JP5542750B2 - Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing - Google Patents

Description

本発明は、化学機械研磨用水系分散体に関する。更に詳しくは、本発明は、被加工膜としての純タングステン膜、又はタングステンと他の金属との合金からなる膜を研磨するために有用な水系分散体に関する。本発明の化学機械研磨用水系分散体では、保管或いは搬送中における粗大な固形物の発生が抑えられ、スクラッチの生成等が防止され、保管、搬送の後も優れた研磨性能が維持される。 The present invention relates to an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing. More particularly, the present invention relates to an aqueous dispersion useful for polishing a pure tungsten film as a film to be processed or a film made of an alloy of tungsten and another metal . In the chemical mechanical polishing aqueous dispersion of the present invention, generation of coarse solids during storage or transportation is suppressed, generation of scratches, etc. are prevented, and excellent polishing performance is maintained after storage and transportation.

半導体装置の集積度の向上、多層配線化などにともない、被加工膜等の研磨に化学機械研磨の技術が導入されている。これはプロセスウェハ上の絶縁膜に形成された孔、溝などに、タングステン、アルミニウム、銅等の配線材料を埋め込んだ後、研磨することにより、余剰の配線材料を除去し、配線を形成するものである。この研磨においては、通常、アルミナ、シリカ、ジルコニア等からなる無機粒子、或いはポリスチレン、ポリメチルメタクリレート等からなる有機粒子が研磨粒子として使用される。そして、これらの研磨粒子を含有する水系分散体などにより、被加工膜等を十分な速度で研磨することができる。   With the improvement of the degree of integration of semiconductor devices and the formation of multilayer wiring, a chemical mechanical polishing technique has been introduced for polishing a film to be processed. In this method, wiring material such as tungsten, aluminum, copper, etc. is buried in holes, grooves, etc. formed in the insulating film on the process wafer, and then polished to remove excess wiring material and form wiring. It is. In this polishing, usually, inorganic particles made of alumina, silica, zirconia, or the like, or organic particles made of polystyrene, polymethyl methacrylate, or the like are used as the polishing particles. Then, the film to be processed or the like can be polished at a sufficient speed with an aqueous dispersion containing these abrasive particles.

この化学機械研磨用水系分散体の保管及び搬送には、樹脂製又は金属製等の密閉容器が使用されるが、保管時、気温の上昇等により気液界面において水が蒸発し、乾燥して、研磨粒子等からなる固形物が発生することがある。また、搬送時には、容器の揺動等により内壁面上部に付着した水系分散体から水が蒸発して乾燥した固形物が発生することもある。これらの固形物は粗大な粒子として水系分散体に含まれることになり、研磨時、この粗大な粒子によって被研磨面にスクラッチ等を生ずることがある。また、水系分散体を供給するための配管が目詰まりすることもある。   For storage and transportation of this chemical mechanical polishing aqueous dispersion, a sealed container made of resin or metal is used, but during storage, water evaporates at the gas-liquid interface due to an increase in temperature, etc. In some cases, solids composed of abrasive particles or the like may be generated. Also, during transportation, water may evaporate from the aqueous dispersion adhering to the upper part of the inner wall surface due to rocking of the container and the like, and dry solid matter may be generated. These solid substances are included in the aqueous dispersion as coarse particles, and at the time of polishing, the coarse particles may cause scratches on the surface to be polished. Moreover, the piping for supplying the aqueous dispersion may be clogged.

本発明は、上記の従来の問題を解決するものであり、保管時或いは搬送時における研磨粒子等からなる粗大粒子の発生が抑えられ、優れた研磨性能が維持される化学機械研磨用水系分散体を提供することを目的とする。特に、保管、搬送後も、半導体装置の被加工膜等を十分な速度で研磨することができ、且つスクラッッチ等を生ずることのない化学機械研磨用水系分散体を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and suppresses the generation of coarse particles such as abrasive particles during storage or transport, and maintains an excellent polishing performance. The purpose is to provide. In particular, an object of the present invention is to provide an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing which can polish a film to be processed of a semiconductor device at a sufficient speed even after storage and transportation and does not cause scratches.

上記課題は、水系分散体と大気との界面に境界膜が形成される化学機械研磨用水系分散体（以下、第２発明という。）により達成される。更に、上記課題は、境界膜が両親媒性化合物からなる化学機械研磨用水系分散体（以下、第３発明という。）により達成される。また、上記課題は、特定のＨＬＢ値を有する両親媒性化合物を含有する化学機械研磨用水系分散体（以下、第４発明という。）とすることにより達成される。 Upper Symbol challenge, chemical mechanical polishing aqueous dispersion limiting membrane at the interface between the water-based dispersion and the atmosphere is formed is achieved by (hereinafter referred to. The second invention). Furthermore, the problem is, Sakai Sakaimaku chemical mechanical polishing aqueous dispersion consisting of amphiphilic compounds is achieved by (hereinafter referred to. The third invention). Moreover, the problem is chemical mechanical polishing aqueous dispersion containing an amphiphilic compound having an HLB value of particular be achieved by a (hereinafter, referred to. Fourth invention).

