JP5500868B2 - 走査電子顕微鏡、および走査電子顕微鏡における像表示方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡、および走査電子顕微鏡における像表示方法 Download PDFInfo
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Description
107 レンズ制御電源
110 対物レンズ
111 試料ステージ
112 試料
113 対物レンズ制御部
114,1801,1802 制御電極
115 制御電極制御部
121 二次信号
123 検出器
124 画像処理部
125 記憶部
126 像表示装置
127 主制御部
128 ステージ駆動装置
134 高さ測定装置
1901 補正レンズ
1902 補正レンズ制御部
Claims (18)
- 電子ビームを試料上に集束する対物レンズと、前記電子ビームを前記試料上で走査する走査偏向器と、前記電子ビームの照射によって前記試料から発生する信号を検出する検出器と、該検出器で得られた信号から画像を生成し、表示装置へ表示させる画像処理部とを備えた走査型電子顕微鏡において、
前記対物レンズの励磁条件を制御する対物レンズ制御部と、
前記電子ビームの焦点を調整する制御電極と、
前記制御電極に印加する電圧を可変に制御する制御電極制御部と、を備え、
前記対物レンズ制御部は、第1の画像が取得された後、前記第1の画像を取得したときの前記対物レンズの励磁条件とは異なる第2の励磁条件に変化させ、
前記制御電極制御部は、前記第2の励磁条件の下で、前記電子ビームを前記試料に集束させるように前記制御電極に電圧を印加し、
前記画像処理部は、前記第2の励磁条件の下で、少なくとも前記試料のうち前記第1の画像が取得された領域に対して前記第1の画像を取得したときの前記電子ビームの走査方向とは異なる走査方向で前記電子ビームが照射されることにより、前記試料から得られた信号に基づいて第2の画像を取得することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1の記載において、前記第2の画像は複数生成され、該複数の第2の画像を記憶する記憶部を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記画像処理部は、前記記憶部に記憶された前記複数の第2の画像を前記表示装置の画面のひとつの領域に同時に表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、前記画像処理部は、前記記憶部に記憶された前記複数の第2の画像から立体像を生成し、前記表示装置の画面へ表示させることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項2の記載において、第2の画像の枚数は任意に指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項5の記載において、前記第2の画像の枚数は、ユーザにより入力指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項5の記載において、前記第2の画像は前記走査方向の角度で指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項7の記載において、前記角度は、ユーザにより入力指定されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項8の記載において、指定された角度に応じて磁場レンズの励磁電流を制御することを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記対物レンズは磁場レンズであり、前記制御電極は静電レンズであることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記対物レンズのレンズ面と前記制御電極のレンズ面とは同一面にあることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記第1の画像と、対物レンズの励磁電流を変化させて得られた第2の画像の位置ずれが生じた場合、第1の画像を規準として位置を合わせることを特徴とした走査型電子顕微鏡。
- 対物レンズにより電子ビームを集束させて試料を走査し、該試料から発生する信号を検出して第1の画像を生成して表示装置の画面へ表示させ、
第1の画像が取得された後、前記第1の画像を取得したときの対物レンズの励磁条件とは異なる第2の励磁条件に前記対物レンズの励磁条件を変え、
前記第2の励磁条件の下で、前記電子ビームを前記試料に集束させるように制御電極に電圧を印加し、
前記第2の励磁条件の下で、少なくとも前記試料のうち前記第1の画像が取得された領域に対して前記第1の画像を取得したときの前記電子ビームの走査方向とは異なる走査方向で前記電子ビームが照射されることにより、前記試料から得られた信号に基づいて第2の画像を取得することを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。 - 請求項13の記載において、前記第2の画像は複数生成され、該複数の第2の画像が記憶部に記憶されることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、前記記憶部に記憶された前記複数の第2の画像を前記表示装置の画面のひとつの領域に同時に表示させることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、前記記憶部に記憶された前記複数の第2の画像から立体像を生成し、前記表示装置の画面へ表示させることを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、指定された枚数の第2の画像で立体像を生成することを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
- 請求項14の記載において、指定された角度で取得した第2の画像で立体像を生成することを特徴とする電子顕微鏡の像表示方法。
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