JP5569715B2 - 撮像素子 - Google Patents
撮像素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5569715B2 JP5569715B2 JP2009143796A JP2009143796A JP5569715B2 JP 5569715 B2 JP5569715 B2 JP 5569715B2 JP 2009143796 A JP2009143796 A JP 2009143796A JP 2009143796 A JP2009143796 A JP 2009143796A JP 5569715 B2 JP5569715 B2 JP 5569715B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- photoelectric conversion
- conversion unit
- filter
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 46
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 20
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 24
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
Claims (8)
- 第1分光特性を有する第1フィルタと前記第1フィルタを介して入射した光を光電変換する第1光電変換部とを含む第1画素と、
第1方向に沿って前記第1画素の隣りに配置され、前記第1フィルタより長波長の光を透過させる第2分光特性を有する第2フィルタと前記第2フィルタを介して入射した光を光電変換する第2光電変換部とを含む第2画素と、
前記第1方向と垂直な第2方向に沿って前記第1画素の隣りに配置され、前記第1フィルタより短波長の光を透過させる第3分光特性を有する第3フィルタと前記第3フィルタを介して入射した光を光電変換する第3光電変換部とを含む第3画素と、を備え、
前記第1方向及び前記第2方向と垂直な第3方向において、前記第1光電変換部から前記第1フィルタまでの距離は、前記第3光電変換部から前記第3フィルタまでの距離より短く、
前記第3方向において、前記第2光電変換部から前記第2フィルタまでの距離は、前記第3光電変換部から前記第3フィルタまでの距離と同一であることを特徴とする撮像素子。 - 請求項1に記載の撮像素子において、
前記第3方向において、前記第1光電変換部から前記第1フィルタまでの距離は、前記第2光電変換部から前記第2フィルタまでの距離より短いことを特徴とする撮像素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の撮像素子において、
前記第1光電変換部で光電変換された電荷を転送する第1転送スイッチと、
前記第2光電変換部で光電変換された電荷を転送する第2転送スイッチと、
前記第3光電変換部で光電変換された電荷を転送する第3転送スイッチと、を更に備え、
前記第1転送スイッチ、前記第2転送スイッチ及び前記第3転送スイッチは、前記第3方向において同一の位置にそれぞれ形成され、かつ前記第1方向及び前記第2方向において異なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする撮像素子。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の撮像素子において、
入射した光を前記第1光電変換部に集光する第1マイクロレンズと、
入射した光を前記第2光電変換部に集光する第2マイクロレンズと、
入射した光を前記第3光電変換部に集光する第3マイクロレンズと、を更に備え、
前記第1マイクロレンズ、前記第2マイクロレンズ及び前記第3マイクロレンズは、前記第3方向において同一の位置にそれぞれ形成され、かつ前記第1方向及び前記第2方向において異なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする撮像素子。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の撮像素子において、
入射した光を前記第1光電変換部に集光する第1マイクロレンズと、
入射した光を前記第2光電変換部に集光する第2マイクロレンズと、
入射した光を前記第3光電変換部に集光する第3マイクロレンズと、を更に備え、
前記第1マイクロレンズ及び前記第3マイクロレンズは、前記第3方向において異なる位置にそれぞれ形成され、かつ前記第1方向及び前記第2方向において異なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする撮像素子。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の撮像素子において、
入射した光を前記第1光電変換部に集光する第1マイクロレンズと、
入射した光を前記第2光電変換部に集光する第2マイクロレンズと、
入射した光を前記第3光電変換部に集光する第3マイクロレンズと、を更に備え、
前記第1マイクロレンズ及び前記第2マイクロレンズは、前記第3方向において異なる位置にそれぞれ形成され、かつ前記第1方向及び前記第2方向において異なる位置にそれぞれ形成されていることを特徴とする撮像素子。 - 請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1マイクロレンズの形状と前記第3マイクロレンズの形状は、異なることを特徴とする撮像素子。 - 請求項4から請求項6のいずれか一項に記載の撮像素子において、
前記第1マイクロレンズの形状と前記第2マイクロレンズの形状は、異なることを特徴とする撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009143796A JP5569715B2 (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009143796A JP5569715B2 (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 撮像素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011003622A JP2011003622A (ja) | 2011-01-06 |
JP5569715B2 true JP5569715B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=43561378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009143796A Expired - Fee Related JP5569715B2 (ja) | 2009-06-17 | 2009-06-17 | 撮像素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5569715B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014179413A (ja) | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Toshiba Corp | 固体撮像装置 |
US9450005B2 (en) * | 2013-03-29 | 2016-09-20 | Sony Corporation | Image pickup device and image pickup apparatus |
US12046611B2 (en) * | 2020-11-12 | 2024-07-23 | Visera Technologies Company Limited | Solid-state image sensor |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2601148B2 (ja) * | 1993-07-23 | 1997-04-16 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2004319610A (ja) * | 2003-04-14 | 2004-11-11 | Victor Co Of Japan Ltd | イメージセンサ |
JP2006269735A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Sony Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
JP2006310343A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラー固体撮像装置 |
US7569804B2 (en) * | 2006-08-30 | 2009-08-04 | Dongbu Hitek Co., Ltd. | Image sensor having exposed dielectric layer in a region corresponding to a first color filter by a passivation layer |
JP2008103628A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Sharp Corp | 固体撮像素子 |
-
2009
- 2009-06-17 JP JP2009143796A patent/JP5569715B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011003622A (ja) | 2011-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11710753B2 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same, and imaging apparatus | |
KR101461804B1 (ko) | 고체 촬상 장치의 제조 방법 및 고체 촬상 장치 | |
KR101068698B1 (ko) | 고체 촬상 장치 | |
JP4491323B2 (ja) | 光電変換膜積層型カラー固体撮像装置 | |
JP4538353B2 (ja) | 光電変換膜積層型カラー固体撮像素子 | |
US9704901B2 (en) | Solid-state imaging devices | |
JP2013065688A (ja) | 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 | |
JP2008227250A (ja) | 複合型固体撮像素子 | |
TWI761812B (zh) | 用於紅外線感測之影像感測器及其製造方法 | |
WO2015198878A1 (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法、並びに電子機器 | |
JP2019122045A (ja) | イメージセンサー | |
JP4404561B2 (ja) | Mos型カラー固体撮像装置 | |
JP4700947B2 (ja) | 光電変換膜積層型単板式カラー固体撮像装置 | |
JP4388752B2 (ja) | Ccd型カラー固体撮像装置 | |
JP4696104B2 (ja) | 裏面照射型固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP2010182789A (ja) | 固体撮像素子、撮像装置、固体撮像素子の製造方法 | |
JP5569715B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP4070639B2 (ja) | Ccd型カラー固体撮像装置 | |
JP2011023455A (ja) | 固体撮像装置 | |
US20130193312A1 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same | |
JP2006202907A (ja) | 撮像素子 | |
CN209016059U (zh) | 背照式图像传感器 | |
JP2010045083A (ja) | 固体撮像素子 | |
KR20100028237A (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조방법 | |
JP2010182790A (ja) | 固体撮像素子、撮像装置、固体撮像素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130919 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140529 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5569715 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |