JP5559588B2 - Electronic component element storage package - Google Patents
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Description
本発明は、セラミック基体の上面とセラミック枠体の内周壁面で形成されるキャビティ部に、半導体素子や、圧電振動片等の電子部品素子が搭載され、蓋体が接合されて電子部品素子が気密に封止されるための電子部品素子収納用パッケージに関する。 In the present invention, an electronic component element such as a semiconductor element or a piezoelectric vibrating piece is mounted on a cavity portion formed by the upper surface of a ceramic base and the inner peripheral wall surface of the ceramic frame, and the electronic component element is joined by bonding a lid. The present invention relates to an electronic component element storage package that is hermetically sealed.
近年、半導体素子や、圧電振動片等の電子部品素子を収納させるための電子部品素子収納用パッケージは、電子部品素子を搭載させた装置、例えば、携帯電話や、パソコン等の小型化、高信頼性化等の要求に伴い、ますます軽薄短小化、高信頼性化等への対応が求められている。これに対応するために、電子部品素子収納用パッケージには、気密信頼性の高いアルミナ(Al2O3)や、窒化アルミニウム(AlN)等のセラミック製からなるセラミック基体と、セラミック枠体の接合体で構成されるパッケージが用いられている。 In recent years, electronic component element storage packages for storing electronic component elements such as semiconductor elements and piezoelectric vibrating reeds are downsized and highly reliable for devices on which electronic component elements are mounted, such as mobile phones and personal computers. In response to the demands for the improvement of the characteristics, there is a demand for more and more light and thin and high reliability. In order to cope with this, in the electronic component element storage package, a ceramic base made of ceramic such as alumina (Al 2 O 3 ) or aluminum nitride (AlN) with high hermetic reliability, and a ceramic frame are bonded. A package consisting of a body is used.
この電子部品素子収納用パッケージには、通常、平板状のセラミック基体の下面に、タングステン(W)や、モリブデン(Mo)等の高融点金属からなるメタライズ膜と、その上面にNi及びAuめっきからなるめっき被膜が形成された外部接続端子パッドが設けられている。また、電子部品素子収納用パッケージには、セラミック基体の上面に、上記と同様の高融点金属からなるメタライズ膜と、その上面に上記と同様のめっき被膜が形成された電子部品素子接続用パッドが設けられている。更に、電子部品素子収納用パッケージには、額縁状のセラミック枠の上面に上記と同様のメタライズ膜とその上面に上記と同様のめっき被膜が形成された蓋体接合用パッドが設けられている。そして、この蓋体接合用パッドには、セラミック基体の上面と、セラミック枠体の内周壁面で形成されるキャビティ部の電子部品素子接続用パッドに、電子部品素子が搭載された後、セラミックと熱膨張係数が近似するKV(Fe−Ni−Co系合金、商品名「Kover(コバール)」)や、42アロイ(Fe−Ni系合金)等からなる金属製の蓋体が直接AuSn等のロー材でロー付け接合されるようになっている。あるいは、蓋体接合用パッドには、先に、KVや、42アロイ等からなる金属リングがAgロー材等でロー付け接合されて、キャビティ部に電子部品素子が搭載された後、金属リングに金属製の蓋体がシーム溶接されるようになっている。そして、蓋体が接合された電子部品素子収納用パッケージは、外部接続端子パッドでボード基板等に半田付け接合させるようになっている。 In this electronic component element storage package, a metallized film made of a refractory metal such as tungsten (W) or molybdenum (Mo) is usually formed on the lower surface of a flat ceramic substrate, and Ni and Au are plated on the upper surface. An external connection terminal pad on which a plating film is formed is provided. In addition, the electronic component element storage package has a metallized film made of a refractory metal similar to the above on the upper surface of the ceramic substrate, and an electronic component element connection pad formed with a plating film similar to the above on the upper surface. Is provided. Further, the electronic component element storage package is provided with a lid bonding pad having a metallized film similar to the above on the upper surface of the frame-shaped ceramic frame and a plating film similar to the above formed on the upper surface thereof. The lid bonding pad has an electronic component element mounted on the electronic component element connection pad of the cavity formed by the upper surface of the ceramic base and the inner peripheral wall surface of the ceramic frame, and then the ceramic and A metal lid made of KV (Fe—Ni—Co based alloy, trade name “Kover”) or 42 alloy (Fe—Ni based alloy) having a similar thermal expansion coefficient is directly made of AuSn or the like. It is designed to be brazed with a material. Alternatively, a metal ring made of KV, 42 alloy or the like is first brazed and bonded to the lid bonding pad with an Ag brazing material or the like, and an electronic component element is mounted on the cavity, and then the metal ring is attached to the lid. A metal lid is seam welded. The electronic component element storage package to which the lid is bonded is soldered and bonded to a board substrate or the like with external connection terminal pads.
