JP5513069B2 - Defect inspection apparatus and defect inspection method - Google Patents

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Description

本発明は、金属板、フィルム、不織布、樹脂板等の連続シート状の検査対象物に使用される、キズ、汚れ等の欠陥のうち周期欠陥を検出する欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。   The present invention relates to a defect inspection apparatus and a defect inspection method for detecting a periodic defect among defects such as scratches and dirt used for a continuous sheet-like inspection object such as a metal plate, a film, a nonwoven fabric, and a resin plate.

連続シート状の検査対象物に照明装置からの光を照射し、その反射光あるいは透過光を受光器で撮像し、その画像信号を適当な画像処理装置で処理し、欠陥情報を抽出する欠陥検出装置を用いて、検査対象物の欠陥検査が行われている。   Defect detection that irradiates the continuous sheet-like inspection object with light from the illumination device, captures the reflected or transmitted light with a light receiver, processes the image signal with an appropriate image processing device, and extracts defect information A defect inspection of an inspection object is performed using the apparatus.

連続シート状物の製造ラインにおいては、搬送、延伸等のためにいくつものロールが使用されており、このロールにキズが発生したり、ゴミ等が付着したりすると、連続シート状物の表面に、欠陥がロールの周囲長の間隔で周期的に発生することになる。
したがって、このような連続シート状物の欠陥検査においては、周期性のある欠陥（周期欠陥）の検出に対するニーズがある。すなわち、欠陥検出装置にて周期欠陥が発生したことを判定し、その周期を作業者に通知することができれば、早期に周期欠陥の発生箇所（ロール）を特定することができる。このように、周期欠陥の情報をただちに製造ラインにフィードバックすることができれば、生産性の向上を図ることが可能となる。 In a continuous sheet-like product production line, a number of rolls are used for conveyance, stretching, etc. If scratches are generated on this roll or if dust or the like adheres, , Defects will occur periodically at intervals of the peripheral length of the roll.
Therefore, there is a need for detecting defects with periodicity (periodic defects) in the defect inspection of such a continuous sheet-like material. That is, if it is determined by the defect detection device that a periodic defect has occurred and the operator can be notified of the period, the occurrence location (roll) of the periodic defect can be identified early. As described above, if the information on the periodic defects can be immediately fed back to the production line, the productivity can be improved.

連続シート状物が検査対象である欠陥検出装置においては、周期的に発生する欠陥の検出が行われている。例えば、下記の特許文献１では、周期欠陥検出技術が開示されている。この周期欠陥検出技術は、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報に基づいて、検査対象物の移動方向に沿って分割された複数の検査領域のうち、検出された欠陥がどの検査領域に位置するかを判定する領域判定部を有することを特徴とする技術である。   In a defect detection apparatus in which a continuous sheet-like object is an inspection target, defects that occur periodically are detected. For example, in the following Patent Document 1, a periodic defect detection technique is disclosed. This periodic defect detection technique is based on the defect position information included in the defect information, and in which inspection area the detected defect is located among the plurality of inspection areas divided along the moving direction of the inspection object. This is a technique characterized by having an area determination unit for determining whether or not.

この技術は、下記の特徴を有している。
（１）欠陥情報を記憶するために大きな一時記憶領域を用意する必要がないこと
（２）リアルタイム処理が可能であること
（３）周期長が不明な場合でも、周期欠陥の発生位置と周期長を測定できること
（４）複数の周期長を分類できること This technique has the following features.
(1) It is not necessary to prepare a large temporary storage area for storing defect information. (2) Real-time processing is possible. (3) Even when the period length is unknown, the occurrence position and period length of periodic defects. (4) Ability to classify multiple cycle lengths

特開２００４−２４５７２０号公報JP 2004-245720 A

しかしながら、上述した技術では、下記の問題点があった。
（１）検査領域数を多くすると幅方向において、検査領域の境界が増えるため、検査領域にまたがる欠陥が発生しやすくなり周期判定できない場合が生じる可能性がある。
（２）一方、検査領域数を少なくすると、欠陥位置がx方向に離れていても周期欠陥と誤判定する場合がある。 However, the above-described technique has the following problems.
(1) If the number of inspection areas is increased, the boundaries of the inspection areas increase in the width direction, so that defects that extend over the inspection areas are likely to occur and the period cannot be determined.
(2) On the other hand, if the number of inspection areas is reduced, it may be erroneously determined as a periodic defect even if the defect position is separated in the x direction.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、幅方向に検査領域を分割しなくても精度良く検査することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a defect inspection apparatus and a defect inspection method capable of inspecting with high accuracy without dividing an inspection region in the width direction. is there.

上述した課題を解決するために、本発明は、移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得する欠陥検出部と、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルと、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する欠陥情報処理部と、を具備し、前記欠陥情報処理部は、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報と前記中間データテーブルの欠陥位置情報との位置を比較する比較部と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記中間データテーブルに記憶されているすべての欠陥位置情報に基づく位置から予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する周期欠陥候補検出部と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲外の位置である場合は、当該欠陥情報に含まれる欠陥位置情報を前記中間データテーブルに新規登録し、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする更新部と、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する基準値判定部と、前記カウントアップされた後の周期判定数が周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する周期欠陥判定部と、前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するリセット部を有することを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, the present invention detects a defect present on a moving inspection object, and acquires a defect information including defect position information indicating the position of the detected defect, An intermediate data table that stores the defect position information of the inspection object in association with the period length and the number of period determinations, and a defect information processing unit that detects defects with periodicity based on the defect information. The defect information processing unit compares the position of the defect position information included in the defect information with the position of the defect position information in the intermediate data table, and the position of the defect position information included in the defect information is the intermediate position. a periodic defect candidate detection unit for detecting whether it is within a range of a predetermined period determination accuracy from the position based on all of the defect position information stored in the data table, included in the defect information When the position of the defect position information is out of the range of the period determination accuracy, the defect position information included in the defect information is newly registered in the intermediate data table, and the position of the defect position information included in the defect information Is a position within the range of the cycle determination accuracy, an update unit that counts up the cycle determination number corresponding to the defect position information in the compared intermediate data table, and the cycle determination number after being counted up A reference value determination unit that determines whether or not the determined period determination reference value is equal to or greater than a predetermined period determination reference value; If a defect is not detected while the periodic defect determination unit to detect and the inspection object moves through the reset length R, the intermediate data table of the defect position coordinates where the defect was not detected Characterized in that it has a reset unit to remove over data.

また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記中間データテーブルの欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、前記周期欠陥判定部は、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較結果に基づいて、周期判定精度(｜x-X|≦Xa,|y-Y-P|≦Ya)以内の位置にあるか否かを検出し、前記周期長Pが予め決められた最小周期と最大周期との範囲内の値であるか否かを検出することを特徴とする。
また、本発明は、上述の欠陥検査装置において、前記中間データテーブルは、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて（検査対象物の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度）個記憶することを特徴とする。 According to the present invention, in the defect inspection apparatus described above, the defect position information in the intermediate data table is a coordinate X in the width direction, a coordinate Y in the longitudinal direction, and a periodic defect target of the inspection object. The defect length includes a coordinate length x in the width direction and a coordinate y in the length direction of the inspection object, and the periodic defect determination unit includes the inspection defect. The cycle determination accuracy in the width direction of the object is Xa, the cycle determination accuracy in the longitudinal direction is Ya, the defect position information (x, y) included in the defect information, and the defect position information (X, Y) in the intermediate data table ) Is detected based on the result of comparison with the period determination accuracy (| xX | ≦ Xa, | yYP | ≦ Ya) , and the period length P is set to a predetermined minimum and maximum period. It is characterized by detecting whether or not the value is within the range of the period .
Further, the present invention is the above-described defect inspection apparatus, wherein the intermediate data table associates the defect position information of the inspection object with a period length and a number of period determinations (inspection object width direction inspection range / width). (Direction period determination accuracy) is stored.

