JP5500498B2 - Manufacturing method of glass film - Google Patents
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Description
本発明は、フラットパネルディスプレイや太陽電池等に使用されるガラス基板や、スペーサー、隔壁、絶縁体等に使用されるガラスフィルムに関する。 The present invention relates to a glass film used for glass substrates, spacers, partition walls, insulators and the like used for flat panel displays and solar cells.
厚みが２００μｍ以内の所謂超薄板ガラスの可能性に注目が集まっている（下記特許文献１参照）。ガラスの超薄板化を行うと、ガラスに可撓性を付与させることができる。近年、様々な電子デバイスに対して可撓性が付与されることが望まれる傾向にあり、例えば、有機ＥＬディスプレイには、折りたたみや巻き取りによって持ち運びを容易にすると共に、平面だけでなく曲面にも使用可能とすることが求められている。また、自動車の車体表面や建築物の屋根、柱や外壁等、曲面を有する物体の表面に太陽電池を形成したり、有機ＥＬ照明を形成したりすることができれば、その用途が広がることとなる。 Attention has been focused on the possibility of so-called ultra-thin glass having a thickness of 200 μm or less (see Patent Document 1 below). When the glass is thinned, flexibility can be imparted to the glass. In recent years, there has been a tendency for flexibility to be imparted to various electronic devices. For example, an organic EL display can be easily carried by folding or winding, and can be curved as well as flat. Is also required to be usable. In addition, if solar cells can be formed on the surface of an object having a curved surface, such as the surface of an automobile body, the roof of a building, a pillar, or an outer wall, or the organic EL illumination can be formed, the application will be expanded. .
ガラスはその厚さが薄いほど可撓性に富むため、前述の薄板ガラスよりもさらに薄くフィルム状まで薄肉化されたガラスフィルムの製造が望まれている。ガラスの成形方法には、ロールアウト法、フロート法、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、リドロー法等、種々の方法が公知であるが、特にリドロー法が、より薄いフィルム状のガラスを成形する方法として用いられている（下記特許文献２参照）。 Since the thinner the glass is, the more flexible the glass is. Therefore, it is desired to produce a glass film that is thinner and thinner than the above-described thin glass. Various methods such as a roll-out method, a float method, a slot down draw method, an overflow down draw method, and a redraw method are known as glass forming methods. In particular, the redraw method forms a thinner film glass. It is used as a method to do this (see Patent Document 2 below).
図４は、公知のリドロー法（下記特許文献２参照）によって、薄板ガラスを成形する方法の説明図である。母材ガラス（１００）を延伸成形装置（１０１）にセットし、成形炉（１０２）にてガラスの軟化点以上に加熱することによってリメルトし、成形炉の下方に設置された引き取りローラ（１０３）によって延伸することによって薄板ガラス（１０４）の成形を行っている。 FIG. 4 is an explanatory diagram of a method for forming a thin glass sheet by a known redraw method (see Patent Document 2 below). A base glass (100) is set in a stretch molding apparatus (101), remelted by heating to a temperature above the softening point of the glass in a molding furnace (102), and a take-up roller (103) installed below the molding furnace The thin glass sheet (104) is formed by stretching.
更に薄いフィルム状のガラスを成形する方法として、下記特許文献３には、母材ガラスを加熱延伸することによって、幅１．２〜１．５ｍｍ、厚み２６μｍ〜１５０μｍのガラス板が得られることが記載されている。当該ガラス板は、主にスペーサーとして用いられている。 As a method for forming a thin film-like glass, Patent Document 3 below can obtain a glass plate having a width of 1.2 to 1.5 mm and a thickness of 26 to 150 μm by heating and stretching a base glass. Have been described. The glass plate is mainly used as a spacer.
先記した通り、リドロー法によって薄板ガラスを延伸成形する場合には、引き取りローラでガラスを挟持することによって薄板ガラスを延伸成形するため、その挟持応力により微小クラックが発生する場合があるが、特許文献３に記載されているような幅が１．５ｍｍ以下の幅狭の薄板ガラスにあっては、薄板ガラスの幅が狭いことによって前記微小クラックがその全幅に進展し易く、薄板ガラスが破断するという問題がある。 As mentioned above, when thin glass is stretch-molded by the redraw method, the thin glass is stretch-molded by sandwiching the glass with a take-off roller. In a thin glass sheet having a width as small as 1.5 mm or less as described in Document 3, the thin glass easily breaks into the full width due to the narrow width of the thin glass, and the thin glass breaks. There is a problem.
また、特許文献３では薄板ガラスに樹脂の被覆を行っているが、薄板ガラスの使用用途によっては当該樹脂を除去する必要があり、樹脂の被覆工程だけでなく、除去工程をも必要とするため、工程が煩雑になるという問題がある。しかも、樹脂の除去工程が不完全な場合は、薄板ガラスが汚染された状態で製品に使用されることとなり、実用に供しないものとなる。 Further, in Patent Document 3, the resin is applied to the thin glass, but depending on the usage of the thin glass, it is necessary to remove the resin, which requires not only the resin coating process but also the removal process. There is a problem that the process becomes complicated. In addition, when the resin removal process is incomplete, the thin glass is used in the product in a contaminated state, and is not practically used.
また、当該薄板ガラスは、１．５ｍｍ以下の幅狭のものであるが故に、スペーサーとしての用途としては適していても、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスのガラス基板として使用することは困難である。 In addition, since the thin glass has a narrow width of 1.5 mm or less, it can be used as a glass substrate of an electronic device such as a flat panel display or a solar cell even though it is suitable as a spacer. Have difficulty.
本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、延伸成形の際に生じる薄板ガラスの破断を防止し、薄肉幅広でフィルム状に成形することができ、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスのガラス基板等にも使用可能なガラスフィルムを製造することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and can prevent a thin glass sheet from being broken during stretch molding and can be formed into a thin and wide film. An object of the present invention is to produce a glass film that can also be used for glass substrates of electronic devices such as flat panel displays and solar cells.
請求項１に係る発明は、幅が１００ｍｍ以上、且つ厚みが０．３ｍｍ以上である母材ガラスを加熱炉にて加熱し、引き取りローラで延伸することによって、幅が５〜３００ｍｍ、且つ厚みが１〜１５０μｍのガラスフィルムに延伸成形することを特徴とするガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 1 has a width of 100 mm or more and a thickness of 0.00. A glass film characterized by being formed into a glass film having a width of 5 to 300 mm and a thickness of 1 to 150 μm by heating a base glass having a thickness of 3 mm or more in a heating furnace and stretching the glass with a take-off roller. It relates to the manufacturing method.
