JP5482599B2 - レーザーアブレーション質量分析装置 - Google Patents
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Description
本発明者等は、導入路内におけるキャリアガスの適正な流速を保証するファクターを特定する検証をおこなった。本発明のレーザーアブレーション質量分析装置を構成するアブレーションチャンバーを図5aに模擬している。同図において、隙間Gの長さをt、導入路4の長さ(外管32からの長さ)をs、導入路4の内径をdとしている。
本発明者等は、フランジの長さと導入路へのガス導入量の関係を特定する検証をおこなった。本発明のレーザーアブレーション質量分析装置を構成するアブレーションチャンバーを図6aに模擬している。同図において、隙間Gの長さをt、フランジ5の長さをrとしている。CAE解析結果を図6bに示す。なお、図6bにおける解析結果を示すグラフでは、フランジ長さが2mmでその際の導入ガス量:0.08cc/secを基準に、フランジ長さを種々変化させた際の導入ガス量を特定するとともに、上記基準値に対する倍率を同図で示している。なお、本解析では隙間を4mmとしている。
Claims (5)
- レーザー発信器と固体試料が収容されるアブレーションチャンバーとからなるレーザーアブレーション装置(LA装置)と、このアブレーションチャンバーに流体連通し、気化された試料エアロゾルがキャリアガスとともに導入されて試料エアロゾルの質量分析がおこなわれる誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP−MS装置)からなるレーザーアブレーション質量分析装置において、
前記アブレーションチャンバーは外管と内管から構成される二重管構造の管路からなり、内管の内部が第1の流路、内管と外管の間の空間が第2の流路であり、
内管の途中位置において第1の流路とICP−MS装置を流体連通する導入路が設けてあり、
前記アブレーションチャンバーは固体試料との間に隙間を設けた姿勢で固定され、レーザーアブレーションによって試料エアロゾルを生じさせ、前記第1の流路および第2の流路にキャリアガスを固体試料に向かう方向に導入し、第2の流路を流れるキャリアガスが固体試料表面で反射して第1の流路に導かれ、試料エアロゾルを導入路に導くようになっているレーザーアブレーション質量分析装置。 - 前記アブレーションチャンバーは前記外管のさらに外側に別途の外管を備えた三重管構造の管路からなり、外管と別途の外管の間の空間が第3の流路であって、
前記アブレーションチャンバーは固体試料との間に隙間を設けた姿勢で固定され、レーザーアブレーションによって試料エアロゾルを生じさせ、前記第1の流路および第2の流路および第3の流路にキャリアガスを固体試料に向かう方向に導入し、第2の流路および第3の流路を流れるキャリアガスが固体試料表面で反射して第1の流路に導かれ、試料エアロゾルを導入路に導くようになっている請求項1に記載のレーザーアブレーション質量分析装置。 - 前記外管もしくは前記別途の外管が、前記固体試料と対向する端面においてその外側に張り出すフランジを備えている請求項1または2に記載のレーザーアブレーション質量分析装置。
- 内管と固体試料の前記隙間が、外管と固体試料の前記隙間よりも大きい請求項1〜3のいずれかに記載のレーザーアブレーション質量分析装置。
- ICP−MS装置内で固体試料に由来する試料エアロゾルの質量分析がおこなわれている間は、前記第1の流路にのみ、キャリアガスを固体試料に向かう方向に導入し続ける制御が実行される請求項1〜4のいずれかに記載のレーザーアブレーション質量分析装置。
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