JP5570588B2 - Video centering method - Google Patents
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Description
本発明は、検査対象物から検出しようとする検査領域が高倍率の画像中央に位置するようにする映像センタリング方法に関するものであり、より詳しくは、検査領域を高倍率の画像中央に位置させるとき、倍率の変換が発生しないことはもちろん、検査領域を探索するための動きに伴う時間を最小化することができる映像センタリング方法に関するものである。 The present invention relates to a video centering method in which an inspection region to be detected from an inspection object is positioned at the center of a high-magnification image, and more specifically, when the inspection region is positioned at the center of a high-magnification image. Further, the present invention relates to a video centering method capable of minimizing the time associated with the movement for searching for the inspection area, as well as the fact that the conversion of magnification does not occur.
一般的に、映像センタリング技術は、撮影される検査対象物の画像で検出しようとする検査領域を検索し、検出された検査領域を高倍率の画像中央に位置させる技術である。 In general, the video centering technique is a technique for searching an inspection area to be detected from an image of an inspection object to be photographed and positioning the detected inspection area at the center of a high-magnification image.
図１は、従来技術の第１比較例による画像センタリング方法を説明するためのフローチャートであり、図１を参照すれば、事前にユーザーは、検査対象物を低倍率の光学系で撮影し、撮影された画像から検出しようとする検査領域を抽出し、モデル画像として登録しておく（Ｓ１）。 FIG. 1 is a flowchart for explaining an image centering method according to a first comparative example of the prior art. Referring to FIG. 1, a user photographs an inspection object with a low-magnification optical system in advance. The inspection area to be detected is extracted from the obtained image and registered as a model image (S1).
次に、検査対象物で検査領域を画像の中央に位置させるために、低倍率の光学系が検査対象物を定められた手順で撮影し、撮影された画像はターゲット画像として登録される（Ｓ２）。そして、登録された低倍率のターゲット画像で登録されたモデルの画像を検索する（Ｓ３）。このとき、ターゲット画像からモデル画像が検索された場合、モデル画像がターゲット画像の中央に位置するように光学系または検査対象物を移動させる（Ｓ４）。通常は、低倍率のターゲット画像からモデル画像が検索されるが、他の場合、Ｓ２のステップに戻ってターゲット画像を更新することができる（Ｓ３１）。次に、光学系は、低倍率から高倍率に変換され（Ｓ５）、高倍率に変換された光学系が検査対象物を撮影することによって、検査領域が画像中央に配置された高倍率の最終的な画像を取得することができる（Ｓ６）。 Next, in order to position the inspection region at the center of the image with the inspection object, the low-magnification optical system images the inspection object according to a predetermined procedure, and the captured image is registered as a target image (S2). ). Then, the registered model image is searched with the registered low-magnification target image (S3). At this time, when the model image is retrieved from the target image, the optical system or the inspection object is moved so that the model image is located at the center of the target image (S4). Normally, the model image is searched from the low-magnification target image. In other cases, the target image can be updated by returning to the step of S2 (S31). Next, the optical system is converted from low magnification to high magnification (S5), and the optical system converted to high magnification captures the inspection object, so that the inspection area is arranged at the center of the image at the final high magnification. A typical image can be acquired (S6).
ここで、低倍率は２０ｘの倍率を示し、高倍率は５０ｘの倍率を示すこととする。 Here, the low magnification indicates a magnification of 20 ×, and the high magnification indicates a magnification of 50 ×.
