JP5521401B2 - Vibration actuator, lens barrel, camera, and method for manufacturing vibration actuator - Google Patents

Vibration actuator, lens barrel, camera, and method for manufacturing vibration actuator Download PDF

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Description

本発明は、振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing the vibration actuator.

従来、振動アクチュエータにおいて、圧電体への電圧供給は、それぞれの圧電体の電極に直接接続されたリード線等を介して行われている（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, in a vibration actuator, voltage supply to a piezoelectric body is performed via a lead wire or the like directly connected to an electrode of each piezoelectric body (see, for example, Patent Document 1).

特開平２−２３１９６９号公報JP-A-2-231969

しかし、近年、振動アクチュエータが小型化している。小型化した振動アクチュエータへ複数のリード線の接続は、スペース的にも困難であり、また、リード線同士の絡み合い等の問題も生じる。   However, in recent years, vibration actuators have become smaller. Connection of a plurality of lead wires to a miniaturized vibration actuator is difficult in terms of space, and problems such as entanglement of the lead wires occur.

本発明の課題は、圧電体の電極に対する改良された電気配線が可能な振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法を提供することである。   It is an object of the present invention to provide a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing the vibration actuator that enable improved electrical wiring to the electrodes of the piezoelectric body.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。 The present invention solves the above problems by the following means .

請求項１に記載の発明は、複数の圧電体と、前記圧電体に接着された前記複数の圧電体が固定されるベース部と、前記複数の圧電体の振動によって前記ベース部に対して相対移動される相対移動部材と、を備え、前記ベース部における前記圧電体との接触面、及び前記ベース部の外周面における前記接触面以外の部分の少なくとも一部が不導体であって、前記ベース部の接触面と前記圧電体との間が導電性接着剤で接着され、前記ベース部の前記不導体上に、前記複数の圧電体のそれぞれから前記導電性接着剤を介して延びる導通部が、前記ベース部の前記不導体の部分に個別に形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータであって、前記振動アクチュエータは、前記圧電体と前記相対移動部材との間に、前記圧電体によって駆動され、前記相対移動部材と接触して前記相対移動部材を相対移動させる駆動体をさらに備えること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は金属であって、絶縁塗装により前記不導体の部分が形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部はセラミックであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒である。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラである。
請求項７に記載の発明は、複数の圧電体と、前記圧電体に接着された前記複数の圧電体が固定されるベース部と、前記複数の圧電体の振動によって前記ベース部に対して相対移動される相対移動部材と、を備え、前記ベース部における前記圧電体との接触面、及び前記ベース部の外周面における前記接触面以外の部分の少なくとも一部を不導体とし、前記ベース部の接触面と前記圧電体との間が導電性接着剤で接着し、前記ベース部の前記不導体上に、前記複数の圧電体のそれぞれから前記導電性接着剤を介して延びる導通部を、前記ベース部の前記不導体の部分に個別に形成することを特徴とする振動アクチュエータの製造方法である。


According to the first aspect of the present invention, a plurality of piezoelectric bodies, a base section to which the plurality of piezoelectric bodies bonded to the piezoelectric bodies are fixed, and relative to the base section by vibration of the plurality of piezoelectric bodies. A relative movement member to be moved, and at least a part of a contact surface with the piezoelectric body in the base portion and a portion other than the contact surface on the outer peripheral surface of the base portion is a non-conductor, A conductive portion is bonded between the contact surface of the portion and the piezoelectric body with a conductive adhesive, and a conductive portion extending from each of the plurality of piezoelectric bodies via the conductive adhesive is formed on the non-conductor of the base portion. The vibration actuator is individually formed on the non-conductive portion of the base portion.
The invention according to claim 2 is the vibration actuator according to claim 1, wherein the vibration actuator is driven by the piezoelectric body between the piezoelectric body and the relative movement member, and the relative movement member The vibration actuator is further provided with a drive body that moves the relative movement member in contact with the relative movement member.
Invention of Claim 3 is a vibration actuator of any one of Claim 1 or 2, Comprising: The said base part is a metal and the part of the said nonconductor is formed by the insulation coating. This is a vibration actuator characterized by the above.
The invention according to claim 4 is the vibration actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the base portion is ceramic.
A fifth aspect of the present invention is a lens barrel including the vibration actuator according to any one of the first to fourth aspects.
A sixth aspect of the present invention is a camera including the vibration actuator according to any one of the first to fifth aspects.
According to a seventh aspect of the present invention, a plurality of piezoelectric bodies, a base portion to which the plurality of piezoelectric bodies bonded to the piezoelectric body are fixed, and relative to the base portion by vibration of the plurality of piezoelectric bodies. A relative movement member to be moved, and at least a part of a contact surface of the base portion with the piezoelectric body and a portion of the outer peripheral surface of the base portion other than the contact surface is a non-conductor, Between the contact surface and the piezoelectric body is bonded with a conductive adhesive, a conductive portion extending from each of the plurality of piezoelectric bodies via the conductive adhesive on the non-conductor of the base portion, It is a manufacturing method of the vibration actuator characterized by forming individually in the non-conductor part of a base part .


