が揃った状態を示している。
通電検査装置10は、図1及び図2に示すように、第1端子104aの上方に位置する第1プローブ12aと、第2端子104bの上方に位置する第2プローブ12bと、第3端子104cの上方に位置する第3プローブ12cと、第1プローブ12a、第2プローブ12b、及び第3プローブ12cを連結する連結部材14と、被検査体100を支持する支持手段として支持機構16とを備えている。なお、第1〜第3プローブ12a、12b、12cは、その昇降方向の位置が揃うように配置されている。
次に、第1プローブ12aの構成について説明するが、第2プローブ12b及び第3プローブ12cは、第1プローブ12aと同一の構成を有しているので、その構成の説明を省略する。
図1及び図2に示すように、第1プローブ12aは、一方向(X方向)に延びたプローブ本体18と、プローブ本体18を支持するプローブ本体支持部材20とを有している。
プローブ本体18は、金属で構成されている。具体的には、プローブ本体18は、ステンレス鋼や真鍮等の母材に対してニッケル(Ni)や金(Au)等のメッキ処理を施すことにより構成されている。
また、プローブ本体18は、先端側に位置する第1細径部22と、後端側に位置して第1細径部22と略同一の径を有する第2細径部24と、第1細径部22と第2細径部24の間に位置する大径部26とを有する。
第1細径部22と第2細径部24のそれぞれは、棒状に形成されている。第1細径部22の先端には、第1端子104aの端子板118に接触する接触部28が設けられ、接触部28は平面に形成されている。これにより、接触部を半球状に形成した場合と比較して、第1端子104aの端子板118に対する接触部28の接触面積を大きくすることができる。よって、第1端子104aの端子板118と接触部28との間の電気抵抗を低くすることができる。
なお、接触部28の表面粗さ(Ra)は、10[μm]以下に設定されている。これにより、接触部28と端子板118との間の電気抵抗を一層低くすることができる。
大径部26の後端には、一対のワッシャ30、32に挟まれた押圧手段としての押圧用弾性部材34が設けられている。なお、各ワッシャ30、32は、例えば、樹脂等の電気絶縁性の高い材料で構成されている。押圧用弾性部材34としては、例えば、圧縮コイルばねが利用される。
押圧用弾性部材34のばね定数は、所定(例えば、500[N]以上)の押圧力を端子板118に対して付与可能な程度に設定されている。
第2細径部24には、図示しない電流供給部が接続されており、該電流供給部から数百[A]〜数千[A]の電流が供給される。
プローブ本体支持部材20は、大径部26と接触することによりプローブ本体18の下方への移動を制限する第1移動制限部材36と、ワッシャ32と接触することによりプローブ本体18の上方への移動を制限する第2移動制限部材38とを有している。
なお、大径部26と第1移動制限部材36とが接触している状態で、ワッシャ32と第2移動制限部材38とは離間しており、その離間間隔は、被検査体100の積み上げ公差よりも大きく設定されている。
また、図2に示すように、連結部材14は、第1〜第3プローブ12a、12b、12cのプローブ本体支持部材20に接続しており、床面等に載置される図示しない固定台に対して昇降可能に構成されている。これにより、第1〜第3プローブ12a、12b、12cが一体に昇降可能となる。
支持機構16は、第1端子104aを支持する第1端子支持部材40aと、第2端子104bを支持する第2端子支持部材40bと、第3端子104cを支持する第3端子支持部材40cと、被検査体本体102を支持する第1及び第2ステージ42a、42bとを有している。
図1及び図2に示すように、第1端子支持部材40aは、第1端子104aの端子本体114の下面に接触可能な第1接触部材44と、第1接触部材44がX方向に移動可能な状態で挿入される第1挿入穴46が形成され、且つ床面に載置された第1固定部48と、第1挿入穴46に配置され、且つ端子本体114に向かう方向(上方)に第1接触部材44を付勢する第1弾性部材50とを含む。
第1接触部材44は、例えば、PEEK(ポリエーテル・エーテル・ケトン)やPES(ポリエーテルサルフォン)等の電気絶縁性の高い材料で構成されている。また、第1接触部材44の移動可能距離(ストローク)は、被検査体100の積み上げ公差よりも大きく設定されている。例えば、前記積み上げ公差が±0.5[mm]に設定されていた場合には、第1接触部材44のストロークは、4.5[mm]〜5.5[mm]程度の範囲に設定される。
第1弾性部材50のばね定数は、プローブ本体18の押圧力と第1接触部材44のストロークに基づいて設定されている。具体的には、第1弾性部材50のばね定数は、プローブ本体18の押圧力を受けられる程度に設定されており、例えば、100[N/mm]程度に設定されている。
第1弾性部材50としては、例えば、圧縮ばねが用いられる。但し、第1弾性部材50として、ゴム等を利用してもよい。
なお、第2端子支持部材40bと第3端子支持部材40cは、第1端子支持部材40aと同一の構成を有しているため、その構成の説明を省略する。
第1及び第2ステージ42a、42bは、天板部110の張出部110a、110bと床面の間に位置している。具体的には、第1及び第2ステージ42a、42bは、被検査体本体102の中心から第1〜第3端子104a、104b、104cが位置する側とは反対側にオフセットしている(図1参照)。これにより、被検査体100を支持機構16に配置したときに、第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cから被検査体100に生じる反力を第1及び第2ステージ42a、42bによって受ける(相殺させる)ことができるので、被検査体100をバランスよく支持することができる。
第1ステージ42aは、張出部110aの下面に接触可能な第2接触部材52と、第2接触部材52がX方向に移動可能な状態で挿入される第2挿入穴54が形成され、且つ床面に載置された第2固定部56と、第2挿入穴54に配置され、且つ張出部110aに向かう方向(上方)に第2接触部材52を付勢する第2弾性部材58とを含む。
第2接触部材52は、第1接触部材44と同様の材料で構成されている。また、第2接触部材52の移動可能距離(ストローク)は、第1接触部材44のストロークと略同等に設定されている。
第2弾性部材58のばね定数は、第1弾性部材50のばね定数よりも充分に小さく設定されている。第2弾性部材58としては、例えば、圧縮ばねが利用される。但し、第2弾性部材58として、ゴム等を利用してもよい。
なお、第2ステージ42bは、第1ステージ42aと同一の構成を有しているため、その構成の説明を省略する。
本実施形態では、押圧用弾性部材34のばね定数をk1、第1弾性部材50のばね定数をk2、第2弾性部材58のばね定数をk3とすると、k2≧k1>k3の関係が成立している。
以上のように構成される通電検査装置を用いた被検査体の通電検査の手順について図2、図4〜図8を参照しながら説明する。
先ず、図2に示すように、被検査体100を支持機構16に配置する(図4のステップS1)。具体的には、作業者(又はロボット)が、被検査体100を所定の場所から支持機構16の上方まで運び、該被検査体100を水平に維持したまま降下する。
そうすると、先ず、第3端子104cが第3端子支持部材40cの第1接触部材44に接触すると共に、一方の張出部110aが第1ステージ42aの第2接触部材52に接触する。なお、このとき、第1端子104a、第2端子104b、及び他方の張出部110bは、被検査体100に対して非接触状態となっている。上述したように、第3端子104cが、第1端子104a及び第2端子104bよりも距離Aだけ下方に位置すると共に、一方の張出部110aの下面が他方の張出部110bの下面よりも距離Bだけ下方に位置しているからである。