また、本発明は、移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得するステップと、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルの欠陥位置情報との位置と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報とを比較するステップと、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記中間データテーブルに記憶されているすべての欠陥位置情報に基づく位置から予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出するステップと、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲外の位置である場合は、当該欠陥情報に含まれる欠陥位置情報を前記中間データテーブルに新規登録し、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップするステップと、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定するステップと、前記カウントアップされた後の周期判定数が周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出するステップと、前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するステップとを実行する欠陥検査方法である。
また、本発明は、上述の欠陥検査方法において、前記中間データテーブルの欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、前記第３のステップにおいて、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較結果に基づいて、周期判定精度（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）以内の位置にあるか否かを検出し、前記周期長Pが予め決められた最小周期と最大周期との範囲内の値であるか否かを検出するステップ、を実行する。
また、本発明は、上述の欠陥検査方法において、前記中間データテーブルは、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて（検査対象物の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度）個記憶する。 The present invention also includes a step of detecting a defect existing on a moving inspection object, obtaining defect information including defect position information indicating a position of the detected defect, and defect position information of the inspection object comparing the position of the defect position information of the intermediate data table, and the defect position information included in the defect information stored in association with the period length and the cycle determining number, defect position included in the defect information Detecting whether the position of the information is within a predetermined period determination accuracy range from a position based on all the defect position information stored in the intermediate data table; and a defect included in the defect information When the position of the position information is outside the range of the period determination accuracy, the defect position information included in the defect information is newly registered in the intermediate data table, and the defect information is included in the defect information. If the position of Murrell defect position information is a position within the range of the periodic determination accuracy, the step of counting up the cycle determining the number corresponding to the defective position information of the intermediate data table the comparison, after being counted up Determining whether or not the number of period determinations is equal to or greater than a predetermined period determination reference value, and if the number of period determinations after counting up is equal to or greater than the period determination reference value, A step of detecting that there is a step of deleting the data in the intermediate data table of the defect position coordinates where the defect is not detected when the defect is not detected while the inspection object moves through the reset length R. This is a defect inspection method to be executed.
According to the present invention, in the defect inspection method described above, the defect position information in the intermediate data table is a coordinate X in the width direction of the inspection object, a coordinate Y in the longitudinal direction, and a periodic defect target. The defect information includes a cycle length P of a difference in Y coordinate from the previous defect, and the defect information includes a coordinate x in the width direction and a coordinate y in the longitudinal direction of the inspection object, and in the third step, the inspection The cycle determination accuracy in the width direction of the object is Xa, the cycle determination accuracy in the longitudinal direction is Ya, the defect position information (x, y) included in the defect information, and the defect position information (X, Y) in the intermediate data table ) To determine whether the position is within a position within the period determination accuracy (| x−X | ≦ Xa, | y−Y−P | ≦ Ya), and the period length P is determined in advance. A step of detecting whether or not the value is within a range between the minimum cycle and the maximum cycle.
Further, the present invention is the above defect inspection method, wherein the intermediate data table associates the defect position information of the inspection object with a period length and a number of period determinations (inspection object width direction inspection range / width). (Direction period determination accuracy) is stored.

本発明によれば、検査対象物の幅方向に分割した検査領域単位ではなく、ある欠陥のｘ軸の座標を基準とし、その座標から、周期欠陥であるか否かの対象となる欠陥のｘ軸の座標がずれの範囲にあるか否かを判断するようにした。これにより、検査対象物の幅方向を分割して検査領域を区切ることなく周期欠陥の判定を行うことができるので、検査領域にまたがる欠陥が発生してしまうことがなく、また、ｘ座標が離れていても周期欠陥であると誤判定することも防止することができる。   According to the present invention, not the inspection area unit divided in the width direction of the inspection object but the x-axis coordinate of a certain defect as a reference, and the x of the defect that is the target of whether or not it is a periodic defect from the coordinates. Judgment is made as to whether the axis coordinates are within the range of deviation. As a result, periodic defects can be determined without dividing the width direction of the inspection object and dividing the inspection area, so that no defect occurs across the inspection area and the x coordinate is separated. Even if it is, it can also prevent misjudging that it is a periodic defect.

連続シート状の検査対象物の製造ラインおよびこの実施形態における欠陥検査装置の一例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the manufacturing line of a continuous sheet-like inspection target object, and the defect inspection apparatus in this embodiment. データ処理ユニット２０の構成を説明する概略ブロック図である。3 is a schematic block diagram illustrating a configuration of a data processing unit 20. FIG. 中間データテーブルの書式を示す図である。It is a figure which shows the format of an intermediate data table. 周期欠陥の代表的な例を示す図である。It is a figure which shows the typical example of a periodic defect. 本発明の周期欠陥判定における各ステップの流れの一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the flow of each step in the periodic defect determination of this invention. 本発明の周期欠陥判定のリセット処理における各ステップの流れの一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the flow of each step in the reset process of the periodic defect determination of this invention. 周期欠陥判定の実施例を説明するための欠陥発生状態を示す図である。It is a figure which shows the defect generation state for demonstrating the Example of a periodic defect determination.

以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、この実施形態における連続シート状の検査対象物の製造ラインおよび欠陥検査装置の一例を示す概略構成図である。この製造ラインは、検査対象物のベースとなるベース材１が巻き回された供給ロール２と、搬送ロール３を介して供給ロール２から供給されたベース材１を加工して検査対象物４を得る加工機５と、搬送ロール６および７を介して加工機５から搬送される検査対象物４を巻き取る巻き取りロール８とから概略構成される。 The present invention will be described in detail below.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a production line for a continuous sheet-like inspection object and a defect inspection apparatus in this embodiment. This manufacturing line processes the base material 1 supplied from the supply roll 2 via the transport roll 3 and the supply roll 2 around which the base material 1 serving as the base of the inspection object is wound, thereby changing the inspection target 4. The processing machine 5 to be obtained and a winding roll 8 for winding up the inspection object 4 conveyed from the processing machine 5 via the conveyance rolls 6 and 7 are schematically configured.

この実施形態における欠陥検査装置は、移動する検査対象物４上に存在する欠陥を検出し、欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等を含む欠陥情報を取得する欠陥検出装置１０と、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出するデータ処理ユニット２０と、検査距離測定装置３０と、欠陥検出結果を表示するディスプレイ４１、プリンタ４２などの出力装置と、キーボード、タッチパネルなどの入力装置５０とを具備して概略構成されるものである。   The defect inspection apparatus in this embodiment detects a defect existing on the moving inspection object 4, and acquires defect information including defect position information, defect area, length, width, and the like, A data processing unit 20 for detecting periodic defects based on defect information, an inspection distance measuring device 30, an output device such as a display 41 and a printer 42 for displaying defect detection results, and an input device such as a keyboard and a touch panel 50 and is roughly configured.

