JP5567373B2 - Retaining material and method for producing retaining material - Google Patents

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Description

本発明は保持材および保持材の製造方法に係り、特に、凹陥性を有する同じ厚さで内部にセルが形成された複数のシート材と、シート材を連接するための粘着材とを備えた保持材および該保持材の製造方法に関する。   The present invention relates to a holding material and a method for manufacturing the holding material, and in particular, includes a plurality of sheet materials in which cells are formed with the same thickness having recesses, and an adhesive material for connecting the sheet materials. The present invention relates to a holding material and a method for manufacturing the holding material.

従来、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ(LCD)用ガラス基板等の材料(被研磨物)では、高精度な平坦性が要求されるため、研磨パッドを使用した研磨加工が行われている。これらの被研磨物の研磨加工では、被研磨物を片面ずつ研磨加工する片面研磨機が使用されることがある。この片面研磨機では、被研磨物が保持材を介して保持用定盤に保持され、研磨用定盤に装着された研磨パッドで研磨加工される。研磨加工時には、研磨粒子を含む研磨液(スラリ)が循環されつつ供給される。   Conventionally, materials (objects to be polished) such as semiconductor wafers and glass substrates for liquid crystal displays (LCDs) require high-precision flatness, and therefore polishing using a polishing pad has been performed. In the polishing of these objects to be polished, a single-side polishing machine that polishes the objects to be polished one by one may be used. In this single-side polishing machine, an object to be polished is held on a holding surface plate via a holding material, and is polished by a polishing pad mounted on the polishing surface plate. During polishing, a polishing liquid (slurry) containing abrasive particles is supplied while being circulated.

研磨加工で使用される研磨パッドや保持材では、外力によって変形を受けやすい柔らかな材質が用いられている。一般的な研磨パッドや保持材としては、湿式凝固法により形成された発泡構造を有する軟質樹脂製のシート材と、シート材を研磨機に装着するための粘着層と、粘着層を保護する機能を有し剥離可能な剥離材とで構成されている。シート材が軟質な素材であるのに対して、粘着層の芯材や剥離材では樹脂製フィルムや洋紙のような硬質素材が多く用いられている。このような研磨パッドや保持材では、被研磨物の平坦性を向上させるために表面の平坦性が重要となるが、軟質樹脂製のシート材が外力を受けたときや自重によって凹陥(へこみ)を発生しやすい、という問題がある。すなわち、凹陥が発生すると、研磨パッド等の平坦性が損なわれるため、被研磨物の平坦化が不十分となるおそれがある。   In the polishing pad and holding material used in the polishing process, a soft material that is easily deformed by an external force is used. As a general polishing pad and holding material, a sheet material made of a soft resin having a foam structure formed by a wet coagulation method, an adhesive layer for mounting the sheet material on a polishing machine, and a function for protecting the adhesive layer And a peelable release material. Whereas the sheet material is a soft material, a hard material such as a resin film or paper is often used for the core material and release material of the adhesive layer. In such a polishing pad or holding material, the surface flatness is important in order to improve the flatness of the object to be polished. However, when the soft resin sheet material receives external force or due to its own weight, it is depressed (dented). There is a problem that it is easy to generate. That is, when the recess is generated, the flatness of the polishing pad or the like is impaired, so that the object to be polished may not be sufficiently flattened.

一方、例えば、LCD用のガラス基板では、LCDの生産性向上を目的に年々大型化が進んでおり、一辺が3mに迫る大型のガラス基板が使用されるに至っている。大型のガラス基板の研磨加工時に使用される保持材では、ガラス基板を全面で保持するため、ガラス基板のサイズ変化にあわせて大型化する必要があるが、一枚の保持材で対応することが難しくなっている。大型の被研磨物を保持するために、例えば、ベースプレートに接着材料を介して保持させる技術が開示されている(特許文献1参照)。   On the other hand, for example, the size of glass substrates for LCDs has been increasing year by year for the purpose of improving LCD productivity, and large glass substrates having a side approaching 3 m have been used. The holding material used during polishing of a large glass substrate holds the glass substrate over the entire surface, so it is necessary to increase the size in accordance with the size change of the glass substrate. It's getting harder. In order to hold a large object to be polished, for example, a technique of holding a base plate via an adhesive material is disclosed (see Patent Document 1).

特開2005−262327号公報JP 2005-262327 A

しかしながら、特許文献1の技術では、接着材料を用いることで保持性は満足できるものの、研磨加工後に被研磨物に付着した接着材料を除去する作業を要するため、作業効率の点で十分といえるものではない。これに対して、2枚の同種の保持材を連接することで大型の被研磨物に対応することができる。ハンドリングや識別を容易にするために、保持材を連接したまま積層状に重ねたり、捲回したりすると、下層側の軟質なシート材の表面に上層側の連接箇所が接触することとなる。連接箇所では、粘着シートの厚みにもよるが、保持材の厚みである400〜2000μm程度の範囲で段差が形成されることがあるため、下層側のシート材に凹陥を発生させる、という問題がある。また、連接箇所で2枚の保持材間に形成される隙間が大きくなると、下層側のシート材の表面で軟質な樹脂の塑性変形により突条の圧痕が顕著になる。   However, in the technique of Patent Document 1, although the retention can be satisfied by using an adhesive material, it requires work to remove the adhesive material adhering to the object to be polished after the polishing process, which is sufficient in terms of work efficiency. is not. On the other hand, it can respond to a large-sized to-be-polished object by connecting two holding | maintenance materials of the same kind. In order to facilitate handling and identification, if the holding material is connected in a stacked manner or wound, the connecting portion on the upper layer side comes into contact with the surface of the soft sheet material on the lower layer side. Depending on the thickness of the pressure-sensitive adhesive sheet, the connecting portion may have a step in the range of about 400 to 2000 μm, which is the thickness of the holding material. is there. Further, when the gap formed between the two holding members at the connection location becomes large, the impression of the protrusion becomes prominent due to the plastic deformation of the soft resin on the surface of the lower layer sheet material.