被検査体100が支持機構16に接触すると、支持機構16に被検査体100の自重が作用するので、第3端子支持部材40cの第1接触部材44が、第1弾性部材50を圧縮しながら下方に移動すると共に、第1ステージ42aの第2接触部材52が、第2弾性部材58を圧縮しながら下方に移動する。
そして、第3端子支持部材40cの第1接触部材44が距離Aだけ下方に移動したときに、第1端子104aが第1端子支持部材40aの第1接触部材44に接触すると共に、第2端子104bが第2端子支持部材40bの第1接触部材44に接触し、第1ステージ42aの第2接触部材52が距離Bだけ下方に移動したときに、他方の張出部110bが第2ステージ42bの第2接触部材52に接触する。このとき、被検査体100の支持機構16への配置が完了する。
これにより、被検査体100の積み上げ公差によって第3端子104cが第1端子104a及び第2端子104bよりも下方にずれている場合であっても、第3端子支持部材40cの第1接触部材44を移動させることで該ずれを吸収することができるので、第1〜第3端子104a、104b、104cに第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cを確実に接触させることができる。
また、被検査体本体102の積み上げ公差によって一方の張出部110aが他方の張出部110bよりも下方にずれている場合であっても、第1ステージ42aの第2接触部材52を移動させることで該ずれを吸収することができるので、第1ステージ42a及び第2ステージ42bに両方の張出部110a、110bを確実に接触させることができる。
なお、前記距離A及び前記距離Bは、被検査体100の積み上げ公差範囲内であり、第1及び第2接触部材44、52のストロークに比べて充分小さいため、第3端子支持部材40cの第1弾性部材50の弾発力と、第1ステージ42aの第2弾性部材58の弾発力とによって、被検査体100が傾くことはない。つまり、被検査体100は、支持機構16に配置された状態で略水平に維持される。
次に、連結部材14を降下する(ステップS2)と、図5に示すように、第1プローブ12aの接触部28が第1端子104aの端子板118に接触すると共に、第2プローブ12bの接触部28が第2端子104bの端子板118に接触する(ステップS3)。なお、このとき、第3プローブ12cの接触部28は、被検査体100に対して非接触である。
続いて、連結部材14をさらに降下すると、図6に示すように、第1及び第2プローブ12a、12bのプローブ本体支持部材20がプローブ本体18に対して相対的に下方に移動して大径部26と第1移動制限部材36とが離間すると共に、第3プローブ12cの接触部28が第3端子104cの端子板118に接触する(ステップS4)。
そして、連結部材14をさらに降下すると、図7に示すように、第1〜第3プローブ12a、12b、12cのワッシャ32が第2移動制限部材38に接触して押圧用弾性部材34が圧縮され、第1〜第3端子104a、104b、104cに押圧用弾性部材34の弾発力に相当する押圧力が作用する。
このとき、第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cの第1接触部材44が第1〜第3端子104a、104b、104cに接触しているので、第1〜第3プローブ12a、12b、12cのプローブ本体18から第1〜第3端子104a、104b、104cに作用する押圧力を第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cにて好適に受けることができる。
また、上述したように、張出部110a、110bを第1及び第2ステージ42a、42bの第2接触部材52に確実に接触させているので、プローブ本体18の押圧力が作用したときに、被検査体100が揺らぐ(ふらつく)ことを抑えることができる。
その後、押圧用弾性部材34の弾発力の総和が第1及び第2弾性部材50、58の弾発力の総和よりも大きくなったときに、図8に示すように、被検査体100が、第1及び第2弾性部材50、58を圧縮しながら下方に移動する。
このとき、第1弾性部材50のばね定数k2を第2弾性部材58のばね定数k3よりも充分大きく設定しているので、第2弾性部材58を被検査体100の高さ調整用の弾性部材として機能させると共に、第1弾性部材50をプローブ本体18の押圧力を受けるための弾性部材として機能させることができる。
これにより、第1〜第3プローブ12a、12b、12cのプローブ本体18の押圧力を第1及び第2ステージ42a、42bの第2弾性部材58の弾発力で受けるのではなく、第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cの第1弾性部材50の弾発力にて受けることができるので、第1〜第3端子104a、104b、104cとインバータ106との接続部の破損をより確実に抑えることができる。
そして、プローブ本体18の押圧力が予め設定した所定範囲内に到達したときに、連結部材14の降下を停止する(ステップS5)。なお、このとき、プローブ本体18の押圧力は、例えば、500[N]以上となりプローブ本体18と端子板118の接触面積が大きくなるため、プローブ本体18の接触部28と端子板118との間の電気抵抗は、1[mΩ]以下になっている。
次に、前記電流供給部は、プローブ本体18及び端子板118を介してインバータ106に電流を供給する(ステップS6)。そして、インバータ106の電気特性結果を取得した(ステップS7)後、連結部材14を上昇する(ステップS8)。
連結部材14が上昇すると、押圧用弾性部材34、第1弾性部材50、及び第2弾性部材58に作用していた圧縮力が解除され、ワッシャ32と第2移動制限部材38とが離間する。そして、連結部材14がさらに上昇すると、大径部26が第1移動制限部材36に接触すると共に、接触部28が端子板118から離間するに至る。
その後、連結部材14が所定の位置に到達したときに、連結部材14の上昇を停止する(ステップS9)。この段階で、本実施形態に係る通電検査装置10を用いた被検査体100の通電検査手順は終了する。
本実施形態に係る通電検査装置10によれば、プローブ本体18の押圧力を第1弾性部材50の弾発力を利用して受けているので、第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cを簡易な構成にすることができる。
また、同様に、被検査体100の重量を第2弾性部材58の弾発力を利用して受けているので、第1及び第2ステージ42a、42bを簡易な構成にすることができる。
本実施形態によれば、第1〜第3端子104a、104b、104cに対して、第1〜第3プローブ12a、12b、12c及び第1〜第3端子支持部材40a、40b、40cを設けているので、一度に3箇所の端子の通電検査が可能となり、被検査体100の通電検査を効率的に行うことができる。
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることは当然可能である。
上記実施形態では、第1〜第3端子支持部材において、第1弾性部材の弾発力を利用して第1接触部材を上方に付勢している例を説明したが、第1弾性部材に換えてピストンが移動可能に挿入されるシリンダに流体を供給することにより、該ピストンを押圧して前記第1接触部材を上方に付勢してもよい。このことは、上述した第1及び第2ステージに対しても同様である。
10…通電検査装置 12a…第1プローブ
12b…第2プローブ 12c…第3プローブ
18…プローブ本体 34…押圧用弾性部材(押圧手段)
40a…第1端子支持部材 40b…第2端子支持部材
40c…第3端子支持部材 42a…第1ステージ
42b…第2ステージ 44…第1接触部材
50…第1弾性部材(第1付勢支持手段) 52…第2接触部材
58…第2弾性部材(第2付勢支持手段) 100…被検査体
102…被検査体本体 104a…第1端子
104b…第2端子 104c…第3端子
114…端子本体 118…端子板

