JP5525981B2 - Inspection apparatus and inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、自動化された製造ラインで搬送されるパネルを自動的に点灯検査等すると共に手動検査も可能とした検査装置及び検査方法に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus and inspection method capable of automatically inspecting a panel conveyed on an automated production line and performing manual inspection.
液晶パネル等のパネル製造工程においては、パネルの点灯検査等が行われる。点灯検査は、セル工程の最終段階で行われる検査工程である。パネルの点灯検査は、パネルの入ったカセットを検査装置の脇に設置し、人手によりパネルを検査装置にセットして行っていたが、最近では、製造ラインの自動化が進み、人手を介さずに行うことが可能となっている。 In panel manufacturing processes such as liquid crystal panels, panel lighting inspections and the like are performed. The lighting inspection is an inspection process performed at the final stage of the cell process. The panel lighting inspection has been performed by placing a cassette containing the panel beside the inspection device and manually setting the panel on the inspection device. However, recently, the automation of the production line has progressed, and without manual intervention. It is possible to do.
このような自動化された製造ラインに用いられる検査装置の例としては、特許文献1の点灯検査装置がある。この点灯検査装置は、移載装置と共に製造ラインの脇に設置される。そして、移載装置で製造ラインからパネルが取り出されて、点灯検査装置に搬入されて、パネルの検査が行われる。検査終了後のパネルは移載装置でラインに戻される。
As an example of an inspection apparatus used in such an automated production line, there is a lighting inspection apparatus disclosed in
この点灯検査装置は主に、検査部と、搬送部と、受渡部とを備えている。検査部は、パネルを支持して点灯検査する装置である。搬送部は、検査部にパネルを搬送する装置である。受渡部は、外部からパネルを受け取って位置決めして支持した後、上記搬送部に受け渡すと共に、検査終了後のパネルを外部の受け渡すための装置である。 This lighting inspection apparatus mainly includes an inspection unit, a transport unit, and a delivery unit. The inspection unit is a device that performs lighting inspection while supporting the panel. The transport unit is a device that transports the panel to the inspection unit. The delivery unit is a device for receiving and positioning and supporting the panel from the outside, then delivering the panel to the transport unit and delivering the panel after the inspection to the outside.
この点灯検査装置及び移載装置が製造ラインと連動することによって、製造ラインを流れているパネルを自動的に取り出して検査すると共に検査後のパネルを製造ラインに自動的に戻すようになっている。 The lighting inspection device and the transfer device are linked with the production line, so that the panel flowing through the production line is automatically taken out and inspected, and the panel after the inspection is automatically returned to the production line. .
ところが、従来の検査においては、検査で判明した不良品のパネルを再検査する場合や、品質保証部門でパネルを抜き取って検査を行う場合には、それらのパネルは、再び製造ラインに投入されることはなく、これらのパネルの処理が問題となる。この場合、上記再検査や抜き取り検査の対象となった少数のパネルのためだけにマニュアルの検査装置を購入することも考えられるが、この場合はコストが嵩むという問題がある。 However, in the conventional inspection, when re-inspecting defective panels found by inspection, or when the quality assurance department pulls out the panels and inspects them, those panels are put into the production line again. There is nothing wrong with the processing of these panels. In this case, it is conceivable to purchase a manual inspection device only for a small number of panels subjected to the re-inspection or sampling inspection.
さらに、マニュアルの検査装置を用いる場合は、製造ラインから離れてパネルの検査を行うことになるが、この場合、作業効率が悪いという問題がある。 Further, when a manual inspection apparatus is used, the panel is inspected away from the production line. In this case, however, there is a problem that work efficiency is poor.
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、自動運転と手動運転を適宜切り換えられるようにしてコスト低減及び検査作業の効率化を図った検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and provides an inspection apparatus and an inspection method that can reduce the cost and increase the efficiency of inspection work by appropriately switching between automatic operation and manual operation. For the purpose.
上記課題を解決するために本発明に係る検査装置は、自動化ラインに並設され、当該自動化ラインと連動した自動運転で当該自動化ライン上のパネルを検査する検査装置において、上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構を備えたことを特徴とする。 In order to solve the above problems, an inspection apparatus according to the present invention is arranged in parallel with an automated line, and inspects a panel on the automated line by automatic operation in conjunction with the automated line. A switching mechanism for switching to manual operation for manual input or manual discharge from the apparatus is provided.