図3(A)〜(C)に示すように、上記の従来の電子部品素子収納用パッケージ50は、セラミック基体51とセラミック枠体52の接合体の角部の切り欠き部53のセラミック基体51の壁面にメタライズ膜として設けるキャスタレーション導体54や、セラミック枠体52を貫通させて設ける貫通孔にメタライズを充填させたビア導体55を有している。このキャスタレーション導体54や、ビア導体55によって、電子部品素子収納用パッケージ50は、外部接続端子パッド56と電子部品素子接続用パッド57、あるいは、外部接続端子パッド56と蓋体接合用パッド58を電気的に接続状態としている。
As shown in FIGS. 3A to 3C, the above-described conventional electronic component
そして、図4(A)、(B)に示すように、この電子部品素子収納用パッケージ50には、電子部品素子59を電子部品素子接続用パッド57に接合して搭載させ、金属製の蓋体60でキャビティ部61を気密に封止した後、ボード基板62等に、外部接続端子パッド56を半田付け接合させると共に、キャスタレーション導体54部で半田メニスカス63を形成させている。
Then, as shown in FIGS. 4A and 4B, the
しかしながら、上記の従来の電子部品素子収納用パッケージ50は、パッケージの小型化に伴い、セラミック枠体52の枠幅が小さくなり、そこにビア導体55を形成するための貫通孔を設けることが難しくなってきている。
However, in the above-described conventional electronic component
そこで、従来の電子部品素子収納用パッケージには、セラミック枠体に切り欠き部の壁面にもメタライズ膜を設け、外部接続端子パッドと蓋体接合用パッドを電気的に接続状態とすると共に、セラミック枠体側のメタライズ膜上にセラミック絶縁膜を設けてセラミック基体側のみをキャスタレーション導体とすることで、蓋体接合用パッドへの半田の這い上がりを防止して半田メニスカスを形成するものが開示されている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, in the conventional electronic component element storage package, the ceramic frame body is also provided with a metallized film on the wall surface of the notch, and the external connection terminal pad and the lid bonding pad are electrically connected, and the ceramic Disclosed is a method in which a ceramic insulating film is provided on a metallized film on the frame body side, and only the ceramic base side is used as a castellation conductor to prevent solder from creeping up to the lid bonding pad to form a solder meniscus. (For example, refer to Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1で開示されるような上記の従来の電子部品素子収納用パッケージは、キャスタレーション導体部での半田メニスカスがセラミック基体の外周から飛び出すようにボード基板等に形成されるので、この半田メニスカスの飛び出しによって実装密度を低下させることとなり、このパッケージを搭載させた装置、例えば、携帯電話や、パソコン等の小型化に支障がでている。
However, the above-described conventional electronic component element storage package as disclosed in
そこで、図5(A)〜(C)に示すように、従来の電子部品素子収納用パッケージ50aには、セラミック基体51とセラミック枠体52の接合体の角部の切り欠き部53のセラミック基体51の壁面に前記の電子部品素子収納用パッケージ50のようなキャスタレーション導体54を設けないようにしたものがある。また、従来の電子部品素子収納用パッケージ50aには、セラミック枠体52を貫通させて形成する前記の電子部品素子収納用パッケージ50のようなビア導体55を設けないようにしたものがある。そして、この電子部品素子収納用パッケージ50aは、半田メニスカス63の形成をなくし、実装密度を向上できるようにして、パッケージを搭載させた装置、例えば、携帯電話や、パソコン等の小型化に対応できるようにしている。この電子部品素子収納用パッケージ50aは、セラミック基体51に設ける貫通孔にビア導体64を形成し、このビア導体64を介して外部接続端子パッド56と電子部品素子接続用パッド57を電気的に接続状態としている。また、この電子部品素子収納用パッケージ50aは、セラミック枠体52の内周側壁面に設ける切り欠き部65の壁面に導体膜66を形成し、この導体膜66等を介して電子部品素子接続用パッド57と蓋体接合用パッド58を電気的に接続状態とすると共に、外部接続端子パッド56と蓋体接合用パッド58を電気的に接続状態としている。
Therefore, as shown in FIGS. 5A to 5C, a conventional electronic component element housing package 50a includes a ceramic base body having a cutout portion 53 at a corner of a joined body of a ceramic base body 51 and a ceramic frame body 52. In some cases, the