請求項２に係る発明は、厚みが１〜３０μｍのガラスフィルムに延伸成形することを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 2 relates to the method for producing a glass film according to claim 1, wherein the glass film having a thickness of 1 to 30 μm is stretch-molded.
請求項３に係る発明は、厚みが１．８ｍｍ以上である母材ガラスを加熱し、延伸することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 3 relates to a method for producing a glass film according to claim 1 or 2, wherein the base glass having a thickness of 1.8 mm or more is heated and stretched.
請求項４に係る発明は、前記加熱炉上方に、前記母材ガラスを挟持する支持ローラを備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 4 relates to the glass film manufacturing method according to any one of claims 1 to 3, further comprising a support roller for sandwiching the base glass above the heating furnace.
請求項５に係る発明は、前記母材ガラスを前記加熱炉へ送り込む速度の、２〜１００倍の速度で前記母材ガラスを引き取ることによって延伸成形することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 5 is characterized in that the base glass is stretch-molded by pulling the base glass at a speed 2 to 100 times the speed at which the base glass is fed into the heating furnace. The present invention relates to a method for producing a glass film according to any one of the above.
請求項６に係る発明は、延伸成形時の前記母材ガラスの粘度が、１０５．５〜１０９．５ｄＰａ・ｓであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラスフィルムの製造方法に関する。 The invention according to claim 6 is characterized in that the viscosity of the base glass during stretch molding is 10 5.5 to 10 9.5 dPa · s. The present invention relates to a method for producing a glass film.
請求項１に係る発明によれば、幅が１００ｍｍ以上、且つ厚みが０．３ｍｍ以上である母材ガラスを使用して、幅が５〜３００ｍｍ、且つ厚みが１〜１５０μｍのガラスフィルムを延伸成形することから、幅広のガラスフィルムを延伸成形することができるため、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスのガラス基板等にも使用可能なガラスフィルムを製造することができる。延伸成形されたガラスフィルムは、その幅が５〜３００ｍｍと幅広であるため、引き取りローラの挟持力（押圧力）による、ガラスフィルムの破断を防止することができるとともに、引き取りローラによる挟持前の樹脂の被覆工程を省略することもできる。また、ガラスフィルムの破断を防止し、延伸成形するガラスフィルムを引き取りローラによって把持することができるため、延伸成形部に引っ張り力を効果的に付与させることができ、母材ガラスとガラスフィルムとの相似形を変化させて、母材ガラスよりもガラスフィルムのアスペクト比のほうが高くなるように成形することが可能となり、薄板幅広のガラスフィルムを延伸成形することも可能となる。 According to the first aspect of the present invention, the width is 100 mm or more and the thickness is 0.00. Since a glass film having a width of 5 to 300 mm and a thickness of 1 to 150 μm is stretch-molded using a base glass that is 3 mm or more, a wide glass film can be stretch-molded. A glass film that can be used for a glass substrate of an electronic device such as a display or a solar cell can be produced. Since the stretched glass film is as wide as 5 to 300 mm, the glass film can be prevented from being broken by the holding force (pressing force) of the take-off roller, and the resin before being held by the take-up roller. The coating step can be omitted. In addition, since the glass film to be stretch-molded can be gripped by the take-off roller, the glass film to be stretch-molded can be effectively given a tensile force to the stretch-molded portion, and the base glass and the glass film By changing the similar shape, it is possible to form the glass film so that the aspect ratio of the glass film is higher than that of the base glass, and it is also possible to stretch and form a thin glass film.
請求項２に係る発明によれば、厚みが１〜３０μｍのガラスフィルムに延伸成形することから、より可撓性に富むガラスフィルムを製造することができる。 According to the second aspect of the present invention, since the glass film having a thickness of 1 to 30 μm is stretch-molded, a more flexible glass film can be produced.
請求項３に係る発明によれば、厚みが１．８ｍｍ以上である母材ガラスを加熱延伸することから、引き取りローラによる引っ張り力を大きく付与させた場合でも、母材ガラスの厚みが大きいために、母材ガラスの両端部に折れ曲がりが生じるのを防止することができる。これにより、母材ガラスよりもガラスフィルムのアスペクト比の方がより高くなるように成形することが可能となり、より薄肉幅広のガラスフィルムを安定して製造することができる。 According to the invention according to claim 3, since the base glass having a thickness of 1.8 mm or more is heated and stretched, even when a large pulling force is applied by the take-up roller, the thickness of the base glass is large. Further, it is possible to prevent the bending of the both end portions of the base glass. Thereby, it becomes possible to shape | mold so that the aspect-ratio of a glass film may become higher than base material glass, and a thinner and wider glass film can be manufactured stably.
請求項４に係る発明によれば、前記加熱炉の上方に、前記母材ガラスを支持する支持ローラを備えていることから、母材ガラスを加熱炉に送り込む際に、加熱炉蓋部に形成されたスロットに母材ガラスを安定して適切に誘導することができる。また、加熱炉内においては、所謂煙突効果による上昇気流が発生しているが、支持ローラが母材ガラスを挟持しているため、延伸成形の際に、母材ガラスがばたつくのを防止することができる。これにより、延伸成形後のガラスフィルムに反りやうねりが生じるのを防止することができる。 According to the fourth aspect of the present invention, since the support glass for supporting the base glass is provided above the heating furnace, the base glass is formed in the heating furnace lid when the base glass is fed into the heating furnace. The base glass can be stably and appropriately guided to the slot formed. In the heating furnace, an upward air flow is generated due to the so-called chimney effect. However, since the support roller holds the base glass, it prevents the base glass from fluttering during stretch molding. Can do. Thereby, it can prevent that the glass film after extending | stretching shaping | molding produces a curvature and a wave | undulation.
請求項５に係る発明によれば、前記母材ガラスを前記加熱炉へ送り込む速度の、２〜１００倍の速度で前記母材ガラスを引き取ることから、母材ガラスよりもガラスフィルムのアスペクト比の方がより高くなるように成形することが可能となり、より薄肉幅広のガラスフィルムを製造することができる。 According to the invention which concerns on Claim 5, since the said base material glass is taken in at the speed | rate of 2 to 100 times of the speed | rate which sends the said base material glass into the said heating furnace, it is the aspect-ratio of a glass film rather than a base material glass. It becomes possible to shape | mold so that the direction may become higher, and a thinner and wider glass film can be manufactured.
