JP5525071B2

JP5525071B2 - Multi-axis positioning device

Info

Publication number: JP5525071B2
Application number: JP2013006944A
Authority: JP
Inventors: 顕真本田; 卓岩出
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2013-01-18
Filing date: 2013-01-18
Publication date: 2014-06-18
Anticipated expiration: 2028-03-21
Also published as: JP2013136147A

Description

本発明は、多軸の駆動機構を用いる位置決め装置に関し、特に、装置を頻繁に洗浄することが要求される食品や薬品等を製造するために多軸の駆動機構を用いて高精度の位置決めを達成する位置決め装置に関する。
また、Ｘ軸部材が下部に位置し、Ｙ軸部材が上部に位置する構成も提案されていた。 The present invention relates to a positioning device that uses a multi-axis drive mechanism, and in particular, performs high-precision positioning using a multi-axis drive mechanism in order to produce foods, chemicals, and the like that require frequent cleaning of the device. It relates to a positioning device to be achieved.
Also, a configuration has been proposed in which the X-axis member is located at the lower part and the Y-axis member is located at the upper part.

従来から、処理対象物の位置決めを行うための多軸位置決め装置が種々の用途で利用されていた。 Conventionally, a multi-axis positioning device for positioning a processing object has been used in various applications.

具体的には、図２に示すように、Ｘ軸方向に往復駆動されるＸ軸部材１０１により支持され、かつＹ軸方向（Ｘ軸と直交する方向）に往復駆動されるＹ軸部材１０２の上面に、回転駆動されるθ軸部材１０３を設け、このθ軸部材１０３により、位置決め対象である処理対象物１０４を支持する支持テーブル１０５を支持し、さらに、θ軸部材１０３よりも上方に、Ｚ軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向と直交する方向）に往復駆動されるＺ軸部材１０６により支持され、かつ処理対象物１０４に対して所定の処理を施す処理部材１０７を設けている。そして、Ｘ軸部材１０１、Ｙ軸部材１０２、θ軸部材１０３を制御することによって、処理対象物１０４の位置決めを達成するようにしていた。（特許文献１参照）。 Specifically, as shown in FIG. 2, the Y-axis member 102 is supported by an X-axis member 101 that is reciprocated in the X-axis direction and is reciprocated in the Y-axis direction (a direction orthogonal to the X-axis). A θ-axis member 103 that is rotationally driven is provided on the upper surface, and this θ-axis member 103 supports a support table 105 that supports a processing object 104 that is a positioning target, and further above the θ-axis member 103. A processing member 107 is provided that is supported by a Z-axis member 106 that is reciprocally driven in the Z-axis direction (directions orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction) and that performs a predetermined process on the processing object 104. The positioning of the processing object 104 is achieved by controlling the X-axis member 101, the Y-axis member 102, and the θ-axis member 103. (See Patent Document 1).

特開２００１−３０８５９７号公報JP 2001-308597 A

特許文献１に記載されたような多軸位置決め装置が食品や医薬品等の製造装置に適用される場合は、安全衛生上の問題から支持テーブル１０５や食品や医薬品等の付着する可能性のある部分等の洗浄が必須要件とされている。そして、洗浄には、主に「水道水」、必要に応じ「洗剤入の水道水」、除菌をねらいとした「無水アルコール」等を使用する。
しかし、支持テーブル１０５などを洗浄すると、例えば、図２に示す構成では、Ｘ軸部材１０１、Ｙ軸部材１０２の駆動機構部分が支持テーブル１０５の下方に位置する関係上、上記した洗浄のための液体の飛沫が駆動部や摺動案内部などの異種部材の当接部位に付着するなどによって金属表面に腐食などを引き起こし摩擦が増加するなどして、これらの駆動機構に故障を生じさせてしまうという不都合がある。 When a multi-axis positioning device as described in Patent Document 1 is applied to a manufacturing apparatus for foods, medicines, etc., there is a possibility that the support table 105 or foods, medicines, etc. may adhere due to safety and health problems Such cleaning is an essential requirement. For cleaning, mainly “tap water”, “tap water with detergent” as required, “anhydrous alcohol” aimed at sterilization, and the like are used.
However, when the support table 105 or the like is cleaned, for example, in the configuration shown in FIG. 2, the drive mechanism portions of the X-axis member 101 and the Y-axis member 102 are positioned below the support table 105, so Liquid droplets adhere to the contact parts of different types of members such as the drive unit and sliding guide unit, causing corrosion and the like on the metal surface, resulting in increased friction and causing failure of these drive mechanisms. There is an inconvenience.

このような不都合の発生を防止する為、極端な場合には、例えば、支持テーブル、多軸駆動機構を取り外して、多軸駆動機構以外の部分を洗浄し、洗浄後に再び支持テーブル、多軸駆動機構を取り付けることが考えられる。
しかし、この場合には、洗浄自体に時間を要するとともに、高精度の位置決めを必要とされることから再度の取り付けに際し、多大なる労力と時間が必要となる。また、再度の取り付けに際し、パーティクル（例えば、主に金属摩擦により部材から剥離し移動或いは浮遊するなどの金属粉や、装置の設置環境にもよるが、空気中にある浮遊する繊維や無機物、或いは金属などの浮遊塵）が発生し、十分な洗浄効果を達成することができない。さらに、そのときに発生したパーティクルが食品、医薬品等の製造時において製品に混入してしまう不都合がある。
したがって、食品や医薬品等の製造装置などのように洗浄を行うことが必須とされる用途には、特許文献１に記載されたような多軸位置決め装置を適用することができない。 To prevent such inconvenience, in extreme cases, for example, the support table and the multi-axis drive mechanism are removed, and the parts other than the multi-axis drive mechanism are cleaned, and after the cleaning, the support table and the multi-axis drive are again performed. It is conceivable to install a mechanism.
However, in this case, it takes time for cleaning itself, and high-precision positioning is required, so much labor and time are required for re-installation. In addition, during re-installation, particles (for example, metal powder such as peeling or moving or floating mainly due to metal friction, floating fibers or inorganics in the air depending on the installation environment of the device, or Sufficient cleaning effect cannot be achieved because of floating dust such as metal. Furthermore, there is a disadvantage that the particles generated at that time are mixed into the product during the production of foods, pharmaceuticals and the like.
Therefore, a multi-axis positioning device as described in Patent Document 1 cannot be applied to uses in which cleaning is essential, such as a manufacturing apparatus for foods and pharmaceuticals.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、多軸位置決め機構に洗浄液による影響を及ぼすことなく、位置決め対象である処理対象物を支持するテーブルなどの洗浄を達成することができるとともに駆動摺動部で発生するパーティクルの食品や医薬品等への付着を防止することができる多軸位置決め装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and can achieve cleaning of a table or the like that supports a processing object to be positioned without affecting the multi-axis positioning mechanism by the cleaning liquid. In addition, an object of the present invention is to provide a multi-axis positioning device capable of preventing adhesion of particles generated at the drive sliding portion to food or medicine.

本発明の多軸位置決め装置は、処理対象物を支持する支持テーブルと、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有するものであって、
前記多軸駆動機構は、少なくとも１つの直動機構を有し、該直動機構の移動範囲と前記支持テーブルの移動範囲とが、隔壁により分離され、各前記直動機構は、各前記直動機構に対応して前記隔壁に設けられた開口部（２８）（２９）よりも上部に配置され、少なくとも前記直動機構と前記支持テーブルとを動作させて前記所定の処理を行う間は、前記隔壁で分離された領域のうち、前記直動機構の移動範囲を有する側の気圧は、前記支持テーブルの移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっていることを特徴とするものである。
The multi-axis positioning apparatus of the present invention includes a multi-axis drive mechanism that moves a support table that supports a processing object and a processing mechanism that performs a predetermined process on the processing object relative to each other. And
The multi-axis drive mechanism has at least one linear movement mechanism, and a movement range of the linear movement mechanism and a movement range of the support table are separated by a partition, and each of the linear movement mechanisms is separated from the linear movement mechanism. At least while the predetermined processing is performed by operating the linear motion mechanism and the support table, it is disposed above the openings (28) and (29) provided in the partition corresponding to the mechanism. Among the areas separated by the partition walls, the pressure on the side having the movement range of the linear motion mechanism is negative with respect to the pressure on the side having the movement range of the support table. is there.

この多軸位置決め装置であれば、該直動機構の移動範囲と前記支持テーブルの移動範囲とが、隔壁により分離されているので、前記支持テーブルの移動範囲において上方から洗浄液を供給した場合に、洗浄液が直動機構に浸入してしまうという不都合の発生を未然に防止し、処理対象物を保持する支持テーブルを洗浄することができる。また、支持テーブルの移動範囲、即ち支持テーブルを収容している空間の内壁も洗浄することができる。 If this multi-axis positioning device, the movement range of the linear motion mechanism and the movement range of the support table are separated by a partition wall, so when cleaning liquid is supplied from above in the movement range of the support table, It is possible to prevent the inconvenience that the cleaning liquid enters the linear motion mechanism, and to clean the support table that holds the object to be processed. Further, the moving range of the support table, that is, the inner wall of the space accommodating the support table can be cleaned.

さらに、少なくとも直動機構と支持テーブルとを動作させて所定の処理を行う間は、隔壁で分離された領域のうち、直動機構の移動範囲を有する側の気圧は、支持テーブルの移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっているので、直動機構の駆動摺動部で摺動により発生するパーティクルが処理対象物に付着すること防止することができる。
ここで、前記直動機構の少なくとも１つは、前記支持テーブルよりも上方に配置されていることが好ましく、簡単に、かつコンパクトに直動機構を配置することが可能となる。 Further, at least during the predetermined processing by operating the linear motion mechanism and the support table, the atmospheric pressure on the side having the movement range of the linear motion mechanism in the region separated by the partition wall is limited to the movement range of the support table. Since the pressure is negative with respect to the air pressure on the side having the same, it is possible to prevent particles generated by sliding at the drive sliding portion of the linear motion mechanism from adhering to the object to be processed.
Here, at least one of the linear motion mechanisms is preferably disposed above the support table, so that the linear motion mechanism can be easily and compactly disposed.

また、前記多軸駆動機構は、少なくとも１つの回転軸機構を有し、該回転軸機構の上部は前記支持テーブルにより覆われていることが好ましく、回転軸機構のために専用のカバー部材を設ける必要がなく、構成を簡単化することができる。 The multi-axis drive mechanism preferably includes at least one rotating shaft mechanism, and the upper portion of the rotating shaft mechanism is preferably covered with the support table, and a dedicated cover member is provided for the rotating shaft mechanism. There is no need, and the configuration can be simplified.

さらに、前記処理機構は、凹凸の少ない平面を主体としたカバーを有し、直動機構により移動される移動部材に対して、ブロックとして（カバーと共に一体として）取り外し可能に装着されていることが好ましく、支持テーブルの移動範囲および支持テーブルを収容している空間の内壁の洗浄時において、処理機構が洗浄液の影響を受けない状態にして、残余の部分を簡単に洗浄することができる。また、ブロックとして取り外し可能に装着されているので、処理の切り替え時において予め用意された処理機構部と取り替えることにより、処理の切り替えのための所要時間を短縮することができる。さらに、処理機構部自身を洗浄する必要のある時には、処理機構をブロックとして取り外し、別の洗浄環境で容易に洗浄することができる。 Furthermore, the processing mechanism has a cover mainly composed of a flat surface with little unevenness, and is detachably mounted as a block (integrated with the cover) on a moving member that is moved by the linear motion mechanism. Preferably, when cleaning the moving range of the support table and the inner wall of the space accommodating the support table, the remaining portion can be easily cleaned while the processing mechanism is not affected by the cleaning liquid. Further, since it is detachably mounted as a block, the time required for the process switching can be shortened by replacing the processing mechanism part prepared in advance at the time of the process switching. Further, when it is necessary to clean the processing mechanism unit itself, the processing mechanism can be removed as a block and easily cleaned in another cleaning environment.