本発明によれば、圧電体の電極に対する改良された電気配線が可能な振動アクチュエータ、レンズ鏡筒、カメラ及び振動アクチュエータの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a vibration actuator, a lens barrel, a camera, and a method for manufacturing the vibration actuator capable of improved electrical wiring with respect to the electrodes of the piezoelectric body.

第１実施形態の超音波モータを備えるカメラの概略図である。It is the schematic of a camera provided with the ultrasonic motor of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波モータの断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic motor of 1st Embodiment. 圧電体のＸＹ平面図であり、図３（ａ）は圧電体の弾性体側面を示す図であり、図３（ｂ）は、圧電体のＦＰＣ側面を示す図である。FIG. 3A is an XY plan view of the piezoelectric body, FIG. 3A is a view showing an elastic body side surface of the piezoelectric body, and FIG. 3B is a view showing an FPC side surface of the piezoelectric body. 超音波モータにおける圧電体と弾性体とを含む部分の拡大側面図である。It is an enlarged side view of a portion including a piezoelectric body and an elastic body in an ultrasonic motor. 第１実施形態の比較形態を示す圧電体のＸＹ平面図であり、図５（ａ）は圧電体の弾性体側面を示す図であり、図５（ｂ）は、弾性体のＦＰＣ側面を示す図である。FIG. 5A is an XY plan view of a piezoelectric body showing a comparative form of the first embodiment, FIG. 5A is a view showing an elastic body side surface of the piezoelectric body, and FIG. 5B is an FPC side surface of the elastic body. FIG. 本発明の第２実施形態の超音波モータの正面図である。It is a front view of the ultrasonic motor of a 2nd embodiment of the present invention. 第２実施形態における１つの駆動駒を保持するベース部の拡大図である。It is an enlarged view of the base part holding one drive piece in 2nd Embodiment.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。なお、以下に示す各図には、説明と理解を容易にするために、ＸＹＺ直交座標系を設けた。この座標系では、撮影者が光軸Ａを水平として横長の画像を撮影する場合のカメラの位置（以下、正位置という）において撮影者から見て左側に向かう方向をＸプラス方向とする。また、正位置において上側に向かう方向をＹプラス方向とする。さらに、正位置において被写体に向かう方向をＺプラス方向とする。 (First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings and the like. Each figure shown below is provided with an XYZ orthogonal coordinate system for ease of explanation and understanding. In this coordinate system, the direction toward the left side as viewed from the photographer at the position of the camera when the photographer shoots a horizontally long image with the optical axis A being horizontal (hereinafter referred to as a normal position) is defined as the X plus direction. Further, the direction toward the upper side in the normal position is defined as the Y plus direction. Further, the direction toward the subject at the normal position is defined as the Z plus direction.

図１は第１実施形態の超音波モータ１０を備えるカメラ１の概略図である。
カメラ１は、撮像素子８を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備えている。
レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。 FIG. 1 is a schematic view of a camera 1 including an ultrasonic motor 10 according to the first embodiment.
The camera 1 includes a camera body 2 having an image sensor 8 and a lens barrel 3 having a lens 7.
The lens barrel 3 is an interchangeable lens that can be attached to and detached from the camera body 2. In the present embodiment, the lens barrel 3 is an interchangeable lens. However, the present invention is not limited to this. For example, the lens barrel 3 may be a lens barrel integrated with the camera body.

レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ１０等を備えている。本実施形態では、超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ１０の駆動力により、光軸方向へ移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。   The lens barrel 3 includes a lens 7, a cam barrel 6, gears 4 and 5, an ultrasonic motor 10, and the like. In the present embodiment, the ultrasonic motor 10 is used as a driving source for driving the lens 7 during the focusing operation of the camera 1, and the driving force obtained from the ultrasonic motor 10 is camped via the gears 4 and 5. It is transmitted to the cylinder 6. The lens 7 is a focus lens that is held by the cam cylinder 6 and moves in the optical axis direction by the driving force of the ultrasonic motor 10 to adjust the focus.

レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像されると、その結像された被写体像が電気信号に変換され、変換された信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。   When a subject image is formed on the imaging surface of the image sensor 8 by a lens group (including the lens 7) provided in the lens barrel 3, the formed subject image is converted into an electrical signal and converted. Image data is obtained by A / D converting the converted signal.