請求項６に係る発明によれば、延伸成形時の前記母材ガラスの粘度が、１０５．５〜１０９．５ｄＰａ・ｓであることから、引き取りローラによる引き取り速度を上げることができる。 According to the invention of claim 6, the viscosity of the matrix glass at the time of stretching molding, because it is 10 5.5 ~10 9.5 dPa · s, it is possible to increase the take-off speed by the take-off roller.
以下、本発明に係るガラスフィルムの製造方法の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of a method for producing a glass film according to the present invention will be described with reference to the drawings.
本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、図１に示す通り、延伸成形装置（１）に母材ガラス（２）をセットし、加熱炉（３）で加熱を行い、引き取りローラ（４）で延伸することによってガラスフィルム（５）を製造することを特徴とする。 As shown in FIG. 1, the glass film manufacturing method according to the present invention sets a base glass (2) in a stretch molding apparatus (1), heats it in a heating furnace (3), and uses a take-off roller (4). A glass film (5) is produced by stretching.
母材ガラス（２）には、主にケイ酸塩ガラスが用いられ、ソーダガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミ珪酸ガラス、シリカガラス等、延伸成形可能なガラスであれば、いずれの材料も使用可能である。母材ガラス（２）の材料は、ガラスフィルム（５）が使用される用途によって、適宜選択される。また、母材ガラス（２）として、延伸成形可能な結晶化ガラスを用いることもできる。結晶化ガラスは耐熱性に優れるため、母材ガラス（２）材料として結晶化ガラスを使用することにより、高温の動作温度を必要とする部品として好適に使用することができる。 As the base glass (2), silicate glass is mainly used, and any material can be used as long as it can be stretch-molded, such as soda glass, borosilicate glass, aluminum silicate glass, and silica glass. is there. The material of the base glass (2) is appropriately selected depending on the application for which the glass film (5) is used. In addition, crystallized glass that can be stretch-molded can also be used as the base glass (2). Since crystallized glass is excellent in heat resistance, by using crystallized glass as the base glass (2) material, it can be suitably used as a component requiring a high operating temperature.
母材ガラス（２）の幅は、１００ｍｍ以上である。これにより、ガラスフィルム（５）の引き取り速度を上げたとしても、延伸成形後のガラスフィルムの幅を５ｍｍ〜３００ｍｍとすることができる。幅広のガラスフィルムを得るため、母材ガラス（２）の幅は、２００ｍｍ以上が好ましく、４００ｍｍ以上、５００ｍｍ以上、７００ｍｍ以上が順により好ましく、１０００ｍｍ以上であることが最も好ましい。一方、母材ガラス（２）の幅が２０００ｍｍを超えると、延伸成形し難くなるおそれがある。 The width of the base glass (2) is 100 mm or more. Thereby, even if it takes up the taking-up speed of a glass film (5), the width | variety of the glass film after extending | stretching shaping | molding can be 5 mm-300 mm. In order to obtain a wide glass film, the width of the base glass (2) is preferably 200 mm or more, more preferably 400 mm or more, 500 mm or more, 700 mm or more, and most preferably 1000 mm or more. On the other hand, when the width of the base glass (2) exceeds 2000 mm, stretch molding may be difficult.
母材ガラス（２）の厚みは、０．２ｍｍ以上であることを要し、０．３ｍｍ以上が好ましく、０．４ｍｍ以上、０．５ｍｍ以上、０．７ｍｍ以上、１ｍｍ以上がさらに好ましく、１．８ｍｍ以上であることが最も好ましい。引き取りローラ（４）による引っ張りの力は、板幅方向におけるガラスの粘度を考慮して、板幅方向に均等にガラスが伸びるような力がかかるよう制御する必要がある。特に板幅の大きなガラスフィルムを得る場合この制御が重要となる。しかし、ガラスフィルムの幅は母材ガラス（２）よりも狭いため、引き取りローラ（４）による引っ張りの力は母材ガラス（２）の中心部分にかかりやすくなる。そのため加熱された母材ガラス（２）の両端部分は中心部分にひきずられるように折れ曲がる現象が起こる。しかし本発明のガラスフィルムでは、母材ガラス（２）の厚みが大きいため、引き取りローラ（４）によって引っ張り力を大きく付与させても、母材ガラス（２）の両端部が折れ曲がるのを防止することができる。これにより、母材ガラス（２）よりもガラスフィルム（５）のアスペクト比の方がより高くなるように成形することも可能となり、より薄肉幅広のガラスフィルム（５）を製造することができる。一方、母材ガラス（２）の厚みが３ｍｍを超えると、薄肉のガラスフィルム（５）を製造し難くなるおそれがある。 The thickness of the base glass (2) needs to be 0.2 mm or more, preferably 0.3 mm or more, more preferably 0.4 mm or more, 0.5 mm or more, 0.7 mm or more, and 1 mm or more. Most preferably, it is 8 mm or more. The pulling force by the take-up roller (4) needs to be controlled so that the glass is stretched uniformly in the sheet width direction in consideration of the viscosity of the glass in the sheet width direction. This control is particularly important when obtaining a glass film having a large plate width. However, since the width of the glass film is narrower than that of the base glass (2), the pulling force by the take-up roller (4) is likely to be applied to the central portion of the base glass (2). Therefore, a phenomenon occurs in which both end portions of the heated base glass (2) are bent so as to be dragged to the center portion. However, in the glass film of the present invention, since the thickness of the base glass (2) is large, it is possible to prevent the both ends of the base glass (2) from being bent even when a large pulling force is applied by the take-up roller (4). be able to. Thereby, it becomes possible to shape | mold so that the aspect-ratio of a glass film (5) may become higher than base material glass (2), and a thinner-thick and wide glass film (5) can be manufactured. On the other hand, when the thickness of the base glass (2) exceeds 3 mm, it may be difficult to produce a thin glass film (5).