ここで、欠陥検出装置１０は、搬送ロール６、７の間において製造ラインを加工機５から巻き取りロール８に向かって移動する検査対象物４の表面に光を照射する照明装置１１と、検査対象物４からの反射光を受光して、その画像信号を得るラインセンサ１２と、この画像信号を処理する画像処理ユニット１３とを具備して概略構成されるものである。   Here, the defect detection device 10 includes an illumination device 11 that irradiates light onto the surface of the inspection object 4 that moves from the processing machine 5 toward the take-up roll 8 between the transport rolls 6 and 7, and an inspection device. The apparatus includes a line sensor 12 that receives reflected light from the object 4 and obtains an image signal thereof, and an image processing unit 13 that processes the image signal.

検査対象物４は、連続シート状の金属板、フィルム、布、不織布、樹脂板等からなるものであり、ラインセンサ１２の長さ方向に直行するように製造ライン上を移動している。   The inspection object 4 is made of a continuous sheet-like metal plate, film, cloth, nonwoven fabric, resin plate, or the like, and moves on the production line so as to go straight in the length direction of the line sensor 12.

照明装置１１は、検査対象物４上における光の照射範囲の長手方向が検査対象物４の移動方向に直交するように配置されたライン状の照明装置であり、例えば、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等が挙げられる。図示例では、照明装置１１はラインセンサ１２と同じ検査対象物４の表面側に配置されているが、この実施形態における照明装置の配置形態は、これに限られるものではない。例えば、照明装置をラインセンサ１２とは反対の検査対象物４の背面側に配置し、検査対象物４の背面から光を照射し、透過光をラインセンサ１２で受光するようにしてもよい。   The illuminating device 11 is a line-shaped illuminating device arranged so that the longitudinal direction of the light irradiation range on the inspection object 4 is orthogonal to the moving direction of the inspection object 4, for example, a fluorescent lamp, rod illumination, Examples include optical fiber illumination. In the example of illustration, although the illuminating device 11 is arrange | positioned at the surface side of the same test target object 4 as the line sensor 12, the arrangement | positioning form of the illuminating device in this embodiment is not restricted to this. For example, an illuminating device may be arranged on the back side of the inspection object 4 opposite to the line sensor 12 so that light is emitted from the back surface of the inspection object 4 and the transmitted light is received by the line sensor 12.

ラインセンサ１２は、撮像範囲の長手方向が検査対象物４の移動方向に直交するように配置されたライン状の光センサであり、検査対象物４からの反射光あるいは透過光を受光し、検査対象物４の移動方向に直交するライン（検査ライン）単位で検査対象物４表面の光強度分布に応じた画像信号を出力するものである。ラインセンサ１２としては、例えば、素子数（画素数）が２０４８または５０００のＣＣＤカメラ等が用いられる。   The line sensor 12 is a line-shaped optical sensor arranged so that the longitudinal direction of the imaging range is orthogonal to the moving direction of the inspection object 4, receives reflected light or transmitted light from the inspection object 4, and inspects An image signal corresponding to the light intensity distribution on the surface of the inspection object 4 is output in units of lines (inspection lines) orthogonal to the moving direction of the object 4. As the line sensor 12, for example, a CCD camera or the like having 2048 or 5000 elements (number of pixels) is used.

画像処理ユニット１３は、ラインセンサ１２から出力された画像信号を、所定のプログラムにしたがって処理し、検査対象物４上に存在する欠陥を検出し、その検出された欠陥情報（欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等）をデータ処理ユニット２０に出力するものである。画像処理ユニット１３としては、公知の欠陥検出装置に用いられている公知の画像処理装置を用いることができる。   The image processing unit 13 processes the image signal output from the line sensor 12 according to a predetermined program, detects a defect existing on the inspection object 4, and detects the detected defect information (defect position information, defect). (Area, length, width, etc.) are output to the data processing unit 20. As the image processing unit 13, a known image processing device used in a known defect detection device can be used.

図２は、データ処理ユニット２０の構成を説明する概略ブロック図である。
欠陥情報取得部２１は、移動する検査対象物上に存在する欠陥が検出され、検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を画像処理ユニット１３から取得する。中間データテーブル２２は、検査対象物４の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する。欠陥情報処理部２３は、欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する。この欠陥情報処理部２３は、比較部２３１と、周期欠陥候補検出部２３２と、更新部２３３と、基準値判定部２３４と、周期欠陥判定部２３５と、リセット部２３６と、を有する。 FIG. 2 is a schematic block diagram illustrating the configuration of the data processing unit 20.
The defect information acquisition unit 21 detects a defect existing on the moving inspection object, and acquires defect information including defect position information indicating the position of the detected defect from the image processing unit 13. The intermediate data table 22 stores the defect length information of the inspection object 4 in association with the period length and the period determination number. The defect information processing unit 23 detects a defect having periodicity based on the defect information. The defect information processing unit 23 includes a comparison unit 231, a periodic defect candidate detection unit 232, an update unit 233, a reference value determination unit 234, a periodic defect determination unit 235, and a reset unit 236.

比較部２３１は、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との位置を比較する。周期欠陥候補検出部２３２は、予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する。更新部２３３は、周期判定精度の範囲内の位置である場合は、比較した中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)に対応する周期判定数をカウントアップし、中間データテーブル２２のデータを更新する。基準値判定部２３４は、カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する。周期欠陥判定部２３５は、周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出することによって、周期欠陥判定を行う。リセット部２３６は、検査対象物４がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除する。   The comparison unit 231 compares the position between the defect position information (x, y) included in the defect information and the defect position information (X, Y) in the intermediate data table. The periodic defect candidate detection unit 232 detects whether or not it is within a predetermined period determination accuracy range. When the position is within the range of the cycle determination accuracy, the update unit 233 counts up the number of cycle determinations corresponding to the defect position information (X, Y) in the compared intermediate data table, and stores the data in the intermediate data table 22 Update. The reference value determination unit 234 determines whether or not the number of period determinations after counting up is greater than or equal to a predetermined period determination reference value. If the periodic defect determination unit 235 is equal to or greater than the periodic determination reference value, the periodic defect determination unit 235 performs periodic defect determination by detecting the periodic defect. When the defect is not detected while the inspection object 4 moves the reset length R, the reset unit 236 deletes the data in the intermediate data table of the defect position coordinates where the defect is not detected.