本発明に係る検査方法は、自動化ラインに並設された検査装置を、上記自動化ラインと連動して自動運転させて、当該自動化ライン上のパネルを検査する検査方法において、切換機構が、パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換え、自動化ラインから切り離すことを特徴とする。 An inspection method according to the present invention is an inspection method for inspecting a panel on an automated line by automatically operating an inspection apparatus arranged in parallel with the automated line and interlocking with the automated line . It is characterized in that it is switched to manual operation for manual input into the apparatus or manual discharge from the apparatus and is disconnected from the automation line.
上記検査装置及び検査方法では、自動運転を行っている検査装置を、マニュアル機として使用できるため、自動化された製造ラインに流せないパネルを、必要な時に任意に検査することができる。この結果、マニュアルの検査装置を必要とせず、コスト低減及び検査の効率化を図ることができる。 In the above-described inspection apparatus and inspection method, since the inspection apparatus performing automatic operation can be used as a manual machine, a panel that cannot be flowed to an automated production line can be inspected arbitrarily when necessary. As a result, a manual inspection device is not required, and costs can be reduced and inspection efficiency can be improved.
手動運転の際に、人手によるパネルの検査装置への手動投入を確実なものとすることができる。これにより、検査装置内での搬送時のパネルの落下を防止することができる。 During manual operation, manual insertion of the panel into the inspection device can be ensured. Thereby, the fall of the panel at the time of conveyance in an inspection apparatus can be prevented.
以下、本発明の実施形態に係る検査装置及び検査方法について、添付図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an inspection apparatus and an inspection method according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
本実施形態に係る検査装置及び検査方法は、製造ラインのロボット、コンベア等の自動機器と本実施形態の検査装置とが連動した自動運転と、人手による手動運転とを選択的に切り換えることを可能にした検査装置及び検査方法である。手動運転での手動パネルセット時は、受渡装置のパネル受け機構部が斜めの状態でセットされ、一旦水平状態へ回動してパネルPを開放して位置決め及び把持を確実にし、搬送アームのパネル落下を防止する。 The inspection apparatus and inspection method according to the present embodiment can selectively switch between automatic operation in which an automatic device such as a robot or conveyor in a production line and the inspection apparatus according to the present embodiment are linked, and manual operation by hand. An inspection apparatus and an inspection method. When setting the manual panel in manual operation, the panel receiving mechanism of the delivery device is set in an oblique state, and once turned to the horizontal state, the panel P is opened to ensure positioning and gripping, and the transfer arm panel Prevent falling.
本実施形態に係る検査装置1は、図1に示すように主に、搬送部2と、検査部3と、受渡装置4(図2参照)から構成されている。
As shown in FIG. 1, the
搬送部2は、外部から搬入されたパネルPを受渡装置4から受け取って検査部3へ搬送すると共に検査終了後のパネルPを受渡装置4に渡すための装置である。搬送部2は主に、搬送アーム5と、搬送装置6とから構成されている。
The
搬送アーム5は、パネルPを支持する部分である。この搬送アーム5は、パネルPを支持して、検査部3と受渡装置4との間を移動するように構成されている。
The