母材ガラス（２）は、ロールアウト法、アップドロー法、フロート法、ダウンドロー法（スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法）等によって、溶融ガラスから直接板状に成形される。また、インゴットから切り出した板ガラスを切断した短冊状ガラスを使用することもできる。特に板ガラスを切断して得られる短冊状ガラスを母材ガラス（２）とすれば、適当な板厚の板ガラスを採用するだけで延伸成形に適した板厚を得ることができる。つまり母材ガラス（２）の板厚調整のための加工を行う必要がなくなり、切断加工や研磨加工を大幅に省略することが可能となる。また、母材ガラス（２）は、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法によれば、表面に傷の発生がなく、高い表面品位を有する母材ガラス（２）を得ることができるからである。母材ガラス（２）の表面品位が高ければ、後述する延伸成形後のガラスフィルム（５）の表面品位も高くすることが可能となる。 The base glass (2) is directly formed into a plate shape from the molten glass by a rollout method, an updraw method, a float method, a downdraw method (slot downdraw method, overflow downdraw method) or the like. Moreover, the strip glass which cut | disconnected the plate glass cut out from the ingot can also be used. In particular, if a strip glass obtained by cutting a plate glass is used as the base glass (2), a plate thickness suitable for stretch molding can be obtained only by adopting a plate glass having an appropriate plate thickness. That is, it is not necessary to perform processing for adjusting the plate thickness of the base glass (2), and it is possible to largely omit cutting processing and polishing processing. Further, the base glass (2) is preferably formed by an overflow down draw method. This is because according to the overflow down draw method, the base glass (2) having no surface scratches and high surface quality can be obtained. If the surface quality of the base material glass (2) is high, the surface quality of the glass film (5) after stretch molding described later can also be increased.
母材ガラス（２）の側面は未加工でもよいが、側面の４隅に対してＣ面取りやＲ面取り等の面取り加工を行ってもよい。 The side surface of the base glass (2) may be unprocessed, but chamfering such as C chamfering or R chamfering may be performed on the four corners of the side surface.
母材ガラス（２）の歪点は、成形後のガラスフィルム（５）に対して施される熱処理工程での処理温度以上の温度であることが好ましい。即ち、成形後のガラスフィルム（５）に対して熱処理が施される場合に、熱処理によるガラスフィルム（５）の熱変形を防止するためである。従って、ガラスフィルム（５）が太陽電池用ガラス基板として使用される場合、ＦＴＯの形成、ＴｉＯ２多孔質体の焼成、ＣＩＧＳ膜の成膜等に高温が必要になるため、母材ガラス（２）の歪点は、５２０℃以上が好ましく、５５０℃以上、５８０℃以上、６００℃以上、６５０℃以上であることがより好ましく、６９０℃以上であることが最も好ましい。 The strain point of the base glass (2) is preferably a temperature equal to or higher than the processing temperature in the heat treatment step applied to the molded glass film (5). That is, in order to prevent thermal deformation of the glass film (5) due to heat treatment when the glass film (5) after molding is subjected to heat treatment. Therefore, when the glass film (5) is used as a glass substrate for a solar cell, a high temperature is required for FTO formation, TiO 2 porous body firing, CIGS film formation, etc. ) Is preferably 520 ° C. or higher, more preferably 550 ° C. or higher, 580 ° C. or higher, 600 ° C. or higher, 650 ° C. or higher, and most preferably 690 ° C. or higher.
母材ガラス（２）の液相温度は低いことが好ましい。液相温度が低い程、延伸成形の成形温度を低くすることが可能となるからである。具体的には１１５０℃以下が好ましく、１１００℃以下がより好ましく、１０５０℃以下であることが最も好ましい。また、液相温度における母材ガラス（２）の粘度が高い程、リドロー成形が容易となるため、液相温度における粘度は、１０４．０ｄＰａ・ｓ以上が好ましく、１０４．５ｄＰａ・ｓ以上、１０５．０ｄＰａ・ｓ以上、１０５．２ｄＰａ・ｓ以上、１０５．５ｄＰａ・ｓ以上が順により好ましく、１０５．７ｄＰａ・ｓ以上が最も好ましい。 The liquidus temperature of the base glass (2) is preferably low. This is because the lower the liquidus temperature, the lower the molding temperature for stretch molding. Specifically, it is preferably 1150 ° C. or lower, more preferably 1100 ° C. or lower, and most preferably 1050 ° C. or lower. Further, the higher the viscosity of the base glass (2) at the liquidus temperature, the easier the redraw molding is performed. Therefore, the viscosity at the liquidus temperature is preferably 10 4.0 dPa · s or more, and 10 4.5 dPa · s. s or more, 10 5.0 dPa · s or more, 10 5.2 dPa · s or more, and 10 5.5 dPa · s or more are more preferable, and 10 5.7 dPa · s or more is most preferable.
母材ガラス（２）の熱膨張係数は、５０〜１００×１０−７／℃であることが好ましい。これにより、成形後のガラスフィルム（５）を太陽電池用ガラス基板として使用する場合に、ＴｉＯ２多孔質体、ＣＩＧＳ薄膜、フリットシール等の周辺部材の熱膨張係数と適合させることができる。母材ガラス（２）の熱膨張係数は、７０〜９５×１０−７／℃であることがより好ましく、８０〜９０×１０−７／℃であることが最も好ましい。 The thermal expansion coefficient of the base glass (2) is preferably 50 to 100 × 10 −7 / ° C. Thus, when using a glass film after molding (5) as a glass substrate for a solar cell, TiO 2 porous material, CIGS thin film can be adapted to the thermal expansion coefficient with those of peripheral members such as the frit seal. The thermal expansion coefficient of the base glass (2) is more preferably 70 to 95 × 10 −7 / ° C., and most preferably 80 to 90 × 10 −7 / ° C.
母材ガラス（２）の熱膨張係数は、３０〜５０×１０−７／℃であることが好ましい。これにより、成形後のガラスフィルムを有機ＥＬや薄膜Ｓｉ太陽電池用基板として用いる場合に、基板上に形成されるＳｉ系のフィルムと熱膨張係数を整合させることができる。母材ガラス（２）の熱膨張係数は、３０〜４５×１０−７／℃であることがより好ましく３０〜４０×１０−７／℃であることが最も好ましい。 The thermal expansion coefficient of the base glass (2) is preferably 30 to 50 × 10 −7 / ° C. Thereby, when using the glass film after shaping | molding as a board | substrate for organic EL or thin film Si solar cells, it can match a thermal expansion coefficient with the Si-type film formed on a board | substrate. The thermal expansion coefficient of the base glass (2) is more preferably 30 to 45 × 10 −7 / ° C., and most preferably 30 to 40 × 10 −7 / ° C.