第２乃至第３発明によれば、研磨粒子等からなる粗大な固形物の発生が抑えられ、保管、搬送の後も十分な研磨速度が維持され、且つスクラッチを生ずることのない化学機械研磨用水系分散体が得られる。この水系分散体は、被加工膜としての純タングステン膜、又はタングステンと他の金属との合金からなる膜を研磨するために用いられる。また、第４発明の特定の両親媒性化合物を用いることによって、より安定した研磨性能が維持される化学機械研磨用水系分散体とすることができる。 According to the second to third inventions, chemical mechanical polishing water that suppresses the generation of coarse solids composed of abrasive particles and the like, maintains a sufficient polishing rate even after storage and transportation, and does not cause scratches. A system dispersion is obtained. This aqueous dispersion is used to polish a pure tungsten film as a film to be processed or a film made of an alloy of tungsten and another metal. Moreover, it can be set as the chemical mechanical polishing aqueous dispersion by which the more stable polishing performance is maintained by using the specific amphiphilic compound of 4th invention.

また、第２発明の化学機械研磨用水系分散体は、被加工膜としての純タングステン膜、又はタングステンと他の金属との合金からなる膜を研磨するための水系分散体であって、研磨粒子及び水を含有し、該水系分散体と大気との界面に境界膜が形成されることを特徴とする。
この第２発明における境界膜は、第３発明のように、両親媒性化合物からなり、上記水の散逸を抑えるものとして理解される。即ち、第２及び第３発明では、水系分散体と大気との界面に形成される上記「境界膜」によって、保管時の気液界面、或いは搬送時の容器の揺動等により内壁面上部に付着した水系分散体から水が散逸することによる固形物の発生が抑制される。 The aqueous dispersion for chemical mechanical polishing according to the second invention is an aqueous dispersion for polishing a pure tungsten film as a film to be processed or a film made of an alloy of tungsten and another metal, and is an abrasive particle. and contains water, characterized in that the interface in the boundary layer between the water-based dispersion and the atmosphere is formed.
The boundary film in the second invention is understood to be composed of an amphiphilic compound as in the third invention and suppress the dissipation of water. That is, in the second and third inventions, the above-mentioned “boundary film” formed at the interface between the aqueous dispersion and the atmosphere causes the gas-liquid interface during storage or the upper wall of the inner wall due to rocking of the container during transportation. Generation | occurrence | production of the solid substance by water dissipating from the adhering aqueous dispersion is suppressed.

上記「研磨粒子」は特に限定されず、無機粒子及び有機粒子並びに有機／無機複合粒子のいずれも使用することができる。
無機粒子としては、シリカ、アルミナ、セリア、ジルコニア及びチタニア等が挙げられる。この無機粒子としては、ヒュームド法（高温火炎加水分解法）及びナノフェーズテクノロジー社法（金属蒸着酸化法）等の気相法により合成されたものが高純度であって特に好ましい。 The “abrasive particles” are not particularly limited, and any of inorganic particles, organic particles, and organic / inorganic composite particles can be used.
Examples of inorganic particles include silica, alumina, ceria, zirconia, and titania. As the inorganic particles, those synthesized by a vapor phase method such as a fumed method (high temperature flame hydrolysis method) and a nanophase technology method (metal vapor deposition oxidation method) are particularly preferable because of high purity.

また、有機粒子としては、ポリスチレン及びスチレン系共重合体、ポリメチルメタクリレート等の（メタ）アクリレート樹脂及びアクリル系共重合体等の熱可塑性樹脂からなる重合体粒子を使用することができる。更に、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂及び不飽和ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂からなる重合体粒子を用いることもできる。
熱可塑性樹脂からなる重合体粒子と熱硬化性樹脂からなる重合体粒子とは併用することができる。
有機/無機複合粒子としては、有機粒子が無機粒子により均一に被覆されてなる複合粒子、無機粒子に重合体が付着又は結合してなる複合粒子、或いは無機粒子の表面に重合体からなる皮膜が形成されてなる複合粒子等が挙げられる。また、無機粒子及び有機粒子並びに有機／無機複合粒子は併用することができる。 In addition, as the organic particles, polymer particles made of thermoplastic resins such as polystyrene and styrene copolymers, (meth) acrylate resins such as polymethylmethacrylate, and acrylic copolymers can be used. Furthermore, polymer particles made of thermosetting resins such as phenol resin, urea resin, melamine resin, epoxy resin, alkyd resin and unsaturated polyester resin can also be used.
Polymer particles composed of a thermoplastic resin and polymer particles composed of a thermosetting resin can be used in combination.
Organic / inorganic composite particles include composite particles in which organic particles are uniformly coated with inorganic particles, composite particles in which a polymer is attached to or bonded to inorganic particles, or a film made of a polymer on the surface of inorganic particles. Examples include composite particles formed. In addition, inorganic particles, organic particles, and organic / inorganic composite particles can be used in combination.

