JP5488154B2 - 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態について説明する。
図3に基づき本実施の形態における表面欠陥検査装置について説明する。本実施の形態における表面欠陥検査装置は、筐体等の部材の表面上に塗膜11及び透明樹脂膜12が塗布されている検査対象物10における表面欠陥の検査を行うものである。
次に、図11に基づき本実施の形態における表面欠陥検査方法について説明する。
次に、第2の実施の形態について説明する。
次に、第3の実施の形態について説明する。第1の実施の形態においては、赤、緑、青におけるパターン照明においては、その周期が4:2:1となる場合について説明したが、本実施の形態は、検査対象物の形状に最適なパターン周期を選定する方法である。
このようにして得られた周期D2に基づき、図20に示すように、検査対象物210に対し、照明部221においてパターン周期D2のパターン照明を行うことができる。このようにパターン周期D2のパターン照明がされている検査対象物210をカメラ40で撮像することにより、図21に示される画像282を得ることができる。この場合、曲面部210bにおけるパターン周期は略Xaとなり、平面部210aをパターン周期D1のパターン照明により照射した場合と略同じ周期となる。このようにして、パターン周期D1のパターン照明により照射した平面部210aにおけるパターン周期と、パターン周期D2のパターン照明により照射した曲面部210bにおけるパターン周期とを略同じ周期にすることができる。
(付記1)
検査対象物の表面に光を照射する照明部と、
前記照明部により光が照射された前記検査対象物を撮像する撮像部と、を有し、
前記照明部は光源からの光を、照明部フィルタを介して照射するものであり、前記照明部フィルタは、複数のパターンフィルタを重ね合わせたものであって、
前記複数のパターンフィルタには、所定の波長の光を遮断する領域と透過する領域とが、交互に所定の周期で形成されており、
前記所定の波長及び前記所定の周期は、前記パターンフィルタごとに相互に異なるものであって、
前記撮像部において撮像された画像を前記所定の波長の光の成分の画像ごとに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。
(付記2)
前記欠陥は、前記検査対象の表面における凹凸及び色むらであることを特徴とする付記1に記載の表面欠陥検査装置。
(付記3)
前記光源は白色光源であることを特徴とする付記1または2に記載の表面欠陥検査装置。
(付記4)
前記照明部フィルタは、第1のフィルタと第2のフィルタとを重ね合わせたものであり、
前記第1のフィルタは、第1の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第1の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第2のフィルタは、第2の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第2の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第1の波長と前記第2の波長とは異なる波長であり、前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光を透過するものであって、
前記第1の周期と前記第2の周期は異なる周期であり、
前記撮像部において撮像された画像を前記第1の波長の光の成分の画像と前記第2の波長の光の成分の画像とに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
(付記5)
前記第2の周期は前記第1の周期の略半分の周期であることを特徴とする付記4に記載の表面欠陥装置。
(付記6)
前記撮像された画像より前記第1の波長の光の成分の画像と前記第2の波長の光の成分の画像とに分離する際には、前記第1の波長の光を透過し前記第2の波長の光を遮断するフィルタと、前記第2の波長の光を透過し前記第1の波長の光を遮断するフィルタと、を用いて行うことを特徴とする付記4または5に記載の表面欠陥検査装置。
(付記7)
前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光のうち、いずれかより選ばれるものであって、
前記第1の波長の光と前記第2の波長の光とは、異なる波長帯の光であることを特徴とする付記4から6のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
(付記8)
前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長及び前記第2の波長とは異なる第3の波長の光を透過するものであって、
前記撮像部において、前記第3の波長の光の成分の画像を取得し、前記第3の波長の光の画像に基づき、前記検査対象物の表面における色むらの検査を行うことを特徴とする付記4から7のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
(付記9)
前記撮像された画像より前記第3の波長の光の成分の画像を得る際には、前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光を遮断し、前記第3の波長の光を透過するフィルタを用いて行うことを特徴とする付記8に記載の表面欠陥検査装置。
(付記10)
前記第3の波長の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光のうち、いずれかより選ばれるものであって、
前記第3の波長の光は、前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光と異なる波長帯の光であることを特徴とする付記8または9に記載の表面欠陥検査装置。
(付記11)
前記照明部フィルタは、第1のフィルタ、第2のフィルタ及び第3のフィルタを重ね合わせたものであり、
前記第1のフィルタは、第1の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第1の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第2のフィルタは、第2の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第2の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第3のフィルタは、第3の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第3の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第1の波長、前記第2の波長、前記第3の波長は、相互に異なる波長であり、前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長の光、前記第2の波長の光及び前記第3の波長の光を透過するものであって、
前記第1の周期、前記第2の周期及び前記第3の周期は相互に異なる周期であり、
前記撮像部において撮像された画像を前記第1の波長の光の成分の画像と、前記第2の波長の光の成分の画像と、前記第3の波長の光の成分の画像とに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする付記1から3のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
(付記12)