図２は、第１実施形態の超音波モータ１０の断面図である。
第１実施形態の超音波モータ１０は、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。
振動子１１は、弾性体１２と、弾性体１２に接合された圧電体１３とを有する略円環形状の部材である。
弾性体１２は、本実施形態において樹脂等の不導体で形成された略円環形状の部材である。弾性体１２は、櫛歯部１２ａ、ベース部１２ｂ、フランジ部１２ｃを有する。 FIG. 2 is a cross-sectional view of the ultrasonic motor 10 of the first embodiment.
The ultrasonic motor 10 according to the first embodiment includes a vibrator 11, a mover 15, an output shaft 18, a pressure member 19, and the like, the vibrator 11 side is fixed, and the mover 15 is rotationally driven. Yes.
The vibrator 11 is a substantially annular member having an elastic body 12 and a piezoelectric body 13 bonded to the elastic body 12.
The elastic body 12 is a substantially ring-shaped member formed of a nonconductor such as a resin in the present embodiment. The elastic body 12 has a comb tooth portion 12a, a base portion 12b, and a flange portion 12c.

櫛歯部１２ａは、圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５に加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面となる。
ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分であり、ベース部１２ｂの櫛歯部１２ａとは反対側の面に、圧電体１３が接合されている。
フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分であり、ベース部１２ｂの厚さ方向の中央に配置されている。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。 The comb-tooth portion 12a is formed by cutting a plurality of grooves on the surface opposite to the surface to which the piezoelectric body 13 is bonded, and the tip surface of the comb-tooth portion 12a is in pressure contact with the moving element 15, It becomes a driving surface for driving the moving element 15.
The base portion 12b is a portion that is continuous in the circumferential direction of the elastic body 12, and the piezoelectric body 13 is bonded to the surface of the base portion 12b opposite to the comb tooth portion 12a.
The flange portion 12c is a bowl-shaped portion protruding in the inner diameter direction of the elastic body 12, and is disposed at the center in the thickness direction of the base portion 12b. The vibrator 11 is fixed to the fixing member 16 by the flange portion 12c.

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子であり、例えば、圧電体や電歪素子等が用いられる。
図３は、圧電体１３のＸＹ平面図であり、図３（ａ）は圧電体１３の弾性体側面１３ａを示す図であり、図３（ｂ）は、弾性体側面１３ａと反対側の面（以下、ＦＰＣ側面という）１３ｃを示す図である。 The piezoelectric body 13 is an electromechanical conversion element that converts electrical energy into mechanical energy. For example, a piezoelectric body or an electrostrictive element is used.
3 is an XY plan view of the piezoelectric body 13, FIG. 3 (a) is a view showing the elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13, and FIG. 3 (b) is a surface opposite to the elastic body side surface 13a. It is a figure which shows 13c (henceforth FPC side surface).

圧電体１３は、略円環形状の部材である。圧電体１３の弾性体側面１３ａは、全体が素地部１３ｄとなっている。圧電体１３におけるＦＰＣ側面１３ｃには、Ａ相、Ｂ相の２つの相の電気信号が入力される電極Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４が形成され、Ａ相とＢ相との間の１／４波長分間隔が設けられた部分には、グランドＧが設けられている。電極Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４、グランドＧは、圧電体１３のＦＰＣ側面１３ｃの表面に、スクリーン印刷によって銀ペーストを塗布して形成され、圧電体１３は、これらを用いて分極処理されている。これらの電極Ａ１〜Ａ４，Ｂ１〜Ｂ４及びグランドＧの間は圧電体１３の素地部１３ｄとなっている。   The piezoelectric body 13 is a substantially annular member. The entire elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13 is a base portion 13d. Electrodes A1 to A4 and B1 to B4 to which electric signals of two phases of A phase and B phase are input are formed on the FPC side surface 13c of the piezoelectric body 13, and ¼ between the A phase and the B phase is formed. A ground G is provided at a portion where the wavelength interval is provided. The electrodes A1 to A4, B1 to B4, and the ground G are formed by applying silver paste on the surface of the FPC side surface 13c of the piezoelectric body 13 by screen printing, and the piezoelectric body 13 is polarized using these. . Between these electrodes A1 to A4, B1 to B4 and the ground G, a base portion 13d of the piezoelectric body 13 is formed.