次に、周期欠陥判定部２３５が周期欠陥判定を行う場合における周期欠陥判定条件を説明する。この周期欠陥判定条件は、下記のとおりである。
（１）幅方向の周期判定精度（Xa）
今回の欠陥と中間データテーブルに記録されている欠陥のX座標の差の絶対値が、この値以下であれば、周期欠陥の幅方向の対象とする。
（２）長尺方向の周期判定精度(Ya)
上記（１）を満足した欠陥のうち、今回の欠陥と中間データテーブルに記録されている欠陥のY座標の差と中間テーブルに記録されている周期長Pの差の絶対値がこの値以下であれば、周期欠陥の流れ方向の対象とする。
（３）最小周期(Cmin)、最大周期(Cmax)
最小周期(Cmin)、最大周期(Cmax)は、周期欠陥の対象とするか否かの基準となる値である。上記（２）を満足した欠陥のうち、周期長Pが、最小周期(Cmin)未満または最大周期(Cmax)を超えていた場合は、周期欠陥の対象外とする。
（４）リセット長(R)
中間データテーブルに記録されているY座標と測長値の差がこの値を超えた場合は、該当欠陥位置座標の中間データテーブルを削除する。さらに、中間データテーブルすべての欠陥位置座標でY座標と測長値の差がこの値を超えた場合は周期欠陥NG信号をOFFにする。これにより、周期欠陥ではないものと判定される。
（５）周期判定基準値(K)
上記（１）、（２）を満足した個数がこの値以上の場合、周期欠陥と判定し、周期欠陥NG信号を出力する。この値は、周期欠陥であるか否かを判定する基準値の周期判定数である。 Next, periodic defect determination conditions when the periodic defect determination unit 235 performs periodic defect determination will be described. The periodic defect determination conditions are as follows.
(1) Period determination accuracy in the width direction (Xa)
If the absolute value of the X coordinate difference between the current defect and the defect recorded in the intermediate data table is less than or equal to this value, the defect is targeted in the width direction.
(2) Longitudinal cycle judgment accuracy (Ya)
Among the defects that satisfy the above (1), the absolute value of the difference between the Y coordinate of the current defect and the defect recorded in the intermediate data table and the difference of the period length P recorded in the intermediate table is less than this value. If there is, it is the target of the flow direction of the periodic defects.
(3) Minimum cycle (Cmin), Maximum cycle (Cmax)
The minimum period (Cmin) and the maximum period (Cmax) are values that serve as references for determining whether or not to be a target of periodic defects. Among the defects that satisfy the above (2), if the period length P is less than the minimum period (Cmin) or exceeds the maximum period (Cmax), it is excluded from the period defect.
(4) Reset length (R)
If the difference between the Y coordinate recorded in the intermediate data table and the measured value exceeds this value, the intermediate data table of the corresponding defect position coordinate is deleted. Further, when the difference between the Y coordinate and the measured value exceeds this value in the defect position coordinates of all the intermediate data tables, the periodic defect NG signal is turned OFF. Thereby, it is determined that it is not a periodic defect.
(5) Period judgment reference value (K)
When the number satisfying the above (1) and (2) is equal to or greater than this value, it is determined as a periodic defect and a periodic defect NG signal is output. This value is the period determination number of the reference value for determining whether or not the defect is a period defect.

図３は、中間データテーブル２２の一例を示す図である。
中間データテーブル２２は、最大m個の中間データを保存できる。mは、最大（検査対象物４の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度(Xa)）である。ここでいう中間データとは、得られた欠陥情報が周期欠陥を構成するものであるか否かを判定するために用いられる情報である。この欠陥位置座標の中間データは、周期欠陥ではないと判定されると、更新部２３３によって削除される。このように、検査対象物４の全長に渡る全ての欠陥情報を中間データとして記憶する必要がないので、中間データを記憶するメモリ領域の容量を削減できる。 FIG. 3 is a diagram illustrating an example of the intermediate data table 22.
The intermediate data table 22 can store a maximum of m intermediate data. m is the maximum (width direction inspection range of inspection object 4 / cycle direction accuracy (Xa) in width direction). The intermediate data here is information used to determine whether or not the obtained defect information constitutes a periodic defect. If it is determined that the defect position coordinate intermediate data is not a periodic defect, the update unit 233 deletes the intermediate data. Thus, since it is not necessary to store all the defect information over the entire length of the inspection object 4 as intermediate data, the capacity of the memory area for storing the intermediate data can be reduced.

中間データテーブルに記録されるデータは、欠陥の幅方向中心座標(X)、欠陥の流れ方向中心座標(Y)、周期長(P)、周期判定数(N)、周期判定中一部未検出数(C)を含む。
欠陥の幅方向中心座標(x)、欠陥の流れ方向中心座標(y)は、それぞれ、周期欠陥対象となっている欠陥のうち、最新の欠陥であり、検査対象物４上の位置を示す座標を表す。
周期長(P)は、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差である。
周期判定数(N)は、周期欠陥対象となった欠陥情報の個数である。
周期判定中一部未検出数(C)は、周期欠陥と判定している時の欠陥を検出していない数である。 The data recorded in the intermediate data table is the center coordinate (X) of the defect width direction, the center coordinate (Y) of the defect flow direction, the cycle length (P), the number of cycle judgments (N), and some not detected during cycle judgment Includes number (C).
The center coordinate (x) in the width direction of the defect and the center coordinate (y) in the flow direction of the defect are coordinates indicating the position on the inspection object 4 which is the latest defect among the defects which are the periodic defect targets. Represents.
The period length (P) is a difference in Y coordinate from the previous defect that is the target of the period defect.
The number of period determinations (N) is the number of defect information that is a periodic defect target.
The partially undetected number (C) during period determination is a number in which no defect is detected when it is determined as a period defect.

図４は、周期欠陥の代表的な例を示す図である。
画像処理ユニット１３から送られてきた欠陥情報に含まれる欠陥位置情報（x,y）が、中間データテーブルに記録されているデータ（X,Y）のうち、（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）の位置にあるか否かに基づいて、周期欠陥判定部２３５が周期判定を行っている。図４の欠陥Ａｎ−２、Ａｎ−１、Ａｎは、前記の条件を満足しており、周期欠陥であると判定される。 FIG. 4 is a diagram illustrating a typical example of periodic defects.
The defect position information (x, y) included in the defect information sent from the image processing unit 13 is (| x−X | ≦ Xa, among the data (X, Y) recorded in the intermediate data table. The periodic defect determination unit 235 performs the period determination based on whether or not the position is | y−Y−P | ≦ Ya). Defect A n-2, A n- 1, A n in Figure 4 satisfies the above conditions, are determined to be the point defect.

検査距離測定装置３０は、検査開始時点からの検査距離を測定するものである。検査距離測定装置３０としては、例えば、ロータリエンコーダ等が使用される。この検査距離測定装置３０は、検査対象物４が所定距離（例えば、０．１ｍｍ）を移動するごとに発生するパルスを、検査開始時点からカウントし、そのパルス数にパルス分解能（例えば、０．１ｍｍ／パルス）を乗じることで、検査開始時点からの距離を算出する。また、製造ラインのスピードが一定であれば、ロータリエンコーダを使用することなく、一定時間毎にカウントしていくことで検査開始時点からの検査距離を算出してもよい。   The inspection distance measuring device 30 measures the inspection distance from the inspection start time. As the inspection distance measuring device 30, for example, a rotary encoder or the like is used. This inspection distance measuring device 30 counts pulses generated every time the inspection object 4 moves a predetermined distance (for example, 0.1 mm) from the inspection start time, and the pulse resolution (for example, 0. 1 mm / pulse) to calculate the distance from the inspection start time. If the speed of the production line is constant, the inspection distance from the inspection start time may be calculated by counting every predetermined time without using the rotary encoder.

出力装置４０は、データ処理ユニット２０から送られた周期欠陥が存在する検査領域の番号、X座標、その周期（欠陥距離Ｐｎ）等の周期欠陥情報を出力するものである。出力装置としては、ディスプレイ４１、プリンタ４２などを用いることができる。また、データ処理ユニット２０には、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力装置５０などの周辺機器を接続してもよい。
また、データ処理ユニット２０には、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力装置５０などの周辺機器を接続してもよい。 The output device 40 outputs periodic defect information such as the number, X coordinate, and period (defect distance Pn) of the inspection area where the periodic defect exists, sent from the data processing unit 20. As the output device, a display 41, a printer 42, or the like can be used. Further, peripheral devices such as an input device 50 such as a display touch panel, a switch panel, and a keyboard may be connected to the data processing unit 20.
Further, peripheral devices such as an input device 50 such as a display touch panel, a switch panel, and a keyboard may be connected to the data processing unit 20.