Claims (2)

  1. 被検査体本体と、
    前記被検査体本体から外方に突出する端子と、を有する被検査体に対して通電検査を行う通電検査装置であって、
    前記端子に接触する導電性のプローブ本体と、
    前記プローブ本体を前記端子に押圧する押圧手段と、
    前記端子を挟んだ前記プローブ本体の反対側に位置し、且つ前記端子に接触可能な第1接触部材と、
    前記第1接触部材を移動可能に支持すると共に、前記端子に向かう方に前記第1接触部材を付勢する第1弾性部材を含む第1付勢支持手段と、
    前記被検査体本体を支持する支持手段と、を備え、
    前記支持手段は、前記被検査体本体に接触する第2接触部材と、
    前記第2接触部材を移動可能に支持すると共に、前記被検査体本体に向かう上方に前記第2接触部材を付勢する第2弾性部材を含む第2付勢支持手段と、を有し、
    前記第2接触部材及び前記第2弾性部材は、前記被検査体本体の中心から前記端子が位置する側とは反対側にオフセットして複数設けられ、
    前記第1弾性部材のばね定数は、前記第2弾性部材のばね定数よりも大きく設定されている、
    ことを特徴とする通電検査装置。
  2. 請求項記載の通電検査装置において、
    前記被検査体は、前記端子を複数有しており、
    前記プローブ本体と前記押圧手段と前記第1弾性部材とは、各端子に対応して設けられていることを特徴とする通電検査装置。
JP2010067641A 2010-03-24 2010-03-24 通電検査装置 Active JP5579472B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010067641A JP5579472B2 (ja) 2010-03-24 2010-03-24 通電検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010067641A JP5579472B2 (ja) 2010-03-24 2010-03-24 通電検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011202963A JP2011202963A (ja) 2011-10-13
JP5579472B2 true JP5579472B2 (ja) 2014-08-27