図２に戻り、フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３のＦＰＣ側面１３ｃにおける各相の電極に接続されている。
移動子１５は、アルミニウム等の軽金属によって形成され、弾性体１２の駆動面に生じる進行波によって回転駆動される部材である。
出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２４を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転するように設けられている。 Returning to FIG. 2, the flexible printed circuit board 14 is connected to the electrodes of each phase on the FPC side surface 13 c of the piezoelectric body 13.
The moving element 15 is a member that is formed of a light metal such as aluminum and is rotationally driven by a traveling wave generated on the driving surface of the elastic body 12.
The output shaft 18 is a substantially cylindrical member. One end of the output shaft 18 is in contact with the moving element 15 via the rubber member 24, and is provided so as to rotate integrally with the moving element 15.

加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア４とベアリング受け部材２１との間に設けられている。
ギア４は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向及び軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア４は、出力軸１８の回転とともに回転することにより、ギア５（図１参照）に駆動力を伝達する。 The pressurizing member 19 is a member that generates a pressing force that pressurizes the vibrator 11 and the moving element 15, and is provided between the gear 4 and the bearing receiving member 21.
The gear 4 is inserted so as to fit in the D cut of the output shaft 18, is fixed by a stopper 22 such as an E ring, and is provided so as to be integrated with the output shaft 18 in the rotation direction and the axial direction. The gear 4 transmits driving force to the gear 5 (see FIG. 1) by rotating with the rotation of the output shaft 18.

また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。
加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５は、振動子１１の駆動面に加圧接触し、回転駆動される。 Further, the bearing receiving member 21 is arranged on the inner diameter side of the bearing 17, and the bearing 17 is arranged on the inner diameter side of the fixed member 16.
The pressurizing member 19 pressurizes the vibrator 11 toward the moving element 15 in the axial direction of the output shaft 18. With this applied pressure, the moving element 15 comes into pressure contact with the drive surface of the vibrator 11, Driven by rotation.

次に、圧電体１３と弾性体１２との接合について説明する。図４は超音波モータ１０における圧電体１３と弾性体１２とを含む部分の拡大側面図である。
圧電体１３の弾性体側面１３ａは、弾性体１２に対して導電性接着剤１３ｂで接合されている。そして、本実施形態において樹脂等の不導体で製造されている弾性体１２の表面（外周面）には、導電性接着剤から延びる導通部１２ｆが形成されている。 Next, the joining of the piezoelectric body 13 and the elastic body 12 will be described. FIG. 4 is an enlarged side view of a portion including the piezoelectric body 13 and the elastic body 12 in the ultrasonic motor 10.
The elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13 is joined to the elastic body 12 with a conductive adhesive 13b. And the conduction | electrical_connection part 12f extended from a conductive adhesive is formed in the surface (outer peripheral surface) of the elastic body 12 manufactured with nonconductors, such as resin in this embodiment.

この導通部１２ｆは、以下のようにして形成する。
まず、圧電体１３の弾性体側面１３ａに導電性接着剤１３ｂをディスペンサーにより塗布する。
そして、その弾性体側面１３ａに弾性体１２を載せる。
圧電体１３の弾性体側面１３ａと弾性体１２との間の導電性接着剤１３ｂから、導電性接着剤が弾性体１２の側面まで延びるように、ディスペンサーによる導電性接着剤の塗布によって導通部１２ｆを形成する。
その後、圧電体１３と弾性体１２とを加圧した状態で熱を加え、導電性接着剤１３ｂを硬化させる。
なお、導通部１２ｆの製造方法はこれに限らず、弾性体１２の表面に印刷してもよく、また、二色成型等により形成してもよい。
導通部１２ｆには、リード線１２ｇが接続され、そのリード線１２ｇは、圧電体１３のＦＰＣ側面１３ｃに接続されたＦＰＣ１４とともに、図示しない電源に接続される。 The conductive portion 12f is formed as follows.
First, the conductive adhesive 13b is applied to the elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13 by a dispenser.
Then, the elastic body 12 is placed on the elastic body side surface 13a.
The conductive portion 12f is applied by applying a conductive adhesive with a dispenser so that the conductive adhesive extends from the conductive adhesive 13b between the elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13 and the elastic body 12 to the side surface of the elastic body 12. Form.
Thereafter, heat is applied in a state where the piezoelectric body 13 and the elastic body 12 are pressurized, and the conductive adhesive 13b is cured.
In addition, the manufacturing method of the conduction | electrical_connection part 12f is not restricted to this, You may print on the surface of the elastic body 12, and you may form by two-color molding etc.
A lead wire 12g is connected to the conducting portion 12f, and the lead wire 12g is connected to a power source (not shown) together with the FPC 14 connected to the FPC side surface 13c of the piezoelectric body 13.

