JP5518226B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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(第1の実施の形態)
図1は本発明の特徴を最も良く表す画素の一部の断面図であってフォトダイオード、転送手段としての電荷転送MOSトランジスタ、増幅手段(不図示)の入力ノードに接続されるフローティングディフュージョンの部分の構造を示すものであり、図4と同一の部材には同一の番号を付して説明を省略する。図1において21は転送ゲート19の直下のチャネル部に形成された信号電荷保持部となるN型の半導体領域、22は前記電荷保持領域21とフローティングディフュージョン領域18との間に形成され、フローティングディフュージョン領域18の電位がP型ウエル16に対して十分逆バイアスされる時には完全に空乏化されるようにその不純物濃度が制御されたN型半導体領域、23は電荷保持領域21への光入射をさえぎるように形成された遮光層である。
ォトダイオードに蓄積された信号電荷を電荷保持領域21に転送する」という動作は全画素同時に行うことができ、したがって信号蓄積動作の開始、終了タイミングは全画素同時となるため、ゆがみのない画像を得ることができる。また、図1からわかるように、フローティングディフュージョン領域18は転送ゲート19と接していないので、フローティングディフュージョン部4の全寄生容量は、従来構成のように転送ゲートとの容量を含まない。その分従来よりもフローティングディフュージョン部の全寄生容量が小さくでき、電荷変換係数が大きくしたがって感度が高くなるという効果がある。
(第2の実施の形態)
図2は本発明の第2の実施の形態を表す画素の一部の断面図であってフォトダイオード、転送手段としての電荷転送MOSトランジスタ、増幅手段(不図示)の入力ノードに接続されるフローティングディフュージョンの部分の構造を示すものであり、図1と同一の部材には同一の番号を付して説明を省略する。図2において、24は第1のP型ウエル、25は第2のP型ウエルであり、24中にはフォトダイオード17が形成され、25中には電荷保持領域21が形成される。
(第3の実施の形態)
次に上記第1及び第2の実施の形態の固体撮像装置を用いた撮像システムについて説明する。
2:フォトダイオード
3:増幅用MOSトランジスタ
4:フローティングディフージョン部
5:信号電荷用MOSトランジスタ
6:リセット用MOSトランジスタ
7:選択用MOSトランジスタ
8:ゲート制御線
9:ゲート制御線
10:ゲート制御線
11:電源線
12:画素出力線
13:定電流供給用MOSトランジスタ
14:ゲート制御線
15:半導体基板
16:半導体ウエル
17:フォトダイオード領域
18:フローティングディフージョン領域
19:転送ゲート
20:配線
21:電荷保持領域
22:完全空乏領域
23:遮光層
24:第1のウエル
25:第2のウエル
Claims (10)
- フォトダイオードと、フローティングディフュージョンと、前記フォトダイオードの信号電荷を前記フローティングディフュージョンへ転送する転送手段と、前記フローティングディフュージョンに転送された信号電荷に基づいて信号を増幅して出力するための増幅手段とを備えた単位画素を複数配列して構成される固体撮像装置において、
前記信号電荷を保持するように前記転送手段の転送ゲートの下のチャネルの一部に設けられた第1導電型の第1の半導体領域を有する信号電荷保持領域と、
前記信号電荷保持領域と前記フローティングディフュージョンとの間にポテンシャル障壁を提供するポテンシャル障壁部とを備えており、
前記信号電荷が前記信号電荷保持領域に保持されている状態において、前記ポテンシャル障壁部は完全空乏化していることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記ポテンシャル障壁部は、前記第1導電型の第2の半導体領域により構成されることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記信号電荷保持領域の上部に遮光層が配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
- 前記第1導電型とは反対導電型の第2導電型の第1のウエルおよび第2のウエルが配され、前記第1のウエル中に前記フォトダイオードを構成する前記第1導電型の第3の半導体領域が配され、前記第2のウエル中に前記信号電荷保持領域を構成する前記第1の半導体領域が配されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第2のウエルは、前記第1のウエルよりも、不純物濃度が高いことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。
- 前記第1のウエルは、前記第2のウエルよりも深い位置まで配されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の固体撮像装置。
- 前記フォトダイオードは埋め込み型であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 全画素で、前記フォトダイオードからの信号電荷の転送を同時に行うことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 全画素で、信号電荷蓄積期間の開始と終了とを同時に行うことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 被写体からの光を結像する結像光学系と、
この結像された像を光電変換する請求項1乃至9のいずれかに記載の固体撮像装置と、
この固体撮像装置からの出力信号をディジタル変換して処理する信号処理回路とを有することを特徴とする撮像システム。
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