JP5483868B2 - プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 - Google Patents
プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5483868B2 JP5483868B2 JP2008300607A JP2008300607A JP5483868B2 JP 5483868 B2 JP5483868 B2 JP 5483868B2 JP 2008300607 A JP2008300607 A JP 2008300607A JP 2008300607 A JP2008300607 A JP 2008300607A JP 5483868 B2 JP5483868 B2 JP 5483868B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal body
- metal
- plasma
- generating electrode
- ceramic body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Exhaust Gas After Treatment (AREA)
Description
上述の実施形態における図1および図2では、金属体の表面の端部(特に、4つ角)が角状に形成されている例について図示した。しかしながら、金属体の表面の端部が角状に形成されていると、金属体の表面の端部周囲、すなわち、4つ角周囲の電界が強くなる。このため、金属体の表面の4つ角周囲には、その他の箇所と比較して、より強いプラズマが発生することになる。すなわち、発生するプラズマの強さが金属体の場所によって異なることは望ましくない。そこで、変更例1では、図4に示すように、金属体3aの表面の端部Eが曲面状に形成されている例について説明する。
上述の実施形態における図1および図2では、金属体の表面がなだらかに形成されている例について図示した。しかしながら、変更例1において説明したように、金属体の表面の端部周囲、すなわち、4つ角周囲の電界が強くなってしまう。このため、金属体の表面の4つ角周囲には、その他の箇所と比較して、より強いプラズマが発生することになる。すなわち、発生するプラズマの強さが金属体の場所によって異なることは望ましくない。そこで、変更例2では、図5および図6に示すように、金属体3bの表面Sが凸凹に形成されている例について説明する。なお、図5は、図6の態様と比較して、金属体3bの表面Sの凸凹における凸が角状になっている。
上述の実施形態における図1および図2では、金属体の裏面全てがセラミック体と拡散接合されている例について図示した。しかしながら、例えば、セラミック体と熱膨張係数の異なる金属体を用いた場合には、セラミック体と金属体とを拡散接合した場合であっても、セラミック体から金属体が剥がれる可能性がある。すなわち、セラミック体と金属体との接合の信頼性が低下する。そこで、変更例3では、図7に示すように、金属体3cの裏面に切欠部Lが複数形成されており、切欠部Lが形成されていない箇所における金属体3cの裏面と、セラミック体2とが拡散接合されている例について説明する。
2 セラミック体
3 金属体
3a 金属体
3b 金属体
3c 金属体
4 単位電極
10 プラズマ反応器
Claims (8)
- セラミック体と金属体とを含む単位電極を、前記金属体同士が互いに直接に対向するように、少なくとも二つ備え、前記単位電極間に電圧を印加することによって当該単位電極間にプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、
前記金属体の金属原子が前記セラミック体へ拡散されていることにより、前記金属体と前記セラミック体とが接合されており、前記金属体が、前記金属体に覆われている箇所で前記セラミック体の内部に形成された電気配線に接続されていることを特徴とするプラズマ発生電極。 - セラミック体と金属体とを含む単位電極を、前記金属体同士が互いに直接に対向するように、少なくとも二つ備え、前記単位電極間に電圧を印加することによって当該単位電極間にプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生電極であって、
前記金属体と前記セラミック体との間に、前記金属体の金属原子と酸素とから得られる酸化物が介在されており、前記金属体が、前記金属体に覆われている箇所で前記セラミック体の内部に形成された電気配線に接続されていることを特徴とするプラズマ発生電極。 - 前記金属体の表面の端部が曲面状に形成されている、請求項1または2に記載のプラズマ発生電極。
- 前記金属体の表面が凸凹に形成されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載のプラズマ発生電極。
- 前記金属体の裏面に切欠部が複数形成されており、
前記切欠部が形成されていない箇所における前記金属体の裏面と、前記セラミック体とが拡散接合されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のプラズマ発生電極。 - 前記金属体の裏面に突起部が複数形成されており、
前記金属体の裏面に形成された複数の突起部と前記セラミック体とが拡散接合されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のプラズマ発生電極。 - 前記金属体が、銅、クロム、ニッケル、チタン、またはステンレス鋼である、請求項1〜6のいずれか一項に記載のプラズマ発生電極。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のプラズマ発生電極を含み、
前記単位電極間に、所定の成分を含むガスが通過した場合に、前記単位電極間に発生されたプラズマにより前記ガスに含まれる前記所定の成分が反応する、プラズマ反応器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008300607A JP5483868B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008300607A JP5483868B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010129259A JP2010129259A (ja) | 2010-06-10 |