このように製造された超音波モータ１０は以下のように駆動する。
駆動信号が、ＦＰＣ１４及びリード線１２ｇを介して超音波モータ１０の圧電体１３に印加されると、圧電体１３が励振され、その励振によって、弾性体１２には、４次の曲げ振動が発生する。駆動信号は、それぞれ、圧電体１３のＡ相とＢ相とに印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは、位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれているため、２つの曲げ振動は、合成され、４波の進行波となる。進行波の波頭には、楕円運動が生じている。したがって、弾性体１２の駆動面に加圧接触された移動子１５は、この楕円運動によって摩擦駆動される。 The ultrasonic motor 10 thus manufactured is driven as follows.
When the drive signal is applied to the piezoelectric body 13 of the ultrasonic motor 10 via the FPC 14 and the lead wire 12g, the piezoelectric body 13 is excited, and the fourth bending vibration is generated in the elastic body 12 by the excitation. To do. The drive signals are respectively applied to the A phase and the B phase of the piezoelectric body 13. The quaternary bending vibration generated from the A phase and the quaternary bending vibration generated from the B phase are such that the positional phase is shifted by a quarter wavelength, and the A phase driving signal and the B phase driving signal are Since the phase is 90 ° out of phase, the two bending vibrations are combined into four traveling waves. An elliptical motion is generated at the front of the traveling wave. Therefore, the moving element 15 in pressure contact with the driving surface of the elastic body 12 is frictionally driven by this elliptical motion.

本実施形態によると以下の効果を有する。
本実施形態において、弾性体１２は不導体であるため、圧電体１３の弾性体側面１３ａに電気配線を接続することが必要である。本実施形態では、圧電体１３と弾性体１２との間を導電性接着剤１３ｂで接着し、その導電性接着剤１３ｂを弾性体１２の表面まで延ばし、導通部１２ｆを形成している。そして、その弾性体１２の表面にリード線を接続している。このように、弾性体１２が不導体の場合であっても弾性体１２に電気配線を行うことが可能となる。 The present embodiment has the following effects.
In this embodiment, since the elastic body 12 is a non-conductor, it is necessary to connect an electric wiring to the elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13. In this embodiment, the piezoelectric body 13 and the elastic body 12 are bonded with a conductive adhesive 13b, and the conductive adhesive 13b is extended to the surface of the elastic body 12, thereby forming a conductive portion 12f. A lead wire is connected to the surface of the elastic body 12. Thus, even if the elastic body 12 is a nonconductor, it is possible to perform electrical wiring on the elastic body 12.

なお、本実施形態では、圧電体１３の弾性体側面１３ａを接地側としている。しかし、これに限らず、弾性体側面１３ａを、本実施形態においてＦＰＣ側面１３ｃに形成したような、周方向に沿って２つの相の電気信号が入力される電源供給側としてもよい。この場合、弾性体側面１３ａに２種以上の電気配線を行うことが必要となる。   In the present embodiment, the elastic body side surface 13a of the piezoelectric body 13 is the ground side. However, the present invention is not limited to this, and the elastic body side surface 13a may be a power supply side to which two-phase electrical signals are input along the circumferential direction as formed in the FPC side surface 13c in the present embodiment. In this case, it is necessary to perform two or more kinds of electrical wiring on the elastic body side surface 13a.

この場合、それぞれの電極部分から延びる導通部を、弾性体１２の表面にそれぞれ形成し、同一の電力が供給される導通部は弾性体１２の表面上において結合させる。そして、その結合された部分から１本のリード線を延ばすことにより、リード線の本数を少なくすることができる。これにより、配線がシンプルになり、絡まる可能性が低減され、整然とした配線が可能となる。   In this case, conductive portions extending from the respective electrode portions are formed on the surface of the elastic body 12, and the conductive portions to which the same power is supplied are coupled on the surface of the elastic body 12. The number of lead wires can be reduced by extending one lead wire from the joined portion. This simplifies wiring, reduces the possibility of tangling, and enables orderly wiring.

図５は、第１実施形態に対する比較形態における圧電体１１３のＸＹ平面図であり、図３に対応している。図５（ａ）は圧電体１１３の弾性体側面１１３ａを示す図であり、図５（ｂ）は、弾性体のＦＰＣ側面１１３ｃを示す図である。   FIG. 5 is an XY plan view of the piezoelectric body 113 in a comparison form with respect to the first embodiment, and corresponds to FIG. FIG. 5A is a diagram showing the elastic body side surface 113a of the piezoelectric body 113, and FIG. 5B is a diagram showing the FPC side surface 113c of the elastic body.