研磨粒子の含有量は、無機粒子、有機粒子及び有機／無機複合粒子の合計量で、水系分散体を１００重量部（以下、「部」と略記する。）とした場合に、０．０５〜２０部とすることができ、特に０．０７〜１５部、更には０．１〜１０部とすることが好ましい。研磨粒子の含有量が０．０５部未満では、十分な研磨性能を有する水系分散体とすることができないことがある。一方、２０部を越えて含有させた場合はコスト高になるとともに、水系分散体の安定性が低下することがあり好ましくない。   The content of abrasive particles is the total amount of inorganic particles, organic particles, and organic / inorganic composite particles, and is 0.05 to 0.5 when the aqueous dispersion is 100 parts by weight (hereinafter abbreviated as “parts”). It can be 20 parts, 0.07 to 15 parts, more preferably 0.1 to 10 parts. If the content of the abrasive particles is less than 0.05 part, an aqueous dispersion having sufficient polishing performance may not be obtained. On the other hand, when the content exceeds 20 parts, the cost is increased, and the stability of the aqueous dispersion may be decreased, which is not preferable.

上記「両親媒性化合物」は、その分子内に親水部と親油部とを併せ有する化合物である。親水部はヒドロキシル基、エステル基及びカルボキシル基等により構成され、親油部は比較的長鎖の炭化水素基等により構成される。そのような化合物としては、〔１〕脂肪族アルコール類、〔２〕脂肪酸、〔３〕ソルビタン脂肪酸エステル、〔４〕グリセリン脂肪酸エステル、〔５〕プロピレングリコール脂肪酸エステル、及び〔６〕ポリエチレングリコールと脂肪酸とのエステル等が挙げられる。尚、これらの化合物を構成する炭化水素基は不飽和結合を有していてもよく、また、直鎖状であっても分岐していてもよい。   The “amphiphilic compound” is a compound having both a hydrophilic part and a lipophilic part in the molecule. The hydrophilic part is composed of a hydroxyl group, an ester group, a carboxyl group and the like, and the lipophilic part is composed of a relatively long chain hydrocarbon group and the like. Such compounds include: [1] aliphatic alcohols, [2] fatty acids, [3] sorbitan fatty acid esters, [4] glycerin fatty acid esters, [5] propylene glycol fatty acid esters, and [6] polyethylene glycol and fatty acids. And esters. In addition, the hydrocarbon group which comprises these compounds may have an unsaturated bond, and may be linear or branched.

これら各々の両親媒性化合物の具体例としては下記のもの等が挙げられる。
〔１〕脂肪族アルコール類；炭素数６〜１８のモノアルコール類並びに炭素数１２〜１８のジオール類及び炭素数１２〜１８のトリオール類等のポリオールを好適に使用することができる。その具体例としては、ヘキサノール（ＨＬＢ値；約６）、ヘプタノール、オクタノール、デカノール、ドデカノール、テトラデカノール（ＨＬＢ値；約１）、ヘキサデカノール、オクタデカノール及びオレイルアルコール等が挙げられる。
これらのうち炭素数１２〜１８のモノアルコール類が好ましく、特にテトラデカノール、ヘキサデカノール、オクタデカノール及びオレイルアルコール等が好ましい。 Specific examples of these amphiphilic compounds include the following.
[1] Aliphatic alcohols: Polyalcohols such as monoalcohols having 6 to 18 carbon atoms, diols having 12 to 18 carbon atoms, and triols having 12 to 18 carbon atoms can be preferably used. Specific examples thereof include hexanol (HLB value; about 6), heptanol, octanol, decanol, dodecanol, tetradecanol (HLB value; about 1), hexadecanol, octadecanol and oleyl alcohol.
Of these, monoalcohols having 12 to 18 carbon atoms are preferable, and tetradecanol, hexadecanol, octadecanol, oleyl alcohol, and the like are particularly preferable.

〔２〕脂肪酸；炭素数６〜１８の脂肪酸を好適に使用することができる。その具体例としては、カプリル酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸及びリノレン酸等が挙げられる。
これらのうち炭素数１２〜１８の脂肪酸が好ましく、特にステアリン酸、オレイン酸（ＨＬＢ値；約１）、リノール酸及びリノレン酸等が好ましい。 [2] Fatty acid: A fatty acid having 6 to 18 carbon atoms can be preferably used. Specific examples thereof include caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, palmitic acid, stearic acid, oleic acid, linoleic acid, and linolenic acid.
Of these, fatty acids having 12 to 18 carbon atoms are preferable, and stearic acid, oleic acid (HLB value: about 1), linoleic acid, linolenic acid, and the like are particularly preferable.