本発明の多軸位置決め装置は、上方から洗浄液を供給した場合に、洗浄液が直動機構に浸入してしまうという不都合の発生を未然に防止し、処理対象物を保持する支持テーブルを洗浄することができるという特有の効果を奏する。 The multi-axis positioning device of the present invention prevents the inconvenience that the cleaning liquid enters the linear motion mechanism when the cleaning liquid is supplied from above, and cleans the support table that holds the object to be processed. There is a unique effect of being able to.

本発明の多軸位置決め装置の一実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows one Embodiment of the multi-axis positioning apparatus of this invention. 従来の多軸位置決め装置を示す図である。It is a figure which shows the conventional multi-axis positioning apparatus. 移動を許容する開口部のカバーの一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the cover of the opening part which accept | permits a movement. ユニットの取り付け、取り外し機構を示す概略図である。It is the schematic which shows the attachment and removal mechanism of a unit. 本発明の多軸位置決め装置の他の実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows other embodiment of the multi-axis positioning apparatus of this invention. 本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows other embodiment of the multi-axis positioning apparatus of this invention. 本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows other embodiment of the multi-axis positioning apparatus of this invention.

以下、添付図面を参照して、本発明の多軸位置決め装置の実施の形態を詳細に説明する。
実施形態１
図１は本発明の多軸位置決め装置の一実施形態を示す概略斜視図である。 Embodiments of a multi-axis positioning apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
Embodiment 1
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the multi-axis positioning apparatus of the present invention.

本多軸位置決め装置は、基台１の奥部においてＸ軸方向（図中において左右方向）に延びるＸ軸直動機構２と、基台１の左右の端縁部の上方においてＹ軸方向（Ｘ軸と直交する水平方向）に延びる１対のＹ軸直動機構３と、前記Ｘ軸直動機構２によりＸ軸方向に移動される片持ち式のＸ軸支持部材２１と、該Ｘ軸支持部材２１の先端部上部に設けられた回転軸機構４と、該回転軸機構４を覆うようにその上部に設けられた支持テーブル５と、前記１対のＹ軸直動機構３によりＹ軸方向に移動されるＹ軸支持部材３１と、該Ｙ軸支持部材３１の一方の側面の所定位置に設けられたアライメントユニット３２、検査ユニット３３、および３つの塗布ユニット３４、３５、３６と、前記Ｘ軸支持部材２１の移動を許容するための領域を除いて前記Ｘ軸直動機構２の上方および側方を覆うＸ軸用カバー部材８と、前記Ｙ軸支持部材３１の移動を許容するための領域を除いて各Ｙ軸直動機構３の上方および側方を覆うＹ軸用カバー部材９と、前記Ｘ軸支持部材２１、前記Ｙ軸支持部材３１の移動可能領域を覆う領域カバー部材６とを有している。また前記アライメントユニット３２、検査ユニット３３、塗布ユニット３４、３５、３６のそれぞれは凹凸が少ない平面を主体としたカバーを有していることが好ましい。それによって、洗浄及び拭き取りなどが一層容易となる。 This multi-axis positioning device includes an X-axis linear motion mechanism 2 extending in the X-axis direction (left-right direction in the figure) at the back of the base 1, and a Y-axis direction (above the left and right edge portions of the base 1) ( A pair of Y-axis linear motion mechanisms 3 extending in the horizontal direction perpendicular to the X-axis), a cantilevered X-axis support member 21 moved in the X-axis direction by the X-axis linear motion mechanism 2, and the X-axis A rotary shaft mechanism 4 provided at the upper end of the support member 21, a support table 5 provided at the upper portion so as to cover the rotary shaft mechanism 4, and the pair of Y-axis linear motion mechanisms 3 provide a Y-axis. A Y-axis support member 31 moved in the direction, an alignment unit 32 provided at a predetermined position on one side surface of the Y-axis support member 31, an inspection unit 33, and three coating units 34, 35, 36, Except for the region for allowing the movement of the X-axis support member 21, the X Except for the X-axis cover member 8 that covers the top and sides of the linear motion mechanism 2 and the region for allowing the movement of the Y-axis support member 31, the top and sides of each Y-axis linear motion mechanism 3 are covered. A Y-axis cover member 9 and an area cover member 6 that covers a movable area of the X-axis support member 21 and the Y-axis support member 31 are provided. Each of the alignment unit 32, the inspection unit 33, and the coating units 34, 35, and 36 preferably has a cover mainly composed of a flat surface with little unevenness. Thereby, cleaning and wiping are further facilitated.

前記直動機構２、３の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とを分離・隔離する隔壁２２、２３は、Ｘ軸、Ｙ軸の各々に対応して設けられており、各々の隔壁が互いに連結されている。 Partitions 22 and 23 that separate and isolate the movement range of the linear motion mechanisms 2 and 3 and the movement range of the support table 5 are provided corresponding to the X axis and the Y axis, respectively. Are connected to each other.

前記隔壁２２．２３は凹凸が少ない平面を主体とするものであることが好ましい。それによって、洗浄及び拭き取りなどが容易となる。 It is preferable that the partition wall 22.23 is mainly composed of a flat surface with less unevenness. This facilitates cleaning and wiping.