従来技術により、液晶表示装置の薄膜トランジスタをセンタリングするときに、図３は、従来技術の比較例から抜粋された検査領域を示したものである。図３を参照すると、薄膜トランジスタのソース／ドレイン電極とゲート電極の形成領域を検査領域１０として設定した。このとき、図３に示された図面は、従来技術により、低倍率の光学系で撮影した画像から抜粋した検査領域１０を示す。
When centering the thin film transistor of the liquid crystal display device according to the prior art, FIG. 3 shows an inspection region extracted from a comparative example of the prior art. Referring to FIG. 3, the source / drain electrode and gate electrode formation region of the thin film transistor was set as the
図２は、従来技術の第２比較例による画像センタリング方法を説明するためのフローチャートであり、図２を参照すれば、事前にユーザーは検査対象物を高倍率の光学系で撮影し、撮影された画像から検索しようとする検査領域を抽出し、モデル画像として登録しておく（Ｓ１０）。 FIG. 2 is a flowchart for explaining an image centering method according to a second comparative example of the prior art. Referring to FIG. 2, a user photographs an inspection object with a high-magnification optical system in advance. The examination area to be searched is extracted from the obtained image and registered as a model image (S10).
次に、高倍率の光学系は、検査対象物を順次に撮影し、撮影された画像は、ターゲット画像として登録される（Ｓ２０）。そして、登録されたターゲット画像から登録されたモデル画像を検索する（Ｓ３０）。このとき、高倍率の光学系が撮影するターゲット画像から登録されたモデル画像が検出されるまで高倍率の光学系または検査対象物が継続して動き、その動きに応じて登録されるターゲット画像を更新する（Ｓ３２）。ここで、ターゲット画像からモデル画像が検出された場合、モデル画像がターゲット画像の中央に位置するよう、光学系または検査対象物を移動させる（Ｓ４０）。次に、高倍率の光学系が検査対象物を撮影することにより、検査領域が画像中央に配置された高倍率の最終的な画像を取得することができる（Ｓ５０）。 Next, the high-magnification optical system sequentially photographs the inspection object, and the photographed image is registered as a target image (S20). Then, the registered model image is searched from the registered target image (S30). At this time, the high-magnification optical system or the inspection object continuously moves until a registered model image is detected from the target image captured by the high-magnification optical system, and the target image registered in accordance with the movement is displayed. Update (S32). Here, when the model image is detected from the target image, the optical system or the inspection object is moved so that the model image is positioned at the center of the target image (S40). Next, the high-magnification optical system images the inspection object, whereby a high-magnification final image in which the inspection area is arranged at the center of the image can be acquired (S50).
しかしながら、従来技術の第１比較例における画像センタリング方法によると、ターゲット画像からモデル画像が検出され、光学系または検査対象物を移動させた後、光学系を低倍率から高倍率へ変換させる過程を経なければならないこととなり、倍率変換に伴う遅延時間が発生する問題がある。 However, according to the image centering method in the first comparative example of the prior art, the model image is detected from the target image, and after the optical system or the inspection object is moved, the process of converting the optical system from low magnification to high magnification is performed. There is a problem in that a delay time associated with the magnification conversion occurs.
また、従来技術の第１比較例における画像センタリング方法によると、最終画像を取得したとき、倍率の変換による誤差が発生するおそれがあり、これによって検査領域が画像の中央に位置しない可能性がある。 In addition, according to the image centering method in the first comparative example of the prior art, when the final image is acquired, there is a possibility that an error due to magnification conversion may occur, which may cause the inspection region not to be located at the center of the image. .
また、従来技術の第２比較例における画像センタリングの方法によると、検索プロセスの動きに基づいて登録されるターゲット画像からモデル画像の一部が表示されたり、或いは表示されない場合には、ターゲット画像を継続的に更新しなければならない問題がある。 Also, according to the image centering method in the second comparative example of the prior art, when a part of the model image is displayed or not displayed from the target image registered based on the movement of the search process, the target image is There is a problem that needs to be updated continuously.
また、従来技術の第２比較例における画像センタリングの方法によると、ターゲット画像からモデル画像全体が検出されるまで、高倍率の光学系または検査対象物が継続的に動かなければならないことから、検索プロセスの動きに伴う遅延が発生してしまう問題がある。 Further, according to the image centering method in the second comparative example of the prior art, the high-magnification optical system or the inspection object must continuously move until the entire model image is detected from the target image. There is a problem that a delay occurs due to the movement of the process.