そして、図6(A)、(B)に示すように、この電子部品素子収納用パッケージ50aには、電子部品素子59を搭載させ、金属製の蓋体60でキャビティ部61を気密に封止した後、ボード基板62等に、外部接続端子パッド56を半田付け接合させている。
6A and 6B, an
しかしながら、前述したような従来の電子部品素子収納用パッケージは、次のような問題がある。
従来のセラミック基体に設ける貫通孔にビア導体を形成する電子部品素子収納用パッケージは、微小な貫通孔への導体ペーストの充填が難しく、ビア導体部の気密信頼性が低下する場合がある。また、従来のセラミック枠体の内周側壁面に設ける切り欠き部の壁面に導体膜を形成する電子部品素子収納用パッケージは、形成が容易でない上に、複雑で長い作業工程が必要となるので、パッケージのコストアップとなっている。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、装置への実装密度を向上でき、気密信頼性の高い、安価な電子部品素子収納用パッケージを提供することを目的とする。
However, the conventional electronic component element storage package as described above has the following problems.
In a package for housing an electronic component element in which a via conductor is formed in a through hole provided in a conventional ceramic base, it is difficult to fill a minute through hole with a conductive paste, and the hermetic reliability of the via conductor portion may be lowered. In addition, an electronic component element housing package that forms a conductor film on the wall surface of a notch provided on the inner peripheral side wall surface of a conventional ceramic frame is not easy to form and requires a complicated and long work process. The package cost has been increased.
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an inexpensive electronic component element storage package that can improve the mounting density of the device, has high hermetic reliability, and is highly reliable.
前記目的に沿う本発明に係る電子部品素子収納用パッケージは、下面に第1のメタライズ膜、上面に第2のメタライズ膜を設ける四角形平板状のセラミック基体の上面外周部に、上面に第3のメタライズ膜を設ける四角形額縁状のセラミック枠体を積層してなる接合体の角部に切り欠き部と、切り欠き部の壁面に、第1のメタライズ膜と第2のメタライズ膜、又は第1のメタライズ膜と第3のメタライズ膜を電気的に導通状態とするための第4のメタライズ膜と、第4のメタライズ膜の上面に、第1のメタライズ膜との接続部位から上方に延設して第4のメタライズ膜を横断するように被覆されるセラミック基体及びセラミック枠体に用いられているセラミック基材と同一のセラミック基材からなるセラミック絶縁膜を有する。
The electronic component element storage package according to the present invention that meets the above-described object is provided with a third metal plate on the upper surface of a rectangular flat plate-shaped ceramic substrate having a first metallized film on the lower surface and a second metallized film on the upper surface. A cutout portion is formed at a corner portion of a joined body formed by stacking a rectangular frame-shaped ceramic frame body provided with a metallized film, and a first metallized film and a second metallized film, A fourth metallized film for electrically connecting the metallized film and the third metallized film, and an upper surface of the fourth metallized film, extending upward from a connection portion with the first metallized film. having a ceramic insulating layer comprising a fourth same ceramic substrate and the ceramic substrate used in the ceramic substrate and the insulating wall is coated so as to cross the metallized film.