前記Ｘ軸直動機構２の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とを分離・隔離するＸ軸隔壁２２はＸ軸用カバー部材８の側面部であり、Ｘ軸隔壁２２には前記Ｘ軸支持部材２１の移動を許容するためのＸ軸開口部２８が設けられている。 An X-axis partition wall 22 that separates and isolates the movement range of the X-axis linear motion mechanism 2 and the movement range of the support table 5 is a side surface portion of the X-axis cover member 8. An X-axis opening 28 for allowing movement of the support member 21 is provided.

同様に、Ｙ軸直動機構３の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とを分離・隔離するＹ軸隔壁２３はＹ軸用カバー部材９の互いに対向する側面部であり、Ｙ軸隔壁２３には前記Ｙ軸支持部材３１の移動を許容するためのＹ軸開口部２９が設けられている。 Similarly, the Y-axis partition wall 23 that separates and isolates the movement range of the Y-axis linear motion mechanism 3 and the movement range of the support table 5 is a side surface portion of the Y-axis cover member 9 that faces each other. Is provided with a Y-axis opening 29 for allowing movement of the Y-axis support member 31.

また、前記領域カバー部材６は、上扉および前扉を有することが好ましい。
前記アライメントユニット３２は、前記支持テーブル５に支持されている処理対象物のアライメントを達成するためのカメラ（図示せず）を有している。もちろん、このカメラからの画像信号を受け取ってアライメントのための所定の画像処理を行う第１画像処理装置（図示せず）を設けている。 The area cover member 6 preferably has an upper door and a front door.
The alignment unit 32 has a camera (not shown) for achieving alignment of the processing object supported by the support table 5. Of course, a first image processing device (not shown) is provided that receives an image signal from the camera and performs predetermined image processing for alignment.

前記検査ユニット３３は、前記支持テーブル５に支持されている処理対象物の検査を達成するためのカメラ（図示せず）を有している。もちろん、このカメラからの画像信号を受け取って検査のための所定の画像処理を行う第２画像処理装置（図示せず）を設けている。
前記第１画像処理装置と第２画像処理装置は、それぞれ別個に設けられていてもよいが、１つの画像処理装置により対応する処理を行うように構成されていてもよい。 The inspection unit 33 has a camera (not shown) for achieving inspection of the processing object supported by the support table 5. Of course, a second image processing device (not shown) is provided that receives an image signal from the camera and performs predetermined image processing for inspection.
The first image processing device and the second image processing device may be provided separately, but may be configured to perform corresponding processing by one image processing device.

前記３つの塗布ユニット３４、３５、３６は、処理対象物上に液滴を供給するための液滴供給機構（図示せず）を有している。ここで、液滴供給機構としては、インクジェットヘッドが例示できる。もちろん、前記３つの塗布ユニット３４、３５、３６を制御するための制御装置（図示せず）を設けている。
前記支持テーブル５は、処理対象物を吸着保持するための多数の吸着用孔を有しているものであることが好ましい。 The three coating units 34, 35, and 36 have a droplet supply mechanism (not shown) for supplying droplets onto the object to be processed. Here, as the droplet supply mechanism, an inkjet head can be exemplified. Of course, a control device (not shown) for controlling the three coating units 34, 35 and 36 is provided.
The support table 5 preferably has a number of suction holes for sucking and holding the object to be processed.

そして、必要に応じて、前記Ｘ軸隔壁２２、Ｘ軸用カバー部材８の内部、前記Ｙ軸隔壁２３、Ｙ軸用カバー部材９の内部を負圧にする負圧設定部材（図示せず）を設けることが好ましい。
また、図示していないが、処理対象物の位置決めを達成するために前記Ｘ軸直動機構２、前記Ｙ軸直動機構３および前記回転軸機構４を制御する駆動機構制御装置を設けている。 And, if necessary, a negative pressure setting member (not shown) that makes the inside of the X-axis partition wall 22 and the X-axis cover member 8 and the inside of the Y-axis partition wall 23 and the Y-axis cover member 9 negative pressure. Is preferably provided.
Although not shown, a drive mechanism control device is provided for controlling the X-axis linear motion mechanism 2, the Y-axis linear motion mechanism 3, and the rotary shaft mechanism 4 in order to achieve the positioning of the processing object. .

以上において、また以下において、直動機構、回転軸機構、画像処理装置、駆動機構制御装置の構成は従来公知であるから、詳細な説明を省略する。
上記の構成の多軸位置決め装置の作用は次のとおりである。 In the above and below, since the configurations of the linear motion mechanism, the rotary shaft mechanism, the image processing apparatus, and the drive mechanism control apparatus are conventionally known, detailed description thereof is omitted.
The operation of the multi-axis positioning device having the above-described configuration is as follows.

先ず、領域カバー部材６を開いて、処理対象物を支持テーブル５上に支持させ、領域カバー部材６を閉じて、処理対象物を収容した空間を外部空間から隔離する。
次いで、駆動機構制御装置によって前記Ｘ軸直動機構２、前記Ｙ軸直動機構３および前記回転軸機構４を制御し、前記アライメントユニット３２によって、前記支持テーブル５に支持されている処理対象物のアライメントを達成する。
その後、駆動機構制御装置によって前記Ｘ軸直動機構２および前記Ｙ軸直動機構３を制御し、処理対象物の位置決めを達成する。 First, the area cover member 6 is opened, the processing object is supported on the support table 5, the area cover member 6 is closed, and the space containing the processing object is isolated from the external space.
Next, the X-axis linear motion mechanism 2, the Y-axis linear motion mechanism 3, and the rotary shaft mechanism 4 are controlled by the drive mechanism control device, and the processing object supported on the support table 5 by the alignment unit 32. Achieve alignment.
Thereafter, the X-axis linear motion mechanism 2 and the Y-axis linear motion mechanism 3 are controlled by the drive mechanism control device to achieve positioning of the processing object.