母材ガラス（２）の熱膨張係数と、ガラスフィルム（５）が使用される部品の周辺材料の熱膨張係数の差は、±５×１０−７／℃であることが好ましく、±１×１０−７／℃であることが最も好ましい。 The difference between the coefficient of thermal expansion of the base glass (2) and the coefficient of thermal expansion of the peripheral material of the part in which the glass film (5) is used is preferably ± 5 × 10 −7 / ° C., and ± 1 × Most preferably, it is 10 −7 / ° C.
図１に示す通り、母材ガラス（２）の上端部を延伸成形装置（１）の固定具（１１）に取着し、加熱炉（３）の方向へと下降させることによって母材ガラス（２）の下端部を加熱炉（３）内に送り込み、母材ガラス（２）を延伸成形可能な温度にまで加熱する。 As shown in FIG. 1, the upper end of the base glass (2) is attached to the fixture (11) of the stretch molding apparatus (1) and lowered toward the heating furnace (3) so that the base glass ( The lower end of 2) is fed into the heating furnace (3), and the base glass (2) is heated to a temperature at which it can be stretch-formed.
加熱炉（３）上方には、母材ガラス（２）を一対のローラによって挟持するための支持ローラ（３１）が備えられていることが好ましい。加熱炉（３）上蓋部には、母材ガラス（２）を加熱炉（３）内に挿入するためのスロットが設けられているが、該スロットによる開口部は、加熱炉（３）内の熱を外部に逃がさないようにすることに鑑み、母材ガラス（２）の挿入に必要とする最小限の開口面積に設計されていることから、支持ローラ（３１）により、母材ガラス（２）を加熱炉（３）内に送り込む際に、当該スロットに適切に安定して母材ガラス（２）を誘導することができる。また、加熱炉（３）内においては、所謂煙突効果による上昇気流が発生しているが、支持ローラ（３１）が母材ガラス（２）を挟持しているため、延伸成形の際に、加熱炉（３）において母材ガラス（２）がばたつくのを防止することができる。これにより、延伸成形後のガラスフィルム（５）に反りやうねりが生じるのを防止することができる。 Above the heating furnace (3), a support roller (31) for holding the base glass (2) between a pair of rollers is preferably provided. The upper lid of the heating furnace (3) is provided with a slot for inserting the base glass (2) into the heating furnace (3). The opening by the slot is provided in the heating furnace (3). In view of preventing heat from escaping to the outside, since the minimum opening area required for inserting the base glass (2) is designed, the base glass (2 ) In the heating furnace (3), the base glass (2) can be guided to the slot appropriately and stably. Further, in the heating furnace (3), an updraft due to the so-called chimney effect is generated. However, since the support roller (31) sandwiches the base glass (2), heating is performed during stretch molding. It is possible to prevent the base glass (2) from fluttering in the furnace (3). Thereby, it can prevent that curvature and a wave | undulation arise in the glass film (5) after extending | stretching shaping | molding.
支持ローラ（３１）の直径は、１０〜２００ｍｍが好ましく、１０〜１００ｍｍがより好ましく、１０〜５０ｍｍが最も好ましい。支持ローラ（３１）の直径が１０ｍｍ未満であると、支持ローラ（３１）の回転数が高くなることにより発生する振動等によってガラスフィルム（５）の成形品位が安定し難くなるおそれがある。一方、支持ローラ（３１）の直径が、２００ｍｍより大きいと、母材ガラス（２）を正確に加熱炉（３）に送り込み難くなるおそれがある。 The diameter of the support roller (31) is preferably 10 to 200 mm, more preferably 10 to 100 mm, and most preferably 10 to 50 mm. If the diameter of the support roller (31) is less than 10 mm, the molding quality of the glass film (5) may be difficult to stabilize due to vibration generated by the rotation speed of the support roller (31) being increased. On the other hand, if the diameter of the support roller (31) is larger than 200 mm, it may be difficult to accurately feed the base glass (2) into the heating furnace (3).
支持ローラ（３１）の幅は、支持する母材ガラス（２）の板幅よりも長いことが好ましい。これにより、支持ローラ（３１）で母材ガラス（２）をより適切に挟持することができる。また、支持ローラ（３１）を母材ガラス（２）の少なくとも両側端部のみを挟持する形態でもよい。 The width of the support roller (31) is preferably longer than the plate width of the base glass (2) to be supported. Thereby, a base material glass (2) can be clamped more appropriately with a support roller (31). Moreover, the form which clamps only a support roller (31) at least the both-ends part of base material glass (2) may be sufficient.
母材ガラス（２）を挟持する支持ローラ（３１）は、図示しない駆動手段によって支持ローラ（３１）の回転速度が母材ガラス（２）の下降速度と同一となるように回転駆動させる形態でもよく、あるいは、図示しないベアリング等の回転手段により、母材ガラス（２）の下降に伴って従動回転駆動させる形態でもよい。 The support roller (31) sandwiching the base glass (2) may be driven to rotate by a driving means (not shown) so that the rotational speed of the support roller (31) is the same as the descending speed of the base glass (2). Alternatively, the driven glass may be driven to rotate as the base glass (2) is lowered by rotating means such as a bearing (not shown).
また、図２に示す通り、一対の支持ローラ（３１）の上方に、加熱炉（３）に近づくにつれて、対向離間距離が狭くなるように設計されたガイドローラ（３２）を複数対配置することが好ましい。これにより、母材ガラス（２）の加熱炉（３）への送り込み開始時において、加熱炉（３）内の上昇気流が上蓋部のスロットを通じて上昇する場合でも、適正に支持ローラ（３１）で母材ガラス（２）を把持することが可能となり、スロットに母材ガラス（２）を確実に案内することが可能となる。 Further, as shown in FIG. 2, a plurality of pairs of guide rollers (32) designed so that the opposing separation distance becomes narrower as the heating furnace (3) is approached are disposed above the pair of support rollers (31). Is preferred. Thus, even when the ascending airflow in the heating furnace (3) rises through the slot of the upper lid at the start of feeding the base glass (2) to the heating furnace (3), the support roller (31) The base glass (2) can be gripped, and the base glass (2) can be reliably guided to the slot.
