JP5578609B2 - 高強度複合ナノシート膜、それを用いた透明超撥水性膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
現状では、リソグラフィーなどのトップダウンプロセス、プラズマ処理によって凹凸構造を作製しているが、光の散乱による透明性劣化の問題がある(特許文献1〜2参照)。高分子の自己集合を利用してガラス上に微細構造を形成させる方法もあるが、安定な無機材料による微細構造の制御が望ましい。
しかし、これらの微細構造は機械的強度に問題があり、実用のために、膜の強度あるいは膜の撥水耐久性を向上する必要がある。ナノ微細構造を成長させるボトムアッププロセスを用いて、Al化合物ナノシート微細構造を作製することにより、超撥水性表面を作りだす手法は、既に成功し、特許も出願済みである(特許文献3〜4参照)。図1と図2aには、それぞれ、撥水加工する前の石英基板と上記ボトムアッププロセスから成長させたAl化合物ナノシートを1000℃で40分熱処理した膜の撥水性能を示している。しかし、このナノシート微細構造は比較的強度に優れず(図2b参照)、1000℃で空気中40分加熱によっても、50回のワイパー駆動実験で撥水性能は低下した。
また、本発明は、石英ガラス基板に金属Alをスパッタし、90℃温水バスに浸漬し、Al化合物ナノシート膜を成長させ、当該Al化合物ナノシート膜を洗浄して室温乾燥させて、空気中900〜1100℃で5〜20分加熱した後、Al 2 O 3 微粒子層40 nmをスパッタし、900〜1100℃で焼結させ二層複合微細構造の高強度複合ナノシート膜の製造方法である。
またさらに、本発明は、石英ガラス基板に金属Alをスパッタし、90℃温水バスに浸漬し、Al化合物ナノシート膜を成長させ、当該Al化合物ナノシート膜を洗浄して室温乾燥させてから、 Al 2 O 3 微粒子層をスパッタし、二層複合構造ナノシート膜を作り、この二層複合構造ナノシート膜を空気中900〜1100℃で焼結させる高強度複合ナノシート膜の製造方法(請求項1に記載した製造方法)又は石英ガラス基板に金属Alをスパッタし、90℃温水バスに浸漬し、Al化合物ナノシート膜を成長させ、当該Al化合物ナノシート膜を洗浄して室温乾燥させて、空気中900〜1100℃で5〜20分加熱した後、Al 2 O 3 微粒子層40 nmをスパッタし、900〜1100℃で焼結させ二層複合微細構造の高強度複合ナノシート膜の製造方法(請求項2に記載した製造方法)により得られる高強度複合ナノシート膜の表面にヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン(FAS)を蒸着させる超撥水性透明膜の製造方法である。
上記目的を達成するために本発明は、二通りのプロセスでAl化合物ナノシート微細構造を強化した。(1)単層Al化合物ナノシート微細構造を熱処理なしにAl2O3微粒子層をスパッタし、二層を焼結させ、強い複合ナノ微細構造を作り出す;(2)単層Al化合物ナノシートを1000℃で短時間熱処理し、Al化合物はもとのナノシートの形状を保ちながらAl2O3への変化を行った上で、更にAl2O3微粒子層をスパッタして、二層を焼結させ、強い複合ナノ微細構造を作り出す。
(1)石英基板にAl金属膜5-150 nmをスパッタし、70-100℃の温水バスに0.5-3時間浸して、Al化合物ナノシート微細構造を成長させる。
(2)上記(1)から成長したAl化合物ナノシート微細構造に直接適当な厚みのAl2O3微粒子層(例えば、20〜100 nm)をスパッタし、二層複合構造をつくる。この二層複合構造を空気中1000℃で数十分熱処理し、焼結させ、強度の高い複合ナノシート微細構造を作製する。
(3)上記(1)から成長したAl化合物ナノシート微細構造を空気中1000℃で数分から数十分熱処理することで、Al化合物はもとのナノシート微細構造を保ちながらAl2O3への変化と結晶成長を先に行う。その後、単層Al2O3ナノシート微細構造の上に適当な厚みのAl2O3微粒子層(例えば、20〜100 nm)をスパッタし、二層複合構造をつくる。この二層複合構造を空気中1000℃で数十分から数時間熱処理し、焼結させ、強度の高い複合ナノシート微細構造を作製する。
(4)上記(2)と(3)による作製した複合Al2O3ナノシート微細構造の表面に低分極率化合物(例えば、フッ素を含むシラン化合物のヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン(FAS))をコーティングすれば、超撥水性かつ耐熱、耐摩損性を持つ透明な膜が仕上がる。コーティング法としては、溶液浸漬法(60℃、24時間)または化学蒸着(CVD)法(180℃、1時間)等を挙げられる。
二層複合構造をつくるには、アモルファスAl化合物ナノシート膜に直接Al2O3微粒子層をスパッタする手法や、900-1000℃で10分程度熱処理後にスパッタする手法があるが、熱処理する時間は20分超えないことが望ましい。Al2O3微粒子層の厚みは20-100 nmで透明かつ耐久性を有する超撥水膜が作製できるが40-70nmが望ましい。この二層複合構造を空気中1000℃で焼結させ、強度の高い複合ナノシート微細構造が作製される。焼結時間は10分から数時間で透明かつ耐久性を有する超撥水膜が作製できるが、30〜60分が好ましい。
強化したナノシート微細構造の表面にコーティングする低分極率化合物シラン化合物とは、市販されているフッ素を含まないへキシルトリメトキシシラン若しくはフッ素を含むヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン(FAS)などが挙げられる。
コーティング法としては、溶液浸漬法(60℃、24時間)またはCVD法(180℃、1時間)等を挙げられる。大量にまたは大面積を作製する場合は、CVD法が簡単でコーティング材の節約も可能である。
また、例として、この膜の透明性を図6に示した。
Claims (4)
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石英ガラス基板に金属Alをスパッタし、90℃温水バスに浸漬し、Al化合物ナノシート膜を成長させ、当該Al化合物ナノシート膜を洗浄して室温乾燥させてから、 Al2O3微粒子層をスパッタし、二層複合構造ナノシート膜を作り、この二層複合構造ナノシート膜を空気中900〜1100℃で焼結させる高強度複合ナノシート膜の製造方法。
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石英ガラス基板に金属Alをスパッタし、90℃温水バスに浸漬し、Al化合物ナノシート膜を成長させ、当該Al化合物ナノシート膜を洗浄して室温乾燥させて、空気中900〜1100℃で5〜20分加熱した後、Al2O3微粒子層40 nmをスパッタし、900〜1100℃で焼結させ二層複合微細構造の高強度複合ナノシート膜の製造方法。
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請求項1または請求項2に記載した製造方法により得られる高強度複合ナノシート膜の表面を、溶剤中にヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン(FAS)を溶解させた溶液中に12〜36時間静置した後、取り出し、洗浄して室温乾燥させる超撥水性透明膜の製造方法。
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請求項1又は請求項2に記載した製造方法により得られる高強度複合ナノシート膜の表面にヘプタデカフルオロデシルトリメトキシシラン(FAS)を蒸着させる超撥水性透明膜の製造方法。
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