上記の電子部品素子収納用パッケージは、下面に第1のメタライズ膜、上面に第2のメタライズ膜を設ける四角形平板状のセラミック基体の上面外周部に、上面に第3のメタライズ膜を設ける四角形額縁状のセラミック枠体を積層してなる接合体の角部に切り欠き部と、切り欠き部の壁面に、第1のメタライズ膜と第2のメタライズ膜、又は第1のメタライズ膜と第3のメタライズ膜を電気的に導通状態とするための第4のメタライズ膜と、第4のメタライズ膜の上面に、第1のメタライズ膜との接続部位から上方に延設して第4のメタライズ膜を横断するように被覆されるセラミック基体及びセラミック枠体に用いられているセラミック基材と同一のセラミック基材からなるセラミック絶縁膜を有するので、外部接続端子パッドであるセラミック基体下面の第1のメタライズ膜と、蓋体接合用パッドであるセラミック枠体上面の第3のメタライズ膜間や、第1のメタライズ膜と、電子部品素子接続用パッドを含む導体配線パターンであるセラミック基体上面の第2のメタライズ膜間が切り欠き部の壁面に設ける上面にセラミック絶縁膜を設けた第4のメタライズ膜を介して電気的に導通状態にできると共に、セラミック基体及びセラミック枠体に用いられているセラミック基材と同一のセラミック基材からなるセラミック絶縁膜によって覆われたメタライズ膜上にめっき被膜の形成ができなく外部接続端子パッドの半田接合時の半田メニスカスの形成を防止でき、装置への実装密度を向上できるパッケージを提供することができる。また、この電子部品素子収納用パッケージは、セラミック基体にビア導体を設けていないので、気密信頼性を高くすることができる。更に、この電子部品素子収納用パッケージは、ビア導体を形成するというようなことがなく、工程が少なく簡単に作製することができるので、安価にすることができる。
The above-mentioned electronic component element storage package has a rectangular picture frame in which a third metallized film is provided on the upper surface of a rectangular plate-shaped ceramic substrate having a first metallized film on the lower surface and a second metallized film on the upper surface. Cut out at the corners of the joined body formed by laminating the ceramic frame, and the first metallized film and the second metallized film, or the first metallized film and the third on the wall surface of the notched part. A fourth metallized film for electrically connecting the metallized film; and a fourth metallized film formed on the upper surface of the fourth metallized film and extending upward from a connection portion with the first metallized film. since having a ceramic insulating layer consisting of a ceramic substrate and the same ceramic substrate used in the ceramic substrate and the insulating wall is coated so as to traverse an external connection terminal pads sera Conductor wiring pattern including a first metallized film on the lower surface of the base substrate and a third metallized film on the upper surface of the ceramic frame that is a lid bonding pad, a first metallized film, and an electronic component element connection pad The second metallized film on the upper surface of the ceramic substrate is electrically conductive via a fourth metallized film having a ceramic insulating film on the upper surface provided on the wall surface of the notch, and the ceramic substrate and the ceramic frame The plating film cannot be formed on the metallized film covered with the ceramic insulating film made of the same ceramic base material used for the body, preventing the formation of the solder meniscus when soldering the external connection terminal pads It is possible to provide a package that can improve the mounting density of the device. In addition, since this electronic component element storage package is not provided with a via conductor in the ceramic substrate, the hermetic reliability can be increased. Furthermore, this electronic component element storage package does not require the formation of via conductors, and can be manufactured easily with fewer steps.
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施するための形態について説明し、本発明の理解に供する。
図1(A)〜(C)に示すように、本発明の一実施の形態に係る電子部品素子収納用パッケージ10は、1又は複数層からなる四角形平板状のセラミック基体11の上面外周部に、1又は複数層からなる四角形額縁状のセラミック枠体12を積層してなる接合体からなっている。この電子部品素子収納用パッケージ10のセラミック基体11には、下面に外部接続端子パッド13等からなる第1のメタライズ膜14と、上面に電子部品素子接続用パッド15を含む導体配線パターン等からなる第2のメタライズ膜16が設けられている。また、電子部品素子収納用パッケージ10のセラミック枠体12には、上面に蓋体接合用パッド17である第3のメタライズ膜18が設けられている。この電子部品素子収納用パッケージ10には、接合体の角部に切り欠き部19を有している。また、電子部品素子収納用パッケージ10には、接合体のセラミック基体11の上面と、セラミック枠体12の内周壁面で形成されるキャビティ部20を有し、その底面に、導体配線パターンを介して配設された電子部品素子接続用パッド15が設けられている。そして、このキャビティ部20の電子部品素子接続用パッド15には、電子部品素子23(図2(A)、(B)参照)、例えば、圧電振動片がセラミック枠体12の内周壁面で囲繞されるようにして導電性樹脂等で接合されるようになっている。
Next, with reference to the accompanying drawings, embodiments for embodying the present invention will be described for understanding of the present invention.