加熱炉（３）における加熱温度は、失透結晶（長径１μｍ以上）がガラス中（特にガラス表面中）に析出しない温度とする。具体的には、使用する母材ガラス（２）の失透温度以下の温度である。加熱温度は、使用する母材ガラス（２）の失透温度の５０℃以下が好ましく、１００℃以下がより好ましい。 The heating temperature in the heating furnace (3) is a temperature at which the devitrified crystal (major axis 1 μm or more) does not precipitate in the glass (especially in the glass surface). Specifically, the temperature is equal to or lower than the devitrification temperature of the base glass (2) to be used. The heating temperature is preferably 50 ° C. or less, more preferably 100 ° C. or less, of the devitrification temperature of the base glass (2) to be used.
延伸成形は、母材ガラス（２）の粘度が１０５．５〜１０９．５ｄＰａ・ｓとなる温度で行うことが好ましい。これにより、引き取りローラ（４）によって引き取り速度を上げることができ、薄肉幅広のガラスフィルム（５）を成形することができる。一方、母材ガラス（２）の粘度が１０５．５ｄＰａ・ｓを下回る温度（より高い温度）で延伸成形を行った場合は、寸法精度が低下するおそれがある。また、母材ガラス（２）の粘度が、１０９．５ｄＰａ・ｓを上回る温度（より低い温度）では、粘度が高すぎることによってアスペクト比を大きく変えることが困難となり、薄肉幅広のガラスフィルムを成形し難くなるおそれがある。母材ガラス（７）の粘度が１０６．０〜１０９．０ｄＰａ・ｓ、１０６．５〜１０８．５ｄＰａ・ｓ、１０７．０〜１０８．５ｄＰａ・ｓ、が順により好ましく、１０７．５〜１０８．５ｄＰａ・ｓとなる温度で行うことが最も好ましい。 The stretch molding is preferably performed at a temperature at which the base glass (2) has a viscosity of 10 5.5 to 10 9.5 dPa · s. Thereby, the take-up speed can be increased by the take-up roller (4), and a thin and wide glass film (5) can be formed. On the other hand, when stretch molding is performed at a temperature (higher temperature) where the viscosity of the base glass (2) is lower than 10 5.5 dPa · s, the dimensional accuracy may be lowered. Further, at a temperature where the viscosity of the base glass (2) exceeds 10 9.5 dPa · s (lower temperature), it becomes difficult to change the aspect ratio greatly because the viscosity is too high, and a thin and wide glass film. May become difficult to mold. The viscosity of the base glass (7) is 10 6.0 to 10 9.0 dPa · s, 10 6.5 to 10 8.5 dPa · s, 10 7.0 to 10 8.5 dPa · s in order. More preferably, it is most preferably performed at a temperature of 10 7.5 to 10 8.5 dPa · s.
加熱炉（３）で加熱され、降下してきたガラスフィルム（５）を引き取りローラ（４）によって挟持し、引き取りローラ（４）が回転することによって下方への引っ張り力を付与し、母材ガラス（２）を下方へと延伸成形することによってガラスフィルム（５）を成形する。延伸成形されるガラスフィルム（５）は、幅５０〜３００ｍｍと幅広であるため、引き取りローラ（４）の把持力（押圧力）に起因したガラスフィルム（５）の破断を防止することができる。また、延伸成形部に引っ張り力を効果的に付与させることができ、母材ガラス（２）とガラスフィルム（５）との相似形を変化させて、母材ガラス（２）よりもガラスフィルム（５）のアスペクト比の方が高くなるように成形することが可能となる。 The glass film (5) heated and lowered in the heating furnace (3) is sandwiched by the take-off roller (4), and the pull-down roller (4) rotates to give a downward pulling force. The glass film (5) is formed by stretching and molding 2) downward. Since the glass film (5) to be stretch-formed is as wide as 50 to 300 mm, it is possible to prevent the glass film (5) from being broken due to the gripping force (pressing force) of the take-up roller (4). In addition, the tensile force can be effectively applied to the stretch-formed part, and the similar shape of the base glass (2) and the glass film (5) is changed, so that the glass film ( It is possible to mold so that the aspect ratio of 5) is higher.
母材ガラス（２）の延伸成形速度については、前記母材ガラス（２）を前記加熱炉（３）に送り込む速度の２〜１００倍の速度で前記母材ガラス（２）を引き取ることが好ましい。これにより、母材ガラス（２）よりもガラスフィルム（５）のアスペクト比の方がより高くなるように成形することが可能となり、より薄肉幅広のガラスフィルム（５）を製造することができる。母材ガラス（２）の延伸成形速度は、５０〜１００倍がより好ましく、７０〜１００倍でであることが最も好ましい。 With respect to the stretch molding speed of the base glass (2), it is preferable to pull the base glass (2) at a rate 2 to 100 times the speed at which the base glass (2) is fed into the heating furnace (3). . Thereby, it becomes possible to shape | mold so that the aspect-ratio of the glass film (5) may become higher than base material glass (2), and a thinner-thick and wide glass film (5) can be manufactured. The stretch molding speed of the base glass (2) is more preferably 50 to 100 times, and most preferably 70 to 100 times.
母材ガラス（２）の幅をＷｍ、厚みをＴｍ、当該母材ガラス（２）の延伸成形後のガラスフィルム（５）の幅をＷｆ、厚みをＴｆとした場合に、下記数１を満たす関係であることが好ましい。これにより、薄板で幅広なガラスフィルム（５）を得ることができる。 When the width of the base glass (2) is Wm, the thickness is Tm, the width of the glass film (5) after the stretch molding of the base glass (2) is Wf, and the thickness is Tf, the following formula 1 is satisfied. A relationship is preferred. Thereby, a thin and wide glass film (5) can be obtained.
（数１）
１≦（Ｗｆ／Ｔｆ）／（Ｗｍ／Ｔｍ）≦１０００
(Equation 1)
1 ≦ (Wf / Tf) / (Wm / Tm) ≦ 1000
上述の（Ｗｆ／Ｔｆ）／（Ｗｍ／Ｔｍ）は、３以上がより好ましく、５、７、９以上が順により好ましく、１１以上が最も好ましい。また、（Ｗｆ／Ｔｆ）／（Ｗｍ／Ｔｍ）は、５０以下がより好ましく、４０、３０以下が順により好ましく、２０以下が最も好ましい。 The aforementioned (Wf / Tf) / (Wm / Tm) is more preferably 3 or more, more preferably 5, 7, 9 or more, and most preferably 11 or more. Further, (Wf / Tf) / (Wm / Tm) is more preferably 50 or less, more preferably 40 or 30 or less, and most preferably 20 or less.