比較形態においては、弾性体は導体で、圧電体１１３と弾性体とは、導電性接着剤ではなく、導電性を有さない接着剤で接続されている。
比較形態においては、図５（ａ）に示すように、圧電体１１３における弾性体側面１１３ａにも、スクリーン印刷によって銀ペースト１３１が塗布されて電極が形成されている。そして、圧電体１１３の弾性体側面１１３ａに、導電性を有さない接着剤が塗布され、圧電体１１３と弾性体とが接着される。
このとき、圧電体１１３の弾性体側面１１３ａは、弾性体に押し付けられることにより、銀ペースト１３１が塗布されている部分の一部が、弾性体と直接接触し、圧電体１１３と弾性体１１２との間の電気接続が確保される。 In the comparative form, the elastic body is a conductor, and the piezoelectric body 113 and the elastic body are connected not by a conductive adhesive but by an adhesive having no conductivity.
In the comparative embodiment, as shown in FIG. 5A, the silver paste 131 is applied to the elastic body side surface 113a of the piezoelectric body 113 by screen printing to form electrodes. Then, an adhesive having no electrical conductivity is applied to the elastic body side surface 113a of the piezoelectric body 113, and the piezoelectric body 113 and the elastic body are bonded.
At this time, the elastic body side surface 113a of the piezoelectric body 113 is pressed against the elastic body, so that a part of the portion to which the silver paste 131 is applied comes into direct contact with the elastic body, and the piezoelectric body 113 and the elastic body 112 An electrical connection between is ensured.

しかし、この際、圧電体１１３と弾性体との間の電気接続を確保しつつ、両者間の接着も確実に行う必要がある。このため、圧電体１１３の外周端と内周端には、素地部１３２が設けられている。この素地部１３２は、圧電体１３の素地が露出している部分であり、圧電体１１３と弾性体とを接着材によって接合する場合、接着材がこの素地部１３２に入り込むことにより投錨効果（アンカー効果）が得られ、接着強度が確保される。   However, at this time, the electrical connection between the piezoelectric body 113 and the elastic body needs to be secured while the electrical connection between the two is ensured. For this reason, the base part 132 is provided in the outer peripheral end and inner peripheral end of the piezoelectric body 113. The base portion 132 is a portion where the base of the piezoelectric body 13 is exposed. When the piezoelectric body 113 and the elastic body are joined together with an adhesive, the adhesive enters the base portion 132 to thereby provide a anchoring effect (anchor). Effect) and adhesive strength is ensured.

このように素地部１３２は、接着強度を確保するために必要な部分であるが、銀ペースト１３１が塗布されていないため、分極することができない。このため、素地部１３２の面積だけ、駆動信号が印加される面積が減少し、駆動効率が劣ることになる。   Thus, although the base part 132 is a part required in order to ensure adhesive strength, since the silver paste 131 is not apply | coated, it cannot polarize. For this reason, the area to which the drive signal is applied is reduced by the area of the base portion 132, and the drive efficiency is inferior.

これに対して本実施形態では、導電性接着剤を用いるため、銀ペーストと素地部とを別々に設ける必要がなく、弾性体側面１３ａの全面積を電極として用いることができ、高い駆動効率を得ることができる。   On the other hand, in this embodiment, since a conductive adhesive is used, it is not necessary to separately provide a silver paste and a base part, and the entire area of the elastic body side surface 13a can be used as an electrode, and high driving efficiency is achieved. Can be obtained.

また、本実施形態では、不導体で製造された弾性体１２と圧電体１３とを導電性接着剤１３ｂにより接合する際に、同時に弾性体１２の表面まで導電性接着剤１３ｂを延ばして導通部１２ｆを形成するので、作業工程が少なくてすむ。また、弾性体１２と圧電体１３の接合及び導通部１２ｆの形成を同一の導電性接着剤で行うことができるため、安価に製造できる。   Further, in this embodiment, when the elastic body 12 and the piezoelectric body 13 made of a non-conductor are joined by the conductive adhesive 13b, the conductive adhesive 13b is simultaneously extended to the surface of the elastic body 12 to thereby conduct the conductive portion. Since 12f is formed, fewer work steps are required. Further, since the elastic body 12 and the piezoelectric body 13 can be joined and the conductive portion 12f can be formed with the same conductive adhesive, it can be manufactured at low cost.