〔３〕ソルビタン脂肪酸エステル；ソルビタンと炭素数１２〜１８の脂肪酸とのエステルを好適に使用することができる。その具体例としては、ソルビタンモノステアレート（ＨＬＢ値；４．７）、ソルビタンジステアレート（ＨＬＢ値；３．５）、ソルビタントリステアレート（ＨＬＢ値；２．１）、ソルビタンテトラステアレート（ＨＬＢ値；０．５）、ソルビタンモノオレエート（ＨＬＢ値；４．３）、ソルビタンジオレエート、ソルビタントリオレエート（ＨＬＢ値；１．８）及びソルビタンセスキオレエート等が挙げられる。
ソルビタンは工業的には１，４−ソルビタン、１，５−ソルビタン及び１，４−ソルビタンから更に１分子脱水したものなどの混合物として用いられる。ソルビタン脂肪酸エステルは、この混合物と高級脂肪酸とからなるモノ、ジ、トリ及びテトラエステルである。また、ソルビタントリステアレート、ソルビタントリオレエート等のトリエステル及びソルビタンテトラステアレートなどが特に好ましく、通常、これらの各エステルの混合物からなるものを用いることができる。 [3] Sorbitan fatty acid ester; An ester of sorbitan and a fatty acid having 12 to 18 carbon atoms can be suitably used. Specific examples thereof include sorbitan monostearate (HLB value; 4.7), sorbitan distearate (HLB value; 3.5), sorbitan tristearate (HLB value; 2.1), sorbitan tetrastearate ( HLB value; 0.5), sorbitan monooleate (HLB value; 4.3), sorbitan dioleate, sorbitan trioleate (HLB value; 1.8), sorbitan sesquioleate and the like.
Sorbitan is industrially used as a mixture of 1,4-sorbitan, 1,5-sorbitan and 1,4-sorbitan obtained by further dehydrating one molecule. Sorbitan fatty acid esters are mono-, di-, tri- and tetra-esters composed of this mixture and higher fatty acids. Further, triesters such as sorbitan tristearate and sorbitan trioleate, sorbitan tetrastearate, and the like are particularly preferable, and usually a mixture of these esters can be used.

〔４〕グリセリン脂肪酸エステル；グリセリンと炭素数１２〜１８の脂肪酸とのエステルを好適に使用することができる。その具体例としては、グリセロールモノステアレート（ＨＬＢ値；３．８）、グリセロールモノオレエート（ＨＬＢ値；２．８〜３．５）等が挙げられる。
〔５〕プロピレングリコール脂肪酸エステル；プロピレングリコールと炭素数１２〜１８の脂肪酸とのエステルを好適に使用することができる。その具体例としては、プロピレングリコールモノステアレート（ＨＬＢ値；３．４）、プロピレングリコールモノラウレート（ＨＬＢ値；４．５）等が挙げられる。
これらのうちプロピレングリコールモノステアレートが特に好ましい。 [4] Glycerin fatty acid ester: Esters of glycerin and fatty acids having 12 to 18 carbon atoms can be suitably used. Specific examples thereof include glycerol monostearate (HLB value; 3.8), glycerol monooleate (HLB value; 2.8 to 3.5), and the like.
[5] Propylene glycol fatty acid ester: An ester of propylene glycol and a fatty acid having 12 to 18 carbon atoms can be suitably used. Specific examples thereof include propylene glycol monostearate (HLB value; 3.4), propylene glycol monolaurate (HLB value; 4.5), and the like.
Of these, propylene glycol monostearate is particularly preferred.

〔６〕ポリエチレングリコールと脂肪酸とのエステル；炭素数が１２〜１８、特に１５〜１８であり、平均分子量が５０〜５００、特に１００〜３００のモノエステル又はジエステルを好適に使用することができる。その具体例としては、ポリエチレングリコールジステアレート（ＨＬＢ値；５．４）、ポリエチレングリコールジラウレート（ＨＬＢ値；２．７）等が挙げられる。
尚、上記〔３〕〜〔６〕のエステルは、炭素数の少ないアルコールと炭素数の多い酸により形成されているが、この他、炭素数の多いアルコールと炭素数の少ない酸により形成されるエステルを使用することもできる。
また、以上の両親媒性化合物は１種のみを用いてもよいし、〔１〕〜〔６〕の各々の化合物のうちから２種以上を、或いは〔１〕〜〔６〕の異なる種類のうちの２種以上を併用することもできる。 [6] Esters of polyethylene glycol and fatty acids; monoesters or diesters having 12 to 18, particularly 15 to 18 carbon atoms and an average molecular weight of 50 to 500, particularly 100 to 300, can be preferably used. Specific examples thereof include polyethylene glycol distearate (HLB value; 5.4), polyethylene glycol dilaurate (HLB value; 2.7), and the like.
The esters [3] to [6] are formed by an alcohol having a small number of carbon atoms and an acid having a large number of carbon atoms. Esters can also be used.
Further, only one kind of the above amphiphilic compound may be used, or two or more kinds among the compounds of [1] to [6], or different kinds of [1] to [6]. Two or more of them can be used in combination.