この状態において、制御装置によって、前記３つの塗布ユニット３４、３５、３６を制御し、処理対象物の所定位置に、第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層を積層状態で形成することができる。ここで、第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層としては、任意のものを採用することができるが、医療用途に適用する場合には、例えば、腸で溶解する材料を含む液滴層、薬剤を含む液滴層、薬剤の漏出を阻止するブロック材料を含む液滴層が例示できる。なお、第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層は乾燥される。 In this state, the three coating units 34, 35, and 36 are controlled by the control device, and the first droplet layer, the second droplet layer, and the third droplet layer are laminated at predetermined positions of the processing object. Can be formed. Here, any of the first droplet layer, the second droplet layer, and the third droplet layer can be adopted. However, when applied to medical applications, for example, a material that dissolves in the intestine. A droplet layer containing, a droplet layer containing a drug, and a droplet layer containing a block material that prevents leakage of the drug. The first droplet layer, the second droplet layer, and the third droplet layer are dried.

各液滴層を形成した後、駆動機構制御装置によって前記Ｘ軸直動機構２および前記Ｙ軸直動機構３を制御し、前記検査ユニット３３によって、処理対象物上に積層状態で形成された第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層を検査することができる。
そして、処理対象物の位置決め、前記３つの塗布ユニット３４、３５、３６の制御、前記検査ユニット３３による検査を反復することによって、処理対象物上に、積層状態の第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層を複数個形成することができる。 After each droplet layer is formed, the X-axis linear motion mechanism 2 and the Y-axis linear motion mechanism 3 are controlled by the drive mechanism control device, and the inspection unit 33 is formed in a stacked state on the processing object. The first droplet layer, the second droplet layer, and the third droplet layer can be inspected.
Then, by repeating the positioning of the processing object, the control of the three coating units 34, 35 and 36, and the inspection by the inspection unit 33, the first droplet layer and the second layer in the stacked state are repeatedly formed on the processing object. A plurality of droplet layers and third droplet layers can be formed.

そして、これらの一連の処理を行う間、負圧設定部材によって前記Ｘ軸隔壁２２の内部、前記Ｙ軸隔壁２３の内部、Ｘ軸用カバー部材８及びＹ軸用カバー部材９の内部を負圧に設定しているので、前記Ｘ軸直動機構２、各Ｙ軸直動機構３においてパーティクルが発生しても、処理対象物を収容する空間にパーティクルが侵入するおそれは著しく少ない。 During the series of processes, the negative pressure setting member causes negative pressure inside the X-axis partition wall 22, the Y-axis partition wall 23, the X-axis cover member 8, and the Y-axis cover member 9. Therefore, even if particles are generated in the X-axis linear motion mechanism 2 and the Y-axis linear motion mechanisms 3, the possibility that the particles enter the space for accommodating the processing object is extremely small.

その後、領域カバー部材６を開いて積層状態の第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層が複数個形成された処理対象物を搬出し、新たな処理対象物を支持テーブル５に吸着保持させ、上記の一連の処理を行うことによって、新たな処理対象物上に、積層状態の第１液滴層、第２液滴層、第３液滴層を複数個形成することができる。 Thereafter, the area cover member 6 is opened, and the processing object on which a plurality of stacked first, second, and third droplet layers are formed is unloaded, and the new processing object is supported on the support table. 5 to form a plurality of stacked first, second, and third droplet layers on a new object to be processed by performing the above-described series of processes. Can do.

上記の一連の処理を所定回数だけ行うことによって、負圧設定部材が動作しない期間が存在することなどに起因して、処理対象物を収容する空間にパーティクルが発生し、新たな処理対象物に付着するおそれが生じてしまう。
処理対象物に対する処理の種類によっては、このようなパーティクルの発生はさほど問題にならないかもしれないが、処理対象物に対する処理が医療用途、食品用途などの処理である場合には、このようなパーティクルの発生が致命的な問題になってしまう。 By performing the above-described series of processes only a predetermined number of times, particles are generated in the space for accommodating the processing object due to the existence of a period during which the negative pressure setting member does not operate, and a new processing object is created. There is a risk of adhesion.
Depending on the type of treatment for the processing target, the generation of such particles may not be a problem. However, if the processing for the processing target is processing for medical use, food use, etc., such particles Occurrence becomes a fatal problem.

しかし、本多軸位置決め装置においては、Ｘ軸直動機構２の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とを分離・隔離するＸ軸隔壁２２を有するＸ軸用カバー部材８と、Ｙ軸直動機構３の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とを分離・隔離するＹ軸隔壁２３を有するＹ軸用カバー部材９と、回転軸機構４の上部に設けられた支持テーブル５を有しているので、領域カバー部材６を開き、この状態において、支持テーブル５の上部から水などの洗浄液を供給すればよく、処理対象物を収容し、かつ支持テーブル５により移動される範囲の空間の全範囲を簡単に洗浄することができる。 However, in the present multi-axis positioning device, the X-axis cover member 8 having the X-axis partition wall 22 that separates and isolates the movement range of the X-axis linear movement mechanism 2 and the movement range of the support table 5, A Y-axis cover member 9 having a Y-axis partition wall 23 that separates and isolates the moving range of the moving mechanism 3 and the moving range of the support table 5; and the support table 5 provided on the upper portion of the rotating shaft mechanism 4. Therefore, the area cover member 6 is opened, and in this state, a cleaning liquid such as water may be supplied from the upper part of the support table 5, and the space in the range in which the object to be processed is accommodated and moved by the support table 5 can be obtained. The entire range can be easily cleaned.

また、前記Ｘ軸隔壁２２およびＹ軸隔壁２３で分離された前記支持テーブル５の移動範囲の下部には、何も配置せず、支持テーブル５の下部を集水パンとしたことで、洗浄廃液を効率よく集液できる。
したがって、洗浄後は、パーティクルが存在しない状態で処理対象物に対する処理を達成することができる。 Further, nothing is disposed below the moving range of the support table 5 separated by the X-axis partition wall 22 and the Y-axis partition wall 23, and the lower part of the support table 5 is a water collecting pan, so that the cleaning waste liquid Can be collected efficiently.
Therefore, after cleaning, it is possible to achieve processing on the processing object in a state where no particles exist.