したがって、本発明の目的は、このような従来技術の問題を解決するためのものであり、光学系の倍率変換がなくても、迅速に最終画像を取得することができる映像センタリング方法を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to solve such a problem of the prior art, and provides a video centering method capable of quickly obtaining a final image without a magnification conversion of the optical system. There is.
また、倍率変換による誤差を防止し、検査領域が最終画像の中央に正しく位置されることのできる映像センタリング方法を提供することにある。 It is another object of the present invention to provide a video centering method capable of preventing an error due to magnification conversion and correctly positioning an inspection region at the center of a final image.
また、検索プロセスの動きに基づいて登録されるターゲット画像からモデル画像の一部が表示されたり、或いは表示されない場合でも継続的に撮影せずに中央に検査領域が位置する最終画像を取得することができる映像センタリング方法を提供することにある。 In addition, even if a part of the model image is displayed or not displayed from the target image registered based on the movement of the search process, the final image in which the inspection region is located in the center is acquired without continuously capturing images. It is to provide a video centering method capable of
また、検索プロセスの動きを最小限にし、検査領域を検索するのにかかる遅延時間を最小限に抑えることができる映像センタリング方法を提供することにある。 It is another object of the present invention to provide a video centering method capable of minimizing a delay of a search process and minimizing a delay time required for searching an inspection area.
上記の目的は、本発明により、映像センタリング方法において、検査対象物を第１の倍率の光学系で撮影し、撮影された第１の倍率の画像で検出しようとする検査領域の位置を設定してモデル画像として登録する登録ステップと、検査対象物を、定められた手順に従って第１の倍率よりも高倍率である第２の倍率の光学系で撮影してターゲット画像を取得する撮影ステップと、撮影ステップで取得したターゲット画像を第１の倍率の大きさに縮小して検査画像として登録する縮小ステップと、モデル画像で検査画像を検索するマッチングステップと、マッチングステップで検査画像が検出された場合、登録ステップで設定された検査領域の位置に対応するように第２の倍率の光学系、または検査対象物を移動させるセンタリングステップと、を含めて構成される映像センタリング方法によって達成される。 According to the present invention, in the video centering method according to the present invention, the inspection object is imaged by the optical system having the first magnification, and the position of the inspection region to be detected is set by the captured image having the first magnification. A registration step for registering as a model image, an imaging step for acquiring a target image by imaging an inspection object with an optical system having a second magnification higher than the first magnification according to a predetermined procedure, When the target image acquired in the photographing step is reduced to the first magnification and registered as the inspection image, the matching step for searching for the inspection image in the model image, and the inspection image is detected in the matching step A centering step of moving the optical system of the second magnification or the inspection object so as to correspond to the position of the inspection region set in the registration step; It is achieved by composed image centering method including.
ここで、マッチングステップで検査画像が検出されなかった場合、エラー信号を発生する警告ステップと、撮影ステップに復帰する循環ステップのうち、少なくともいずれか一つのステップを含めて構成することが好ましい。 Here, when no inspection image is detected in the matching step, it is preferable to include at least one of a warning step for generating an error signal and a circulation step for returning to the imaging step.
ここで、センタリングステップの後、第２倍率の光学系が検査対象物を撮影し、検査領域が画像の中央に形成される最終画像を取得する最終ステップと、をさらに含めて構成することが好ましい。 Here, after the centering step, it is preferable to further include a final step in which the optical system of the second magnification captures the inspection object and obtains a final image in which the inspection region is formed at the center of the image. .