（第２実施形態）
図６は、本発明の第２実施形態の超音波モータ２１０の正面図である。
図６に示すように、超音波モータ２１０は、上面（Ｚ方向下側の面）に複数の保持部２０２ａが設けられた円筒形状のベース部２０２と、保持部２０２ａに保持された駆動駒２０３と、駆動駒２０３の上側で隣接して配置されたロータ２０４と、ベース部２０２の内周に挿通された支持軸２０５と、を備えている。
第２実施形態でベース部２０２は、導電性部材で製造されているが、表面（少なくとも外周面の一部）に絶縁塗装が施されている。 (Second Embodiment)
FIG. 6 is a front view of the ultrasonic motor 210 according to the second embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 6, the ultrasonic motor 210 includes a cylindrical base portion 202 having a plurality of holding portions 202a provided on an upper surface (a lower surface in the Z direction), and a driving piece 203 held by the holding portion 202a. And a rotor 204 disposed adjacently on the upper side of the drive piece 203, and a support shaft 205 inserted through the inner periphery of the base portion 202.
In the second embodiment, the base portion 202 is made of a conductive member, but the surface (at least a part of the outer peripheral surface) is coated with insulation.

図７は、１つの駆動駒２０３を保持するベース部２０２の拡大図である。
本実施形態の超音波モータ２０１は、各々の駆動駒２０３を支持軸２０５と平行な方向へ駆動させる第１圧電体２０６Ａ，２０６Ｂと、駆動駒２０３の先端部２０３ａをロータ２０４の回転方向Ｒに駆動させる第２圧電体２０７とが別個に独立して設けられている。 FIG. 7 is an enlarged view of the base portion 202 that holds one drive piece 203.
In the ultrasonic motor 201 of the present embodiment, the first piezoelectric bodies 206A and 206B that drive each drive piece 203 in a direction parallel to the support shaft 205, and the front end portion 203a of the drive piece 203 in the rotation direction R of the rotor 204. A second piezoelectric body 207 to be driven is provided separately and independently.

第１圧電体２０６Ａ，２０６Ｂは、駆動駒２０３の両側面と、それと対向するベース部２０２の保持部２０２ａの側面との間にそれぞれ設けられている。そして、駆動駒２０３と第１圧電体２０６との間は導電性接着剤２０６Ａｂ，２０６Ｂｂにより接合され、第１圧電体２０６とベース部２０２との間は、導電性接着剤２０６Ａａ，２０６Ｂａにより接合されている。   The first piezoelectric bodies 206A and 206B are respectively provided between both side surfaces of the drive piece 203 and the side surface of the holding portion 202a of the base portion 202 facing it. The drive piece 203 and the first piezoelectric body 206 are joined by conductive adhesives 206Ab and 206Bb, and the first piezoelectric body 206 and the base portion 202 are joined by conductive adhesives 206Aa and 206Ba. ing.

そして、第１圧電体２０６とベース部２０２との間の導電性接着剤２０６Ａａ，２０６Ｂａから、ベース部２０２の絶縁塗装膜上に延びるように導通部２０６ｃが形成されている。これらの導電性接着剤２０６Ａａ，２０６Ｂａから延びる導通部２０６ｃは連続しており、この導通部２０６ｃにはリード線２１２が接続されている。   A conductive portion 206 c is formed so as to extend from the conductive adhesives 206 Aa and 206 Ba between the first piezoelectric body 206 and the base portion 202 onto the insulating coating film of the base portion 202. Conductive portions 206c extending from these conductive adhesives 206Aa and 206Ba are continuous, and lead wires 212 are connected to the conductive portions 206c.

本実施形態の超音波モータ２１０においては、リード線２１２を介して図示しない電源より、第１圧電体２０６Ａ，２０６Ｂにおけるベース部２０２との対向面側に同じ駆動電圧が印加され、第１圧電体２０６Ａ，２０６Ｂの励振により駆動駒２０３はベース部２０３に対して図中上下に駆動される。   In the ultrasonic motor 210 of the present embodiment, the same driving voltage is applied to the surface of the first piezoelectric bodies 206A and 206B facing the base portion 202 from a power source (not shown) via the lead wire 212, and the first piezoelectric body. The drive piece 203 is driven up and down in the drawing relative to the base portion 203 by the excitation of 206A and 206B.

以上、本実施形態によると、２つの圧電体（第１圧電体２０６Ａ及び２０６Ｂ）にそれぞれリード線を接続する必要がなく、第１実施形態と同様にリード線の本数を少なくすることができる。これにより、配線がシンプルになり、絡まる可能性が低減され、整然とした配線が可能となる。   As described above, according to the present embodiment, it is not necessary to connect lead wires to the two piezoelectric bodies (first piezoelectric bodies 206A and 206B), respectively, and the number of lead wires can be reduced as in the first embodiment. This simplifies wiring, reduces the possibility of tangling, and enables orderly wiring.