図５は、この実施形態における周期欠陥判定方法のステップを示すフローチャートである。この図を用いて、上述の欠陥検査装置の動作を説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing the steps of the periodic defect determination method in this embodiment. The operation of the above-described defect inspection apparatus will be described with reference to this figure.

ステップS1(欠陥情報取得)
画像処理ユニット１３は、検査距離測定装置３０から出力されたパルス信号に同期して画像処理を行い、欠陥を検出し、欠陥情報（欠陥位置情報、欠陥の面積、幅、長さ等）を生成する。
この欠陥情報の生成は、例えば、ラインセンサ１２から出力される画素ごとのアナログの画像信号Ａｉ（ｉ：画素Ｎｏ）は、例えば、画像処理ユニット１３内のＡ／Ｄ変換部によって８ビットの濃度値（２５６階調）を表すデジタル信号Ｂｉに変換される。Ａ／Ｄ変換部で変換されたデジタル信号Ｂｉは、正常部に対して指定された２つのスライスレベルにしたがって二値化部で二値化される。二値化後のデジタル信号は、ランレングス符号化部でランレングス符号化される。ランレングス符号化された検査ラインごとの画像信号（１次元情報）は、連結性処理部で検査対象物４の移動方向につなぎ合わされる。つなぎ合わされた画像信号（２次元情報）からは、あらかじめ設定された検査基準（サイズ）以上の欠陥が検出され、検出された欠陥ａｎの面積、検査対象物４の移動方向の長さＬ、検査対象物４の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥位置座標：x、y）、ランク（大小）、種類等の欠陥情報が取得される。さらに、膨張処理を施し、幅方向および移動方向の欠陥位置座標が指定範囲内の複数の欠陥を一つに集約させている。
このようにして画像処理ユニット１３で取得された欠陥情報は、データ処理ユニット２０の欠陥情報取得部２１に送られる。 Step S1 (Defect information acquisition)
The image processing unit 13 performs image processing in synchronization with the pulse signal output from the inspection distance measuring device 30, detects defects, and generates defect information (defect position information, defect area, width, length, etc.). To do.
For example, the defect information is generated by using an analog image signal Ai (i: pixel No) for each pixel output from the line sensor 12, for example, an 8-bit density by an A / D converter in the image processing unit 13. It is converted into a digital signal Bi representing a value (256 gradations). The digital signal Bi converted by the A / D conversion unit is binarized by the binarization unit in accordance with two slice levels designated for the normal part. The binarized digital signal is run-length encoded by a run-length encoding unit. The run-length encoded image signals (one-dimensional information) for each inspection line are connected in the moving direction of the inspection object 4 by the connectivity processing unit. From the joined image signal (two-dimensional information), a defect equal to or larger than a preset inspection standard (size) is detected, the area of the detected defect an, the length L in the moving direction of the inspection object 4, Defect information such as the length in the width direction of the inspection object 4, the center position in the width direction (defect position coordinates: x, y), rank (large and small), and type is acquired. Furthermore, an expansion process is performed, and a plurality of defects whose defect position coordinates in the width direction and the movement direction are within a specified range are aggregated into one.
The defect information acquired by the image processing unit 13 in this way is sent to the defect information acquisition unit 21 of the data processing unit 20.

ステップS2（X座標が一致）
画像処理ユニット１３によって欠陥情報が生成されると、データ処理ユニット２０は、得られた欠陥情報のうち欠陥位置情報(x)を中間データテーブルに書き込まれたデータ(X)とを比較し、下記に式（１）の条件を満足するものがあるか比較する。
｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ ・・・（１） Step S2 (X coordinates match)
When the defect information is generated by the image processing unit 13, the data processing unit 20 compares the defect position information (x) of the obtained defect information with the data (X) written in the intermediate data table, and Are compared to satisfy the condition of the formula (1).
| X−X | ≦ Xa (1)

ステップS3(新規登録)
データ処理ユニット２０は、ステップS2で条件を満足するものがなかった場合、今回の欠陥情報を新規の周期欠陥対象として中間データテーブルに登録して終了する。
登録内容は、下記のとおりである。
Ｘ＝ｘ，Ｙ＝ｙ，Ｐ＝０，Ｎ＝１ Step S3 (new registration)
If there is no data processing unit 20 that satisfies the condition at step S2, the data processing unit 20 registers the current defect information as a new periodic defect target in the intermediate data table and ends the process.
The contents of registration are as follows.
X = x, Y = y, P = 0, N = 1

ステップS4（周期長が周期対象か判定）
ステップS2で条件を満足するものがあった場合、データ処理ユニット２０は、欠陥位置情報(y)と中間データテーブルに書き込まれたデータ(Y)とを比較し、次の式（２）の条件を満足するものがあるか比較する。 Step S4 (determining whether the cycle length is a cycle target)
If there is one satisfying the condition in step S2, the data processing unit 20 compares the defect position information (y) with the data (Y) written in the intermediate data table, and the condition of the following equation (2) Compare if there is something that satisfies.

ステップS５（登録削除）
式（２）を満足した場合は、周期欠陥対象としないため、終了する。
｜ｙ−Ｙ｜＜Ｃｍｉｎ，｜ｙ−Ｙ｜＞Ｃｍａｘ ・・・（２） Step S5 (deletion of registration)
If the expression (2) is satisfied, it is not considered as a periodic defect target, and the process ends.
| Y-Y | <Cmin, | y-Y |> Cmax (2)

ステップS６（Y座標の周期性）
次に、データ処理ユニット２０は、欠陥位置情報(y)と中間データテーブルのデータ(Y)とを比較し、次の式（３）または式（４）の条件を満足するものがあるか比較する。周期判定前の場合は、周期長が長尺方向の周期判定精度Ya以内であることを式（３）に基づいてチェックする。一方、周期判定後の場合は、周期欠陥の一部未検出の場合でも周期欠陥判定を行うため、(C×Ya)以内であることを式（４）に基づいてチェックする。周期判定中一部未検出数Cは、（｜ｙ−Ｙ｜）÷Ｐで求まる。ただし、Pが０の場合、周期判定中一部未検出数Cは0とする。 Step S6 (Y coordinate periodicity)
Next, the data processing unit 20 compares the defect position information (y) with the data (Y) in the intermediate data table, and compares whether there is any that satisfies the condition of the following formula (3) or formula (4). To do. Before period determination, it is checked based on the formula (3) that the period length is within the period determination accuracy Ya in the longitudinal direction. On the other hand, after the period determination, since the periodic defect determination is performed even when some of the periodic defects are not detected, it is checked based on the formula (4) that it is within (C × Ya). The partially undetected number C during the period determination is obtained by (| y−Y |) ÷ P. However, when P is 0, the partially undetected number C during period determination is 0.

周期判定前（N<C）の場合
｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ ・・・・（３）
周期判定後（N≧C）の場合
｜ｙ−Ｙ−Ｃ×Ｐ｜≦Ｃ×Ｙａ ・・・・（４） Before period determination (N <C) | y−Y−P | ≦ Ya (3)
After period determination (N ≧ C) | y−Y−C × P | ≦ C × Ya (4)

ステップS７（登録削除）
データ処理ユニット２０は、ステップS６の条件を満足しない場合、周期欠陥ではないと判定し、該当する欠陥位置座標の中間テーブルデータを削除する。 Step S7 (deletion of registration)
If the condition of step S6 is not satisfied, the data processing unit 20 determines that the defect is not a periodic defect, and deletes the intermediate table data of the corresponding defect position coordinate.

