JP5551457B2 - 接着シート用支持媒体および支持フレーム - Google Patents
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Description
さらに、接着シート用支持媒体の接着面から被貼付面までの距離と等しい深さの段部をフレーム本体に形成し、この段部に接着シート用支持媒体を取り付ければ、フレーム本体と接着シート用支持媒体の被貼付面とを面一(フラット)に構成することができる。従って、フレーム本体の厚みを従来のフレームと同じ厚みに設定しておけば、従来から使用されていた装置等の機構を変更することなく、本発明の支持フレームを従来と同様の支持フレームとして取り扱うことができ、汎用性が向上する。さらに、支持フレームの表面がフラットになって接着シート用支持媒体が出っ張らないことから、被着体と支持フレームとを一体化した状態で搬送したり反転させたりする際の取り扱いが容易になるとともに、ダイシング工程やピックアップ工程等において接着シートの側から支持フレームおよび被着体を支持する際に、接着シート用支持媒体が邪魔にならないようにでき、製造効率をさらに向上させることができる。
本実施形態の支持フレーム1は、マウント用シート等の接着シートSを介して被着体としてのウェハWと一体化されることで当該ウェハWを支持するリングフレームであって、図3に一部を示すシート貼付装置M1等によって、接着シートSがウェハWの裏面WBに貼付されるようになっている。支持フレーム1は、ウェハWの外周を囲んで配置可能なフレーム本体2と、このフレーム本体2に取り付けられて接着シートSが貼付される接着シート用支持媒体としてのリング部材3とを備えて構成されている。
先ず、支持フレーム1におけるリング部材3の被貼付面32に接着シートSを貼付しておくとともに、図3(A)に示すように、表面WAに保護シートHSが貼付されたウェハWを保護シートHSの側からシート貼付装置M1のテーブルT1に載置しておく。そして、開口21でウェハWを囲むようにしてフレーム本体2の裏面27側から支持フレーム1をテーブルT1の所定位置に載置し、図示しないテーブルT1の吸着手段によってウェハWおよび支持フレーム1を吸着保持する。次に、シート貼付装置M1の弾性変形可能な押圧ローラRで接着シートSを下方に押し下げ、この接着シートSをウェハWの裏面WBに押圧して貼付する。このとき、下方に押し下げられた接着シートSの張力によって被貼付面32が内方に引っ張られることで、リング部材3が弾性変形し、接着シートSの張力を吸収するようになっている。この際、接着シートSからの張力に対するリング部材3の弾性変形量が接着シートSの伸び変形量よりも大きくなるように設定されていることで、接着シートSの径方向の伸びが抑制され、接着シートSの残留応力を低減してウェハWを支持フレーム1に支持させることができるようになっている。
すなわち、シート貼付装置M1で接着シートSをウェハWの裏面WBに貼付する際に、リング部材3が弾性変形して接着シートSの張力を吸収することで、接着シートSの残留応力が低減でき、ダイシング工程でウェハWを切断した際のチップCの移動を最小限に抑えることができる。従って、個片化したチップCをピックアップする場合において、各チップCの位置ずれに伴うピックアップ不良を防止して製造効率を向上させることができる。
2 フレーム本体
3 リング部材(接着シート用支持媒体)
3B 接着剤層
23 段部
31 接着面
32 被貼付面
S 接着シート
W ウェハ(被着体)
Claims (3)
- 接着シートを介して被着体を支持するフレーム本体と当該接着シートとの間に介挿される接着シート用支持媒体であって、
前記フレーム本体に接着により取り付けられる接着面と、
前記接着面に背向して設けられて前記接着シートが貼付される被貼付面とを備え、
前記接着面が接着により前記フレーム本体に取り付けられるとともに、前記被貼付面に前記接着シートが貼付されたときに、当該接着シートからの張力によって弾性変形可能に構成され、前記接着シートからの張力に対する弾性変形量が当該接着シートの伸び変形量よりも大きくなるように設定されていることを特徴とする接着シート用支持媒体。 - 接着シートを介して被着体を支持するフレーム本体と、
前記フレーム本体と前記接着シートとの間に介挿される接着シート用支持媒体とを備えた支持フレームであって、
前記接着シート用支持媒体は、前記フレーム本体に接着により取り付けられる接着面と、前記接着面に背向して設けられて前記接着シートが貼付される被貼付面とを有し、前記接着面が接着により前記フレーム本体に取り付けられるとともに、前記被貼付面に前記接着シートが貼付されたときに、当該接着シートからの張力によって弾性変形可能に構成され、前記接着シートからの張力に対する弾性変形量が当該接着シートの伸び変形量よりも大きくなるように設定されていることを特徴とする支持フレーム。 - 前記フレーム本体は、前記接着シート用支持媒体の接着面から被貼付面までの距離と等しい深さの段部を有し、この段部に前記接着シート用支持媒体が取り付けられていることを特徴とする請求項2に記載の支持フレーム。
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