本発明は上記事案に鑑み、積層または捲回してもシート材に対する凹陥の発生を抑制することができる保持材および該保持材の製造方法を提供することを課題とする。   In view of the above-described case, an object of the present invention is to provide a holding material and a method for manufacturing the holding material that can suppress the occurrence of recesses in the sheet material even when stacked or wound.

上記課題を解決するために、本発明の第1の態様は、凹陥性を有する同じ厚さで内部にセルが形成され直線状の端部同士が隣接するように配置された複数のシート材と、隣り合う前記シート材の隣接部分の一面側に貼付され前記シート材を連接するためのシート状の粘着材と、を備え、前記粘着材が100μm以下の厚みを有しており、かつ、前記粘着材で連接されたシート材の他面側が被研磨物を保持するための保持面を形成しているとともに、前記シート材が前記隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であることを特徴とする保持材である。 In order to solve the above-described problem, the first aspect of the present invention includes a plurality of sheet materials arranged in a manner that cells are formed in the same thickness having recesses and linear ends are adjacent to each other. A sheet-like adhesive material that is affixed to one surface side of an adjacent portion of the adjacent sheet material to connect the sheet material, and the adhesive material has a thickness of 100 μm or less, and The other side of the sheet material connected with the adhesive material forms a holding surface for holding the object to be polished, and the sheet material has a rectangular shape in which the length of the side intersecting the adjacent portion exceeds 1400 mm. It is a holding material characterized by being.

第1の態様では、直線状の端部同士が隣接するように配置された複数のシート材が、隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であり、隣接部分の一面側に貼付された100μm以下の厚みを有するシート状の粘着材で連接されているため、連接されたシート材を積層状または捲回状に配置することで粘着材が保持面に接触しても、粘着材の厚みが制限されたことでシート材の形状が復元しやすくなり、各シート材に対する粘着材による凹陥の発生を抑制することができる。 In the first aspect, the plurality of sheet materials arranged so that the linear end portions are adjacent to each other are in a rectangular shape in which the length of the side intersecting the adjacent portion exceeds 1400 mm, and on one surface side of the adjacent portion. Even if the adhesive material contacts the holding surface by arranging the connected sheet material in a laminated or wound form, the adhesive material is adhesively connected because it is connected with the adhered sheet-like adhesive material having a thickness of 100 μm or less. By limiting the thickness of the material, the shape of the sheet material can be easily restored, and the occurrence of depression due to the adhesive material with respect to each sheet material can be suppressed.

第1の態様において、シート材の隣接部分に形成される隙間が2mm以下となるように連接されていることが好ましい。粘着材が隣り合うシート材のそれぞれに均等に位置するように貼付されていてもよい。粘着材を25μm以上の厚みを有するようにすることができる。シート材が軟質樹脂で形成されており、シート材の一面側に軟質樹脂より硬質のシートが貼り合わされていてもよい。シート材を湿式凝固法によりポリウレタン樹脂で形成することができる。被研磨物を液晶ディスプレイ用ガラス基板とすることができる。   1st aspect WHEREIN: It is preferable to connect so that the clearance gap formed in the adjacent part of a sheet | seat material may be 2 mm or less. The adhesive material may be affixed so as to be evenly positioned on each of the adjacent sheet materials. The adhesive material can have a thickness of 25 μm or more. The sheet material may be formed of a soft resin, and a sheet harder than the soft resin may be bonded to one side of the sheet material. The sheet material can be formed of a polyurethane resin by a wet coagulation method. The object to be polished can be a glass substrate for a liquid crystal display.

本発明の第2の態様は、第1の態様の保持材の製造方法であって、凹陥性を有する同じ厚さで内部にセルが形成された複数のシート材を直線状の端部同士が隣接するように並置する並置ステップと、前記並置ステップで並置されたシート材の直線状の隣接部分における一面側にシート状の粘着材を貼付して隣り合うシート材を連接する連接ステップと、を含み、前記連接ステップで貼付する粘着材が100μm以下の厚みを有しており、かつ、前記粘着材で連接されたシート材の他面側が被研磨物を保持するための保持面を形成するとともに、前記シート材が前記隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であることを特徴とする。 A second aspect of the present invention is a method for manufacturing a holding material according to the first aspect, wherein linear end portions of a plurality of sheet materials in which cells are formed with the same thickness having recesses are formed. A juxtaposition step of juxtaposing adjacent sheet materials by adhering a sheet-like adhesive material to one side of the linear adjacent portion of the sheet material juxtaposed in the juxtaposition step; wherein the provided adhesive for affixing at the connecting step with a thickness of less than 100 [mu] m, and the other surface of the sheet material which is connected by the adhesive material to form a holding surface for holding a workpiece The sheet material has a rectangular shape in which the length of the side intersecting the adjacent portion exceeds 1400 mm .

本発明によれば、直線状の端部同士が隣接するように配置された複数のシート材が、隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であり、隣接部分の一面側に貼付された100μm以下の厚みを有するシート状の粘着材で連接されているため、連接されたシート材を積層状または捲回状に配置することで粘着材が保持面に接触しても、粘着材の厚みが制限されたことでシート材の形状が復元しやすくなり、各シート材に対する粘着材による凹陥の発生を抑制することができる、という効果を得ることができる。 According to the present invention, the plurality of sheet materials arranged so that the linear end portions are adjacent to each other are in a rectangular shape in which the length of the side intersecting with the adjacent portion exceeds 1400 mm, and on one surface side of the adjacent portion. Even if the adhesive material contacts the holding surface by arranging the connected sheet material in a laminated or wound form, the adhesive material is adhesively connected because it is connected with the adhered sheet-like adhesive material having a thickness of 100 μm or less. By limiting the thickness of the material, it becomes easy to restore the shape of the sheet material, and it is possible to obtain an effect that the occurrence of the depression due to the adhesive material with respect to each sheet material can be suppressed.