両親媒性化合物の含有量は、水系分散体１００部に対して０．００００１〜１０部とすることができ、０．００００５〜５部、特に０．０００１〜１部、更には０．０００５〜０．１部とすることが好ましい。
両親媒性化合物は水系分散体を攪拌しながら直接添加することもでき、水で予め希釈してから添加することもできる。また、脂肪族アルコール類及び脂肪酸の場合は、一定量の水により、或いはそれに更に乳化剤を配合し、予め乳化させた後、添加することもできる。例えば、両親媒性化合物２０〜４０部に、水６０〜８０部及び好ましくはアニオン系又はノニオン系の界面活性剤０．０１〜０．１部を配合し、攪拌して乳化させた後、添加することができる。 The content of the amphiphilic compound can be 0.00001 to 10 parts with respect to 100 parts of the aqueous dispersion, and is 0.00005 to 5 parts, particularly 0.0001 to 1 part, more preferably 0.0005. 0.1 part is preferable.
The amphiphilic compound can be added directly while stirring the aqueous dispersion, or can be added after pre-dilution with water. Further, in the case of aliphatic alcohols and fatty acids, an emulsifier may be blended with a certain amount of water or further, and emulsified in advance, and then added. For example, 20 to 40 parts of an amphiphilic compound is mixed with 60 to 80 parts of water and preferably 0.01 to 0.1 part of an anionic or nonionic surfactant, and the mixture is stirred and emulsified, and then added. can do.

第４発明は、両親媒性化合物のＨＬＢ値の好ましい範囲を明らかにするものである。
このＨＬＢ値は０より大きく６以下、好ましくは０．１〜６であり、特に０．３〜５、更には０．５〜４であることがより好ましい。ＨＬＢ値が６を越えると水の散逸を十分に抑えることができる境界膜が形成されず、乾燥による固形物が発生することがあるため好ましくない。
尚、このＨＬＢ値は分子構造或いは実験により求められる値であり、ＨＬＢ値を求めるための式も多数提案されている。例えば、グリフィンにより提唱されている下記の計算式によって算出することができる。
ＨＬＢ値＝２０＊（親水基の重量％） The fourth invention clarifies the preferable range of the HLB value of the amphiphilic compound.
This HLB value is larger than 0 and 6 or less, preferably 0.1 to 6, particularly 0.3 to 5, and more preferably 0.5 to 4. When the HLB value exceeds 6, a boundary film that can sufficiently suppress the dissipation of water is not formed, and solid matter may be generated by drying, which is not preferable.
The HLB value is a value obtained by molecular structure or experiment, and many formulas for obtaining the HLB value have been proposed. For example, it can be calculated by the following calculation formula proposed by Griffin.
HLB value = 20 * (weight% of hydrophilic group)

本発明の化学機械研磨用水系分散体は、研磨粒子及び両親媒性化合物を水（イオン交換水等）に配合することにより調製することができる。この水系分散体では、その媒体としては、水、及び水とメタノール等、水を主成分とする混合媒体を使用することができるが、水のみを用いることが特に好ましい。   The chemical mechanical polishing aqueous dispersion of the present invention can be prepared by blending abrasive particles and an amphiphilic compound in water (ion exchange water or the like). In this aqueous dispersion, water and a mixed medium containing water as a main component such as water and methanol can be used as the medium, but it is particularly preferable to use only water.

また、この水系分散体には、酸化剤を含有させることができる。この酸化剤は水溶性であればよく、その種類は特に制限されない。具体的には、過酸化水素、過酢酸、過安息香酸、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド等の有機過酸化物、硝酸及び硝酸鉄等の硝酸化合物、過塩素酸等の過ハロゲン酸化合物、フェリシアン化カリウム等の遷移金属塩、過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩、並びにヘテロポリ酸等が挙げられる。これらの酸化剤を含有させることにより、被加工膜等を研磨する場合に、研磨速度を向上させることができる。   The aqueous dispersion can contain an oxidizing agent. The oxidizing agent is not particularly limited as long as it is water-soluble. Specifically, hydrogen peroxide, peracetic acid, perbenzoic acid, organic peroxides such as tert-butyl hydroperoxide, nitric acid compounds such as nitric acid and iron nitrate, perhalogenated compounds such as perchloric acid, potassium ferricyanide Transition metal salts such as ammonium sulfate, persulfates such as ammonium persulfate, and heteropolyacids. By containing these oxidizing agents, the polishing rate can be improved when polishing a film to be processed or the like.

酸化剤の含有量は、水系分散体を１００部とした場合に、０．１〜１５部とすることができ、特に１〜１０部、更には２〜８部とすることが好ましい。この含有量が０．1部未満では、水系分散体の研磨速度が十分に大きくならない。一方、１５部含有させれば研磨速度を十分に向上させることができ、１５部を越えて多量に含有させた場合は、被研磨面に腐食が発生したり、取り扱い上、危険であって好ましくない。   The content of the oxidizing agent can be 0.1 to 15 parts, particularly 1 to 10 parts, and more preferably 2 to 8 parts, when the aqueous dispersion is 100 parts. When the content is less than 0.1 part, the polishing rate of the aqueous dispersion is not sufficiently increased. On the other hand, if 15 parts are contained, the polishing rate can be sufficiently improved. If more than 15 parts are contained, the surface to be polished is corroded and dangerous in handling. Absent.