引き取りローラ（４）は、図３に示す通り、ガラスフィルム（５）の両側端縁部のみを挟持することが好ましい。本発明による製造方法では、ガラスフィルム（５）を５ｍｍ以上の幅広に成形できるため、ガラスフィルム（５）の両側端縁部のみを挟持することができる。これにより、ガラスフィルム（５）の中央部（有効面）は、延伸成形後に他の部材とは接触しないため、延伸成形時の火造り面を維持することができ、極めて表面品位の高いガラスフィルム（５）を製造することができる。この場合、ガラスフィルム（５）中央部（有効面）の表面粗さＲａは、５ｎｍ以下であることが好ましく、３ｎｍ以下、１ｎｍ以下、０．５ｎｍ以下であることがより好ましく、０．３ｎｍ以下であることが最も好ましい。従って、ガラスフィルム（５）をフラットパネルディスプレイ用ガラス基板等、高い表面品位が要求される用途に使用する場合には、ガラスフィルム（５）の両側端縁部のみを把持する引き取りローラ（４）を使用して延伸成形することが好ましい。 As shown in FIG. 3, the take-up roller (4) preferably holds only the edge portions on both sides of the glass film (5). In the manufacturing method according to the present invention, since the glass film (5) can be formed to have a width of 5 mm or more, only the side edge portions of the glass film (5) can be sandwiched. Thereby, since the center part (effective surface) of the glass film (5) does not contact with other members after stretch molding, it is possible to maintain a fire-formed surface during stretch molding, and a glass film with extremely high surface quality. (5) can be manufactured. In this case, the surface roughness Ra of the central portion (effective surface) of the glass film (5) is preferably 5 nm or less, more preferably 3 nm or less, 1 nm or less, more preferably 0.5 nm or less, and 0.3 nm or less. Most preferably. Accordingly, when the glass film (5) is used for applications requiring a high surface quality such as a glass substrate for a flat panel display, a take-off roller (4) for gripping only both side edges of the glass film (5). It is preferable to use and stretch-mold.
図３は、ガラスフィルム（５）の両側端縁部のみを挟持する引き取りローラ（４）の夫々の実施形態を説明した説明図である。図３は、夫々、引き取りローラ（４）直前におけるガラスフィルム（５）の水平方向の断面を上方（加熱炉（３）側）から見た図である。 Drawing 3 is an explanatory view explaining each embodiment of take-off roller (4) which clamps only the both-sides edge part of glass film (5). FIG. 3 is a view of a horizontal section of the glass film (5) immediately before the take-up roller (4) as viewed from above (heating furnace (3) side).
図３（ａ）は、１本の軸（４１）に対して、ガラスフィルム（５）の両側端縁部に対応する位置に夫々ローラ部（４２）を接触させ、ガラスフィルム（５）の中央部（有効面）に対応する位置には、軸（４１）のみが配置され、ローラ部（４２）は存在しない形態である。図３（ｂ）は、４つのローラ部（４２）が夫々固有の軸（４１）を有し、片持ちで配置されており、ガラスフィルム（５）の中央部（有効面）に対応する位置には、ローラ部（４２）も軸（４１）も配置されていない形態である。図３（ｃ）は、ローラ部（４２）がガラスフィルム（５）の全幅に対応する位置に配置されているが、ローラ部（４２）は、ガラスフィルム（５）の両側端縁部に対応する位置のみが拡径形成され、フランジ部（４３）を形成しており、当該フランジ部（４３）のみが、ガラスフィルム（５）両側端縁部で接触している。 FIG. 3 (a) shows that the roller portions (42) are brought into contact with the single shaft (41) at positions corresponding to both side edge portions of the glass film (5), and the center of the glass film (5) is obtained. Only the shaft (41) is disposed at a position corresponding to the portion (effective surface), and the roller portion (42) does not exist. In FIG. 3B, each of the four roller portions (42) has a unique shaft (41) and is cantilevered, and corresponds to the central portion (effective surface) of the glass film (5). Is a form in which neither the roller part (42) nor the shaft (41) is arranged. In FIG. 3 (c), the roller portion (42) is disposed at a position corresponding to the entire width of the glass film (5), but the roller portion (42) corresponds to both side edge portions of the glass film (5). Only the position to be enlarged is formed to form a flange portion (43), and only the flange portion (43) is in contact at both side edge portions of the glass film (5).
ガラスフィルム（５）の両側端部を引き取りローラ（４）によって把持する幅は、１ｍｍ〜５０ｍｍであることが好ましい。１ｍｍ未満であると、ガラスフィルム（５）の挟持が不十分となり母材ガラス（２）に適正な引っ張り力を付与させ難くなるおそれがあり、５０ｍｍを超えると、ガラスフィルム（５）の有効面が減少するおそれがある。ガラスフィルム（５）の両側端部を引き取りローラ（４）によって把持する幅は、１０ｍｍ〜３０ｍｍがより好ましく、１０ｍｍ〜２０ｍｍが最も好ましい。 It is preferable that the width | variety which hold | grips the both-sides edge part of a glass film (5) with a take-off roller (4) is 1-50 mm. If it is less than 1 mm, the glass film (5) may not be sandwiched sufficiently, and it may be difficult to impart an appropriate tensile force to the base glass (2). If it exceeds 50 mm, the effective surface of the glass film (5) May decrease. As for the width | variety which hold | grips the both-sides edge part of a glass film (5) with a take-off roller (4), 10-30 mm is more preferable, and 10-20 mm is the most preferable.
上述の延伸成形方法によって製造されたガラスフィルム（５）は、使用する用途に応じて適宜梱包される。例えば、ガラスフィルム（５）を所定長ごとに切断し、枚葉式に梱包緩衝シートと交互に箱体内部に積層することによって梱包することができる。また、梱包緩衝シート等を挟み込み、オンラインでドラム等に巻き取ることによって、ガラスフィルムのロール体として梱包することも可能である。 The glass film (5) manufactured by the above stretch molding method is appropriately packed according to the use to be used. For example, the glass film (5) can be packaged by cutting it into predetermined lengths and laminating them inside the box alternately with a packing cushion sheet in a single wafer type. It is also possible to pack as a roll of glass film by sandwiching a packing buffer sheet or the like and winding it on a drum or the like online.