本発明を適用した実施形態の2枚の保持シートが連接された連接パッドを模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the connection pad to which the 2 holding sheet of embodiment which applied this invention was connected. 実施形態の連接パッドを構成する1枚の保持シートを模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the one holding sheet | seat which comprises the connection pad of embodiment. 連接パッドを構成する保持シートと連接テープとの位置関係を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows typically the positional relationship of the holding | maintenance sheet | seat and connection tape which comprise a connection pad. 2枚の保持シートの連接方法の概略を示す工程図である。It is process drawing which shows the outline of the connection method of two holding sheets.

以下、図面を参照して、本発明を被研磨物保持用の2枚の保持シートを連接した連接パッドに適用した実施の形態について説明する。   In the following, an embodiment in which the present invention is applied to an articulated pad in which two holding sheets for holding an object to be polished are articulated will be described with reference to the drawings.

<構成>
図1に示すように、連接パッド20(保持材)では、大型化する傾向のあるガラス基板等を保持するために厚さが同じ2枚の保持シート30(シート材)の端部同士を隣接させた直線状の連接箇所15で連接し形成されている。保持シート30は、ポリウレタン樹脂製のウレタンシート22と、研磨装置に装着するための両面テープ26とで形成されており、両面テープ26のウレタンシート22と反対の面側が剥離材27で覆われている(詳細後述)。連接パッド20では、連接する2枚の保持シート30の一面側に配された剥離材27が連接箇所15で連接テープ18によりつなぎ止められている。連接箇所15では、隣り合う保持シート30の直線状の境界部分の長さの全体が連接テープ18で覆われている。連接パッド20の他面側が被研磨物を保持するための保持面Pを形成している。
<Configuration>
As shown in FIG. 1, in the connection pad 20 (holding material), the ends of two holding sheets 30 (sheet material) having the same thickness are adjacent to each other in order to hold a glass substrate or the like that tends to be enlarged. It is formed by being connected at a linear connecting portion 15 that is made to be. The holding sheet 30 is formed of a polyurethane resin-made urethane sheet 22 and a double-sided tape 26 to be attached to a polishing apparatus, and a surface of the double-sided tape 26 opposite to the urethane sheet 22 is covered with a release material 27. (Details will be described later). In the connection pad 20, the release material 27 disposed on one surface side of the two holding sheets 30 to be connected is connected to the connection portion 15 by the connection tape 18. At the connection location 15, the entire length of the linear boundary portion between the adjacent holding sheets 30 is covered with the connection tape 18. The other surface side of the connecting pad 20 forms a holding surface P for holding an object to be polished.

連接テープ18は、本例では、基材の片面に粘着剤が塗布されている。連接テープ18の厚み、すなわち、基材と粘着剤との合計の厚みT2は、25μm以上100μm以下の範囲に調整されている。図3に示すように、連接テープ18は、2枚の保持シート30(剥離材27)をそれぞれ均等な幅でつなぎ止めるように貼付されている。連接テープ18の幅は、30〜100mmの範囲で調整することができるが、本例では、50mmに調整されている。すなわち、連接テープ18の25mm幅分ずつがそれぞれ2枚の保持シート30に貼付されている。   In this example, the connecting tape 18 is coated with an adhesive on one side of the base material. The thickness of the connecting tape 18, that is, the total thickness T <b> 2 of the base material and the pressure-sensitive adhesive is adjusted in the range of 25 μm to 100 μm. As shown in FIG. 3, the connecting tape 18 is affixed so that the two holding sheets 30 (peeling material 27) are connected to each other with an equal width. The width of the connecting tape 18 can be adjusted in the range of 30 to 100 mm, but is adjusted to 50 mm in this example. That is, each 25 mm width of the connecting tape 18 is affixed to the two holding sheets 30.

連接箇所15では、2枚の保持シート30が重なりを生じないように直線状に隣接している。2枚の保持シート30間に形成される隙間が大きくなると、連接パッド20を積層状または捲回状に配置したときに、保持シート30のウレタンシート22の表面平坦性を損なう可能性がある。このため、2枚の保持シート30間の隙間は、2mm以下となるように調整されている。   At the connection location 15, the two holding sheets 30 are linearly adjacent so as not to overlap. If the gap formed between the two holding sheets 30 becomes large, the surface flatness of the urethane sheet 22 of the holding sheet 30 may be impaired when the connecting pads 20 are arranged in a stacked or wound shape. For this reason, the gap between the two holding sheets 30 is adjusted to be 2 mm or less.

