JP5524691B2 - 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 - Google Patents
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Description
11b 回転軸
12 ロータ
12a〜12e ロータ
13a〜13e ロータ室
14 ロータケーシング
15a〜15e 気体流路
17 吸込口
18 吐出口
20 軸受
22 モータ
22a モータロータ
22b モータステータ
23 軸受ケーシング
24 モータケーシング
26 サイドケーシング
29 タイミングギア
30 サイドケーシング
40 軸受ケース
41 軸受ケース
50 排気ユニット
53 サイレンサ
53−1 共鳴型サイレンサ
53−2 膨張型サイレンサ
60 サイレンサケーシング
61 ガス流路
62 共鳴室
63 第1膨張室
64 第2膨張室
65 共鳴口
66 第1絞り口
67 第2絞り口
68 第3絞り口
69 蓋体
Claims (4)
- ドライ真空ポンプから排気される気体が流れる気体流路の上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置し、前記共鳴型サイレンサと前記膨張型サイレンサを一体に構成した真空ポンプ用の複合型サイレンサであって、
前記共鳴型サイレンサは共鳴室を備え、前記共鳴室は共鳴口を通して前記気体流路に連通しており、
前記膨張型サイレンサは第1膨張室と第2膨張室とを備え、前記第1膨張室は第1絞り口を通して前記気体流路に連通し、前記第2膨張室は第2絞り口を通して前記第1膨張室に連通し、前記第2膨張室は第3絞り口を通して外部に連通し、
前記第1膨張室と前記第2膨張室の長手方向の寸法がそれぞれ異なることを特徴とする複合型サイレンサ。 - 請求項1記載の複合型サイレンサにおいて、
板状の蓋体と厚板状のサイレンサケーシングを具備し、
前記サイレンサケーシングの片面に前記気体流路となる上部が開口する気体流路凹部と、前記共鳴室となる上部が開口する共鳴室凹部と、前記第1膨張室となる上部が開口する第1膨張室凹部と、前記第2膨張室となる上部が開口する第2膨張室凹部と、前記共鳴口となる上部が開口する共鳴口凹部と、前記第1絞り口、前記第2絞り口、前記第3絞り口となるそれぞれ上部が開口する第1絞り口凹部、第2絞り口凹部、第3絞り口凹部を形成し、
前記蓋体と前記サイレンサケーシングを重ね合わせ、前記共鳴室凹部、前記共鳴口凹部、前記第1膨張室凹部、前記第2膨張室凹部、前記第1絞り口凹部、前記第2絞り口凹部、前記第3絞り口凹部の開口を前記蓋体で閉塞したことを特徴とする複合型サイレンサ。 - 1台又は直列に接続された複数台のルーツ型ドライ真空ポンプを備え、その排気側に排気ユニットを設け、該排気ユニットの排気ガス側の排気ガス流路に請求項1又は2記載の複合型サイレンサを、その前記気体流路が前記排気ガス流路に連通するように配置したことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
- 請求項3記載のドライ真空ポンプ装置において、
前記排気ユニットの排気ガス流路に逆止弁を設けたことを特徴とするドライ真空ポンプ装置。
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