ここで、モデル画像の検査領域の位置は、モデル画像内に検査領域の位置を指定して第１の座標として設定し、モデル画像で検出された検査画像の位置は、モデル画像内で検出された検査画像の位置を第１座標に対する第２座標として設定し、第１の座標と第２の座標の間の変位に応じて換算された値をもって第２の倍率の光学系または検査対象物の移動方向と移動距離が決められるようにすることが好ましい。 Here, the position of the inspection area of the model image is set as the first coordinates by specifying the position of the inspection area in the model image, and the position of the inspection image detected in the model image is detected in the model image. The position of the inspected image is set as the second coordinate with respect to the first coordinate, and the second magnification optical system or inspection object has a value converted according to the displacement between the first coordinate and the second coordinate. It is preferable that the moving direction and the moving distance are determined.
本発明によれば、光学系の倍率変換を行うことなく、迅速に最終画像を取得することができる映像センタリングの方法が提供される。 According to the present invention, there is provided a video centering method capable of quickly acquiring a final image without performing magnification conversion of an optical system.
また、倍率変換による誤差を防止し、検査領域が最終画像の中央に正しく位置されることのできる映像センタリングの方法が提供される。 Also provided is a video centering method that prevents errors due to magnification conversion and allows the inspection region to be correctly positioned in the center of the final image.
また、検索プロセスの動きに基づいて登録されるターゲット画像からモデル画像の一部が表示されたり、或いは表示されない場合でも、中央に検査領域が配置される最終画像を取得することができる映像センタリングの方法が提供される。 Also, video centering that can acquire the final image in which the inspection area is arranged in the center even if a part of the model image is displayed or not displayed from the target image registered based on the movement of the search process A method is provided.
また、検索プロセスの動きを最小限にし、検査領域を検索するのにかかる遅延時間を最小限に抑えることができる映像センタリングの方法が提供される。 Also provided is a video centering method that minimizes the movement of the search process and minimizes the delay time required to search the inspection area.
説明に先立ち、複数の実施形態において同一の構成を有する構成要素については同一の符号を使用して代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では、第１実施形態と異なる構成について説明することとする。
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態による映像センタリング方法について詳細に説明する。
Prior to the description, components having the same configuration in a plurality of embodiments will be described in the first embodiment by using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. I will explain.
Hereinafter, an image centering method according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
本発明では、液晶表示装置の薄膜トランジスタの形状をセンタリングする方法として、特に、薄膜トランジスタのソース／ドレイン電極とゲート電極の接続部分が画像中央に位置するようにする方法を一実施形態として説明する。以下に説明する用語で、検査対象物は液晶表示装置に相当し、検査領域は薄膜トランジスタのソース／ドレイン電極とゲート電極の接続部分に相当する。 In the present invention, as a method for centering the shape of a thin film transistor of a liquid crystal display device, in particular, a method in which a connection portion between a source / drain electrode and a gate electrode of a thin film transistor is positioned at the center of an image will be described as an embodiment. In terms described below, the inspection object corresponds to a liquid crystal display device, and the inspection region corresponds to a connection portion between a source / drain electrode and a gate electrode of a thin film transistor.
図４は本発明の一実施形態による映像センタリング方法を説明するためのフローチャートであり、図５から図９は、本発明の一実施形態による映像センタリング方法を説明するための図である。特に、図５は、本発明の一実施形態に基づいて撮影されたモデル画像２０であり、図６は本発明の一実施形態に基づいて撮影されたターゲット画像３０であり、図７は本発明の一実施形態に応じて、ターゲット画像３０が縮小された検査画像３１であり、図８は、検査画像３１が検出された本発明の一実施形態によるモデル画像２０であり、図９は本発明の一実施形態によって最終ステップで取得した最終画像４０である。
FIG. 4 is a flowchart for explaining a video centering method according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 5 to 9 are diagrams for explaining a video centering method according to an embodiment of the present invention. In particular, FIG. 5 is a
図４を参照すれば、本発明の一実施形態による映像センタリング方法は、登録ステップ（Ｓ１００）、撮影ステップ（Ｓ２００）、縮小ステップ（Ｓ３００）、マッチングステップ（Ｓ４００）、およびセンタリングステップ（Ｓ５００）に分けることができる。 Referring to FIG. 4, the video centering method according to an embodiment of the present invention includes a registration step (S100), a shooting step (S200), a reduction step (S300), a matching step (S400), and a centering step (S500). Can be divided.
