JP5543909B2 - シリカガラスルツボ - Google Patents
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Description
以上の範囲であり、結晶化促進成分としてアルミニウム、またはアルカリ土類金属を50〜500ppm含有し、結晶化促進層の厚さが1mm以上である石英ガラスルツボ、という技術が開示されている。
外径φ556mm、内径φ536mm、肉厚10mmである、単結晶シリコン引上げ用シリカガラスルツボを、以下の内容で作製する。
実施例1に対して、中間層を形成せず、内層と外層のみでシリカガラスルツボを作製する。ここで、中間層の相当する箇所は、外層の材料で構成する。これを比較例1とする。
実施例1のシリカガラスルツボに対して、表1に示す内容で、内層2、中間層3の各条件を変更し、それ以外は、実施例1の製造条件、評価方法に準じた。なお、評価の指標については、次のように定めた。金属元素濃度は、1ppm未満を○、1ppm以上を×とした。単結晶化率は、90%以上を○、80%以上90%未満を△として、いずれも合格と判定した。そして、総合判定は、いずれかの評価項目に×があれば総合も×、いずれかの評価項目に△があれば総合も△として、○と△を合格とした。
Claims (1)
- OH基が0.1ppm以上30ppm以下のシリカからなる内層と、前記内層の外側に形成されOH基が200ppm以上500ppm以下のシリカからなる中間層と、前記中間層の外側に形成されシリカガラスからなる外層と、から構成され、
前記中間層は、酸素欠乏型欠陥の濃度が1×10 14 atoms/cm 3 以上1×10 18 atoms/cm 3 以下であり、
前記内層の厚さが0.1mm以上1mm以下であることを特徴とするシリカガラスルツボ。
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