JP5573554B2 - 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート - Google Patents
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Zi:陽イオンの価数,酸素イオンは2
Ri:陽イオンのイオン半径(Å),酸素イオンは1.40Å
このAiの逆数Bi(1/Ai)を単成分酸化物MiOの酸素供与能力とする。
このBiをBCaO=1、BSiO2=0と規格化すると、各単成分酸化物のBi−指標が与えられる。この各成分のBi−指標を陽イオン分率により多成分系へ拡張すると、任意の組成のガラス酸化物の融体のB−指標(=塩基度)が算出できる。B=Σni・Bi
ni:陽イオン分率
このようにして規定された塩基度は上記のように酸素供与能力をあらわし、値が大きいほど酸素を供与し易く、他の金属酸化物との酸素の授受が起こり易い。」
本発明では、ガラス粉末の塩基度の指標について、ガラスを酸化物と置き換えて解釈することで、酸化物混合物の塩基度を薄膜におけるアモルファス状態に近い緻密な微細構造になり易さの指標として整理したものである。ガラスの場合は溶融という概念であるが、本発明では、成膜時にガラス形成のメカニズムが発生することを基本としている。蒸着材から昇華された元素がイオン状態になり、基板上で非平衡な状態で元素が堆積する。このとき上記式により得られるペレットの塩基度が0.1以上であれば、ガラス状(アモルファス)で膜が成長し、非常に緻密な状態で整然と元素が配列されていく。
先ず、第1酸化物粉末、第2酸化物粉末、バインダ及び有機溶媒をボールミルによる湿式混合により所定の割合で混合して、濃度が40質量%のスラリーを調製した。このとき、第1酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度Y2O3粉末を、第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末を、バインダとしてポリビニルブチラールを、有機溶媒としてエタノールをそれぞれ使用した。また、Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量は、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOが95モル%となるように調整した。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が10モル%、ZnOが90モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、ZnOが70モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が50モル%、ZnOが50モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が60モル%、ZnOが40モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が80モル%、ZnOが20モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、ZnOが15モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、MgOが95モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、MgOが70モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が50モル%、MgOが50モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、MgOが15モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、CaOが95モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、CaOが70モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が50モル%、CaOが50モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、CaOが15モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表1に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとMgOがそれぞれ90モル%、5モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとCaOがそれぞれ90モル%、5モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ75モル%、10モル%、10モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ55モル%、20モル%、20モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ30モル%、35モル%、30モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ10モル%、35モル%、50モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が5モル%、MgOとCaOがそれぞれ35モル%、60モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、ZnOとMgOがそれぞれ60モル%、10モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、ZnOとCaOがそれぞれ60モル%、10モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ30モル%、25モル%、15モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が30モル%、MgOとCaOがそれぞれ25モル%、45モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、ZnOとMgOがそれぞれ10モル%、5モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、ZnOとCaOがそれぞれ10モル%、5モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.8μm、純度が99.8%の高純度ZnO粉末と平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、ZnOとMgOとCaOがそれぞれ5モル%、5モル%、5モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
第2酸化物粉末として平均粒径が0.9μm、純度が99.7%の高純度MgO粉末と平均粒径が0.6μm、純度が99.8%の高純度CaO粉末との混合粉末を用いたこと、及びY2O3粉末並びに上記混合粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が85モル%、MgOとCaOがそれぞれ5モル%、10モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表2に示す。
実施例20と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
実施例25と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
実施例29と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
実施例20と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
実施例25と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
実施例29と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子、ZnO粒子、MgO粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnO、MgO、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表3に示す。
第1酸化物粒子を混合せずに調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるZnO粒子の平均粒径、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が3モル%、ZnOが97モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにZnO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が90モル%、ZnOが10モル%となるように調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、ZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
第2酸化物粒子を混合せずに調整したこと以外は、実施例1と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子の平均粒径、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
第1酸化物粒子を混合せずに調整したこと以外は、実施例8と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるMgO粒子の平均粒径、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が3モル%、MgOが97モル%となるように調整したこと以外は、実施例8と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにMgO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が90モル%、MgOが10モル%となるように調整したこと以外は、実施例8と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、MgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例4と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3の含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
第1酸化物粒子を混合せずに調整したこと以外は、実施例12と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるCaO粒子の平均粒径、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が3モル%、CaOが97モル%となるように調整したこと以外は、実施例12と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