事前にユーザーは、検査対象物を第１の倍率の光学系で撮影し、取得した画像そのものを図５に示したようなモデル画像２０として登録させておく。本発明の一実施形態によるモデル画像２０から検索しようとする検査領域１０は、第１座標（Ｘ２、Ｙ２）に設定される。すなわち、モデル画像２０の検査領域１０の位置は、モデル画像２０内で検査領域１０の位置を指定して、第１座標（Ｘ２、Ｙ２）として設定する。このプロセスは、登録ステップ（Ｓ１００）であり、登録ステップ（Ｓ１００）は、検査対象物を第１の倍率の光学系で撮影し、撮影された第１の倍率の画像から検出しようとする検査領域１０の位置を設定し、モデル画像２０として登録する。
In advance, the user images the inspection object with the optical system of the first magnification, and registers the acquired image itself as a
登録ステップ（Ｓ１００）を経て登録されたモデル画像２０に基づいて、第１の倍率より高倍率である第２倍率の光学系は、検査対象物を定められた手順で撮影してターゲット画像３０を取得する。より詳しくは、第２倍率の光学系で検査対象物を撮影すると、図６に示したようなターゲット画像３０を取得することができる。取得されたターゲット画像３０には、検出しようとする検査領域１０が全部または一部が表示されたり、或いは検査領域１０が表示されない場合がある。図６のターゲット画像３０では、検査領域１０の一部が表示されている。このプロセスが、撮影ステップ（Ｓ２００）であり、撮影ステップ（Ｓ２００）は、モデル画像２０が登録された状態で、検査対象物を定められた手順に従って第１の倍率よりも高倍率である第２倍率の光学系で撮影してターゲット画像３０を取得する。
Based on the
このように、撮影ステップ（Ｓ２００）を経て取得したターゲット画像３０は、第１の倍率の大きさに縮小し、検査画像３１として仮登録される。より詳しくは、図７に示すように、図６のターゲット画像３０を縮小して縮小された検査画像３１を登録する。このようなプロセスが縮小ステップ（Ｓ３００）であり、縮小のステップ（Ｓ３００）は、撮影ステップ（Ｓ２００）で取得したターゲット画像３０を第１の倍率の大きさに縮小し、検査画像３１として登録する。
In this way, the target image 30 acquired through the photographing step (S200) is reduced to the first magnification and temporarily registered as the
そうすると、登録ステップ（Ｓ１００）を経て登録されたモデル画像２０に基づいて、モデル画像２０で仮登録されている検査画像３１を検索する。後述する循環ステップ（Ｓ４２０）によって、上述したターゲット画像３０および検査画像３１は、第２倍率の光学系が定められた手順に従って検査対象物を撮影するたびに更新され、更新された検査画像３１を上述したモデル画像２０から継続的に検索することができる。このプロセスがマッチングステップ（Ｓ４００）であり、マッチングステップ（Ｓ４００）は、登録されているモデル画像２０からの検査画像３１を検索する。
Then, based on the
マッチングステップ（Ｓ４００）を経てモデル画像２０から検査画像３１が検出されると、センタリングステップ（Ｓ５００）を経ることとなる。センタリングステップ（Ｓ５００）では、登録ステップ（Ｓ１００）で設定された検査領域１０の位置に対応するように第２倍率の光学系または検査対象物を移動させる。より詳しくは、図８に示すように、モデル画像２０の検査領域１０の位置は、登録ステップ（Ｓ１００）で設定されたように、第１の座標（Ｘ２、Ｙ２）として設定されている。このとき、モデル画像２０の検査画像３１の位置は、登録ステップ（Ｓ１００）で登録されたモデル画像２０内で検出された検査画像３１の位置を、第１座標（Ｘ２、Ｙ２）に対する第２座標（Ｘ１、Ｙ１）として設定される。すると、設定された第１の座標（Ｘ２、Ｙ２）と第２の座標（Ｘ１、Ｙ１）の間の変位（Ｌ）を換算して第２倍率の光学系または検査対象物の移動方向と移動距離が決定される。
When the
すなわち、第２座標が（Ｘ１、Ｙ１）であり、第１座標が（Ｘ２、Ｙ２）であるため、モデル画像２０内で両方の座標間の変位（Ｌ）につき、
Ｘ軸方向の長さは、Ｌｘ＝（｜Ｘ２−Ｘ１｜）であり、
Ｙ軸方向の長さは、Ｌｙ＝（｜Ｙ２−Ｙ１｜）である。
That is, since the second coordinate is (X1, Y1) and the first coordinate is (X2, Y2), the displacement (L) between both coordinates in the
The length in the X-axis direction is Lx = (| X2-X1 |),
The length in the Y-axis direction is Ly = (| Y2-Y1 |).