保持シート30は、図2に示すように、100%モジュラス(2倍長に引っ張る時の張力)が2〜30MPaの範囲のポリウレタン樹脂で湿式凝固法により形成されたウレタンシート22を有している。ウレタンシート22は、被研磨物を定盤に保持させるときに被研磨物に当接する保持面Pを有している。ウレタンシート22の保持面Pと反対の面(図2の下面。以下、裏面という。)側には、ウレタンシート22の厚さ(図2の縦方向の長さ)が一様となるようにバフ処理が施されている。このため、ウレタンシート22の保持面Pが略平坦に形成されている。図1に示すように、ウレタンシート22の厚みT1は、本例では、200〜1500μmの範囲に調整されている。厚みT1は、湿式凝固法によるウレタンシート22の作製時に調整することができる(詳細後述)。   As shown in FIG. 2, the holding sheet 30 has a urethane sheet 22 formed by a wet coagulation method with a polyurethane resin having a 100% modulus (tension when pulled twice) in a range of 2 to 30 MPa. . The urethane sheet 22 has a holding surface P that comes into contact with the workpiece when the workpiece is held on a surface plate. The thickness (length in the vertical direction in FIG. 2) of the urethane sheet 22 is uniform on the side opposite to the holding surface P of the urethane sheet 22 (the lower surface in FIG. 2). Buffed. For this reason, the holding surface P of the urethane sheet 22 is formed substantially flat. As shown in FIG. 1, the thickness T1 of the urethane sheet 22 is adjusted in the range of 200 to 1500 μm in this example. The thickness T1 can be adjusted when the urethane sheet 22 is produced by a wet coagulation method (details will be described later).

ウレタンシート22には、保持面P側に、緻密な微多孔状に形成され表面平坦性を有するスキン層24が形成されている。スキン層24の下側(ウレタンシート22のスキン層24より内部側)には、ウレタンシート22の厚み方向に長さを有する丸みを帯びた円錐状(断面縦長三角状)の発泡23(セル)が形成されている。発泡23は、保持面P側の大きさが、裏面側より小さく形成されている。すなわち、発泡23は保持面P側が裏面側より縮径されている。発泡23は、ウレタンシート22の厚み方向の長さにバラツキを有している。発泡23の間のポリウレタン樹脂は、発泡23より小さい孔径の図示しない微細孔が連続状に形成されたミクロポーラス状に形成されている。スキン層24、発泡23および図示しない微細孔は、不図示の連通孔で網目状に連通している。すなわち、ウレタンシート22は連続状の発泡構造を有している。ウレタンシート22の裏面側がバフ処理されているため、発泡23が裏面側の表面で開孔を形成している。また、保持シート30は、裏面側(バフ処理された面側)に、一面側(図2の最下面側)に剥離材27を有する両面テープ26の他面側が貼り合わされている。両面テープ26は、PET製フィルムの基材26aを有しており、基材26aの両面に粘着剤層26bがそれぞれ形成されている。剥離材27としては、洋紙等を用いることもできるが、本例では、ポリエチレンテレフタレート(以下、PETと略記する。)製の硬質な樹脂フィルムが用いられている。なお、本例では、基材26aが保持シート30、ひいては連接パッド20を支持する機能も兼ねている。   On the urethane sheet 22, a skin layer 24 is formed on the holding surface P side. On the lower side of the skin layer 24 (inside the skin layer 24 of the urethane sheet 22), a rounded cone-shaped foam 23 (cell) having a length in the thickness direction of the urethane sheet 22 (cell). Is formed. The foam 23 is formed so that the size on the holding surface P side is smaller than that on the back surface side. That is, the diameter of the foam 23 is reduced on the holding surface P side than on the back surface side. The foam 23 has variations in the length of the urethane sheet 22 in the thickness direction. The polyurethane resin between the foams 23 is formed in a microporous shape in which fine pores (not shown) having a pore diameter smaller than that of the foam 23 are continuously formed. The skin layer 24, the foam 23, and the fine holes (not shown) communicate with each other in a mesh shape through communication holes (not shown). That is, the urethane sheet 22 has a continuous foam structure. Since the back surface side of the urethane sheet 22 is buffed, the foam 23 forms an opening on the surface on the back surface side. Further, the holding sheet 30 has the other side of the double-sided tape 26 having the release material 27 on one side (the lowermost side in FIG. 2) on the back side (the side that has been buffed). The double-sided tape 26 has a PET film substrate 26a, and adhesive layers 26b are formed on both surfaces of the substrate 26a. Although the paper 27 can be used as the release material 27, in this example, a hard resin film made of polyethylene terephthalate (hereinafter abbreviated as PET) is used. In this example, the base material 26a also has a function of supporting the holding sheet 30 and thus the connection pad 20.

<製造>
この連接パッド20は、湿式凝固法によりポリウレタン樹脂がシート状に形成され作製された保持シート30の2枚を連接し製造されたものである。湿式凝固法による保持シート30の作製では、ポリウレタン樹脂を有機溶媒に溶解させた樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布し、水系凝固液中で樹脂溶液を凝固させ形成したシート状のポリウレタン樹脂を、洗浄し乾燥させた後、両面テープ26と貼り合わせる。具体的には、連接パッド20は、以下のようにして製造される。
<Manufacturing>
The connecting pad 20 is manufactured by connecting two holding sheets 30 formed by forming a polyurethane resin into a sheet shape by a wet coagulation method. In the production of the holding sheet 30 by the wet coagulation method, a sheet-like polyurethane formed by continuously applying a resin solution in which a polyurethane resin is dissolved in an organic solvent to a film forming substrate and coagulating the resin solution in an aqueous coagulation liquid. The resin is washed and dried, and then bonded to the double-sided tape 26. Specifically, the connecting pad 20 is manufactured as follows.

樹脂溶液は、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒および添加剤を混合した後、減圧下で脱泡することで調製される。有機溶媒には、本例では、N,N−ジメチルホルムアミド(以下、DMFと略記する。)が用いられる。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から選択して用いられる。添加剤としては、発泡の大きさや量(個数)を制御するため、顔料、親水性活性剤および疎水性活性剤等を用いることができる。調製された樹脂溶液は、帯状の成膜基材に均一な厚みとなるように塗布される。樹脂溶液の塗布厚みは、成膜基材への塗布に使用されるナイフコータ等の塗布装置により調整することができる。成膜基材には、可撓性フィルム、不織布、織布等を用いることができるが、本例では、液体浸透性を有していないPET製フィルムが用いられている。   The resin solution is prepared by mixing a polyurethane resin, a water-miscible organic solvent capable of dissolving the polyurethane resin, and an additive, and then degassing under reduced pressure. In this example, N, N-dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF) is used as the organic solvent. As the polyurethane resin, a polyester resin, a polyether resin, a polycarbonate resin, or the like is selected and used. As additives, pigments, hydrophilic activators, hydrophobic activators, and the like can be used to control the size and amount (number) of foaming. The prepared resin solution is applied to a strip-shaped film forming substrate so as to have a uniform thickness. The coating thickness of the resin solution can be adjusted by a coating apparatus such as a knife coater used for coating on the film forming substrate. A flexible film, a nonwoven fabric, a woven fabric, or the like can be used for the film forming substrate. In this example, a PET film that does not have liquid permeability is used.

成膜基材に塗布された樹脂溶液は、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液に案内される。凝固液中では、まず、樹脂溶液の表面側に厚さ数μm程度のスキン層24が形成される。その後、樹脂溶液中のDMFと凝固液との置換の進行により樹脂溶液が凝固しシート状のポリウレタン樹脂が再生する。DMFの凝固液との置換に伴い、スキン層24より内側のポリウレタン樹脂中に発泡23が形成され、連続状の発泡構造が形成される。このとき、成膜基材のPET製フィルムが水を浸透させないため、スキン層24側で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな発泡23が形成される。   The resin solution applied to the film forming substrate is guided to a coagulating liquid containing water as a main component, which is a poor solvent for the polyurethane resin. In the coagulation liquid, first, a skin layer 24 having a thickness of about several μm is formed on the surface side of the resin solution. Thereafter, the resin solution is solidified by the progress of substitution between the DMF in the resin solution and the coagulating liquid, and the sheet-like polyurethane resin is regenerated. Along with the replacement of the DMF with the coagulating liquid, the foam 23 is formed in the polyurethane resin inside the skin layer 24, and a continuous foam structure is formed. At this time, since the PET film of the film formation substrate does not permeate water, the solvent is removed on the skin layer 24 side, and the foam 23 having a larger film formation substrate side than the surface side is formed.

再生したポリウレタン樹脂(以下、成膜樹脂という。)が成膜基材から剥離され、水等の洗浄液中で洗浄されて成膜樹脂中に残留するDMFが除去される。洗浄後、成膜樹脂をシリンダ乾燥機等で乾燥させる。乾燥後の成膜樹脂は、厚さが一様となるように、成膜樹脂のスキン層24と反対の面側がバフ処理されウレタンシート22が形成される。このバフ処理による研削除去量と、上述した樹脂溶液の塗布厚みとにより、ウレタンシート22の厚みT1が定められる。ウレタンシート22のバフ処理された面側と、一面側に剥離材27が貼付された両面テープ26の他面側とが粘着剤層26bを介して貼り合わされた後、矩形状の所望のサイズに裁断され保持シート30が作製される。   The regenerated polyurethane resin (hereinafter referred to as film-forming resin) is peeled off from the film-forming substrate and washed in a cleaning liquid such as water to remove DMF remaining in the film-forming resin. After cleaning, the film forming resin is dried with a cylinder dryer or the like. The surface of the film-forming resin after drying is buffed on the surface opposite to the skin layer 24 of the film-forming resin so that the thickness is uniform, and the urethane sheet 22 is formed. The thickness T1 of the urethane sheet 22 is determined by the grinding removal amount by the buffing process and the application thickness of the resin solution described above. After the buffed surface side of the urethane sheet 22 and the other surface side of the double-sided tape 26 having the release material 27 attached to one surface side are bonded together via the adhesive layer 26b, the rectangular sheet has a desired size. The holding sheet 30 is produced by cutting.

(連接)
2枚の保持シート30を連接し連接パッド20を製造するときは、以下の手順で行う。すなわち、図4に示すように、連接テープ18を準備する準備工程、2枚の保持シート30を隣接するように並置する並置工程(並置ステップ)、隣り合う保持シート30の境界部分に連接テープ18を貼付し連接する連接工程(連接ステップ)、を経て連接パッド20を製造する。以下、工程順に説明する。
(Joint)
When manufacturing the connecting pad 20 by connecting the two holding sheets 30, the following procedure is performed. That is, as shown in FIG. 4, a preparation step for preparing the connecting tape 18, a juxtaposition step for juxtaposing the two holding sheets 30 so as to be adjacent (a juxtaposition step), and the connecting tape 18 at the boundary portion between the adjacent holding sheets 30. The connecting pad 20 is manufactured through a connecting step (connecting step) for connecting and connecting. Hereinafter, it demonstrates in order of a process.

準備工程では、基材の片面に粘着剤を塗布することで連接テープ18を準備する。基材としては、可撓性を有する樹脂フィルムや不織布等を用いることができるが、本例では、PET製フィルムを用いる。粘着剤としては、保持シート30の剥離材27との接着性を有していれば、アクリル系、ウレタン系、エポキシ系等のいずれのものも用いることができるが、本例では、アクリル系の感圧型粘着剤を用いる。基材と粘着剤との合計の厚みT2が25〜100μmの範囲となるように調整する。本例では、25μmの厚みを有する基材に30μmの厚みで粘着剤を塗布し、厚みT2を55μmに調整する。また、連接テープ18の幅が50mmとなるように裁断する。粘着剤の基材と反対側の表面を剥離紙で覆うようにしておくことも可能である。   In the preparation step, the connecting tape 18 is prepared by applying an adhesive to one side of the substrate. As the substrate, a flexible resin film, a nonwoven fabric, or the like can be used. In this example, a PET film is used. As the pressure-sensitive adhesive, any of acrylic, urethane, epoxy and the like can be used as long as it has adhesiveness to the release material 27 of the holding sheet 30. A pressure sensitive adhesive is used. It adjusts so that the total thickness T2 of a base material and an adhesive may become the range of 25-100 micrometers. In this example, an adhesive is applied to a substrate having a thickness of 25 μm with a thickness of 30 μm, and the thickness T2 is adjusted to 55 μm. Moreover, it cuts so that the width | variety of the connection tape 18 may be set to 50 mm. It is also possible to cover the surface of the pressure-sensitive adhesive opposite to the base material with release paper.

並置工程では、2枚の保持シート30を隣接するように並置する。このとき、平坦な基台上で、保持面Pが基台側に、剥離材27が上側になるように並置する。また、2枚の保持シート30に重なりが生じないように、かつ、2枚の保持シート30間の隙間が2mm以下となるように調整し並置する。2枚の保持シート30が同じ厚みのため、保持面Pが同一平面を形成することとなる。   In the juxtaposition process, the two holding sheets 30 are juxtaposed so as to be adjacent to each other. At this time, they are juxtaposed on the flat base so that the holding surface P is on the base and the release material 27 is on the top. Further, the two holding sheets 30 are adjusted and juxtaposed so that the two holding sheets 30 do not overlap and the gap between the two holding sheets 30 is 2 mm or less. Since the two holding sheets 30 have the same thickness, the holding surface P forms the same plane.

連接工程では、並置された2枚の保持シート30の剥離材27が隣接する直線状の境界部分に連接テープ18を貼付する。このとき、連接テープ18が2枚の保持シート30に均等な幅で貼付されるように位置付けて貼付する。また、貼り合わせ面に空気等が咬み込まれないように、境界部分の一端側から他端側へ向けて順次貼付する。そして、汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い連接パッド20を完成させる。製造後の連接パッド20は、積層状に積み重ねるか、または、捲回して筒状に形成する。いずれの形態としても、保管や運搬等の取扱いが容易となる。   In the connecting step, the connecting tape 18 is attached to a linear boundary portion where the release members 27 of the two holding sheets 30 arranged side by side are adjacent to each other. At this time, the connecting tape 18 is positioned and attached so as to be attached to the two holding sheets 30 with an equal width. Moreover, it affixes sequentially toward the other end side from the one end side of a boundary part so that air etc. may not bite into a bonding surface. Then, the connection pad 20 is completed by performing an inspection such as confirming that there is no adhesion of dirt or foreign matter. The connected pads 20 after manufacture are stacked in a laminated form or wound to form a cylindrical shape. In any form, handling such as storage and transportation becomes easy.

(作用等)
次に、本実施形態の連接パッド20および保持パッド30の連接方法の作用等について説明する。
(Action etc.)
Next, an operation and the like of the connecting method of the connecting pad 20 and the holding pad 30 according to this embodiment will be described.

ここで、本実施形態の連接パッド20での説明をわかりやすくするために、従来の例について説明する。研磨加工時に被研磨物を保持するために使用される保持材では、凹陥性を有する軟質な樹脂で形成されるが、被研磨物に対する平坦性向上を図るうえでは、保持材自体の平坦性を確保することが重要となる。このような保持材を保管、運搬する場合は、取扱いのしやすさやサイズのコンパクト化を考慮して、積層状または捲回状に配置される。例えば、矩形状の1辺や円形状の直径が1000mm程度までの1枚のシートであれば、積層状で十分であるのに対して、1辺が1400mmを超える矩形状や直径が1400mmを超える円形状では、積層状にすると却って取扱いに手間がかかるため捲回状に配置される。捲回状に配置した場合、自重がかかり、また、揺れや振動(ローリングやピッチ)もかかることから、凹陥性を有する保持材の平坦性を損なう可能性がある。更には、LCD用ガラス基板等の被研磨物が大型化しており、例えば、1辺が3000mmに及ぶ矩形状のものが製造されている。このような大型の被研磨物の研磨加工では、保持材自体も大型化することが必要となるが、1枚の保持材で対応することが難しく、2枚の保持シートを連接することで対処されている。保持シートは、厚みが400〜2000μm程度のため、連接したまま積層状または捲回状に配置したときに保持シートの厚みの範囲で生じる段差による凹陥を発生することがある。すなわち、積層状のときは下側に位置する保持シートの表面に上側に位置する保持シートの段差の生じた部分が当接するため、被研磨物を保持するための保持面に凹陥を発生させるおそれがある。捲回状のときは、内周側ないし外周側で同様の問題が生じることとなる。本実施形態は、これらの問題を解決することができる連接パッド20である。   Here, a conventional example will be described for easy understanding of the connection pad 20 of the present embodiment. The holding material used to hold the object to be polished at the time of polishing is formed of a soft resin having a recess, but in order to improve the flatness of the object to be polished, the flatness of the holding material itself is required. It is important to ensure. When such a holding material is stored and transported, it is arranged in a stacked or wound form in consideration of ease of handling and size reduction. For example, a single sheet having a rectangular side and a circular shape with a diameter of up to about 1000 mm is sufficient, but a rectangular shape with a side exceeding 1400 mm and a diameter exceeding 1400 mm are sufficient. In the case of a circular shape, if it is a laminated shape, it takes a lot of time to handle it, so it is arranged in a wound shape. When arranged in a wound shape, the weight is applied, and shaking and vibration (rolling and pitch) are also applied, which may impair the flatness of the retaining material having the recess. In addition, an object to be polished such as an LCD glass substrate has been enlarged, and for example, a rectangular object having a side of 3000 mm is manufactured. In polishing of such a large workpiece, it is necessary to increase the size of the holding material itself, but it is difficult to cope with one holding material, and this is dealt with by connecting two holding sheets. Has been. Since the holding sheet has a thickness of about 400 to 2000 μm, when the holding sheet is arranged in a laminated or wound form while being connected, a depression due to a step generated in the thickness range of the holding sheet may occur. That is, in the case of a laminated shape, the stepped portion of the holding sheet located on the upper side contacts the surface of the holding sheet located on the lower side, which may cause the holding surface for holding the workpiece to be recessed. There is. In the case of a wound shape, the same problem occurs on the inner peripheral side or the outer peripheral side. The present embodiment is a connection pad 20 that can solve these problems.

本実施形態の連接パッド20では、2枚の保持シート30を連接テープ18で連接し製造されている。連接テープ18は、基材と粘着剤とで形成されており、全体の厚みT2が25μm以上100μm以下の範囲に調整されている。このため、連接パッド20を積層状または捲回状に配置しても、厚みT2が制限されたことで保持シート30の弾性が十分に機能する。すなわち、ウレタンシート22に若干の窪みが生じても弾性により復元し平坦性を保つことができる。これにより、保持シート30の保持面に対して連接テープ18による凹陥の発生を抑制することができる。連接テープ18の厚みT2が25μmに満たないと、2枚の保持シート30をつなぎ止めるには強度的に難しくなる。反対に、厚みT2が100μmを超えると、凹陥の発生抑制が不十分となる。   In the connection pad 20 of the present embodiment, the two holding sheets 30 are connected by the connection tape 18. The connecting tape 18 is formed of a base material and an adhesive, and the total thickness T2 is adjusted in a range of 25 μm to 100 μm. For this reason, even if the connection pads 20 are arranged in a laminated or wound shape, the elasticity of the holding sheet 30 functions sufficiently due to the limited thickness T2. That is, even if a slight depression is generated in the urethane sheet 22, it can be restored by elasticity and kept flat. Thereby, generation | occurrence | production of the recess by the connection tape 18 with respect to the holding surface of the holding sheet 30 can be suppressed. If the thickness T2 of the connecting tape 18 is less than 25 μm, it will be difficult in terms of strength to hold the two holding sheets 30 together. On the other hand, when the thickness T2 exceeds 100 μm, the occurrence of depression is not sufficiently suppressed.

また、本実施形態の連接パッド20では、2枚の保持シート30の隣接する境界部分における隙間が2mm以下となるように連接している。この境界部分が連接テープ18で覆われるため、積層状または捲回状に配置したときに保持面Pに連接テープ18が接触することとなる。隙間が2mmを超えるような場合は、連接テープ18が連接箇所の隙間部分で撓みを生じ、保持面Pと接触することで、保持面Pに突条の変形を生じさせることとなる。連接パッド20では、隙間の大きさが制限されているうえ、連接テープ18で覆われているため、保持面Pに対する突条の形成を抑制することができる。   Moreover, in the connection pad 20 of this embodiment, it connects so that the clearance gap between the adjacent boundary parts of the two holding sheets 30 may be 2 mm or less. Since this boundary portion is covered with the connecting tape 18, the connecting tape 18 comes into contact with the holding surface P when arranged in a laminated or wound form. When the gap exceeds 2 mm, the connecting tape 18 bends in the gap portion of the connecting portion and comes into contact with the holding surface P, thereby causing deformation of the protrusion on the holding surface P. In the connection pad 20, the size of the gap is limited, and the connection pad 20 is covered with the connection tape 18, so that the formation of protrusions on the holding surface P can be suppressed.

更に、本実施形態の連接パッド20では、積層状または捲回状に配置しても凹陥の発生が抑制されることから、保管や運搬に際しても保持面Pの平坦性を確保することができる。これにより、研磨加工時に被研磨物が平坦な保持面Pで保持されるため、被研磨物の平坦性向上を図ることができる。このような連接パッド20では、大型化しつつある被研磨物、すなわち、LCD用ガラス基板を研磨加工するときや表面を鏡面状態まで研磨加工するときの保持材として好適に使用することができる。   Furthermore, in the connection pad 20 of this embodiment, even if it arrange | positions in lamination | stacking shape or winding shape, since generation | occurrence | production of a depression is suppressed, the flatness of the holding surface P is securable also at the time of storage or conveyance. As a result, the object to be polished is held by the flat holding surface P during the polishing process, so that the flatness of the object to be polished can be improved. Such a connection pad 20 can be suitably used as a holding material when polishing an object to be polished, that is, a glass substrate for LCD, or polishing the surface to a mirror surface.

なお、本実施形態では、2枚の保持シート30を連接テープ18で連接する例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。例えば、3枚以上の保持シート30を連接することも可能である。また、本実施形態では、連接テープ18が隣り合う保持シート30の境界部分の長さの全体を覆うように貼付された例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない。連接テープ18により2枚の保持シート30をつなぎ止めることができればよく、例えば、直線状の連接箇所15の全体に貼付せずに、部分的に貼付しておくことも可能である。更に、連接テープ18として、基材の厚みが25μm、粘着剤の厚みが30μmの合計の厚みT2が55μmのものを例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、厚みT2が100μm以下であればよい。   In the present embodiment, the example in which the two holding sheets 30 are connected by the connecting tape 18 has been described, but the present invention is not limited to this. For example, it is possible to connect three or more holding sheets 30 together. In the present embodiment, the example in which the connecting tape 18 is pasted so as to cover the entire length of the boundary portion between the adjacent holding sheets 30 is shown, but the present invention is not limited to this. It is only necessary that the two holding sheets 30 can be connected to each other by the connecting tape 18. For example, the holding sheet 30 may be partially attached without being attached to the entire linear connecting portion 15. Further, the connecting tape 18 is exemplified by a base material having a thickness of 25 μm and a pressure-sensitive adhesive of 30 μm and a total thickness T2 of 55 μm. However, the present invention is not limited to this, and the thickness T2 is 100 μm. The following is sufficient.