Y2O3粉末並びにCaO粉末の混合量を、形成後の蒸着材に含まれるY2O3が90モル%、CaOが10モル%となるように調整したこと以外は、実施例12と同様に、蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子及びCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3、CaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例4と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3の含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例1と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例5と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるMgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例9と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるCaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例4と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3の含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例1と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるZnO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるZnOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例5と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるMgO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるMgOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例9と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるCaO粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるCaOの含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
比較例4と同じ条件で蒸着材を得た。得られた蒸着材に含まれるY2O3粒子の平均粒径、また、蒸着材に含まれるY2O3の含有量、ペレットの塩基度を以下の表4に示す。
実施例1〜36及び比較例1〜20で得られた蒸着材を用いて、厚さ75μmのPETフィルム上に、以下の表5〜表7に示す方法により蒸着を行って薄膜を成膜し、薄膜シートを形成した。これらの薄膜シートについて、水蒸気透過度を測定し、ガスバリア性を評価した。また、上記ガスバリア性評価における条件よりも高温、高湿度条件下で長時間放置した後の水蒸気透過度及びその変化率から耐久性を評価した。更に、これらの薄膜シートについて、光透過率を測定し、透明性を評価した。これらの結果を以下の表5〜表7に示す。
11 第1基材フィルム
12 薄膜
13 接着層
14 第2基材フィルム
20 積層シート
Claims (7)
- 第1酸化物粉末と第2酸化物粉末とを混合し、焼結して作られた蒸着材において、
前記第1酸化物粉末がY2O3粉末であって、前記第1酸化物粉末の第1酸化物純度が98%以上であり、
前記第2酸化物粉末がZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた1種の粉末又は2種以上の混合粉末であって、前記第2酸化物粉末の第2酸化物純度が98%以上であり、
前記蒸着材が第1酸化物粒子としてY2O3粒子を、第2酸化物粒子としてZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた1種又は2種以上の粒子を含有するペレットからなり、
前記第2酸化物粒子がZnO粒子、MgO粒子又はCaO粒子のいずれか1種であるとき、及びMgOとCaOの2種の粒子であるとき、前記蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物との比率(モル比)が30〜85:70〜15であり、
前記第2酸化物粒子がZnOと、MgO又はCaOの2種の粒子であるとき、及びZnOとMgOとCaOの3種の粒子であるとき、前記蒸着材中の第1酸化物と第2酸化物との比率(モル比)が5〜85:95〜15であることを特徴とする蒸着材。 - 前記第1酸化物粒子の平均粒径が0.1〜10μmであり、かつ前記第2酸化物粒子の平均粒径が0.1〜10μmである請求項1記載の蒸着材。
- 請求項1又は2記載の蒸着材をターゲット材として用いた真空成膜法により第1基材フィルム上に前記第1酸化物に含まれる金属元素A及び前記第2酸化物に含まれる金属元素Bを含む酸化物薄膜を形成してなり、
前記第2酸化物がZnOの1種、或いはZnO、MgO及びCaOからなる群より選ばれた2種以上であり、
前記第2酸化物がZnOの1種であるとき、及びMgOとCaOの2種であるとき、前記薄膜中の前記金属元素Aと前記金属元素Bのモル比(A/B)が60/70〜170/15であり、
前記第2酸化物がZnOと、MgO又はCaOの2種であるとき、及びZnOとMgOとCaOの3種であるとき、前記薄膜中の前記金属元素Aと前記金属元素Bのモル比(A/B)が10/95〜170/15である薄膜シート。 - 前記真空成膜法が電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法、反応性プラズマ蒸着法、抵抗加熱法又は誘導加熱法のいずれかである請求項3記載の薄膜シート。
- 温度20℃、相対湿度50%RHの条件で1時間放置したときの水蒸気透過度Sが0.3g/m2・day以下である請求項3又は4記載の薄膜シート。
- 温度20℃、相対湿度50%RHの条件で1時間放置した後、温度85℃、相対湿度90%RHの条件で更に100時間放置したときの水蒸気透過度をTとするとき、前記水蒸気透過度Tの、前記水蒸気透過度Sに対する変化率(T/S×100)が200%以下である請求項5記載の薄膜シート。
- 請求項3ないし6いずれか1項に記載の薄膜シートの薄膜形成側に接着層を介して第2基材フィルムを積層してなる積層シート。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218832A JP5573554B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
CN2011102811252A CN102433528A (zh) | 2010-09-29 | 2011-09-21 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218832A JP5573554B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012072028A JP2012072028A (ja) | 2012-04-12 |
JP5573554B2 true JP5573554B2 (ja) | 2014-08-20 |
Family
ID=45981873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010218832A Expired - Fee Related JP5573554B2 (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5573554B2 (ja) |
CN (1) | CN102433528A (ja) |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69813144T2 (de) * | 1997-11-07 | 2003-12-04 | Rohm & Haas | Kunstoffsubstrate zur Verwendung in elektronischen Anzeigesystemen |
JP4154069B2 (ja) * | 1998-04-15 | 2008-09-24 | 株式会社クレハ | ガスバリヤ性フィルム |
JP3991504B2 (ja) * | 1999-05-20 | 2007-10-17 | 三菱マテリアル株式会社 | Pdp又はpalc用保護膜の製造方法及びそのpdp又はpalc用保護膜並びにこれを用いたpdp又はpalc |
JP3780398B2 (ja) * | 1998-12-16 | 2006-05-31 | 日立造船株式会社 | 耐火物の使用方法 |
JP4398265B2 (ja) * | 2004-01-27 | 2010-01-13 | 三菱樹脂株式会社 | ガスバリア性フィルム及びガスバリア性積層体 |
US7947377B2 (en) * | 2007-06-20 | 2011-05-24 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Powder mixture to be made into evaporation source material for use in ion plating, evaporation source material for use in ion plating and method of producing the same, and gas barrier sheet and method of producing the same |
WO2009041694A1 (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Mitsubishi Materials Corporation | ZnO蒸着材とその製造方法、およびZnO膜 |
JP5516838B2 (ja) * | 2007-09-27 | 2014-06-11 | 三菱マテリアル株式会社 | ZnO蒸着材の製造方法 |
JP5664162B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2015-02-04 | 三菱マテリアル株式会社 | 薄膜形成用の蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シート |
-
2010
- 2010-09-29 JP JP2010218832A patent/JP5573554B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-09-21 CN CN2011102811252A patent/CN102433528A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102433528A (zh) | 2012-05-02 |
JP2012072028A (ja) | 2012-04-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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