ステップS８（登録）
データ処理ユニット２０は、S６の条件を満足した場合は、周期欠陥対象と判定し、中間データとして下記を登録する。
Ｘ＝ｘ，Ｙ＝ｙ，Ｐ＝（ｙ−Ｙ），Ｎ＝Ｎ＋１ Step S8 (registration)
When the condition of S6 is satisfied, the data processing unit 20 determines that the target is a periodic defect and registers the following as intermediate data.
X = x, Y = y, P = (y−Y), N = N + 1

ステップS９（Ｎ≧周期判定基準値（Ｋ））
データ処理ユニット２０は、周期判定数Ｎが、周期判定基準値Ｋ未満の場合は終了し、周期判定基準値Ｋ以上の場合は、周期欠陥であると判定する。 Step S9 (N ≧ period determination reference value (K))
The data processing unit 20 ends when the period determination number N is less than the period determination reference value K, and determines that it is a period defect when it is equal to or greater than the period determination reference value K.

ステップS１０（周期NG出力ON）
データ処理ユニット２０は、周期判定数Ｎが、周期判定基準値がＫ以上の場合だと、出力装置４０に周期NG信号を出力する。 Step S10 (cycle NG output ON)
The data processing unit 20 outputs a period NG signal to the output device 40 when the period determination number N is a case where the period determination reference value is K or more.

図６は、周期欠陥のリセット処理のステップを示すフローチャートである。
データ処理ユニット２０は、このリセット処理を、欠陥検出の処理とは関係なく、一定の時間間隔で実行する。 FIG. 6 is a flowchart showing the steps of periodic defect reset processing.
The data processing unit 20 executes this reset process at regular time intervals irrespective of the defect detection process.

ステップＳ２１（リセットチェック）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、次式を満足するデータがない場合は、終了する。
測長値−Ｙ＞Ｒ ・・・・（５） Step S21 (reset check)
The data processing unit 20 checks the contents of the intermediate data table for each defect position coordinate, and ends if there is no data satisfying the following expression.
Measurement value-Y> R (5)

ステップＳ２２（登録削除）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、上述の式（５）を満足するデータがある場合は、その欠陥位置座標別の中間データを削除する。 Step S22 (registration deletion)
The data processing unit 20 checks the contents of the intermediate data table for each defect position coordinate, and if there is data satisfying the above equation (5), deletes the intermediate data for each defect position coordinate.

ステップS２３（周期NG出力OFF）
データ処理ユニット２０は、欠陥位置座標別に中間データテーブルの内容をチェックし、中間データの中すべて、周期欠陥のデータがなくなった場合は、周期NG出力をOFFとして終了する。 Step S23 (cycle NG output OFF)
The data processing unit 20 checks the contents of the intermediate data table for each defect position coordinate, and when there is no periodic defect data in all the intermediate data, the period NG output is turned OFF and the process is terminated.

［実施例］
以下、具体的な実施例について説明する。
図１に示すような製造ラインにおいて、図２に示す構成の欠陥検査装置を用いて、検査対象物の欠陥検査を行った。検査対象の幅は800mm、走行速度は30m/分である。 [Example]
Specific examples will be described below.
In the production line as shown in FIG. 1, the defect inspection of the inspection object was performed using the defect inspection apparatus having the configuration shown in FIG. The width of the inspection object is 800mm and the running speed is 30m / min.

照明装置１１としては、高周波点灯蛍光灯を用い、ラインセンサ１２としては、ラインＣＣＤカメラ（（株）メック製、ＭＫＳ−５０００、画素数5000、幅方向分解能0.1mm／画素、移動方向分解能0.1mm／スキャン）を用いた。画像処理ユニットとしては、（株）メック製のＬＳＣ−４００Ｖを用いた。   The illumination device 11 is a high-frequency lighting fluorescent lamp, and the line sensor 12 is a line CCD camera (manufactured by Mec Co., Ltd., MKS-5000, number of pixels 5000, width direction resolution 0.1 mm / pixel, movement direction resolution 0.1 mm). / Scan) was used. As the image processing unit, LSC-400V manufactured by MEC Co., Ltd. was used.

周期判定条件は、下記のとおりである。
幅方向の周期判定精度（Xa） 5mm
長尺方向の周期判定精度(Ya) 0.03m
最小周期(Cmin) 0.1m
最大周期(Cmax) 2m
リセット長(R) 10m
周期判定基準値(K) 5 The period determination conditions are as follows.
Width judgment accuracy (Xa) 5mm
Longitudinal cycle judgment accuracy (Ya) 0.03m
Minimum period (Cmin) 0.1m
Maximum cycle (Cmax) 2m
Reset length (R) 10m
Cycle judgment reference value (K) 5

図７は、周期欠陥判定の実施例を説明するための欠陥マップである。表１は、検出した１４個の欠陥検出座標を示す。   FIG. 7 is a defect map for explaining an example of periodic defect determination. Table 1 shows the detected 14 defect detection coordinates.

Figure 0005513069
Figure 0005513069

表２は、図５のフローチャートに従って処理を行った中間データテーブルの内容の変化を示す。   Table 2 shows changes in the contents of the intermediate data table processed according to the flowchart of FIG.

Figure 0005513069
Figure 0005513069

１）欠陥A1検出時
中間データテーブルには保存データがないため、（X=100.1、Y=200.00、p=0、N=1）を記録する。
２） 欠陥A2検出時
中間データテーブルには保存データが１個あるが、x座標が幅方向の周期判定精度より離れているため、2番目に（X=120.2、Y=200.28、p=0、N=1）を記録する。 1) When defect A1 is detected Since there is no stored data in the intermediate data table, (X = 100.1, Y = 200.00, p = 0, N = 1) is recorded.
2) At the time of defect A2 detection Although there is one stored data in the intermediate data table, the x coordinate is far from the cycle judgment accuracy in the width direction, so the second (X = 120.2, Y = 200.28, p = 0, N = 1).

３）欠陥A3検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.1、Y=200.56、p=0.28、N=2）を記録する。
４）欠陥A4検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.0、Y=200.60、p=0.60、N=2）を記録する。 3) At the time of defect A3 detection Since the second of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle direction accuracy in the width direction, (X = 120.1, Y = 200.56, p = 0.28, N = 2) is recorded.
4) At the time of defect A4 detection Since the first of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle direction accuracy in the width direction, (X = 100.0, Y = 200.60, p = 0.60, N = 2) is recorded.

５）欠陥A5検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるが、y座標の差が最小周期より小さいため、未処理とする。
６） 欠陥A6検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.2、Y=200.84、p=0.28、N=3）を記録する。 5) At the time of defect A5 detection The second coordinate in the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle determination accuracy in the width direction.
6) When defect A6 is detected Since the second coordinate in the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle direction accuracy in the width direction, (X = 120.2, Y = 200.84, p = 0.28, N = 3) is recorded.

７） 欠陥A7検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.3、Y=201.12、p=0.28、N=4）を記録する。
８）欠陥A8検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.0、Y=201.20、p=0.60、N=3）を記録する。 7) At the time of defect A7 detection Since the second of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle direction accuracy in the width direction, (X = 120.3, Y = 201.12, p = 0.28, N = 4) is recorded.
8) At the time of defect A8 detection Since (X = 100.0, Y = 201.20, p = 0.60, N = 3) is recorded because the first of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle determination accuracy in the width direction.