搬送装置6は、パネルPを支持した搬送アーム5を、検査部3と受渡装置4との間で往復動させるための装置である。搬送装置6は、搬送アーム5を支持して移動させる駆動部を備えて構成されている。
The
検査部3は、パネルPを支持して点灯試験を行うための装置である。検査部3は、プローブユニット8、検査ステージ9等を備えて構成されている。パネルPは、検査ステージ9に斜めに支持された状態で検査される。
The
受渡装置4は、外部から搬入されたパネルPを受け取ると共に検査後外部へ搬出されるパネルPを受け渡すための装置である。受渡装置4は、外部から搬入されたパネルPを受け取って位置決めして支持した後、回転、傾斜させて上記搬送部2に受け渡すようになっている。また、検査終了後のパネルPを搬送部2から受け取って、後述する移載装置40に受け渡すようになっている。
The delivery device 4 is a device for receiving the panel P carried in from the outside and delivering the panel P carried out after the inspection. The delivery device 4 receives and positions and supports the panel P carried from the outside, and then delivers the panel P to the
この受渡装置4は、図2に示すように、パネル受け機構部11と、位置決め支持機構部12と、回転機構部13と、傾斜機構部14と、昇降機構部15とから構成されている。
As shown in FIG. 2, the delivery device 4 includes a panel
パネル受け機構部11は、外部から搬入されたパネルPを受け取って支持するための機構部である。このパネル受け機構部11は、その基端部を回転機構部13に固定されて水平方向に且つ放射状に配設された4本の支持棒18と、各支持棒18にそれぞれ垂直方向に向けて設けられたパネル受け19とから構成されている。
The panel
位置決め支持機構部12は、パネル受け機構部11に支持されたパネルPを位置決めした上で支持するための機構部である。この位置決め支持機構部12は、パネルクランプ21と、移動装置22と、バッファ機構23とから構成されている。
The positioning
パネルクランプ21は、パネルPの周縁部に当接して当該パネルPを位置決めした上で支持するための部材である。各パネルクランプ21は、円柱状又は円筒状の合成樹脂を垂直方向に配設して構成されている。対向する各パネルクランプ21は、そのうち一方に2つ、他方に1つ設けられている。パネルクランプ21は、上記移動装置22によって、パネルPの周縁部に対して近接離間されるようになっている。
The
移動装置22は、パネルクランプ21を支持して近接離間されるための装置である。移動装置22は、レール、ガイド、駆動モータ等を備えて構成されている。
The moving
バッファ機構23は、対向して配置された各パネルクランプ21の一方を他方へ一定の付勢力で付勢すると共にその付勢力を解除するための装置である。即ち、各パネルクランプ21のうちの一方を支持して当該一方のパネルクランプ21が上記パネルPの周縁部に当接された状態で当該一方のパネルクランプ21を他方のパネルクランプ21側へ一定の付勢力で付勢すると共に、上記パネルPを上記搬送部2に受け渡すために各パネルクランプ21を離間させるに先だって、上記付勢を解除するための装置である。
The
回転機構部13は、上記パネル受け機構部11及び位置決め支持機構部12を支持して回転させるための機構である。この回転機構部13は、駆動モータ等を備えて構成され、上記パネル受け機構部11及び位置決め支持機構部12で支持された上記パネルPを設定角度だけ回転させるようになっている。この回転機構部13は、昇降機構部15に一体的に取り付けられている。
The
傾斜機構部14は、直交した状態で一体的に設けられた上記回転機構部13及び昇降機構部15を支持して傾斜させることで、パネル受け機構部11に支持されたパネルPを傾斜させるための機構である。この傾斜機構部14は、基板25と、支柱26と、回動支持軸27と、駆動モータ28と、減速ギア29とから構成されている。
The
基板25は、装置全体を支持するための板材である。支柱26は、一体的に設けられた上記回転機構部13及び昇降機構部15を支持するための部材である。この支柱26は、上記基板25に設定間隔を空けて2本設けられている。回動支持軸27は、2本の支柱26に掛け渡して設けられている。この回動支持軸27に上記回転機構部13及び昇降機構部15が固定され、これらが回動支持軸27によって回転可能に支持されている。
The
上記駆動モータ28は上記減速ギア29に連結されている。減速ギア29の出力軸は上記回動支持軸27に連結されている。減速ギア29は、駆動モータ28の回転を減速させて、直接的に上記回転機構部13を、間接的に上記パネル受け機構部11及び位置決め支持機構部12で支持された上記パネルPを回動させるようになっている。これにより、駆動モータ28の回転が減速ギア29で減速されて、上記回動支持軸27を設定角度だけ回転させて、パネルPを設定角度に傾斜させるようになっている。後述する手動投入、手動排出モードでは、パネルPを設定角度に傾斜させて、停止する。
The
昇降機構部15は、上記パネルPを昇降させるための装置である。即ち、昇降機構部15は、上記回転機構部13を介して、上記パネル受け機構部11及び位置決め支持機構部12で支持された上記パネルPを昇降させるようになっている。昇降機構部15は、固定板30と、スライド板31と、ボールネジ32と、ナット33と、駆動モータ34とから構成されている。固定板30は、上記回動支持軸27に固定され、この回動支持軸27と共に回動する。スライド板31は、上記固定板30にスライド可能に支持されている。上記スライド板31が上記固定板30に支持されてスライドすると、このスライド板31に支持された上記回転機構部13が一体的にスライドするようになっている。
The elevating
