JP5557228B2 - 検査分析装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1に係る検査分析装置の構成について、図1を参照して説明する。図1は、本実施の形態に係る検査分析装置100の構成を示す図である。図1に示すように、検査分析装置10は、分析部11、記憶部12、分類部13、異物検査除去装置20を備えている。異物検査除去装置20は、ステージ21、検出部22、異物捕獲部23、可動機構24を有する。
また、複数の異物を除去する際、異物を捕獲した後、棒25aを軸方向に回転させ、さらに異物を捕獲することができる。これにより、1つの捕獲治具により複数の異物を捕獲することができ、作業効率を向上させることができる。また、異物を捕獲する際、粘着部25bが異物に接触した際に、棒25aを0〜10度の範囲で軸方向に回転させてもよい。これにより、確実に異物を捕獲することが可能である。
分析する装置である。
本発明の実施の形態2に係る検査分析装置について、図3を参照して説明する。図3は、本実施の形態に係る検査分析装置10'の構成を示す図である。本実施の形態において、実施の形態1と異なる点は、表示異常特定部14を設けた点である。図3において、図1と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
本発明の他の態様に係る検査分析装置は、上記の検査分析装置において、前記分析部は、ラマン散乱分光法により前記異物の同定を行うことを特徴とするものである。
本発明の他の態様に係る検査分析装置は、上記の検査分析装置において、前記分析部は、捕獲した異物のデオキシリボ核酸の塩基配列を計測することを特徴とするものである。
11 分析部
12 記憶部
13 分類部
14 表示異常特定部
20 異物検査除去装置
21 ステージ
22 検出部
23 異物捕獲部
24 可動機構
24a 上部可動部
24b 側部可動部
25 捕獲治具
25a 棒
25b 粘着部
Claims (9)
- 基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、
前記基板上の異物に光を照明して検出する検出部と、
前記基板上に検出された異物のアドレスと撮像データを記録する記録部と、
前記撮像データに基づいて、異物をその形状により分類・整理する分類部と、
前記基板上に付着した前記異物を捕獲除去する捕獲部と、
前記捕獲部により捕獲された異物の組成と構造を同定する分析部と、
を備え、
前記分類部は、異物の形状により、当該異物が除去すべき対象であるか否かを判断し、
前記捕獲部は、前記分類部が除去対象と判断した異物を捕獲除去する、
検査分析装置。 - 基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、
前記基板上の異物に光を照明して検出する検出部と、
前記基板上に検出された異物のアドレスと撮像データを記録する記録部と、
前記撮像データに基づいて、異物をその形状により分類・整理する分類部と、
前記基板上に付着した前記異物を捕獲除去する捕獲部と、
前記捕獲部により捕獲された異物の組成と構造を同定する分析部と、
を備え、
前記捕獲部は、棒の先端に高分子材料を設置した捕獲治具を含む、
検査分析装置。 - 前記分類部は、異物の形状により、当該異物が除去すべき対象であるか否かを判断し、
前記捕獲部は、前記分類部が除去対象と判断した異物を捕獲除去する、
請求項2に記載の検査分析装置。 - 前記基板は表示デバイス構成基板であり、前記基板を貼り合わせることにより表示デバイスが製造され、
前記表示デバイスを電気的に駆動して、表示異常を検出し、当該表示異常のアドレスを特定する表示異常検出部と、
前記表示異常と前記異物のアドレスを比較する比較部と、
をさらに備える、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査分析装置。 - 前記照明する光の波長は400nm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査分析装置。
- 基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、
前記基板上の異物に光を照明して検出する検出部と、
前記基板上に検出された異物のアドレスと撮像データを記録する記録部と、
前記撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部と、
前記基板上に付着した前記異物を捕獲除去する捕獲部と、
前記捕獲部により捕獲された異物の組成と構造を同定する分析部と、を備え、
前記捕獲部は、棒の先端に高分子材料を設置した捕獲治具を含む、
検査分析装置。 - 前記分類部は、異物の形態により、当該異物が除去すべき対象であるか否かを判断し、
前記捕獲部は、前記分類部が除去対象と判断した異物を捕獲除去する、
請求項6に記載の検査分析装置。 - 前記基板は表示デバイス構成基板であり、前記基板を貼り合わせることにより表示デバイスが製造され、
前記表示デバイスを電気的に駆動して、表示異常を検出し、当該表示異常のアドレスを特定する表示異常検出部と、
前記表示異常と前記異物のアドレスを比較する比較部と、
をさらに備える、
請求項6又は7に記載の検査分析装置。 - 前記照明する光の波長は400nm以下であることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の検査分析装置。
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JP2009074421A JP5557228B2 (ja) | 2009-03-25 | 2009-03-25 | 検査分析装置 |
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