As shown in FIGS. 1A to 1C, an electronic component element storage package 10 according to an embodiment of the present invention is formed on the outer peripheral portion of the upper surface of a rectangular flat plate-shaped ceramic substrate 11 composed of one or a plurality of layers. It consists of a joined body formed by laminating a rectangular frame-shaped ceramic frame 12 composed of one or a plurality of layers. The ceramic base 11 of the electronic component element storage package 10 includes a
上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、接合体角部の切り欠き部19の少なくとも1つの壁面に、セラミック基体11の下面に設ける第1のメタライズ膜14と、セラミック基体11の上面に設ける第2のメタライズ膜16を電気的に導通状態とするためのセラミック基体11の切り欠き部19の壁面のみに設けられる第4のメタライズ膜21を有している。また、上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、接合体角部の切り欠き部19の少なくとも1つの壁面に、第1のメタライズ膜14と、セラミック枠体12の上面に設ける第3のメタライズ膜18を電気的に導通状態とするためのセラミック基体11及びセラミック枠体12の両方の切り欠き部19の壁面に設けられる第4のメタライズ膜21aを有している。なお、図示しないが、上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、接合体角部の切り欠き部19の壁面に、セラミック基体11の切り欠き部19の壁面のみに設けられる第4のメタライズ膜21と、この第4のメタライズ膜21と接続させてセラミック基体11とセラミック枠体12の接合部間に導体配線パターンを延設させると共に、セラミック枠体12の内周壁面に設ける切り欠き部の壁面に設ける導体配線パターンを介して第1のメタライズ膜14と、第3のメタライズ膜18を電気的に導通状態とすることもできる。
The electronic component element storage package 10 includes a
上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、第4のメタライズ膜21、21aの上面に、第1のメタライズ膜14との接続部位から上方に延設して第4のメタライズ膜21、21aを横断するように被覆されるセラミック絶縁膜22を有している。このセラミック絶縁膜22は、上記のセラミック基体11や、セラミック枠体12に用いられているセラミックと同様なセラミックが第4のメタライズ膜21、21aの上面を覆うことで設けられている。そして、電子部品素子収納用パッケージ10には、外部に露出するメタライズ膜等の金属部分にめっき被膜が形成されることで電子部品素子23を収納するためのパッケージとしている。
The electronic component element storage package 10 extends upward from the connection portion with the
図2(A)、(B)に示すように、この電子部品素子収納用パッケージ10には、半導体素子や、圧電振動片等の電子部品素子23の、例えば、圧電振動片をキャビティ部20内の電子部品素子接続用パッド15に導電性樹脂等で接合し、電気的に導通状態に接続させて搭載している。そして、電子部品素子収納用パッケージ10には、KVや、42アロイ等からなる金属製の蓋体24を直接AuSn等のロー材でロー付け接合して、キャビティ部20内に電子部品素子23を気密に封止している。なお、電子部品素子収納用パッケージ10には、図示しないが、先に、蓋体接合用パッド17にKVや、42アロイ等からなる金属リングがAgロー材等でロー付け接合されて、キャビティ部20に電子部品素子23が搭載された後、金属リングに金属製の蓋体24をシーム溶接で接合して、キャビティ部20内に電子部品素子23を気密に封止することもできる。電子部品素子23が実装された電子部品素子収納用パッケージ10は、ボード基板25等に設けられた接合用パッド26に、外部接続端子パッド13を半田27を介して接合させている。上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、セラミック基体11や、セラミック枠体12の側面にキャスタレーション導体を設けないで、セラミック基体11の底面の外部接続端子パッド13でボード基板25等に接合させているので、側面での半田メニスカスの存在がなく、装置への実装密度を向上できて、装置の小型化に対応することができる。また、上記の電子部品素子収納用パッケージ10は、セラミック基体11に設ける貫通孔に導体ペーストを充填して形成するようなビア導体を設けないので、キャビティ部20内の気密信頼性を高くすることができる。
As shown in FIGS. 2A and 2B, in the electronic component element storage package 10, for example, a piezoelectric vibrating piece of the
