JP5560716B2 - 加圧装置およびデバイスの製造方法 - Google Patents
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- 互いに重ね合された複数の半導体基板を接合すべく加圧する加圧装置であって、
前記複数の半導体基板を加圧する加圧力を発生する加圧部と、
前記加圧部の圧力分布を変更する圧力制御部と
を備え、
前記圧力制御部は、
前記加圧力を前記複数の半導体基板を載置する載置台に伝達する圧力伝達部と、
前記圧力伝達部を支持する基台部と、
前記圧力伝達部と前記基台部との間に配置され、流体が流入する流入部と
を備え、
前記圧力伝達部は、前記流入部に流入した前記流体から受ける押圧力によって変形することにより前記載置台に伝達する圧力分布を変化させ、
前記圧力伝達部の変形により前記圧力伝達部と前記基台部との間に生じる隙間から前記流入部の前記流体が漏れることを防止する漏れ防止部が設けられている加圧装置。 - 前記漏れ防止部は、前記流入部の外側で前記圧力伝達部と前記基台部との間に挟み込まれる弾性シートを有する請求項1に記載の加圧装置。
- 前記圧力伝達部および前記基台部の少なくとも一方に形成された凹部を備え、
前記弾性シートは、前記凹部を覆うように配置され、前記凹部の周囲で前記圧力伝達部と前記基台部との間に挟み込まれており、前記流入部に流入する前記流体から受ける押圧力により前記凹部内で移動し、前記圧力伝達部に接触して前記流体による加圧力を伝達する請求項2に記載の加圧装置。 - 前記凹部は、前記基台部に形成されて前記流入部の少なくとも一部を構成する請求項3に記載の加圧装置。
- 前記凹部内には、前記弾性シートの撓みを防止すべく前記弾性シートを支持する支持部が設けられている請求項4に記載の加圧装置。
- 前記流入部の外側で前記圧力伝達部および前記基台部の互いに対向する対向面の少なくとも一方に凸部が設けられており、
前記圧力伝達部と前記基台部とは、前記凸部で互いに接触しており、前記対向面の前記凸部以外の部分で前記弾性シートを挟み込む請求項2から5のいずれか1項に記載の加圧装置。 - 前記凸部の内部を貫通して前記圧力伝達部と前記基台部とを互いに締結する締結具を備える請求項6に記載の加圧装置。
- 前記弾性シートは前記凸部を貫通させる貫通孔を備える請求項6または7に記載の加圧装置。
- 前記漏れ防止部は、前記流入部を取り囲むように配置され、前記弾性シートと前記基台部との間に挟み込まれる弾性リングを有する請求項6から8のいずれか1項に記載の加圧装置。
- 前記弾性リングは、前記凸部と前記流入部との間に配置されている請求項9に記載の加圧装置。
- 前記漏れ防止部は、前記流入部を取り囲むように配置され、前記圧力伝達部と前記基台部との間に挟み込まれる弾性リングを有する請求項1から5のいずれか1項に記載の加圧装置。
- 前記弾性シートは袋部を有し、前記流入部は前記袋部であり、
前記流体が前記袋部に出入されることで、前記圧力伝達部および前記基台部に前記流体を接触させない請求項2に記載の加圧装置。 - 前記圧力伝達部と前記載置台との間に配置される複数の支柱部とを備え、
前記複数の支柱部は、前記圧力伝達部の前記弾性シートが接触する接触面から挿通される固定具により固定される請求項3から9のいずれか1項に記載の加圧装置。 - 前記固定具を覆い、前記接触面を平面に保つキャップを備える請求項13に記載の加圧装置。
- 前記複数の半導体基板を加熱する加熱部と、
前記基台部に設けられる、前記流入部を冷却する冷却部と
を備える請求項1から14のいずれか1項に記載の加圧装置。 - 複数の半導体基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の半導体基板を重ね合わせる工程は、
前記複数の半導体基板を加圧する加圧力を発生する加圧部と、前記加圧部の圧力分布を変更する圧力制御部とを備え、前記圧力制御部は、前記加圧力を前記複数の半導体基板を載置する載置台に伝達する圧力伝達部と、前記圧力伝達部を支持する基台部と、前記圧力伝達部と前記基台部との間に配置され、流体が流入する流入部とを備え、前記圧力伝達部は、前記流入部に流入した前記流体から受ける押圧力によって変形することにより前記載置台に伝達する圧力分布を変化させ、前記圧力伝達部の変形により前記圧力伝達部と前記基台部との間に生じる隙間から前記流入部の前記流体が漏れることを防止する漏れ防止部が設けられている加圧装置を用い、
前記加圧部により前記複数の半導体基板を加圧する加圧工程と、
前記流入部に前記流体を流出入して加圧分布を変化させる圧力制御工程と、
前記加圧部による前記複数の半導体基板の加圧を解除する除圧工程と
を含むデバイスの製造方法。
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JP2010000208A JP5560716B2 (ja) | 2010-01-04 | 2010-01-04 | 加圧装置およびデバイスの製造方法 |
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JP2010000208A JP5560716B2 (ja) | 2010-01-04 | 2010-01-04 | 加圧装置およびデバイスの製造方法 |
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