また、Ｘ軸隔壁２２、Ｙ軸隔壁２３に設けられた、Ｘ軸支持部材２１、Ｙ軸支持部材３１の移動を許容するためのＸ軸開口部２８、Ｙ軸開口部２９には、図３に示す如く支持部材にステンレス薄板等の屈曲性のある部材により、Ｘ軸支持部材２１、Ｙ軸支持部材３１の移動時にＸ軸開口部２８、Ｙ軸開口部２９を塞ぐ機構４１（Ｙ軸開口部は図示せず）を設け、Ｘ軸支持部材２１、Ｙ軸支持部材３１の移動範囲空間を準密閉状態にすることが好ましい。前記機構４１は、例えば、支持部２１、３１の間に挟みこんで開口部を塞ぐものであればよい。
さらに、駆動摺動部を前記開口部より上部に配置する方が洗浄液のつたいを防止できるので、なお好ましい。
また、本多軸位置決め装置において負圧設定部材を省略することが可能であり、この場合には、簡単に洗浄できることの利点を最大限に享受することができる。 Further, an X-axis opening 28 and a Y-axis opening 29 for allowing movement of the X-axis support member 21 and the Y-axis support member 31 provided in the X-axis partition wall 22 and the Y-axis partition wall 23 are shown in FIG. The mechanism 41 (Y-axis opening) closes the X-axis opening 28 and the Y-axis opening 29 when the X-axis support member 21 and the Y-axis support member 31 are moved by a flexible member such as a stainless thin plate as the support member as shown in FIG. It is preferable that the movement range space of the X-axis support member 21 and the Y-axis support member 31 be in a semi-sealed state. The mechanism 41 may be any mechanism as long as it is sandwiched between the support portions 21 and 31 to close the opening.
Furthermore, it is more preferable to dispose the drive sliding portion above the opening because it can prevent the cleaning liquid from being deposited.
Further, the negative pressure setting member can be omitted in the present multi-axis positioning device, and in this case, the advantage of being able to be easily cleaned can be fully enjoyed.

また、前記アライメントユニット３２、検査ユニット３３、および３つの塗布ユニット３４、３５、３６をカバーと共に取り外し可能なように装着しておくことが好ましく、これらのユニットを取り外した状態での洗浄を達成することができる。各ユニットは図４のように、ユニット位置決めピン３８及びユニット固定フック３９によって固定されており、着脱の際にはユニット固定フック３９を外すことで各ユニットをカバーと共に容易に取り外すことができる。また、ユニットへの電源供給及び制御信号は、集約されたコネクタ４０にて容易に着脱することができる。
実施形態２
図５は本発明の多軸位置決め装置の他の実施形態の主要部のみを示す概略斜視図である。なお、図５は、軸構成を分かり易く説明するものであるため、各軸直動機構を覆うためのカバー部材、および領域カバー部材の図示を省略している。 The alignment unit 32, the inspection unit 33, and the three coating units 34, 35, and 36 are preferably mounted so as to be removable together with the cover, and the cleaning with these units removed is achieved. be able to. As shown in FIG. 4, each unit is fixed by a unit positioning pin 38 and a unit fixing hook 39, and each unit can be easily removed together with the cover by removing the unit fixing hook 39 when attaching or detaching. Further, the power supply to the unit and the control signal can be easily attached and detached by the integrated connector 40.
Embodiment 2
FIG. 5 is a schematic perspective view showing only the main part of another embodiment of the multi-axis positioning apparatus of the present invention. In addition, since FIG. 5 explains the shaft configuration in an easy-to-understand manner, illustration of a cover member and a region cover member for covering each shaft linear motion mechanism is omitted.

この多軸位置決め装置は、基台１の奥部の上方においてＸ軸方向（図中において左右方向）に延びるＸ軸直動機構２と、基台１の左右の端縁部の上方においてＹ軸方向（Ｘ軸と直交する水平方向）に延びる１対のＹ軸直動機構３と、前記Ｘ軸直動機構２によりＸ軸方向に移動される片持ち式のＸ軸支持部材２１と、前記１対のＹ軸直動機構３によりＹ軸方向に移動されるＹ軸支持部材３１と、該Ｙ軸支持部材３１の中央部上部に設けられた回転軸機構４と、該回転軸機構４を覆うようにその上部に設けられた支持テーブル５と、前記Ｘ軸支持部材２１の一方の側面の所定位置に設けられたアライメントユニット３２、検査ユニット３３、および３つの塗布ユニット３４、３５、３６を有している。 This multi-axis positioning device includes an X-axis linear motion mechanism 2 extending in the X-axis direction (left and right in the figure) above the back of the base 1 and a Y-axis above the left and right end edges of the base 1. A pair of Y-axis linear motion mechanisms 3 extending in a direction (horizontal direction orthogonal to the X-axis), a cantilevered X-axis support member 21 moved in the X-axis direction by the X-axis linear motion mechanism 2, A Y-axis support member 31 that is moved in the Y-axis direction by a pair of Y-axis linear motion mechanisms 3, a rotary shaft mechanism 4 provided at the upper center of the Y-axis support member 31, and the rotary shaft mechanism 4 A support table 5 provided on the upper portion thereof so as to cover, an alignment unit 32 provided at a predetermined position on one side surface of the X-axis support member 21, an inspection unit 33, and three coating units 34, 35, 36. Have.