次いで、上記の電子部品素子収納用パッケージ10の製造方法を説明する。電子部品素子収納用パッケージ10には、セラミック基体11や、セラミック枠体12のセラミック基材に、アルミナや、窒化アルミニウムや、低温焼成セラミック等があり、特に材料が限定されるものではない。例えば、セラミック基材にアルミナを用いる場合には、先ず、酸化アルミニウム粉末にマグネシア、シリカ、カルシア等の焼結助剤を適当量加えた粉末に、ジオクチフタレート等の可塑剤と、アクリル樹脂等のバインダー、及びトルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤を加え、十分に混練して脱泡し、粘度2000〜40000cpsのスラリーを作製し、ドクターブレード法等によって所望の厚み、例えば、0.12mmのシート状にした後乾燥させ、所望の大きさの矩形状に切断してセラミックグリーンシートを形成している。なお、このセラミックグリーンシートには、多数個の電子部品素子収納用パッケージ10が配列されて形成され、予め形成される個片体に分割するための分割用溝に沿って最後に個片体に分割することで個々のパッケージが作製される。 Next, a method for manufacturing the electronic component element storage package 10 will be described. The electronic component element storage package 10 includes alumina, aluminum nitride, low-temperature fired ceramic, and the like as the ceramic base 11 and the ceramic base of the ceramic frame 12, and the material is not particularly limited. For example, when using alumina as the ceramic substrate, first, a powder obtained by adding an appropriate amount of a sintering aid such as magnesia, silica, calcia to aluminum oxide powder, a plasticizer such as dioctiphthalate, an acrylic resin, etc. A binder, and a solvent such as toluene, xylene, alcohols, etc., kneaded thoroughly and defoamed to prepare a slurry having a viscosity of 2000 to 40000 cps, and a desired thickness, for example, 0.12 mm by a doctor blade method or the like. After making into a sheet shape, it is dried and cut into a rectangular shape of a desired size to form a ceramic green sheet. The ceramic green sheet is formed by arranging a large number of electronic component element storage packages 10, and finally is separated into individual pieces along a dividing groove for dividing into individual pieces. Individual packages are produced by dividing.
セラミック基体11となる上記のセラミックグリーンシートには、切り欠き部19等を形成するための貫通孔を打ち抜きプレスや、パンチングマシーン等を用いて形成している。次いで、このセラミックグリーンシートが、例えば、アルミナや、窒化アルミニウムのような高温で焼成するものが用いられる時には、導体ペーストとしてWや、Mo等の高融点金属からなる導体ペーストが用いられ、この導体ペーストを用いて、導体配線印刷パターンが形成されるようになっている。切り欠き部19等を形成するための貫通孔の壁面には、第4のメタライズ膜21、21a用のスルーホール導体印刷パターンをスクリーン印刷で形成している。また、セラミック基体11用のセラミックグリーンシートには、上面となる部分に電子部品素子接続用パッド15を含む第2メタライズ膜16用の導体配線印刷パターンを、下面となる部分に外部接続端子パッド13である第1のメタライズ膜14用の導体配線印刷パターンを上記と同様の導体ペーストを用いてスクリーン印刷で形成している。次いで、第4のメタライズ膜21、21a用のスルーホール導体印刷パターンの上面には、セラミック基体11や、セラミック枠体12のセラミック基材と同様のセラミック基材を用いたセラミック絶縁ペーストを用いて、セラミック基体11用のセラミックグリーンシートの下面となる側からスクリーン印刷でスルーホール絶縁印刷パターンを形成している。なお、セラミック絶縁膜22をセラミック基体11用のセラミックグリーンシートの途中まで形成する場合には、用いるセラミック絶縁ペーストの粘度を調整して第4のメタライズ膜21、21aの表面の全てを覆わないようにして形成することもできる。