ボールネジ32は、上記スライド板31を上記固定板30に対してスライドさせるための部材である。上記ナット33は、上記スライド板31に固定されて、上記ボールネジ32にねじ込まれている。これにより、ボールネジ32の回転によって、上記ナット33がボールネジ32の軸方向に移動して、上記スライド板31が上記ボールネジ32の軸方向にスライドするようになっている。駆動モータ34は、上記ボールネジ32に連結されて、このボールネジ32を回転させる。
The ball screw 32 is a member for sliding the
検査装置1は、図3に示すように、移載装置40と共に、自動化ライン41の脇に設置される。具体的には、移載装置40が自動化ライン41に臨ませて設置され、検査装置1が移載装置40に臨ませて設置されている。
As shown in FIG. 3, the
検査装置1及び移載装置40は、要求される検査処理能力に応じて一組又は複数組設けられる。ここでは、三組設けられている。
One set or a plurality of sets of the
検査装置1は、自動化ライン41の検査部門として、自動化ライン41と連動して機能する装置である。このため、検査装置1は、移載装置40と共に自動化ライン41の制御系に接続されて、パネルPの製造システムが構成されている。システム全体の構成は、図4に示すように、CIM43に、ライン用制御装置44と、移載用制御装置45と、検査用制御装置46とが接続され、さらにライン用制御装置44に自動化ライン41が、移載用制御装置45に移載装置40が、検査用制御装置46に検査装置1がそれぞれ接続されている。
The
CIM43は、ライン用制御装置44、移載用制御装置45及び検査用制御装置46を制御して、システム全体を効率的に制御する統括制御装置である。さらに、CIM43は、ライン用制御装置44、移載用制御装置45及び検査用制御装置46のそれぞれと、相互に制御信号をやり取りしており、特定の制御装置からの制御信号に基づいて、他の制御装置を制御する機能も有する。
The
ライン用制御装置44は、自動化ライン41を制御する装置である。自動化ライン41は、自動制御されるコンベア、ロボット等を備えて構成された、パネルPの製造ラインである。ライン用制御装置44は、自動化ライン41のコンベア、ロボット等を制御する。
The
移載用制御装置45は、移載装置40を制御する装置である。移載装置40は、自動化ライン41上のパネルPを取り出して検査装置1に搬入すると共に、検査装置1から検査終了後のパネルPを取り出して自動化ライン41に戻すための装置である。移載装置40は、既存の移載装置すべてを用いることができる。
The
検査用制御装置46は、上記検査装置1を制御する装置である。検査用制御装置46は、検査装置1の制御処理機能と共に、後述する運転方法選択処理機能が格納されている。
The
運転切換えは、作業者によって手動で行われるものである。検査装置1には、操作パネル(図示せず)が設けられている。この操作パネルは、周知の装置であり、タッチパネル等にスイッチ類が設けられている。具体的には、運転モード切換えスイッチ、スタートスイッチ、検査結果入力スイッチ等が設けられている。運転モード切換えスイッチは、パネルPの検査装置1内への手動投入又は検査装置1からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構である。この運転モード切換えスイッチは、自動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード、手動投入・自動排出モード、手動投入・手動排出モードの4つの運転モードが設定され、適宜切り換えることができるようになっている。作業者は、これら4つの運転モードを適宜選択して、任意に切り換える。即ち、自動化ライン41から検査装置1を任意に切り離して、手動の検査装置として適宜使用することができるようになっている。
The operation switching is manually performed by an operator. The
[運転方法選択処理]
上記構成のシステムにおいて検査装置1での運転方法選択処理は、図5のようになる。
[Driving method selection process]
In the system configured as described above, the operation method selection process in the
作業者が検査装置1の運転モード切換えスイッチを操作して、上記4つの運転モードのいずれかを選択する。これにより、選択されたモードが自動投入か否かが判断される(ステップS1)。自動投入の場合は次のステップS2に進む。自動投入でない場合は後述するステップS5に進む。
An operator operates the operation mode changeover switch of the
ステップS2では、選択モードが自動排出か否かが判断される。この判断が自動排出の場合は、選択モードは自動投入・自動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップS3)。上記判断が自動排出でない場合は、自動投入・手動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップS4)。 In step S2, it is determined whether or not the selection mode is automatic discharge. When this determination is automatic discharge, it is determined that the selection mode is automatic input / automatic discharge mode, and the processing of the mode is performed (step S3). If the above determination is not automatic discharge, it is determined that the automatic discharge / manual discharge mode is selected, and the processing in that mode is performed (step S4).