９）欠陥A9検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=120.2、Y=201.40、p=0.28、N=5）を記録し、周期判定基準値以上となったので、周期欠陥NG信号をONとする。
１０）欠陥A10検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.1、Y=201.80、p=0.60、N=4）を記録する。 9) When defect A9 is detected Since the second of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle judgment accuracy in the width direction, record (X = 120.2, Y = 201.40, p = 0.28, N = 5), and the cycle Since it is equal to or greater than the judgment reference value, the periodic defect NG signal is turned ON.
10) At the time of detecting the defect A10 Since the first coordinate of the intermediate data table and the x coordinate are within the period determination accuracy in the width direction, (X = 100.1, Y = 201.80, p = 0.60, N = 4) is recorded.

１１）欠陥A11検出時
中間データテーブルの2番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内である。また、y座標が、周期欠陥が２個（B1,B2）を検出しなかった長尺方向の周期判定精度以内のため、（X=120.2、Y=202.04、p=0.28、N=6）を記録する。
１２）欠陥A12検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.3、Y=202.40、p=0.60、N=5）を記録し、周期判定基準値以上となったので、周期欠陥NG信号をONとする。 11) At the time of detecting the defect A11 The second of the intermediate data table and the x coordinate are within the accuracy of period determination in the width direction. In addition, since the y coordinate is within the cycle judgment accuracy in the longitudinal direction where two periodic defects (B1, B2) were not detected, (X = 120.2, Y = 202.04, p = 0.28, N = 6) Record.
12) At the time of defect A12 detection Since the first of the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle judgment accuracy in the width direction, record (X = 100.3, Y = 202.40, p = 0.60, N = 5), and the cycle Since it is equal to or greater than the judgment reference value, the periodic defect NG signal is turned ON.

１３）欠陥A13検出時
中間データテーブルの1番目と、x座標が幅方向の周期判定精度以内であるため、（X=100.5、Y=203.00、p=0.60、N=6）を記録し、周期欠陥NG信号はONのままとする。
１４）欠陥A14検出時
リセット長よりも離れているため、図６のフローチャートに従って処理し、中間データテーブルを削除し、周期欠陥NG信号をOFFとしている。
その後、欠陥A14検出時に、中間データテーブルには保存データがないため、（X=120.5、Y=230.00、p=0、N=1）を記録する。 13) At the time of defect A13 detection Since the first coordinate in the intermediate data table and the x coordinate are within the cycle judgment accuracy in the width direction, (X = 100.5, Y = 203.00, p = 0.60, N = 6) is recorded, and the cycle The defect NG signal remains ON.
14) When defect A14 is detected Since the distance is longer than the reset length, processing is performed according to the flowchart of FIG. 6, the intermediate data table is deleted, and the periodic defect NG signal is turned OFF.
Thereafter, when the defect A14 is detected, since there is no stored data in the intermediate data table, (X = 120.5, Y = 230.00, p = 0, N = 1) is recorded.

以上説明した実施形態によれば、指定したＸ座標のずれ量の範囲で周期判定を行うようにしたので、周期欠陥であるか否かを判定する対象の欠陥が検査領域にまたがるということを防止することができる。また、周期判定中の中間データは、(maxシート幅／Δｘ＋１)であり、現状よりも小であるので、リアルタイム性が低下しない。
また、上述の１１）欠陥A11検出時によれば、一度周期欠陥であると判定した場合、途中で周期欠陥対象を検出していなくても、再度検出した場合は、周期欠陥であると判定することができる。 According to the embodiment described above, since the period determination is performed within the range of the specified X-coordinate deviation amount, it is possible to prevent the target defect for determining whether or not it is a periodic defect from extending over the inspection region. can do. Further, since the intermediate data during the period determination is (max sheet width / Δx + 1), which is smaller than the current state, the real-time property does not deteriorate.
In addition, according to the above-mentioned 11) When detecting the defect A11, if it is determined that it is a periodic defect, it is determined that it is a periodic defect if it is detected again even if the periodic defect target is not detected in the middle. Can do.

また、その他に下記の効果も得られる。
１）欠陥情報を記憶するのに大きな一時容量を用意する必要がない
２）リアルタイム処理が可能である
３）周期長が不明な場合でも、周期欠陥の発生位置と周期長を測定できる
４）複数の周期長を分類できる
５）シートが蛇行し、検査位置と欠陥発生位置が幅方向に一定ではない結果が得られたとしても、幅方向の周期判定精度以内であれば、連続した欠陥として把握することができるので、シートの蛇行に対応できる。 In addition, the following effects can be obtained.
1) It is not necessary to prepare a large temporary capacity for storing defect information. 2) Real-time processing is possible. 3) Even when the period length is unknown, the occurrence position and period length of periodic defects can be measured. 5) Even if the sheet meanders and the inspection position and the defect occurrence position are not constant in the width direction, if they are within the accuracy of the period determination in the width direction, they are recognized as continuous defects. It is possible to cope with the meandering of the sheet.

また、図１における欠陥検査装置の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより欠陥検査を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。   1 is recorded on a computer-readable recording medium, and the program recorded on the recording medium is read into a computer system and executed to perform defect inspection. You may go. Here, the “computer system” includes an OS and hardware such as peripheral devices.

また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであってもよい。 Further, the “computer system” includes a homepage providing environment (or display environment) if a WWW system is used.
The “computer-readable recording medium” refers to a storage device such as a flexible medium, a magneto-optical disk, a portable medium such as a ROM and a CD-ROM, and a hard disk incorporated in a computer system. Furthermore, the “computer-readable recording medium” dynamically holds a program for a short time like a communication line when transmitting a program via a network such as the Internet or a communication line such as a telephone line. In this case, a volatile memory in a computer system serving as a server or a client in that case, and a program that holds a program for a certain period of time are also included. The program may be a program for realizing a part of the functions described above, and may be a program capable of realizing the functions described above in combination with a program already recorded in a computer system.

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。   The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and includes designs and the like that do not depart from the gist of the present invention.

１ ベース材
２ 供給ロール
３ 搬送ロール
４ 検査対象物
５ 加工機
６ 搬送ロール
７ 搬送ロール
８ 巻き取りロール
１０ 欠陥検出装置
１１ 照明装置
１２ ラインセンサ
１３ 画像処理ユニット
２０ データ処理ユニット
３０ 検査距離測定装置
４０ 出力装置
４１ ディスプレイ
４２ プリンタ
５０ 入力装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material 2 Supply roll 3 Conveyance roll 4 Inspection object 5 Processing machine 6 Conveyance roll 7 Conveyance roll 8 Winding roll 10 Defect detection apparatus 11 Illumination apparatus 12 Line sensor 13 Image processing unit 20 Data processing unit 30 Inspection distance measurement apparatus 40 Output device 41 Display 42 Printer 50 Input device

Claims (6)