なお、第２倍率の光学系または検査対象物が実際の移動距離Ｒに対してモデル画像２０内での変位（Ｌ）への変換定数をＫとすると、
（変換定数Ｋは、モデル画像２０内での単位長さ（変位が１の場合）に応じて、第２倍率の光学系または検査対象物が移動する実際の距離を意味する）
Ｘ軸方向の実際の移動距離は、Ｒｘ＝Ｋ（｜Ｘ２−Ｘ１｜）であり、
Ｙ軸方向の実際の移動距離は、Ｒｙ＝Ｋ（｜Ｙ２−Ｙ１｜）であり、
実際の移動距離は以下の数式を満足するようになる。
If the conversion constant to the displacement (L) in the
(The conversion constant K means the actual distance that the optical system of the second magnification or the inspection object moves according to the unit length (when the displacement is 1) in the model image 20)
The actual movement distance in the X-axis direction is Rx = K (| X2-X1 |),
The actual movement distance in the Y-axis direction is Ry = K (| Y2-Y1 |),
The actual travel distance will satisfy the following formula.
図８の図示によれば、センタリングステップ（Ｓ５００）による第２倍率の光学系は、右側にＲｘだけ移動され、下側にＲｙだけ移動される。検査対象物は、第２倍率の光学系とは逆方向に動く。 Referring to FIG. 8, the second magnification optical system in the centering step (S500) is moved to the right by Rx and moved to the lower side by Ry. The inspection object moves in the direction opposite to the optical system of the second magnification.
センタリングステップ（Ｓ５００）を経てから最終ステップ（Ｓ６００）を経ることになる。最終ステップ（Ｓ６００）では、第２倍率の光学系または検査対象物が移動した後、第２倍率の光学系が検査対象物を撮影して最終画像４０を取得する。最終画像４０は、図９に示すように、第２倍率で検査対象物を撮影した映像であり、高倍率である第２倍率の最終画像４０の中央に検査領域１０が位置する。
After the centering step (S500), the final step (S600) is performed. In the final step (S600), after the second magnification optical system or the inspection object moves, the second magnification optical system captures the inspection object and acquires the
また、マッチングステップ（Ｓ４００）で検査画像３１が検出されない場合は、エラー信号を発生する警告ステップ（Ｓ４１０）と、上記の撮影ステップ（Ｓ２００）に戻る循環ステップ（Ｓ４２０）のうち、少なくともいずれか一つのステップを含めて構成することができる。
When the
警告ステップ（Ｓ４１０）は、モデル画像２０内で検査画像３１を検出することができないというエラー信号を生成し、生成されたエラー信号に応じてユーザーが確認できるようにする。ユーザーの確認方法としては、エラー信号を画面に表示したり、ビープ音を鳴らす方法などがある。循環ステップ（Ｓ４２０）では、撮影ステップ（Ｓ２００）に復帰してターゲット画像３０を更新する。
In the warning step (S410), an error signal indicating that the
映像センタリング方法に応じて検査領域１０が同一の場合、モデル画像２０は変更されないが、検査領域１０が変更される場合、上述のモデル画像２０は、ユーザーにより変更されることができる。
When the
上述した本発明の一実施形態による映像センタリング方法では、第１の倍率が第２の倍率よりも低倍率であり、第１の倍率として２０ｘの倍率を、そして第２の倍率として５０ｘの倍率を適用することができる。本発明では、第１の倍率に対する第２の倍率の比が大きいほど有利である。 In the video centering method according to the embodiment of the present invention described above, the first magnification is lower than the second magnification, the first magnification is 20 ×, and the second magnification is 50 ×. Can be applied. In the present invention, the larger the ratio of the second magnification to the first magnification, the more advantageous.