一方、ステップS1で、自動投入でないと判断された場合は、自動排出か否かが判断される(ステップS5)。この判断が自動排出の場合は、手動投入・自動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップS6)。自動排出でない場合は、手動投入・手動排出モードと判断され、当該モードの処理が行われる(ステップS7)。 On the other hand, if it is determined in step S1 that the automatic discharge is not performed, it is determined whether or not the automatic discharge is performed (step S5). If this determination is automatic discharge, it is determined to be the manual input / automatic discharge mode, and the processing of the mode is performed (step S6). If it is not automatic discharge, it is determined to be the manual input / manual discharge mode, and the processing of the mode is performed (step S7).
上記自動投入・自動排出モードは、自動化ライン41と、検査装置1と、移載装置40とが連動して、自動的に自動化ライン41上のパネルPを取り出して検査し、検査終了後のパネルPを自動的に自動化ライン41に戻す自動運転モードである。この自動投入・自動排出モード(自動運転モード)では、図6に示すように、自動化ライン41上を流れているパネルPを移載装置40が取り出して、検査装置1内に自動投入する(ステップS11)。
In the automatic loading / unloading mode, the
検査装置1内では、受渡装置4が移載装置40からパネルPを受け取る。このとき、パネルPは受渡装置4のパネル受け機構部11に載置される。次いで、位置決め支持機構部12でパネルPの位置決め及び支持がなされる。この状態で、回転機構部13によって、上記パネル受け機構部11及び位置決め支持機構部12と共にパネルPが回転されて、パネルPの角度が調整される。
In the
次いで、傾斜機構部14で、上記パネル受け機構部11、位置決め支持機構部12及び回転機構部13と共にパネルPが回動されて設定角度に傾斜され、斜め位置に転回される(ステップS12)。
Next, the panel P is rotated together with the panel
さらに、昇降機構部15で、上記パネル受け機構部11、位置決め支持機構部12、回転機構部13及び傾斜機構部14と共にパネルPが、上方へ移動されて、搬送部2に受け渡される。
Further, the panel P is moved upward together with the panel
搬送部2では、その搬送アーム5がパネルPを受け取って正確にかつ確実に支持する。次いで、搬送装置6で搬送アーム5を検査部3側へ移動させて、パネルPを検査ステージ9に載置させる。
In the
検査部3では、検査ステージ9に支持されたパネルPとプローブユニット8との位置決めがなされる。具体的には、パネルPの端子とプローブユニット8のプローブ針とが整合するように位置決めされる。この状態で、互いに接触されて導通試験が行われる(ステップS13)。
In the
検査終了後は、搬送部2で検査ステージ9からパネルPが受け取られ、受渡装置4に戻される。
After completion of the inspection, the
受渡装置4では、上記同様にしてパネルPを位置決めして支持し、水平に戻して90度回転させ、移載装置40に受け渡す(ステップS14)。 In the delivery device 4, the panel P is positioned and supported in the same manner as described above, returned to the horizontal, rotated 90 degrees, and delivered to the transfer device 40 (step S14).
