JP5522662B2 - 微細構造体形成方法 - Google Patents
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Description
ガスデポジション法はすでに多くの特許で開示されているものであるが、その一つに微細な金属バンプを形成する方法が本出願人により既に出願されている(特許文献1)。この既出願の方法によれば、通常の半導体作製工程で用いられるフォトリソグラフィ技術を用いて基板上の金属電極を覆ったフォトレジスト膜に微細な穴を設け、この上からガスデポジション法によりナノ寸法の金属粒子をガスと共に減圧条件下で吹き付けを行うことにより、該穴内に金属の堆積を生じさせ、このとき同時に該穴の周囲からも金属の堆積つまり穴に覆いかぶさるひさしを生じさせることにより、該穴の開口径が縮小することで、最終的に該穴内に自己整合により錐形を持つ金属突起状のバンプを形成することができる。この方法の特徴は、フォトリソグラフィ技術を用いることからバンプの寸法を0.1ミクロンレベルで制御可能であること、フォトレジストの穴が自己完結的に閉じるため、同一形状の突起構造をガスデポジション法による金属堆積のみで自動的に形成できることにある。また、ガス吹き付け領域をフォトレジストの穴の部分に対してスキャンすることで、複数のバンプを均一に作製することができる。
上述のようにフォトレジストに形成した微細穴上にガスデポジション法によりナノ金属粒子を吹き付けたとき、吹き付けノズルの寸法が該穴径より大きい場合(通常、バンプ寸法数十μm以下、ノズル径:100μm以上)、作成されるバンプは等方的になり、穴の形が四角形であれば四角錐、円であれば円錐形になり、突起は穴の中心に形成される。図1(a)は頂点が円の中心にある円錐形のバンプ1の一例を示す。
ここで、実際に本発明により作製した錐形金属バンプについて説明する。図9は、作製した円錐状Auバンプの電子顕微鏡像、図10はこのバンプ形成のためのホールパターンの電子顕微鏡像である。
本発明による金属バンプは、フォトレジストに形成された穴内にAu等の金属ナノ粒子が堆積し、これとともに上部に成長するひさしによりその穴が閉じることで、自動的に自己整合により錐形状に形成される。このとき、成膜中の形成条件の安定化が重要である。
1.スキャン毎の平均の成膜速度(=円錐バンプ成長速度) vscan (= vbump)
2.バンプの形成時間 Tbump
3.スキャン毎の平均のひさしの成長速度 vvisor
を算出できる。
2 チップ
3 基板
4 フォトレジスト
5 穴
6 ノズル
7 流路ブロック体
Claims (16)
- フォトレジストに設けられた開口部の上からガスデポジション法で金属ナノ粒子を吹き付け、開口部内に突起状の微細構造体を形成する方法であって、
微細構造体を一方向に傾斜させるように、吹き付けノズルからの流路方向を変位させることを特徴とする微細構造体形成方法。 - 吹き付けノズルを開口部の中心からずらして、吹き付けノズルからの流路方向を変位させる、請求項1に記載の方法。
- 吹き付けノズルからの流路方向を変位させる流路ブロック体を用いる、請求項1に記載の方法。
- 流路ブロック体により吹き付けノズルからの流路の少なくとも一部を遮る、請求項3に記載の方法。
- 流路ブロック体に吹き付けノズルからの流路を当てる、請求項3に記載の方法。
- 流路ブロック体を開口部または吹き付けノズルの近傍に設ける、請求項2乃至5のいずれかに記載の方法。
- 吹き付けノズルまたは被形成体を傾斜させて、開口部から見た吹き付けノズルからの流路方向を変位させる、請求項1に記載の方法。
- 開口部が穴または溝である、請求項1乃至7のいずれかに記載の方法。
- 突起状が、錐形状またはエッジ形状である、請求項1ないし乃至8のいずれかに記載の方法。
- 微細構造体がバンプである、請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。
- 微細構造体がライン状突起である、請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の方法により形成された微細構造体の形成プロセスの評価方法であって、ガスデポジション法により開口部内に形成された微細構造体の表面に現れたステップの数を求め、該数に基づいて微細構造体の成膜速度、微細構造体の形成時間、および前記開口部上のひさしの成長速度の少なくとも一つを得る、微細構造体の形成プロセスの評価方法。
- 微細構造体の表面に現れたステップの形状及び間隔を求め、該形状及び間隔に基づいて微細構造体の成長方向を得る、請求項12に記載の方法。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の方法により形成された微細構造体の形成プロセスの評価方法であって、ガスデポジション法により開口部内に形成された微細構造体の表面に現れたステップの形状及び間隔を求め、該形状及び間隔に基づいて微細構造体の成長方向を得る、微細構造体の形成プロセスの評価方法。
- 請求項1乃至11のいずれかに記載の方法により形成された金属バンプであって、中心から所望方向にずれた頂点を持ち、その表面に等高線の縞模様を形成する複数段のステップを有することを特徴とする金属バンプ。
- 請求項15の金属バンプを備えた半導体チップ。
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