以下、本発明のガラスフィルムを実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, although the glass film of this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited to these Examples.
（実施例１）母材ガラスとして、日本電気硝子株式会社製ＰＰ−８Ｃ（軟化点８４０℃）の成形体（幅５００ｍｍ、厚み１．８ｍｍ）を準備した。母材ガラスのアスペクト比は、２７８：１である。 Example 1 As a base glass, a molded product (width 500 mm, thickness 1.8 mm) of PP-8C (softening point 840 ° C.) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. was prepared. The aspect ratio of the base glass is 278: 1.
母材ガラスを、延伸成形装置にセットし、温度８００〜８５０℃（母材ガラスの粘度１０７．４〜１０８．４ｄＰａ・ｓ）に保持された成形炉の供給口（スロット）から１０ｍｍ／ｍｉｎの速度で搬入し、引き取りローラによって引き出し口から８００ｍｍ／ｍｉｎで引き出し、幅８０ｍｍ、厚み２５μｍ（アスペクト比３２００：１）のガラスフィルムを得た。尚、本実施例においては、図３（ａ）の引き抜きローラを使用して延伸を行った。ガラスフィルム端部から夫々１０ｍｍの範囲のみ、引き抜きローラによってガラスフィルムを挟持した。 The base glass is set in a stretch molding apparatus and 10 mm from the supply port (slot) of the molding furnace held at a temperature of 800 to 850 ° C. (viscosity of the base glass of 10 7.4 to 10 8.4 dPa · s). The glass film was carried in at a speed of / min and pulled out at a rate of 800 mm / min from a pull-out port by a take-off roller to obtain a glass film having a width of 80 mm and a thickness of 25 μm (aspect ratio 3200: 1). In this example, the drawing roller of FIG. 3A was used for stretching. The glass film was clamped by the drawing roller only in the range of 10 mm from the edge of the glass film.
（実施例２）母材ガラスとして、日本電気硝子株式会社製ＯＡ−１０Ｇ（軟化点９４０℃）の成形体（幅２００ｍｍ、厚み０．５ｍｍ、アスペクト比４００）を準備した後、実施例１と同様の粘度条件で延伸成形を行うことにより、幅５０ｍｍ、厚み１０μｍ（アスペクト比５０００）のガラスフィルムを得た。 Example 2 After preparing a molded body (width 200 mm, thickness 0.5 mm, aspect ratio 400) of OA-10G (softening point 940 ° C.) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. as a base glass, Example 1 and By performing stretch molding under the same viscosity conditions, a glass film having a width of 50 mm and a thickness of 10 μm (aspect ratio of 5000) was obtained.
実施例１で得られたガラスフィルムの、引き抜きローラと接触していない中央部の表面粗さＲａ、及び実施例２で得られたガラスフィルムの中央部の表面粗さＲａを測定した。表面粗さＲａは、Ｖｅｅｃｏ社製ＡＦＭ（Ｎａｎｏｓｃｏｐｅ ＩＩＩ ａ）を用い、スキャンサイズ１０μｍ、スキャンレイト１Ｈｚ、サンプルライン５１２の条件で測定した。Ｒａは、測定範囲１０μｍ四方の測定値から算出した。実施例１のガラスフィルムの中央部の表面粗さＲａは、０．２ｎｍであった。尚、実施例２で得られたガラスフィルム（引き取りローラがガラスフィルムの全体に亘って接触したもの）の中央部の表面粗さＲａは、
１０ｎｍであった。
The surface roughness Ra of the center part of the glass film obtained in Example 1 not in contact with the drawing roller and the surface roughness Ra of the center part of the glass film obtained in Example 2 were measured. The surface roughness Ra was measured using AFM (Nanoscope III a) manufactured by Veeco under the conditions of a scan size of 10 μm, a scan rate of 1 Hz, and a sample line 512. Ra was calculated from measured values in a measuring range of 10 μm square. The surface roughness Ra of the center part of the glass film of Example 1 was 0.2 nm. In addition, the surface roughness Ra of the central part of the glass film obtained in Example 2 (the take-up roller is in contact with the entire glass film) is:
It was 10 nm.
（比較例）母材ガラスとして、日本電気硝子株式会社製ＯＡ−１０Ｇ（軟化点９４０℃）の成形体（幅５０ｍｍ、厚み１ｍｍ）を準備した。 (Comparative example) As a base glass, a molded body (width 50 mm, thickness 1 mm) of OA-10G (softening point 940 ° C.) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. was prepared.
母材ガラスを、延伸成形装置にセットし、温度９５０〜９８０℃（母材ガラスの粘度１０７．０〜１０７．５ｄＰａ・ｓ）に保持された成形炉の供給口（スロット）から１０ｍｍ／ｍｉｎの速度で搬入し、引き取りローラによって引き出し口から１１００ｍｍ／ｍｉｎで引き出し、幅１．５ｍｍ、厚み２０μｍのガラスフィルムを製造しようとしたが、引き取りローラの押圧力によってガラスフィルムが頻繁に破断し、安定して製造することができなかった。 10 mm from the supply port (slot) of the molding furnace in which the base glass is set in a stretch molding apparatus and held at a temperature of 950 to 980 ° C. (viscosity of the base glass of 10 7.0 to 10 7.5 dPa · s). It was carried in at a speed of / min and pulled out from the pull-out port at 1100 mm / min by a take-off roller, and an attempt was made to produce a glass film with a width of 1.5 mm and a thickness of 20 μm. , Could not be produced stably.
本発明は、太陽電池、フラットパネルディスプレイ等のガラス基板、スペーサー、隔壁、誘電体等に好適に使用することができる。 The present invention can be suitably used for glass substrates such as solar cells and flat panel displays, spacers, partition walls, dielectrics and the like.
１ 延伸成形装置
１１ 固定具
２ 母材ガラス
３ 加熱炉
３１ 支持ローラ
４ 引き取りローラ
５ ガラスフィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stretch molding apparatus 11 Fixing tool 2 Base material glass 3 Heating furnace 31 Support roller 4 Take-off roller 5 Glass film
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