The ceramic green sheet to be the ceramic base 11 is formed with a through hole for forming the
一方、セラミック枠体12となる上記のセラミックグリーンシートには、切り欠き部19等を形成するための貫通孔や、キャビティ部20の内周側壁面となる部分を打ち抜きプレスや、パンチングマシーン等を用いて形成している。次いで、このセラミックグリーンシートには、少なくとも1つの貫通孔の壁面に第4のメタライズ膜21a用のスルーホール導体印刷パターンをスクリーン印刷で形成している。また、このセラミックグリーンシートには、上面に蓋体接合用パッド17である第3メタライズ膜17用の導体配線印刷パターンをスクリーン印刷で形成している。なお、上記のセラミックグリーンシートには、キャビティ部20の内周側壁面となる部分を打ち抜きプレスや、パンチングマシーン等を用いて形成する前に、第4のメタライズ膜21a用のスルーホール導体印刷パターンをスクリーン印刷で形成しすると共に、第3メタライズ膜17用の導体配線印刷パターンをスクリーン印刷で形成した後に、キャビティ部20の内周側壁面となる部分を打ち抜きプレスや、パンチングマシーン等を用いて形成することもできる。
On the other hand, in the ceramic green sheet to be the ceramic frame 12, a through-hole for forming the
次いで、それぞれのセラミックグリーンシートは、重ね合わされ、温度をかけながら加圧して積層体を形成している。この積層体には、多数個のパッケージが集合体として形成されているので、個片からなるパッケージを形成するために、4角に設ける切り欠き部19等を形成するための貫通孔の中心を横断するようにして分割するための分割用溝を形成している。次いで、積層体は、セラミックグリーンシートと、乾燥後の導体ペースト及び絶縁ペーストを還元雰囲気中の焼成炉で同時焼成して焼成体に形成している。次いで、この焼成体には、外表面に露出する全ての導体パターン等の金属部分の表面にNiめっき被膜、更にNiめっき被膜の上面にAuめっき被膜を施して、多数個の集合体からなる電子部品素子収納用パッケージ10を形成している。更に、多数個の集合体からなる電子部品素子収納用パッケージ10は、分割用溝で分割することで個片からなる電子部品素子収納用パッケージ10を形成している。
Next, each ceramic green sheet is overlaid and pressed while applying temperature to form a laminate. In this laminated body, a large number of packages are formed as an aggregate. Therefore, in order to form a package consisting of individual pieces, the center of the through hole for forming
本発明の電子部品素子収納用パッケージは、半導体素子や、圧電振動片等の電子部品素子を実装させて、小型で、高信頼性が要求される、例えば、携帯電話や、ノートブック型のパソコン等の電子装置に組み込まれて用いることができる。 The electronic component element storage package of the present invention is mounted with an electronic component element such as a semiconductor element or a piezoelectric vibrating piece, and is small and requires high reliability. For example, a mobile phone or a notebook type personal computer. It can be used by being incorporated in an electronic device such as.
10:電子部品用パッケージ、11:セラミック基体、12:セラミック枠体、13:外部接続端子パッド、14:第1のメタライズ膜、15:電子部品接続用パッド、16、:第2のメタライズ膜、17:蓋体接合用パッド、18:第3のメタライズ膜、19:切り欠き部、20:キャビティ部、21、21a:第4のメタライズ膜、22:セラミック絶縁膜、23:電子部品素子、24:蓋体、25:ボード基板、26:接合用パッド、27:半田 10: Electronic component package, 11: Ceramic substrate, 12: Ceramic frame, 13: External connection terminal pad, 14: First metallized film, 15: Electronic component connection pad, 16, Second metallized film, 17: Lid bonding pad, 18: third metallized film, 19: notch, 20: cavity, 21, 21a: fourth metallized film, 22: ceramic insulating film, 23: electronic component element, 24 : Cover body, 25: board substrate, 26: bonding pad, 27: solder
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