また、酸を含有させてｐＨを調整することにより、水系分散体の分散性、安定性及び研磨速度をより向上させることもできる。この酸は特に限定されず、有機酸、無機酸のいずれも使用することができる。有機酸としては、グルコン酸、乳酸、クエン酸、酒石酸、リンゴ酸、グリコール酸、マロン酸、ギ酸、シユウ酸、コハク酸、フマル酸、マレイン酸及びフタル酸等が挙げられる。これらの有機酸は１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用することもできる。更に、無機酸としては、硝酸、塩酸及び硫酸等が挙げられ、これら無機酸も１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用することもできる。また、有機酸と無機酸とを併用することもできる。   Moreover, the dispersibility, stability, and polishing rate of the aqueous dispersion can be further improved by adjusting the pH by containing an acid. This acid is not particularly limited, and either an organic acid or an inorganic acid can be used. Examples of the organic acid include gluconic acid, lactic acid, citric acid, tartaric acid, malic acid, glycolic acid, malonic acid, formic acid, oxalic acid, succinic acid, fumaric acid, maleic acid and phthalic acid. These organic acids may be used alone or in combination of two or more. Furthermore, as an inorganic acid, nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, etc. are mentioned, These inorganic acids may use only 1 type, and can also use 2 or more types together. Moreover, an organic acid and an inorganic acid can be used in combination.

第２乃至第３発明の水系分散体は、半導体装置の被加工膜の化学機械研磨において用いられる。この被加工膜としては、超ＬＳＩ等の半導体装置の製造過程において半導体基板上に設けられる純タングステン膜、タングステンと他の金属との合金からなる膜が用いられる。 The aqueous dispersions of the second to third inventions are used in chemical mechanical polishing of a film to be processed of a semiconductor device. As the film to be processed, a pure tungsten film provided on a semiconductor substrate in the process of manufacturing a semiconductor device such as a VLSI, or a film made of an alloy of tungsten and another metal is used.

水系分散体による半導体装置の被加工膜等の化学機械研磨は、市販の化学機械研磨装置（ラップマスターＳＦＴ社製、型式「ＬＧＰ−５１０、ＬＧＰ−５５２」等）を用いて行なうことができる。この研磨操作において、研磨後、被研磨面に残留する研磨粒子は除去することが好ましい。この研磨粒子の除去は通常の洗浄方法によって行うことができるが、研磨粒子が有機粒子の場合は、被研磨面を、酸素の存在下、高温にすることにより、燃焼させて除去することもできる。燃焼の具体的な方法としては、酸素プラズマに晒したり、酸素ラジカルをダウンフローで供給すること等のプラズマによる灰化処理等が挙げられ、これによって残留する有機粒子を被研磨面から容易に除去することができる。   Chemical mechanical polishing of a workpiece film or the like of a semiconductor device with an aqueous dispersion can be performed using a commercially available chemical mechanical polishing apparatus (manufactured by LAPMASTER SFT, model “LGP-510, LGP-552” or the like). In this polishing operation, it is preferable to remove abrasive particles remaining on the surface to be polished after polishing. The removal of the abrasive particles can be performed by a normal cleaning method. However, when the abrasive particles are organic particles, the surface to be polished can be removed by burning by raising the temperature in the presence of oxygen. . Specific methods of combustion include ashing with plasma, such as exposure to oxygen plasma or supply of oxygen radicals in a downflow, thereby easily removing residual organic particles from the surface to be polished. can do.

以下、実施例によって本発明をより詳しく説明する。
（１）研磨粒子を含む水分散体の製造
製造例１［シリカ粒子を含む水分散体の製造］
ヒュームド法シリカ（日本アエロジル株式会社製、商品名「アエロジル＃５０」）２０ｋｇを、攪拌具及び容器の接液部をウレタン樹脂でコーティングした遊星方式の混練機（特殊機化工業株式会社製、型式「ＴＫハイビスディスパーミックス・ＨＤＭ−３Ｄ−２０」）中の蒸留水２７ｋｇに、ひねりブレードを主回転軸１８ｒｐｍ、副回転軸３６ｒｐｍで回転させ、混練しながら３０分かけて連続的に添加した。その後、更に１時間、全固形分４３％の状態で、ひねりブレードの副回転軸を５４ｒｐｍで回転させる混練操作と、直径８０ｍｍのコーレス型高速回転翼の副回転軸を２７００ｒｐｍで回転させる分散処理を、それぞれ主回転軸を１０ｒｐｍで回転させながら、同時に実施した。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
(1) Production and production example 1 of water dispersion containing abrasive particles [Production of water dispersion containing silica particles]
Planetary kneading machine (model made by Tokushu Kika Kogyo Co., Ltd., model) in which 20 kg of fumed silica (made by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name “Aerosil # 50”) was coated with urethane resin on the wetted part of the stirrer and container. A twist blade was rotated at a main rotating shaft of 18 rpm and a sub rotating shaft of 36 rpm in 27 kg of distilled water in “TK Hibis Disper Mix HDM-3D-20”) and continuously added over 30 minutes while kneading. Thereafter, a kneading operation for rotating the sub-rotating shaft of the twisting blade at 54 rpm with a total solid content of 43% for another hour and a dispersion treatment for rotating the sub-rotating shaft of the coreless high-speed rotary blade having a diameter of 80 mm at 2700 rpm. Each was carried out simultaneously while rotating the main rotating shaft at 10 rpm.