Family

ID=44879790

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010067641A Active JP5579472B2 (ja) 2010-03-24 2010-03-24 通電検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5579472B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7175518B2 (ja) * 2020-06-02 2022-11-21 東理システム株式会社 電力変換回路装置の電気特性検査ユニット装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07106383A (ja) * 1993-10-05 1995-04-21 Hitachi Ltd 接続装置
JPH0933608A (ja) * 1995-07-24 1997-02-07 Fujitsu Ltd 半導体試験用テストカード

Also Published As

Publication number Publication date
JP2011202963A (ja) 2011-10-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9291645B2 (en) Probe unit
US8556639B2 (en) Electric contact and socket for electrical parts
US8975906B2 (en) Probe for inspecting electronic component
KR101258101B1 (ko) 프로브 카드
KR100769891B1 (ko) 검사용 탐침 장치 및 이를 이용한 검사용 소켓
JP5008005B2 (ja) プローブカード
JP2008203036A (ja) 電気的接続装置
KR101471116B1 (ko) 고밀도 도전부를 가지는 테스트용 소켓
US8183878B2 (en) Electrical testing device and electrical testing method with control of probe contact pressure
US10712383B2 (en) Inspection jig
KR101715741B1 (ko) 전자부품 검사용 소켓
JP6721302B2 (ja) 両面回路基板の検査装置
JP5579472B2 (ja) 通電検査装置
JP6404104B2 (ja) 電気部品用ソケット
KR20090130970A (ko) 반도체 칩 검사용 소켓
KR20110093085A (ko) 테스트 소켓
JP3806433B2 (ja) 異方導電性シート及びそれを用いた半導体検査装置
JP2007109414A (ja) 集積回路用ソケット
KR102424122B1 (ko) 전기적 접촉자 및 전기적 접속장치
JP5865846B2 (ja) 検査ソケット
CN107765041B (zh) 接触设备
TWI743670B (zh) 電性接觸元件及探針卡
JPWO2011077555A1 (ja) ソケット、ソケットボード、及び電子部品試験装置
JP7175518B2 (ja) 電力変換回路装置の電気特性検査ユニット装置
JP7309219B2 (ja) プローブ端子、評価用ソケット、およびデバイスの評価方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130626

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130702

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130902

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140610

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140709

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5579472

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250