移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得する欠陥検出部と、
前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルと、
欠陥情報に基づいて周期性のある欠陥を検出する欠陥情報処理部と、
を具備し、
前記欠陥情報処理部は、
前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報と前記中間データテーブルの欠陥位置情報との位置を比較する比較部と、
前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記中間データテーブルに記憶されているすべての欠陥位置情報に基づく位置から予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する周期欠陥候補検出部と、
前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲外の位置である場合は、当該欠陥情報に含まれる欠陥位置情報を前記中間データテーブルに新規登録し、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする更新部と、
カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する基準値判定部と、
前記カウントアップされた後の周期判定数が周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する周期欠陥判定部と、
前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除するリセット部
を有することを特徴とする欠陥検査装置。 A defect detection unit that detects defects existing on the moving inspection object and acquires defect information including defect position information indicating the position of the detected defect;
An intermediate data table for storing a cycle length and a cycle determination number in association with the defect position information of the inspection object;
A defect information processing unit for detecting defects with periodicity based on defect information;
Comprising
The defect information processing unit
A comparison unit that compares the position of the defect position information included in the defect information with the position of the defect position information in the intermediate data table;
A periodic defect for detecting whether or not the position of the defect position information included in the defect information is within a predetermined period determination accuracy range from positions based on all the defect position information stored in the intermediate data table A candidate detection unit;
When the position of the defect position information included in the defect information is a position outside the range of the period determination accuracy, the defect position information included in the defect information is newly registered in the intermediate data table and included in the defect information. An update unit that counts up the number of period determinations corresponding to the defect position information of the compared intermediate data table when the position of the defect position information to be detected is a position within the range of the period determination accuracy;
A reference value determination unit for determining whether or not the number of period determinations after counting up is equal to or greater than a predetermined period determination reference value;
In the case where the number of period determinations after counting up is equal to or greater than the period determination reference value, a period defect determination unit that detects a period defect,
A defect inspection comprising: a reset unit that deletes data in an intermediate data table of defect position coordinates in which a defect is not detected when a defect is not detected while the inspection object moves through a reset length R apparatus. 前記中間データテーブルの欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、
前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、
前記周期欠陥判定部は、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較結果に基づいて、周期判定精度（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）以内の位置にあるか否かを検出し、前記周期長Pが予め決められた最小周期と最大周期との範囲内の値であるか否かを検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。 The defect position information in the intermediate data table includes a coordinate X in the width direction of the inspection object, a coordinate Y in the longitudinal direction, and a cycle length P of a difference in Y coordinate from the previous defect that is a periodic defect target. Including
The defect information includes a coordinate x in the width direction and a coordinate y in the longitudinal direction of the inspection object,
The periodic defect determination unit is configured such that the periodic determination accuracy in the width direction of the inspection object is Xa, the periodic determination accuracy in the longitudinal direction is Ya, defect position information (x, y) included in defect information, and the intermediate data Based on the comparison result with the defect position information (X, Y) of the table, it is detected whether or not the position is within the period determination accuracy (| x−X | ≦ Xa, | y−Y−P | ≦ Ya). 2. The defect inspection apparatus according to claim 1 , wherein it is detected whether or not the period length P is a value within a range between a predetermined minimum period and a maximum period . 前記中間データテーブルは、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて（検査対象物の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度）個記憶する  In the intermediate data table, the defect position information of the inspection object is associated with the period length and the number of period determinations (inspection object width direction inspection range / width direction period determination accuracy).
ことを特徴とする請求項１または２に記載の欠陥検査装置。  The defect inspection apparatus according to claim 1, wherein 移動する検査対象物上に存在する欠陥を検出し、前記検出された欠陥の位置を表す欠陥位置情報を含む欠陥情報を取得する第１のステップと、
前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて記憶する中間データテーブルの欠陥位置情報との位置と、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報とを比較する第２のステップと、
前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記中間データテーブルに記憶されているすべての欠陥位置情報に基づく位置から予め決められた周期判定精度の範囲内であるか否かを検出する第３のステップと、
前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲外の位置である場合は、当該欠陥情報に含まれる欠陥位置情報を前記中間データテーブルに新規登録し、前記欠陥情報に含まれる欠陥位置情報の位置が前記周期判定精度の範囲内の位置である場合は、前記比較した中間データテーブルの欠陥位置情報に対応する周期判定数をカウントアップする第４のステップと、
カウントアップされた後の周期判定数が予め決められた周期判定基準値以上であるか否かを判定する第５のステップと、
前記カウントアップされた後の周期判定数が周期判定基準値以上である場合には、周期欠陥であることを検出する第６のステップと、
前記検査対象物がリセット長Rを移動する間に欠陥が検出されなかった場合、欠陥が検出されなかった欠陥位置座標の中間データテーブルのデータを削除する第７のステップと
を実行する欠陥検査方法。 A first step of detecting a defect existing on a moving inspection object and acquiring defect information including defect position information indicating a position of the detected defect;
A second position for comparing the position of the defect position information of the intermediate data table that stores the defect length information of the inspection object in association with the period length and the number of period determinations, and the defect position information included in the defect information . Steps,
Third detecting whether or not the position of the defect position information included in the defect information is within a predetermined period determination accuracy range from positions based on all the defect position information stored in the intermediate data table . And the steps
When the position of the defect position information included in the defect information is a position outside the range of the period determination accuracy, the defect position information included in the defect information is newly registered in the intermediate data table and included in the defect information. A fourth step of counting up the number of period determinations corresponding to the defect position information of the compared intermediate data table when the position of the defect position information to be detected is a position within the range of the period determination accuracy;
A fifth step of determining whether or not the number of period determinations after counting up is greater than or equal to a predetermined period determination reference value;
A sixth step of detecting a periodic defect when the number of period determinations after counting up is equal to or greater than a period determination reference value;
A defect inspection method for executing a seventh step of deleting data in an intermediate data table of defect position coordinates in which no defect is detected when no defect is detected while the inspection object moves through the reset length R . 前記中間データテーブルの欠陥位置情報は、前記検査対象物の幅方向の座標Ｘ、長尺方向の座標Ｙ、周期欠陥対象となっている１つ前の欠陥とのY座標の差の周期長Pを含み、  The defect position information in the intermediate data table includes a coordinate X in the width direction of the inspection object, a coordinate Y in the longitudinal direction, and a cycle length P of a difference in Y coordinate from the previous defect that is a periodic defect target. Including
前記欠陥情報は、前記検査対象物の幅方向の座標ｘ、長尺方向の座標ｙを含み、  The defect information includes a coordinate x in the width direction and a coordinate y in the longitudinal direction of the inspection object,
前記第３のステップにおいて、前記検査対象物の幅方向の周期判定精度をＸａ、長尺方向の周期判定精度をＹａとし、欠陥情報に含まれる欠陥位置情報(x,y)と、前記中間データテーブルの欠陥位置情報(X,Y)との比較結果に基づいて、周期判定精度（｜ｘ−Ｘ｜≦Ｘａ，｜ｙ−Ｙ−Ｐ｜≦Ｙａ）以内の位置にあるか否かを検出し、前記周期長Pが予め決められた最小周期と最大周期との範囲内の値であるか否かを検出するステップ、  In the third step, the cycle determination accuracy in the width direction of the inspection object is Xa, the cycle determination accuracy in the longitudinal direction is Ya, the defect position information (x, y) included in the defect information, and the intermediate data Based on the comparison result with the defect position information (X, Y) of the table, it is detected whether or not the position is within the period determination accuracy (| x−X | ≦ Xa, | y−Y−P | ≦ Ya). Detecting whether or not the cycle length P is a value within a range between a predetermined minimum cycle and a maximum cycle,
を実行する請求項４に記載の欠陥検査方法。  The defect inspection method according to claim 4 which performs. 前記中間データテーブルは、前記検査対象物の欠陥位置情報に周期長と周期判定数とを対応付けて（検査対象物の幅方向検査範囲／幅方向の周期判定精度）個記憶する  In the intermediate data table, the defect position information of the inspection object is associated with the period length and the number of period determinations (inspection object width direction inspection range / width direction period determination accuracy).
請求項４または５に記載の欠陥検査方法。  The defect inspection method according to claim 4 or 5.
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