得られたスラリーをイオン交換水で希釈し、全固形分３０％のシリカを含む水性コロイドを得た。これを更に孔径１μｍのデプスカートリッジフィルタ処理することにより粗大粒子を除去した。得られた水分散体に含まれるシリカの２次粒子の平均粒子径は０．２４μｍであった。   The obtained slurry was diluted with ion-exchanged water to obtain an aqueous colloid containing silica having a total solid content of 30%. This was further subjected to a depth cartridge filter treatment with a pore diameter of 1 μm to remove coarse particles. The average particle diameter of the silica secondary particles contained in the obtained aqueous dispersion was 0.24 μm.

製造例２［アルミナ粒子を含む水分散体の製造］
ヒュームド法シリカに代え、ヒュームド法アルミナ（デグサ社製、商品名「A-luminium Oxide C」）１７ｋｇを用いた他は、製造例１と同様にして全固形分３０％の水分散体を得た。この水分散体に含まれるアルミナの平均粒子径は０．１８μｍであった。 Production Example 2 [Production of Aqueous Dispersion Containing Alumina Particles]
An aqueous dispersion having a total solid content of 30% was obtained in the same manner as in Production Example 1, except that 17 kg of fumed alumina (trade name “A-luminium Oxide C” manufactured by Degussa) was used in place of the fumed silica. . The average particle size of alumina contained in this aqueous dispersion was 0.18 μm.

（２）化学機械研磨用水系分散体の調製
実施例１〜３及び比較例１〜２
実施例１〜３では所定量の両親媒性化合物を添加し、表１に示す組成を有する化学機械研磨用水系分散体を調製した。尚、両親媒性化合物の詳細は下記のとおりである。
ソルビタントリオレエート；非イオン性界面活性剤（株式会社花王製、商品名「レオドールＳＰ−Ｏ３０」）、ＨＬＢ値；１．８
オレイン酸乳化物；３０部のオレイン酸に、７０部の水と０．１部のラウリル硫酸アンモニウム（株式会社花王製、商品名「ラテムルＡＤ２５」）とを添加し、攪拌して乳化させた乳化物、ＨＬＢ値；１．４
ヘキサデカノール；ＨＬＢ値；１．０
尚、比較例２において用いたエチレングリコールは親水性化合物であり、そのＨＬＢ値は約１０である。 (2) Preparation Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 2 of aqueous dispersions for chemical mechanical polishing
In Examples 1 to 3, a predetermined amount of an amphiphilic compound was added to prepare an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing having the composition shown in Table 1. The details of the amphiphilic compound are as follows.
Sorbitan trioleate; nonionic surfactant (trade name “Leodol SP-O30” manufactured by Kao Corporation), HLB value: 1.8
Oleic acid emulsion: An emulsion obtained by adding 70 parts of water and 0.1 part of ammonium lauryl sulfate (trade name “Latemul AD25”, manufactured by Kao Corporation) to 30 parts of oleic acid, followed by emulsification with stirring. , HLB value; 1.4
Hexadecanol; HLB value; 1.0
In addition, ethylene glycol used in Comparative Example 2 is a hydrophilic compound, and its HLB value is about 10.

（３）水系分散体の性能評価
〔１〕乾燥性及び固形物の発生の有無
ガラス板の表面に０．１ミリリットルの水系分散体を滴下し、２３℃で完全に乾燥するまでに要する時間を測定した。また、容量２リットルのポリエチレン製の瓶に１．８ｋｇの水系分散体を投入して密閉し、４０℃で４８時間保持（但し、１２、２４、３６及び４８時間経過毎に瓶を１分間振とうさせた。）した後、３００メッシュの金網を用いて濾過し、乾燥させ、金網上の固形物の有無を目視で観察した。 (3) Performance Evaluation of Aqueous Dispersion [1] Dryness and Presence of Solids The time required to completely dry at 23 ° C. by dripping 0.1 ml of the aqueous dispersion on the surface of the glass plate It was measured. In addition, 1.8 kg of aqueous dispersion was put into a 2 liter polyethylene bottle and sealed, and kept at 40 ° C. for 48 hours (however, the bottle was shaken for 1 minute every 12, 24, 36 and 48 hours). Then, it was filtered using a 300-mesh wire mesh and dried, and the presence or absence of solid matter on the wire mesh was visually observed.

〔２〕タングステン膜の研磨試験
（２）で調製した水系分散体を使用し、８インチ配線付きウェハ（ＳＫＷ Ａｓｓｏｃｉａｔｅｓ社製、商品名「ＳＫＷ−５」、膜厚；１５０００Å）を、多孔質ポリウレタン製の研磨パッド（ロデールニッタ社製、商品名「ＩＣｌ０００」）が装着された化学機械研磨装置（ラップマスターＳＦＴ社製、型式「ＬＧＰ−５１０」）にセットし、加重２５０ｇ／ｃｍ^２になるようにして研磨を行った。ウレタンパッド表面には水系分散体を２００ｃｃ/分の速度で供給しながら、定盤回転数３０ｒｐｍで３分間回転研磨した。 [2] Polishing test of tungsten film Using the aqueous dispersion prepared in (2), a wafer with 8-inch wiring (manufactured by SKW Associates, trade name “SKW-5”, film thickness: 15000 mm) is made of porous polyurethane. Set to a chemical mechanical polishing apparatus (Lapmaster SFT, model “LGP-510”) equipped with a polishing pad made by Rodel Nitta (trade name “ICl000”) so that the load is 250 g / cm ^2. And polished. The surface of the urethane pad was rotationally polished for 3 minutes at a platen speed of 30 rpm while supplying an aqueous dispersion at a rate of 200 cc / min.