上記自動投入・手動排出モードは、自動化ライン41から取り出して検査したパネルPを手動で取り出す(排出する)運転モードである。自動投入・手動排出モードでは、図7に示すように、ステップS15〜S17は、図6のステップS11〜S13と同様である。即ち、検査装置1と移載装置40との連動がパネルPの搬入時だけになり、検査終了後の搬出時には移載装置40が休止されて、検査装置1が自動化ライン41から切り離される。
The automatic input / manual discharge mode is an operation mode in which the panel P taken out from the
次いで、検査装置1からパネルPが作業者によって手動で取り出される(ステップS18)。このとき、受渡装置4がパネルPを傾斜させて、斜め位置で支持する。これにより、作業者は容易にパネルPを取り出す(排出する)ことができる。作業終了後は、自動投入・自動排出モード(自動運転モード)に戻す。
Next, the panel P is manually removed from the
上記手動投入・自動排出モードは、抜き取り検査等のパネルPを検査装置1に手動で投入してそのまま自動化ライン41に戻す運転モードである。手動投入・自動排出モードでは、検査装置1及び移載装置40と、自動化ライン41との連動がパネルPの搬出時だけになり、搬入時には移載装置40を休止させる。
The manual input / automatic discharge mode is an operation mode in which the panel P for sampling inspection or the like is manually input to the
まず、検査装置1に作業者が手動でパネルPを投入する。具体的には、図8に示すように、作業者が検査装置1にパネルPを投入する(ステップS19)。このとき、検査装置1の受渡装置4は斜めに停止しているため、作業者はパネルPを斜めにして、容易にセットする(ステップS20)。次いで、パネルPが一旦水平にされ、回転され、ずれが調整されて位置決めされ、把持される(ステップS21)。次いで、パネルPが斜めに転回される(ステップS22)。
First, an operator manually inputs the panel P into the
次いで、検査装置1の搬送部2の搬送アーム5でパネルPが把持されて、検査部3に送られ、検査が行われる(ステップS23)。そして、検査が終了すると、パネルPは受渡装置4に戻され、移載装置40で自動的に排出される(ステップS24)。
Next, the panel P is gripped by the
手動投入・手動排出モードは、検査装置1を自動化ライン41から切り離して、ラインと関係なく全く別の手動検査に用いる運転モード、即ちマニュアルの検査装置として使用する運転モードである。手動投入・手動排出モードでは、図9に示すように、ステップS25〜S29は、図8のステップS19〜S23と同様である。即ち、図9に示すように、マニュアルの検査装置として、作業者が検査装置1にパネルPを投入する(ステップS25)。このとき、検査装置1の受渡装置4は斜めに停止しているため、作業者はパネルPを斜めに、容易にセットする(ステップS26)。次いで、パネルPが一旦水平にされ、回転され、ずれが調整されて位置決めされ、把持され(ステップS27)、パネルPが斜めに転回される(ステップS28)。
The manual input / manual discharge mode is an operation mode in which the
次いで、検査装置1の搬送部2の搬送アーム5でパネルPが把持されて、検査部3に送られ、検査が行われる(ステップS29)。そして、検査終了後のパネルPは、受渡装置4に戻され、傾斜した状態で停止される。この状態で、作業者によって手動でパネルPが排出される(ステップS30)。
Next, the panel P is gripped by the
以上のように、自動運転を行っている検査装置1の運転モード切換えスイッチを、作業者が操作して、上記4つの運転モードのいずれかを適宜選択することにより、自動運転モード又は手動運転モードに適宜切り換えることができる。即ち、自動運転を行っている検査装置1を、必要に応じて適宜マニュアル機として使用することができるようになる。
As described above, when the operator operates the operation mode changeover switch of the
これにより、自動化された製造ライン(自動化ライン41)に流せないパネルPを、必要な時に任意に検査することができる。検査したパネルPは、任意に、自動化ライン41に戻したり、手動で取り出したりすることができる。
Thereby, the panel P which cannot be flowed to the automated manufacturing line (automated line 41) can be arbitrarily inspected when necessary. The inspected panel P can optionally be returned to the
この結果、マニュアルの検査装置を必要とせず、自動化ライン41に連動した検査装置1を適宜マニュアルの検査装置として使用することで、コスト低減を図ることができる。
As a result, it is possible to reduce costs by using the
さらに、自動化ライン41に連動して動作している検査装置1を、必要に応じて適宜マニュアルの検査装置として使用することができるため、検査の効率化を図ることができる。
Furthermore, since the
また、手動投入、手動排出の際には、受渡装置4によってパネルPを設定角度に傾斜させて停止させるので、人手によるパネルPの検査装置1への手動投入、手動排出を確実なものとすることができる。これにより、手動での作業効率を向上させることができる。
In addition, since the panel P is tilted to a set angle by the delivery device 4 and stopped at the time of manual input and manual discharge, manual input and manual discharge of the panel P to the
また、手動投入の際に、受渡装置4のパネル受け機構部11が傾斜して、パネルPを設定角度に傾斜させて停止させるので、人手によるパネルの検査装置への手動投入を確実なものとすることができる。さらに、受渡装置4で受け取ったパネルPを一旦水平状態へ回動して当該パネルの位置決め及び把持を確実にして、再び傾斜させて検査部3へ渡すため、検査装置1内での搬送時のパネルPの落下を防止することができる。
In addition, since the
なお、上記実施形態では、運転モード切換えスイッチによって、自動投入・自動排出モード、手動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード、手動投入・手動排出モードの4つの運転モードを任意に切り換えることができるようにしたが、運転モード切換えスイッチを、上記3つの手動運転モードである、手動投入、手動排出又は手動投入及び手動排出の3つの手動運転モード(手動投入・自動排出モード、自動投入・手動排出モード及び手動投入・手動排出モード)のいずれか1又は2を備えて構成してもよい。即ち、必要とされるモードを適宜設けるようにしてよい。 In the above embodiment, the operation mode changeover switch arbitrarily switches the four operation modes of automatic charging / automatic discharging mode, manual charging / automatic discharging mode, automatic charging / manual discharging mode, and manual charging / manual discharging mode. However, the operation mode changeover switch can be switched to the three manual operation modes (manual input / automatic discharge mode, automatic input / Any one or two of a manual discharge mode and a manual input / manual discharge mode) may be provided. That is, a necessary mode may be provided as appropriate.