また、本実施形態の超音波モータ２１０では、図６に示すように複数の駆動駒２０３が使用される。これらの駆動駒２０３における、同一の電圧が印加される圧電体から延びる導通部を全て連続させ、１本のリード線により電源と接続することができ、超音波モータを安価に製造することができる。   Further, in the ultrasonic motor 210 of the present embodiment, a plurality of driving pieces 203 are used as shown in FIG. In these drive pieces 203, all the conductive portions extending from the piezoelectric body to which the same voltage is applied can be made continuous and connected to the power source by one lead wire, and the ultrasonic motor can be manufactured at low cost. .

１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０，２１０：超音波モータ、１２：弾性部材、１３，２０６Ａ，２０６Ｂ：圧電体、１３ｂ，２０６Ａａ，２０６Ｂａ：導電性接着剤、１５：移動子、１２ｆ，２０６ｃ：導通部、２０２：ベース部、２０４：ロータ   1: camera, 3: lens barrel, 10, 210: ultrasonic motor, 12: elastic member, 13, 206A, 206B: piezoelectric body, 13b, 206Aa, 206Ba: conductive adhesive, 15: moving element, 12f, 206c: conduction portion, 202: base portion, 204: rotor

Claims (7)

複数の圧電体と、
前記圧電体に接着された前記複数の圧電体が固定されるベース部と、
前記複数の圧電体の振動によって前記ベース部に対して相対移動される相対移動部材と、
を備え、
前記ベース部における前記圧電体との接触面、及び前記ベース部の外周面における前記接触面以外の部分の少なくとも一部が不導体であって、
前記ベース部の接触面と前記圧電体との間が導電性接着剤で接着され、
前記ベース部の前記不導体上に、前記複数の圧電体のそれぞれから前記導電性接着剤を介して延びる導通部が、前記ベース部の前記不導体の部分に個別に形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 A plurality of piezoelectric bodies;
A base portion to which the plurality of piezoelectric bodies bonded to the piezoelectric body are fixed ;
A relative movement member that is moved relative to the base portion by vibration of the plurality of piezoelectric bodies;
With
The contact surface between the piezoelectric body in the base portion, and at least part of the portion other than the contact surface of the outer peripheral surface of the base portion is a non-conductor,
The contact surface of the base portion and the piezoelectric body are bonded with a conductive adhesive,
On the nonconductor of the base portion, a conductive portion extending from each of the plurality of piezoelectric bodies via the conductive adhesive is individually formed in the nonconductor portion of the base portion,
Vibration actuator characterized by 請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記振動アクチュエータは、前記圧電体と前記相対移動部材との間に、前記圧電体によって駆動され、前記相対移動部材と接触して前記相対移動部材を相対移動させる駆動体をさらに備えること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to claim 1 ,
Before Kifu dynamic actuators, between the relative moving member and the piezoelectric member, the driven by piezoelectric, the relative movement member and in contact with the relative movement member further comprising further a driving member for relative movement,
Vibration actuator characterized by 請求項１又は２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記ベース部は金属であって、絶縁塗装により前記不導体の部分が形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 and 2 ,
The base portion is a metal, and the non-conductive portion is formed by insulating coating;
Vibration actuator characterized by 請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記ベース部はセラミックであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。 The vibration actuator according to any one of claims 1 to 3 ,
The base is ceramic;
Vibration actuator characterized by 請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。 A lens barrel comprising a vibration actuator according to any one of claims 1-4. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラ。 A camera provided with the vibration actuator of any one of Claims 1-5 . 複数の圧電体と、
前記圧電体に接着された前記複数の圧電体が固定されるベース部と、
前記複数の圧電体の振動によって前記ベース部に対して相対移動される相対移動部材と、
を備え、
前記ベース部における前記圧電体との接触面、及び前記ベース部の外周面における前記接触面以外の部分の少なくとも一部を不導体とし、
前記ベース部の接触面と前記圧電体との間が導電性接着剤で接着し、
前記ベース部の前記不導体上に、前記複数の圧電体のそれぞれから前記導電性接着剤を介して延びる導通部を、前記ベース部の前記不導体の部分に個別に形成すること、
を特徴とする振動アクチュエータの製造方法。 A plurality of piezoelectric bodies;
A base portion to which the plurality of piezoelectric bodies bonded to the piezoelectric body are fixed;
A relative movement member that is moved relative to the base portion by vibration of the plurality of piezoelectric bodies;
With
The contact surface with the piezoelectric body in the base portion, and at least a part of the outer peripheral surface of the base portion other than the contact surface is a non-conductor,
The contact surface of the base portion and the piezoelectric body are bonded with a conductive adhesive,
On the nonconductor of the base portion, a conductive portion extending from each of the plurality of piezoelectric bodies via the conductive adhesive is individually formed in the nonconductor portion of the base portion,
A manufacturing method of a vibration actuator characterized by the above.
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