（ａ）研磨速度
４探針法による抵抗率測定器（ＮＳＰ社製、シグマ５型）により測定したシート抵抗に基づき、予め作成した検量線から残留膜厚を求め、下記の式に従って算出した。
研磨速度（Å／分）＝（研磨前膜厚−残留膜厚）／研磨時間 (A) Polishing rate Based on the sheet resistance measured by a resistivity measuring instrument (manufactured by NSP, Sigma 5 type) by a 4-probe method, the residual film thickness was obtained from a calibration curve prepared in advance, and calculated according to the following formula.
Polishing speed (Å / min) = (film thickness before polishing−residual film thickness) / polishing time

（ｂ）スクラッチの有無
研磨後の被研磨面のスクラッチの有無を触針式表面粗さ計（ケーエルエー・テンコール社製、型式「ＫＬＡ２１１２」）によって評価した。
尚、〔２〕の研磨試験は、〔１〕の固形物発生の有無の評価の前後において行った。
以上、乾燥時間、固形物の有無、研磨速度及びスクラッチの有無の評価結果を表１に併記する。 (B) Presence / absence of scratch The presence / absence of scratches on the polished surface after polishing was evaluated by a stylus type surface roughness meter (model “KLA2112” manufactured by KLA Tencor).
The polishing test [2] was performed before and after the evaluation of the presence or absence of solid matter generation [1].
The evaluation results of the drying time, the presence / absence of solids, the polishing rate and the presence / absence of scratches are also shown in Table 1.

表１の結果によれば、特定の両親媒性化合物を０．００１〜０．０１部含有する実施例１〜３の水系分散体では、乾燥に要する時間が３９０分以上であり、固形物はほとんど発生しないことが分かる。また、固形物発生試験の前後で研磨速度はほとんど変化しておらず、スクラッチも生じていないことが分かる。一方、両親媒性化合物を含有していない比較例１では、乾燥に要する時間が短く、固形物も多く観察され、固形物発生試験の前後で研磨速度に大きな変化はないものの、固形物発生試験前には観察されなかったスクラッチが固形物発生試験後には認められた。更に、エチレングリコールを大量に含有させた比較例２では、比較例１に比べて乾燥に要する時間が長くなる傾向にはあるものの不十分であり、固形物も多く観察され、研磨速度も大幅に低下していることが分かる。また、固形物発生試験後にはスクラッチが生じていた。   According to the results of Table 1, in the aqueous dispersions of Examples 1 to 3 containing 0.001 to 0.01 part of a specific amphiphilic compound, the time required for drying is 390 minutes or more, and the solid matter is It turns out that it hardly occurs. Also, it can be seen that the polishing rate hardly changed before and after the solid matter generation test, and no scratch was generated. On the other hand, in Comparative Example 1 containing no amphiphilic compound, the time required for drying is short and a large amount of solid matter is observed, and there is no significant change in the polishing rate before and after the solid matter generation test. Scratches that were not observed before were observed after the solids generation test. Furthermore, in Comparative Example 2 containing a large amount of ethylene glycol, although the time required for drying tends to be longer than that in Comparative Example 1, it is insufficient, a large amount of solid matter is observed, and the polishing rate is greatly increased. It turns out that it has fallen. Further, scratches were generated after the solid matter generation test.

Claims (3)

被加工膜としての純タングステン膜、又はタングステンと他の金属との合金からなる膜を研磨するための水系分散体であって、
研磨粒子及び水を含有し、該水系分散体と大気との界面に境界膜が形成されることを特徴とする化学機械研磨用水系分散体。 An aqueous dispersion for polishing a pure tungsten film as a film to be processed or a film made of an alloy of tungsten and another metal,
A chemical mechanical polishing aqueous dispersion comprising abrasive particles and water, wherein a boundary film is formed at an interface between the aqueous dispersion and the atmosphere. 上記境界膜が両親媒性化合物からなる請求項１記載の化学機械研磨用水系分散体。 The chemical mechanical polishing aqueous dispersion according to claim 1, wherein the boundary layer is made of an amphiphilic compound. 上記両親媒性化合物の親水親油バランスを表すＨＬＢ値が０より大きく６以下である請求項２記載の化学機械研磨用水系分散体。 The aqueous dispersion for chemical mechanical polishing according to claim 2, wherein the amphiphilic compound has an HLB value representing a hydrophilic / lipophilic balance of more than 0 and 6 or less.