したがって、本多軸位置決め装置においても、Ｘ軸直動機構２、Ｙ軸直動機構３の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とが、Ｘ軸隔壁２２、Ｙ軸隔壁２３により分離されているので、領域カバー部材（図示せず）を開き、この状態において、支持テーブル５の上部から水などの洗浄液を供給することによって、処理対象物を収容する空間の全範囲を簡単に洗浄することができる。
実施形態３
図６は本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態の主要部のみを示す概略斜視図である。なお、図６は、軸構成を分かり易く説明するものであるため、各軸直動機構を覆うためのカバー部材、および領域カバー部材の図示を省略している。 Therefore, also in this multi-axis positioning device, the movement range of the X-axis linear movement mechanism 2 and the Y-axis linear movement mechanism 3 and the movement range of the support table 5 are separated by the X-axis partition wall 22 and the Y-axis partition wall 23. Since the area cover member (not shown) is opened and the cleaning liquid such as water is supplied from the upper part of the support table 5 in this state, the entire range of the space for accommodating the processing object can be easily cleaned. Can do.
Embodiment 3
FIG. 6 is a schematic perspective view showing only the main part of still another embodiment of the multi-axis positioning apparatus of the present invention. Note that FIG. 6 illustrates the shaft configuration in an easy-to-understand manner, and therefore, illustration of a cover member and a region cover member for covering each shaft linear motion mechanism is omitted.

この多軸位置決め装置は、基台（図示せず）の奥部の両側に設けられ、かつＺ軸方向（図中において上下方向）に延びるＺ軸直動機構７上に設けられ、かつＸ軸方向（図中において左右方向）に延びるＸ軸直動機構２と、該Ｘ軸直動機構２によりＸ軸方向に移動される片持ち式のＸ軸支持部材２１と、該Ｘ軸支持部材２１の上部においてＹ軸方向（Ｘ軸、Ｚ軸と直交する水平方向）に延びるＹ軸直動機構３と、該Ｙ軸直動機構３によりＹ軸方向に移動されるＹ軸支持部材３１と、該Ｙ軸支持部材３１の所定位置の上部に設けられた回転軸機構４と、該回転軸機構４を覆うようにその上部に設けられた支持テーブル５と、該支持テーブル５より上方の所定の固定部位７０に設けられたアライメントユニット３２、検査ユニット３３、および３つの塗布ユニット３４，３５，３６を有している。
なお、この場合は、Ｘ軸直動機構２、Ｙ軸直動機構３の駆動摺動部の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とがＸ軸隔壁２２により分離されおり、かつ、Ｚ軸直動機構７上に構成されているＸ軸直動機構２に連結されている。 This multi-axis positioning device is provided on both sides of the back of a base (not shown), and is provided on a Z-axis linear motion mechanism 7 extending in the Z-axis direction (vertical direction in the drawing), and the X-axis X-axis linear motion mechanism 2 extending in the direction (left-right direction in the figure), a cantilever X-axis support member 21 moved in the X-axis direction by the X-axis linear motion mechanism 2, and the X-axis support member 21 A Y-axis linear motion mechanism 3 extending in the Y-axis direction (horizontal direction orthogonal to the X-axis and Z-axis) at the top of the Y-axis, and a Y-axis support member 31 moved in the Y-axis direction by the Y-axis linear motion mechanism 3; A rotary shaft mechanism 4 provided above a predetermined position of the Y-axis support member 31; a support table 5 provided above the rotary shaft mechanism 4 so as to cover the rotary shaft mechanism 4; Alignment unit 32, inspection unit 33, and three provided in fixed part 70 It has a coating unit 34, 35, 36.
In this case, the movement range of the drive sliding portion of the X-axis linear movement mechanism 2 and the Y-axis linear movement mechanism 3 and the movement range of the support table 5 are separated by the X-axis partition wall 22, and the Z-axis It is connected to an X-axis linear motion mechanism 2 configured on the linear motion mechanism 7.

したがって、本多軸位置決め装置においても、領域カバー部材（図示せず）を開き、この状態において、Ｘ軸直動機構２、Ｙ軸直動機構３、Ｚ軸直動機構の駆動摺動部の移動範囲と前記支持テーブル５の移動範囲とが、Ｘ軸隔壁２２により分離されているので、支持テーブル５の上部から水などの洗浄液を供給することによって、処理対象物を収容する空間の全範囲を簡単に洗浄することができる。
実施形態４
図７は本発明の多軸位置決め装置のさらに他の実施形態を示す概略斜視図である。
この多軸位置決め装置は、基台１の奥部の上方においてＸ軸方向（図中において左右方向）に延びるＸ軸直動機構（図示せず）と、該Ｘ軸直動機構によりＸ軸方向に移動される片持ち式のＸ軸支持部材２１と、該Ｘ軸支持部材２１の先端部上部に設けられた回転軸機構４と、該回転軸機構４を覆うようにその上部に設けられた支持テーブル５と、基台１の所定位置の上方においてＹ軸方向（Ｘ軸と直交する水平方向）に延びる複数のＹ軸直動機構３と、前記各Ｙ軸直動機構３によりＹ軸方向に移動されるＹ軸支持部材３１と、該Ｙ軸支持部材３１に設けられたアライメントユニット３２、検査ユニット３３、および３つの塗布ユニット３４、３５、３６を有している。なお、図７においては、アライメントユニット３２、および検査ユニット３３が一体化した状態で示されている。 Therefore, also in this multi-axis positioning device, the area cover member (not shown) is opened, and in this state, the drive sliding portions of the X-axis linear motion mechanism 2, the Y-axis linear motion mechanism 3, and the Z-axis linear motion mechanism Since the movement range and the movement range of the support table 5 are separated by the X-axis partition wall 22, the entire range of the space for accommodating the processing object is supplied by supplying a cleaning liquid such as water from the upper part of the support table 5. Can be easily cleaned.
Embodiment 4
FIG. 7 is a schematic perspective view showing still another embodiment of the multi-axis positioning apparatus of the present invention.
This multi-axis positioning device includes an X-axis linear motion mechanism (not shown) extending in the X-axis direction (left-right direction in the figure) above the back of the base 1, and the X-axis linear motion mechanism. Cantilevered X-axis support member 21, the rotary shaft mechanism 4 provided at the top of the tip of the X-axis support member 21, and the upper portion of the rotary shaft mechanism 4 so as to cover the rotary shaft mechanism 4. A support table 5, a plurality of Y-axis linear motion mechanisms 3 extending in the Y-axis direction (horizontal direction orthogonal to the X-axis) above a predetermined position of the base 1, and the Y-axis linear motion mechanisms 3, in the Y-axis direction. A Y-axis support member 31 that is moved to the position, an alignment unit 32 provided on the Y-axis support member 31, an inspection unit 33, and three coating units 34, 35, and 36. In FIG. 7, the alignment unit 32 and the inspection unit 33 are shown in an integrated state.