また、上記実施形態では、運転モード切換えスイッチによって、4つの運転モードを任意に切り換えることができるようにしたが、通常は自動運転モードに設定し、作業者が適宜手動運転モードを選択して作業が終了した後は、自動的に自動運転モードに戻るように設定してもよい。 In the above-described embodiment, the four operation modes can be arbitrarily switched by the operation mode changeover switch. However, the automatic operation mode is usually set, and the operator selects the manual operation mode as appropriate. After the operation is completed, the automatic operation mode may be automatically set back.
1:検査装置、2:搬送部、3:検査部、4:受渡装置、5:搬送アーム、6:搬送装置、8:プローブユニット、9:検査ステージ、11:パネル受け機構部、12:位置決め支持機構部、13:回転機構部、14:傾斜機構部、15:昇降機構部、18:支持棒、19:パネル受け、21:パネルクランプ、22:移動装置、23:バッファ機構、25:基板、26:支柱、27:回動支持軸、28:駆動モータ、29:減速ギア、30:固定板、31:スライド板、32:ボールネジ、33:ナット、34:駆動モータ、40:移載装置、41:自動化ライン、43:CIM、44:ライン用制御装置、45:移載用制御装置、46:検査用制御装置、P:パネル。 1: inspection device, 2: transport unit, 3: inspection unit, 4: delivery device, 5: transport arm, 6: transport device, 8: probe unit, 9: inspection stage, 11: panel receiving mechanism, 12: positioning Support mechanism part, 13: Rotation mechanism part, 14: Inclination mechanism part, 15: Lifting mechanism part, 18: Support bar, 19: Panel receiver, 21: Panel clamp, 22: Moving device, 23: Buffer mechanism, 25: Substrate , 26: support, 27: rotation support shaft, 28: drive motor, 29: reduction gear, 30: fixed plate, 31: slide plate, 32: ball screw, 33: nut, 34: drive motor, 40: transfer device 41: Automation line, 43: CIM, 44: Line control device, 45: Transfer control device, 46: Inspection control device, P: Panel.
Claims (5)
上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換える切換機構を備えたことを特徴とする検査装置。 In an inspection device that is arranged in parallel with an automated line and inspects the panel on the automated line by automatic operation in conjunction with the automated line,
An inspection apparatus comprising a switching mechanism for switching to manual operation for manual insertion of the panel into the apparatus or manual discharge from the apparatus.
上記切換機構が、手動投入、手動排出又は手動投入及び手動排出の3つの手動運転モードのいずれか1又は複数を備えたことを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1,
An inspection apparatus, wherein the switching mechanism includes one or more of three manual operation modes of manual charging, manual discharging, or manual charging and manual discharging.
上記パネルを受け渡す受渡装置を備え、
当該受渡装置が、上記パネルを受け取って支持するパネル受け機構部を備え、
上記手動投入又は手動排出の際に、上記パネル受け機構部を傾斜させて停止させることを特徴とする検査装置。 The inspection apparatus according to claim 1 or 2,
It has a delivery device that delivers the panel,
The delivery device includes a panel receiving mechanism for receiving and supporting the panel,
An inspection apparatus characterized in that the panel receiving mechanism is tilted and stopped at the time of manual input or manual discharge.
切換機構が、Switching mechanism is
上記パネルの装置内への手動投入又は装置からの手動排出のために手動運転に切り換え、Switch to manual operation for manual input into the device or manual discharge from the device,
上記自動化ラインから切り離すDisconnect from the above automation line
ことを特徴とする検査方法。Inspection method characterized by that.
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