JP5487936B2 - 蛍光x線液分析計 - Google Patents
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Description
この蛍光X線液分析計では、複数のメッキ槽からサンプリングしたメッキ液が、サンプルホルダに連設された複数の液体試料収容部(以下、「測定セル」という)にそれぞれ装入され、これら複数の測定セルを駆動モータにより移動することによって測定を行う。このような従来のメッキ液自動分析装置は、例えば特許文献1〜7に開示されている。
図7は、従来の蛍光X線液分析計における測定セルのX線入射及び反射窓(以下「セル窓」という)の破損状況を示す説明図である。
このめっき液分析系統は、(i)図示しない電気めっきラインのめっき液収容槽に設けられたフィルタ装置22を介してオーバーフロータンク23へめっき液を供給するフィルタ装置24と、(ii)オーバーフロータンク23から供給されるめっき液を収容する測定セル25と、Rh管球からなるX線発生部26と、測定セル25により反射した蛍光X線を受光する半導体検出器からなるX線検出部27とを備える蛍光X線液分析計21と、(iii)X線検出部27からの検出信号を加工処理する演算処理装置28と、演算処理装置28による演算結果を表示する表示部29とを備えるめっき液自動分析装置30とを備える。
図2に示すように、本発明の蛍光X線液分析計21は、一次X線31を発生するX線発生部26と、一次X線31が入射する部分に装着されるセル窓25aを有する測定セル25と、測定セル25からの蛍光X線32を検出するX線検出部27と、水頭差を利用した測定セル25への液体試料の供給配管38、および測定セル25からの液体試料の排出配管40を有する液体試料供給系35とを備える。
このような知見に基づいて、X線発生部26の保護膜26a、セル窓25a、X線検出部27の保護膜27aの材質を、以下に列記する理由により定める。
X線発生部26の保護膜26aは、X線発生部26により発生した直後の高強度X線が照射されるため、このような環境でも劣化し難い膜であることが最も重視される。一方、液体試料に直接接触する環境ではないので、耐酸性や親水性は重視されない。
セル窓25aには、検出目的である元素の蛍光X線を透過し易いことの他に、液体試料に対する耐酸性、液体試料の支持および異物の接触に対する機械強度さらには泡を付着させ難くするための親水性等が求められる。一方、X線照射による劣化に対する耐性は、X線発生部26の保護膜26aほどには重視されない。
X線検出部27の保護膜27aは、検出目的である元素の蛍光X線を透過し易いことが最も重視される。例えば、鋼板の電気亜鉛系めっきに使用されるめっき液で、ZnやFeに加えてP、S等の軽元素を測定しようとすると、軽元素に由来する蛍光X線は比較的強度が弱いので、これらの透過を阻害しないことが求められる。そこで、X線検出部27の保護膜27aとしては、X線検出部27が保護できる程度の耐酸性やX線照射環境での耐劣化性があれば、できるだけ厚さが薄いほうがよい。好ましくは厚さ1〜2μmのポリエチレンテレフタレート製の膜である。
図4は、特許文献7により開示された蛍光X線液分析計51の近傍を抽出して示す説明図である。なお、図4における要素のうち図2、3における要素と同一のものには、同一の符号を付して示す。
22 フィルタ装置
23 オーバーフロータンク
24 フィルタ装置
25 測定セル
25a セル窓
26 X線発生部
26a 保護膜
27 X線検出部
27 保護膜
28 演算処理装置
29 表示部
30 めっき液自動分析装置
31 一次X線
32 蛍光X線
34 ハウジング
35 液体試料供給系
36a〜36b オーバーフロータンク
36c 手動測定用タンク
37a〜37c バルブ
38 供給配管
40 排出配管
41 排液タンク
45 除去口
50 気泡
51 蛍光X線液分析計
Claims (5)
- 一次X線を発生するX線発生部と、当該一次X線が入射する部分に装着されるセル窓を有する測定セルと、当該測定セルからの蛍光X線を検出するX線検出部と、水頭差を利用した前記測定セルへの液体試料の供給、および該測定セルからの液体試料の排出を行う液体試料供給系とを備え、前記X線発生部と前記測定セルとの位置関係、および前記測定セルと前記X線検出部との位置関係はいずれも不変であるとともに、前記液体試料の分析を連続して行うオンライン蛍光X線液自動分析計において、
前記セル窓は、親水処理されたポリエチレンテレフタレート製の膜からなること
を特徴とする蛍光X線液分析計。 - 前記X線発生部に装着される、ポリイミド製の膜からなる保護膜を備えること
を特徴とする請求項1に記載された蛍光X線液分析計。 - 前記X線検出部に装着される、ポリエチレンテレフタレート製の膜からなる保護膜を備えること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載された蛍光X線液分析計。 - 前記X線検出部に装着される、ポリエチレンテレフタレート製の膜からなる保護膜は、厚さが1〜2μmであることを特徴とする請求項3に記載された蛍光X線分析計。
- 前記測定セルの内部の圧力は、該測定セルの外部の圧力よりも低い請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載された蛍光X線分析計。
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