JP5483868B2 true JP5483868B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=42329520
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008300607A Expired - Fee Related JP5483868B2 (ja) | 2008-11-26 | 2008-11-26 | プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5483868B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6311887B2 (ja) * | 2015-05-15 | 2018-04-18 | 豊田合成株式会社 | 発光素子用基板および発光装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07296993A (ja) * | 1994-04-26 | 1995-11-10 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | プラズマ発生装置 |
JPH11106531A (ja) * | 1997-10-06 | 1999-04-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 放電プラズマ処理装置 |
JP3728078B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2005-12-21 | 京セラ株式会社 | プラズマ発生用部材 |
GB9911728D0 (en) * | 1999-05-21 | 1999-07-21 | Aea Technology Plc | Dielectric barrier gas reactors with non-axial flow |
JP4268484B2 (ja) * | 2003-09-12 | 2009-05-27 | 日本碍子株式会社 | プラズマ発生電極及びプラズマ反応器 |
JP4578412B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2010-11-10 | 日本碍子株式会社 | 放電プラズマ発生方法 |
-
2008
- 2008-11-26 JP JP2008300607A patent/JP5483868B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010129259A (ja) | 2010-06-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5246337B2 (ja) | 排気浄化用電気加熱型触媒 | |
JP2005526625A (ja) | 測定センサ用フランジ部材付きのハニカム体とその製造方法。 | |
JPH05146640A (ja) | 排ガス接触浄化装置及びその製造方法 | |
JP2003257581A (ja) | スパークプラグの製造方法 | |
JP5483868B2 (ja) | プラズマ発生電極、およびプラズマ反応器 | |
ES2095072T3 (es) | Procedimiento para soldar una estructura metalica, especialmente regiones parciales de un cuerpo en nido de abeja. | |
BR0110013B1 (pt) | alojamento para uma estrutura de favo de mel, estrutura de suporte de catalisador com um alojamento e método para a produção de uma estrutura de suporte de catalisador. | |
JP5843756B2 (ja) | パルス制御される高出力レーザダイオード用のヒートシンク | |
JP3937004B2 (ja) | ヒータユニット | |
JP2896497B2 (ja) | フレキシブル熱電素子モジュール | |
JP3520074B2 (ja) | セラミックサセプターの取付構造、セラミックサセプターの支持構造およびセラミックサセプターの支持部材 | |
JP5664517B2 (ja) | 通電加熱式触媒装置 | |
JP2008064090A (ja) | 排気浄化構成要素用のハウジング | |
JPH08108076A (ja) | 触媒コンバータ | |
US4969592A (en) | Method for uniting workpieces of silicon-infiltrated silicon carbide with large dimensions in a materially bonded manner and apparatus for performing the method | |
JPH0932536A (ja) | 通電加熱式触媒の電極構造及びその電極支持ホルダへの絶縁被膜形成方法 | |
JPH0332073A (ja) | 熱電対の固定方法及び熱電対とバンドの組合せ | |
JP4026751B2 (ja) | 半導体製造装置およびその製造方法 | |
JP2014201447A (ja) | 接合体の製造方法 | |
JP2000282858A (ja) | エンジンの排気管 | |
JP2646555B2 (ja) | セラミツクヒータ | |
JP3337101B2 (ja) | 耐久性に優れた排気ガス浄化触媒用メタル担体 | |
JP2004138286A (ja) | ラジアントチューブバーナ及びラジアントチューブの取付構造 | |
WO2021255968A1 (ja) | 熱伝導部材 | |
JPH07136525A (ja) | メタル担体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110818 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5483868 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |