JP5564829B2 - 半導体記憶装置及びその制御方法 - Google Patents
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Description
従来、上記の負電圧を安定化させるため、プレート電圧が所定レベルよりも浅くなることを検出する検出器、及び深くなることを検出する検出器を備えた半導体記憶装置が知られている(たとえば、特許文献1参照。)。このような半導体記憶装置では、2つの検出器を常に活性化させて、プレート電圧が所定の範囲から外れる場合に、プレート電圧を上げるか下げるかして、プレート電圧のレベルを一定の負電圧に保つようにしている。
図1は、実施の形態に係る半導体記憶装置の要部構成を示す回路図である。
半導体記憶装置100は、メモリセルアレイ1、電源供給部2、切り替えタイミング制御部3及び切り替え部4を有している。
ポンプ回路24は、発振器23の発振出力があると活性化し、その発振出力の大きさに応じて、プレート線PLに対するプレート電圧Vplを負電圧方向にポンピングする。
内部タイミング遅延回路31では、メモリセルアレイ1を活性化するメモリ活性化信号として、たとえば、ロウアドレスストローブ信号RASを生成し、レベルシフタ32を介して切り替え部4に入力している。
切り替え部4は、メモリセルアレイ1へのアクセス発生時に、プレート線PLを、電源線(接地電位Vssを有する接地線)に接続するスイッチ(図1の例ではnMOSQ7)を有している。このスイッチは、メモリセルアレイ1へのアクセス発生を、メモリ活性化信号を入力することによって検出することができる。
切り替え部4では、nMOSQ7がレベルシフタ32から出力されるメモリ活性化信号によってオンオフ制御される。モード切り替え信号MOD1,MOD2は、メモリセルアレイ1に設定される動作周波数に応じて選択される。nMOSQ5,Q6の一方のいずれかを、モード切り替え信号MOD1あるいはMOD2によってオンすることで、2つの抵抗器R1,R2のいずれかを介してnMOSQ7のドレイン電極が接地電位Vssとなるように動作する。抵抗器R1,R2のうち抵抗値が大きいものが選択されれば、そこに流れる電流は小さくなり、小さな抵抗値が選択されれば、大きな電流が流れる。したがって、メモリセルアレイ1の動作周波数に応じた大きさの電流を、メモリセルアレイ1へのアクセス発生に同期して、接地電位Vssからプレート線PLに対して流すことができる。
発振器23は、NAND回路23aと2つのインバータ23b,23cを有する。発振器23は、電圧検出回路22よりプレート電圧Vplが所定の基準電圧を超えたことを通知するアクト信号ACTが入力されると、所定の周波数の矩形波をポンプ回路24に出力する。
図3は、図1の内部タイミング遅延回路からのメモリ活性化信号とプレート電圧の関係を示すタイミング図である。
各メモリセルに蓄積されたデータ‘1’をデータ‘0’に書き換える書き込みアクセスが発生した場合、プレート電圧Vplが所定の大きさよりもマイナス側に大きくなってしまうという現象がある。その原因は、多ビット同時書き込みによってプレート電圧が過剰にポンピングされてしまうためである。
図4は、eDRAMの構成を示すブロック図である。
図1に示した構成要素については、同一符号を付している。
eDRAM60には、モード信号mode、アドレス信号Add、クロック信号CLK、チップイネーブル信号CE、ライトイネーブル信号WE、リフレッシュタイミング信号REFなどがロジック回路50から供給される。また、読み出しデータDO、書き込みデータDIがロジック回路50とeDRAM60の間でやり取りされる。
コラムセレクタ61aは、コラムアドレス信号CADを列デコーダ65から入力し、コラムアドレス信号CADに応じてメモリセルアレイ1の列を選択する。
読み出しアンプ61cは、内部タイミング遅延回路31で生成されたリードアンプ制御信号RAEに応じて、メモリセルアレイ1のデータを読み出す。
内部電源発生回路62は、モード切り替え信号MOD(図1のMOD1,MOD2)及びロウアドレスストローブ信号RASなどを入力し、プレート電圧Vplなどの複数の内部電源電圧を生成し、メモリコア61に供給する。
アドレスレジスタ64は、アドレス信号Addをロジック回路50から入力し、列デコーダ65及び行プリデコーダ66に供給する。
入力バッファ69は、ロジック回路50から入力される書き込みデータDIを蓄積し、内部タイミング遅延回路31の制御のもと、メモリコア61に供給する。
メモリセルアレイ1は、複数のワード線WL0〜WLnと複数のビット線BL0,/BL0〜BLn,/BLnとの交差位置にマトリックス状に配置された複数のメモリセルMCを有している。各メモリセルMCはDRAMセルであり、対応するビット線BL(またはビット線/BL)とプレート線PLとの間で、直列に接続されるトランスファトランジスタ及びMOS型キャパシタによって構成されている。各メモリセルMCのトランスファトランジスタのゲート電極は、対応するワード線WL0〜WLnに接続されている。
内部電源発生回路62は、基準電圧発生回路62a、プリチャージ電圧生成回路62b、プレート電圧生成回路62c、ビット線イコライズオン電圧生成回路62d及びビット線イコライズオフ電圧生成回路62eを有している。
プリチャージ電圧生成回路62bは、たとえば、電源電圧Vddの半分(=Vdd/2)の大きさのプリチャージ電圧Vprを生成し、メモリセルアレイ1に供給する。
図7は、eDRAMの動作を示すタイミング図である。
Q=CV=IT…(1)
ここで、Qは電荷量、Cは容量、Vは書き込み電圧、Iはリーク電流値、Tは動作速度である。
すなわち、このようなeDRAM60での書き込みノイズを抑制するためには、およそ0.6mAの電流値が流れるだけの抵抗値が必要である。
したがって、上述した半導体記憶装置の電源供給部2のポンプ回路24の電流供給能力が1mAであったとすると、抵抗器R1の設定抵抗値を調整して、そこに流れる電流値が0.6〜1mAの間に設定すればよい。
2 電源供給部
3 切り替えタイミング制御部
4 切り替え部
21 電流源
22 電圧検出回路
23 発振器
24 ポンプ回路
31 内部タイミング遅延回路
32 レベルシフタ
Claims (5)
- MOS型キャパシタを含むメモリセルが配列されたメモリセルアレイと、
前記MOS型キャパシタのゲート電極に接続されるプレート線にプレート電圧を供給する電源供給部と、
前記メモリセルアレイへのアクセス発生時に、前記プレート線を接地電位に維持された第1電源線に接続するスイッチと、
前記メモリセルアレイへのアクセス発生時に前記メモリセルアレイを活性化するメモリ活性化信号を生成し、前記メモリ活性化信号により前記スイッチをオン状態に制御する切り替えタイミング制御部と、
を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1電源線と前記スイッチとの間に設けられた第1抵抗素子をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記第1抵抗素子は、前記メモリセルアレイの動作周波数が大きいほど、前記第1電源線から前記プレート線に多くの電流が流れるように抵抗値が設定されることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体記憶装置。
- 前記スイッチと前記第1電源線との間に、前記第1抵抗素子と直列に設けられた第1モード選択用スイッチと、
前記スイッチと前記第1電源線との間に直列に設けられた、第2モード選択用スイッチと第2抵抗素子と、
をさらに有し、前記第1モード選択用スイッチ及び前記第2モード選択用スイッチは、モード選択信号によって制御されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体記憶装置。 - 電源供給部が、メモリセルアレイのメモリセルのMOS型キャパシタのゲート電極に接続されるプレート線にプレート電圧を供給し、
スイッチが、前記メモリセルアレイへのアクセス発生時に生成される、前記メモリセルアレイを活性化するメモリ活性化信号を受けると、前記プレート線を、接地電位に維持された第1電源線に接続することを特徴とする半導体記憶装置の制御方法。
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