前記第2の周期は前記第1の周期の略半分の周期であって、
前記第3の周期は前記第2の周期の略半分の周期であることを特徴とする付記11に記載の表面欠陥装置。
(付記13)
前記撮像された画像より前記第1の波長の光の成分の画像と、前記第2の波長の光の成分の画像と、前記第3の波長の光の成分の画像とに分離する際には、前記第1の波長の光を透過し前記第2の波長の光及び前記第3の波長の光を遮断するフィルタと、前記第2の波長の光を透過し前記第1の波長の光及び前記第3の波長の光を遮断するフィルタと、前記第3の波長の光を透過し前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光を遮断するフィルタと、を用いて行うことを特徴とする付記11または12に記載の表面欠陥検査装置。
(付記14)
前記第1の波長の光、前記第2の波長の光及び前記第3の波長の光は、赤色の波長帯の光、緑色の波長帯の光及び青色の波長帯の光のうち、いずれかより選ばれるものであって、
前記第1の波長の光、前記第2の波長の光及び前記第3の波長の光は、相互に異なる波長帯の光であることを特徴とする付記11から13のいずれかに記載の表面欠陥検査装置。
(付記15)
検査対象物の表面に複数の波長の光を照射する光照射工程と、
前記光の照射された前記検査対象物を撮像する撮像工程と、
前記撮像された前記検査対象物の画像を各々の波長成分の画像ごとに分離する画像分離工程と、
を有し、前記複数の波長の光は、前記波長の光が照射される領域と照射されない領域とが所定の周期となるように照射されるものであって、前記複数の波長の光ごとに、前記所定の周期は異なるものであって、
前記分離された画像に基づき前記検査対象の表面における欠陥を検査するものであることを特徴とする表面欠陥検査方法。
11 塗膜
12 透明樹脂膜
20 照明部
21 平面白色光源
30 照明部カラーフィルタ
31 第1のパターンフィルタ
31a カラーフィルタの形成されている領域
31b カラーフィルタの形成されていない領域
32 第2のパターンフィルタ
32a カラーフィルタの形成されている領域
32b カラーフィルタの形成されていない領域
33 第3のパターンフィルタ
33a カラーフィルタの形成されている領域
33b カラーフィルタの形成されていない領域
40 撮像部
60 制御部
Claims (5)
- 検査対象物の表面に光を照射する照明部と、
前記照明部により光が照射された前記検査対象物を撮像する撮像部と、を有し、
前記照明部は光源からの光を、照明部フィルタを介して照射するものであり、前記照明部フィルタは、複数のパターンフィルタを重ね合わせたものであって、
前記複数のパターンフィルタには、所定の波長の光を遮断する領域と透過する領域とが、交互に所定の周期で形成されており、
前記所定の波長及び前記所定の周期は、前記パターンフィルタごとに相互に異なるものであって、
前記撮像部において撮像された画像を前記所定の波長の光の成分の画像ごとに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うものであって、
前記照明部フィルタは、第1のフィルタと第2のフィルタとを重ね合わせたものであり、
前記第1のフィルタは、第1の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第1の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第2のフィルタは、第2の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第2の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第1の波長と前記第2の波長とは異なる波長であり、前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光を透過するものであって、
前記第1の周期と前記第2の周期は異なる周期であり、
前記撮像部において撮像された画像を前記第1の波長の光の成分の画像と前記第2の波長の光の成分の画像とに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 前記第2の周期は前記第1の周期の略半分の周期であることを特徴とする請求項1に記載の表面欠陥検査装置。
- 前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長及び前記第2の波長とは異なる第3の波長の光を透過するものであって、
前記撮像部において、前記第3の波長の光の成分の画像を取得し、前記第3の波長の光の画像に基づき、前記検査対象物の表面における色むらの検査を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の表面欠陥検査装置。 - 検査対象物の表面に光を照射する照明部と、
前記照明部により光が照射された前記検査対象物を撮像する撮像部と、を有し、
前記照明部は光源からの光を、照明部フィルタを介して照射するものであり、前記照明部フィルタは、複数のパターンフィルタを重ね合わせたものであって、
前記複数のパターンフィルタには、所定の波長の光を遮断する領域と透過する領域とが、交互に所定の周期で形成されており、
前記所定の波長及び前記所定の周期は、前記パターンフィルタごとに相互に異なるものであって、
前記撮像部において撮像された画像を前記所定の波長の光の成分の画像ごとに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うものであって、
前記照明部フィルタは、第1のフィルタ、第2のフィルタ及び第3のフィルタを重ね合わせたものであり、
前記第1のフィルタは、第1の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第1の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第2のフィルタは、第2の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第2の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第3のフィルタは、第3の波長の光を遮断する領域と前記光源からの光を透過する領域とが、第3の周期で交互に形成されたパターンを有しており、
前記第1の波長、前記第2の波長、前記第3の波長は、相互に異なる波長であり、前記光源からの光を透過する領域は、前記第1の波長の光、前記第2の波長の光及び前記第3の波長の光を透過するものであって、
前記第1の周期、前記第2の周期及び前記第3の周期は相互に異なる周期であり、
前記撮像部において撮像された画像を前記第1の波長の光の成分の画像と、前記第2の波長の光の成分の画像と、前記第3の波長の光の成分の画像とに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 検査対象物の表面に複数の波長の光を照射する光照射工程と、
前記光の照射された前記検査対象物を撮像する撮像工程と、
前記撮像された前記検査対象物の画像を各々の波長成分の画像ごとに分離する画像分離工程と、
を有し、前記複数の波長の光は、前記波長の光が照射される領域と照射されない領域とが所定の周期となるように照射されるものであって、前記複数の波長の光ごとに、前記所定の周期は異なるものであって、
前記分離された画像に基づき前記検査対象物の表面における欠陥を検査するものであることを特徴とする表面欠陥検査方法。
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