また、本実施形態では、保持シート30が湿式凝固法により作製されたポリウレタンシート22と両面テープ26とを有する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、凹陥性を有し内部に発泡が連続状に形成されたシート材に適用することができる。例えば、保持パッドが、乾式法で作製された樹脂シートを有していてもよく、両面テープを有することなく樹脂シートのみでもよい。また、保持シートの材質や発泡構造についても、特に制限されるものではない。   In the present embodiment, an example in which the holding sheet 30 includes the polyurethane sheet 22 produced by the wet coagulation method and the double-sided tape 26 has been described. However, the present invention is not limited to this and has a concave property. However, it can be applied to a sheet material in which foaming is formed continuously. For example, the holding pad may have a resin sheet produced by a dry method, or may have only a resin sheet without having a double-sided tape. Further, the material of the holding sheet and the foam structure are not particularly limited.

本発明は積層または捲回してもシート材に対する凹陥の発生を抑制することができる保持材および該保持材の製造方法を提供するため、保持材の製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。   The present invention provides a holding material and a method for manufacturing the holding material that can suppress the occurrence of recesses in the sheet material even when stacked or wound, and contributes to the manufacture and sale of the holding material. Have potential.

P 保持面
18 連接テープ(粘着材)
20 連接パッド(保持材)
22 ウレタンシート
23 発泡(セル)
30 保持シート(シート材)
P Holding surface 18 Connecting tape (adhesive)
20 articulated pad (holding material)
22 Urethane sheet 23 Foam (cell)
30 Holding sheet (sheet material)

Claims (8)

凹陥性を有する同じ厚さで内部にセルが形成され直線状の端部同士が隣接するように配置された複数のシート材と、
隣り合う前記シート材の隣接部分の一面側に貼付され前記シート材を連接するためのシート状の粘着材と、
を備え、
前記粘着材が100μm以下の厚みを有しており、かつ、前記粘着材で連接されたシート材の他面側が被研磨物を保持するための保持面を形成しているとともに、
前記シート材が前記隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であることを特徴とする保持材。
A plurality of sheet materials arranged such that cells are formed inside with the same thickness having indentation and linear ends are adjacent to each other;
A sheet-like adhesive material for adhering to the one side of the adjacent portion of the adjacent sheet material and connecting the sheet material;
With
The pressure-sensitive adhesive material has a thickness of 100 μm or less, and the other side of the sheet material connected by the pressure-sensitive adhesive material forms a holding surface for holding the object to be polished ,
The holding material, wherein the sheet material has a rectangular shape in which the length of the side intersecting the adjacent portion exceeds 1400 mm .
前記シート材は、前記隣接部分に形成される隙間が2mm以下となるように連接されたことを特徴とする請求項1に記載の保持材。   The holding material according to claim 1, wherein the sheet material is connected so that a gap formed in the adjacent portion is 2 mm or less. 前記粘着材は、隣り合う前記シート材のそれぞれに均等に位置するように貼付されたことを特徴とする請求項2に記載の保持材。   The holding material according to claim 2, wherein the adhesive material is affixed so as to be evenly positioned on each of the adjacent sheet materials. 前記粘着材は、25μm以上の厚みを有することを特徴とする請求項3に記載の保持材。   The holding material according to claim 3, wherein the adhesive material has a thickness of 25 μm or more. 前記シート材は、軟質樹脂で形成されており、前記シート材の一面側に前記軟質樹脂より硬質のシートが貼り合わされていることを特徴とする請求項1に記載の保持材。   The holding material according to claim 1, wherein the sheet material is formed of a soft resin, and a sheet harder than the soft resin is bonded to one side of the sheet material. 前記シート材は、湿式凝固法によりポリウレタン樹脂で形成されたことを特徴とする請求項5に記載の保持材。   The holding material according to claim 5, wherein the sheet material is formed of a polyurethane resin by a wet coagulation method. 前記被研磨物は、液晶ディスプレイ用ガラス基板であることを特徴とする請求項6に記載の保持材。   The holding material according to claim 6, wherein the object to be polished is a glass substrate for a liquid crystal display. 請求項1に記載の保持材の製造方法であって、
凹陥性を有する同じ厚さで内部にセルが形成された複数のシート材を直線状の端部同士が隣接するように並置する並置ステップと、
前記並置ステップで並置されたシート材の直線状の隣接部分における一面側にシート状の粘着材を貼付して隣り合うシート材を連接する連接ステップと、
を含み、
前記連接ステップで貼付する粘着材が100μm以下の厚みを有しており、かつ、前記粘着材で連接されたシート材の他面側が被研磨物を保持するための保持面を形成するとともに、前記シート材が前記隣接部分と交差する辺の長さが1400mmを超える矩形状であることを特徴とする製造方法。
It is a manufacturing method of the holding material according to claim 1,
A juxtaposition step of juxtaposing a plurality of sheet materials in which cells are formed with the same thickness having recesses so that linear ends are adjacent to each other;
A connecting step of connecting adjacent sheet materials by attaching a sheet-like adhesive material to one surface side in a linear adjacent portion of the sheet materials juxtaposed in the juxtaposition step;
Including
Wherein and adhesive material for affixing at connecting step comprises the following thickness 100 [mu] m, and, together with the other surface of the sheet material which are connected with the adhesive material to form a holding surface for holding a workpiece, the The manufacturing method characterized in that the sheet material has a rectangular shape in which the length of the side intersecting the adjacent portion exceeds 1400 mm .
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