本発明によれば、第１の倍率として登録されたモデル画像２０を介して第２の倍率で検査領域１０を撮影し、検査領域１０が中央に位置する画像を取得することができるため、最終画像４０を取得するにあたって、従来技術の第１比較例のような光学系の倍率変換がなく、従来技術の第２比較例のような探索に伴う動きが最小限に抑えられる。
According to the present invention, the
本発明の権利範囲は、上述した一実施形態に限られるものではなく、添付の特許請求の範囲内で多様な形態の実施例として具現することができる。特許請求の範囲において請求する本発明の要旨を超えることなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な、様々な範囲まで、本発明における請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。 The scope of rights of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be embodied as various embodiments within the scope of the appended claims. Description of the claims in the present invention to various extents that can be modified by anyone having ordinary knowledge in the technical field to which the invention belongs without exceeding the gist of the present invention claimed in the claims. Is considered to be within the scope of
光学系の倍率変換がなく、迅速に最終画像を取得することができ、検索プロセスの動きに基づいて登録されるターゲット画像からモデル画像の一部が表示されたり、あるいは表示されない場合でも、中央に検査領域が配置される最終画像を取得することのできる映像センタリングの方法が提供される。
There is no magnification conversion of the optical system, the final image can be acquired quickly, and even if part of the model image is displayed or not displayed from the target image registered based on the movement of the search process, it is centered A video centering method is provided that can obtain a final image in which an inspection region is placed.
Claims (5)
前記検査対象物を、続いて前記第１の倍率よりも高倍率である第２の倍率の光学系で撮影してターゲット画像を取得する撮影ステップと、
前記撮影ステップで取得した前記ターゲット画像を前記第１の倍率の大きさに縮小して検査画像として登録する縮小ステップと、
前記モデル画像で前記検査画像を検索するマッチングステップと、
該マッチングステップで前記検査画像が検出された場合、前記登録ステップで設定された前記検査領域の位置に対応するように、前記第２の倍率の光学系または前記検査対象物を移動させるセンタリングステップと、を備えることを特徴とする、映像センタリング方法。 A registration step of photographing an inspection object with an optical system of a first magnification, setting a position of an inspection region to be detected in the photographed image of the first magnification, and registering it as a model image;
An imaging step of acquiring a target image by imaging the inspection object with an optical system having a second magnification that is higher than the first magnification;
A reduction step of reducing the target image acquired in the imaging step to the size of the first magnification and registering it as an inspection image;
A matching step of searching for the inspection image in the model image;
A centering step of moving the optical system of the second magnification or the inspection object so as to correspond to the position of the inspection region set in the registration step when the inspection image is detected in the matching step; And a video centering method.
The position of the inspection area of the model image is set as a first coordinate by specifying the position of the inspection area in the model image, and the position of the inspection image detected in the model image is the model image The position of the inspection image detected within the second coordinate is set as a second coordinate with respect to the first coordinate, and the second coordinate is converted into a value corresponding to the displacement between the first coordinate and the second coordinate. The video centering method according to claim 1 or 2, wherein a moving direction and a moving distance of the magnification optical system or the inspection object are determined.
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