JP5543164B2 - 発光素子 - Google Patents
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Description
図1Aは、本発明の第1の実施の形態に係る発光素子の縦断面の概要を示し、図1Bは、本発明の第1の実施の形態に係る発光素子の上面の概要を示す。なお、図1Aは、図1BのA−A線における縦断面の概要を示している。
本発明の第1の実施の形態に係る発光素子1は、図1Aに示すように、C面(0001)を有するサファイア基板10と、サファイア基板10上に設けられるバッファ層20と、バッファ層20上に設けられるn型半導体層であるn側コンタクト層22と、n側コンタクト層22上に設けられるn側クラッド層24と、n側クラッド層24上に設けられる発光層25と、発光層25上に設けられるp側クラッド層26と、p側クラッド層26上に設けられるp型半導体層であるp側コンタクト層28とを含む半導体積層構造を備える。
図1Cは、本発明の第1の実施の形態に係る発光素子の透明中間部の配置概要を部分的に示す。
図2Aから図2Bは、第1の実施の形態に係る発光素子の製造工程の一例を示す。具体的に、図2Aの(a)は、n側コンタクト層の表面を露出させるためのエッチングが施される前の縦断面図である。図2Aの(b)は、n側コンタクト層の表面を露出させるためのエッチングが施された後の縦断面図である。また、図2Aの(c)は、p側コンタクト層上にマスクが形成された状態の縦断面図である。そして、図2Bの(a)は、透明中間部を形成した後の縦断面図である。図2Bの(b)は、透明電極及びn電極を形成した後の縦断面図である。図2Bの(c)は、接合電極を形成した後の縦断面図である。
本実施の形態に係る発光素子1は、p側コンタクト層26上の一部に透明電極30を構成する材料の屈折率よりも低い屈折率の材料を含んで形成される透明中間部40を設け、透明中間部40を設けたp側コンタクト層26上に透明中間部40を覆うように透明電極30を形成したので、横方向(すなわち、シート方向(水平方向))への電流拡散を透明中間部40が設けられていない場合と同様に少なくすることができ、透明中間部40を設けても発光素子1の駆動電圧が上昇することを防止できる。更に、本実施の形態に係る発光素子1は上記のような構成を備えるので、p側コンタクト層28に対してオーミックコンタクトを取りにくい材料から透明電極30を形成してもよく、また、抵抗がある程度高い材料から透明電極30を形成してもよい。更に、発光素子1は、反射率の高い材料を用いて反射電極50を形成できるので、反射電極50における光の吸収を減少できる。これにより、本実施の形態に係る発光素子1においては、反射率の高い材料の選択の幅を広げることができる。
図3は、本発明の第2の実施の形態に係る発光素子の縦断面の概要を示す。
図4は、本発明の第3の実施の形態に係る発光素子の透明中間部の配置概要を部分的に示す。
図5は、本発明の第4の実施の形態に係る発光素子の透明中間部の配置概要を部分的に示す。
図6は、本発明の第5の実施の形態に係る発光素子の透明中間部の配置概要を部分的に示す。
図7は、本発明の第6の実施の形態に係る発光素子の透明中間部の配置概要を部分的に示す。
10 サファイア基板
20 バッファ層
22 n側コンタクト層
24 n側クラッド層
25 発光層
26 p側クラッド層
28 p側コンタクト層
30 透明電極
30a、30b、30c、30d、30e 帯状部分
32 n電極
32a、32b、32c、32d、32e、32f 細線部分
40、40a、40b、40c、40d 透明中間部
40e、40f、40g、40h、40i 透明中間部
42 メッシュ状透明中間部
44 ドット状透明中間部
46 連結部
48 透明中間部
50 反射電極
55 反射層
60、62 接合電極
70 絶縁層
70a 開口
200、202 マスク
Claims (8)
- 第1導電型の半導体層と、発光層と、前記第1導電型とは異なる第2導電型の半導体層とを含む窒化物化合物半導体からなる半導体積層構造と、
前記第2導電型の半導体層の表面の一部に設けられる透明中間部であって前記第2導電型の半導体層の屈折率より低い屈折率を有することにより前記発光層からの光の一部を前記第2導電型の半導体層との界面で全反射させる透明中間部と、
前記透明中間部上及び前記第2導電型の半導体層上に設けられ、前記透明中間部の屈折率より高い屈折率を有するとともに前記第2導電型の半導体層の屈折率より低い屈折率を有することにより前記発光層からの光の一部を前記第2導電型の半導体層との界面で全反射させる透明電極と、
前記透明電極の上方に設けられる反射膜層と、を備え、
前記透明中間部は、前記透明電極の透過率より高い透過率を有する材料からなり、前記第2導電型の半導体層と前記反射膜層との間にあって前記第2導電型の半導体層に接して複数設けられる発光素子。 - 前記反射膜層は、前記透明電極に電気的に接続する金属材料あるいは合金材料であり、
前記複数の透明中間部は、前記第2導電型の半導体層あるいは前記透明電極の平面視における面積に対して10%以上40%以下の面積を占める請求項1に記載の発光素子。 - 前記透明中間部は、互いに異なる屈折率の複数の層からなる請求項1に記載の発光素子。
- 前記複数の透明中間部は、SiO2、又はAl2O3からなり、
前記透明電極は、ITOからなる請求項1に記載の発光素子。 - 前記複数の透明中間部は、前記第2導電型の半導体層上に、第1の軸、及び前記第1の軸に直交する第2の軸に沿って周期的に配置される請求項1に記載の発光素子。
- 前記複数の透明中間部は、前記第2導電型の半導体層上に格子状に設けられる請求項4に記載の発光素子。
- 前記反射膜層は、絶縁材料内に設けられることによって外部から電気的に絶縁されており、
前記絶縁材料は、前記透明電極と外部の電極とを電気的に接続させる開口を有する請求項1に記載の発光素子。 - 前記複数の透明中間部の少なくとも一部は、前記開口の直下に設けられる請求項7に記載の発光素子。
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