なお、２２はＸ軸隔壁、２３はＹ軸隔壁、６は領域カバー部材である。したがって、本多軸位置決め装置においても、領域カバー部材６を開き、この状態において、支持テーブル５上部から水などの洗浄液を供給することによって、処理対象物を収容する空間の全範囲を簡単に洗浄することができる。 In addition, 22 is an X-axis partition, 23 is a Y-axis partition, and 6 is a region cover member. Therefore, also in the present multi-axis positioning apparatus, the entire area of the space for accommodating the processing object is easily cleaned by opening the area cover member 6 and supplying a cleaning liquid such as water from the upper part of the support table 5 in this state. can do.

本発明の多軸位置決め装置の軸構成は、上記の軸構成に限定されるものではなく、他の種々の軸構成を採用することが可能である。 The shaft configuration of the multi-axis positioning device of the present invention is not limited to the above-described shaft configuration, and other various shaft configurations can be adopted.

１基台
２Ｘ軸直動機構
３Ｙ軸直動機構
４回転軸機構
５支持テーブル
６領域カバー部材
７Ｚ軸直動機構
８Ｘ軸用カバー部材
９Ｙ軸用カバー部材
２１、３１、７１支持部材
２２Ｘ軸隔壁
２３Ｙ軸隔壁
２８Ｘ軸開口部
２９Ｙ軸開口部
３２アライメントユニット
３３検査ユニット
３４、３５、３６塗布ユニット
３８ユニット位置決めピン
３９ユニット固定フック
４０コネクタ
４１開口部を塞ぐ機構
７０固定部位 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base 2 X-axis linear motion mechanism 3 Y-axis linear motion mechanism 4 Rotating-axis mechanism 5 Support table 6 Area | region cover member 7 Z-axis linear motion mechanism 8 X-axis cover member 9 Y-axis cover member 21, 31, 71 Support Member 22 X-axis partition wall 23 Y-axis partition wall 28 X-axis opening portion 29 Y-axis opening portion 32 Alignment unit 33 Inspection unit 34, 35, 36 Application unit 38 Unit positioning pin 39 Unit fixing hook 40 Connector 41 Mechanism for closing opening 70 Fixing Part

Claims

処理対象物を支持する支持テーブル（５）と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有するものであって、
前記多軸駆動機構は、少なくとも１つの直動機構（２）（３）を有し、該直動機構（２）（３）の移動範囲と前記支持テーブル（５）の移動範囲とを分離する隔壁（２２）（２３）を備え、
各前記直動機構（２）（３）は、各前記直動機構（２）（３）に対応して前記隔壁（２２）（２３）に設けられた開口部（２８）（２９）よりも上部に配置され、
少なくとも前記直動機構（２）（３）と前記支持テーブル（５）とを動作させて前記所定の処理を行う間は、前記隔壁（２２）（２３）で分離された領域のうち、前記直動機構（２）（３）の移動範囲を有する側の気圧は、前記支持テーブル（５）の移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっていることを特徴とする多軸位置決め装置。 A multi-axis drive mechanism for moving the support table (5) for supporting the processing object and the processing mechanism for performing a predetermined process on the processing object relative to each other;
The multi-axis drive mechanism has at least one linear movement mechanism (2) (3), and separates the movement range of the linear movement mechanism (2) (3) from the movement range of the support table (5). Partition wall (22) (23),
Each of the linear motion mechanisms (2) and (3) is more open than the openings (28) and (29) provided in the partition walls (22) and (23) corresponding to the linear motion mechanisms (2) and (3). Placed at the top,
At least during the predetermined processing by operating the linear motion mechanisms (2) (3) and the support table (5), out of the regions separated by the partition walls (22) (23), The multi-axis positioning device characterized in that the pressure on the side having the moving range of the moving mechanisms (2) and (3) is negative relative to the pressure on the side having the moving range of the support table (5). .

前記直動機構（２）（３）の少なくとも１つは、前記支持テーブル（５）よりも上方に配置されている請求項１に記載の多軸位置決め装置。 The multi-axis positioning device according to claim 1, wherein at least one of the linear motion mechanisms (2) (3) is disposed above the support table (5).

前記多軸駆動機構は、少なくとも１つの回転軸機構（４）を有し、該回転軸機構（４）の上部は前記支持テーブル（５）により覆われている請求項１または２のいずれかに記載の多軸位置決め装置。 The multi-axis drive mechanism has at least one rotating shaft mechanism (4), and an upper portion of the rotating shaft mechanism (4) is covered with the support table (5). The multi-axis positioning device described.

前記処理機構は、平面を主体としたカバーを有し、前記直動機構（２）（３）により移動される移動部材に対して、カバーと共に一体として取り外し可能に装着されている請求項１から３のいずれかに記載の多軸位置決め装置。 The processing mechanism has a cover mainly composed of a flat surface, and is detachably mounted together with the cover on a moving member moved by the linear motion mechanism (2) (3). 4. The multi-axis positioning device according to any one of 3.