JP5481790B2 - 電気光学装置 - Google Patents
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Description
基板と、上記基板上に形成された所定の幅を有する第1の遮光膜と、上記第1の遮光膜上に形成された第1の層間絶縁膜と、上記第1の層間絶縁膜上に形成されたトランジスタと、上記トランジスタ上に形成された第2の層間絶縁膜と、上記第2の層間絶縁膜上に形成された第2の遮光膜と、を少なくとも備える電気光学装置であって、上記トランジスタの半導体層は、上記基板側から上記第1の遮光膜に覆われるように設けられると共に、上記基板とは反対側から上記第2の遮光膜に覆われるように設けられており、上記第2の遮光膜は、上記第1の遮光膜より幅広に形成されており、上記第1の層間絶縁膜の膜厚が最も薄い部分は、平面視で上記第1の遮光膜の端部と上記第2の遮光膜の端部との間に存在することを特徴とする電気光学装置。
基板と、上記基板上に形成された所定の幅を有する第1の遮光膜と、上記第1の遮光膜上に形成された第1の層間絶縁膜と、上記第1の層間絶縁膜上に形成されたトランジスタと、上記トランジスタ上に形成された第2の層間絶縁膜と、上記第2の層間絶縁膜上に形成された第2の遮光膜と、を少なくとも備える電気光学装置であって、上記トランジスタの半導体層は、上記基板側から上記第1の遮光膜に覆われるように設けられると共に、上記基板とは反対側から上記第2の遮光膜に覆われるように設けられており、上記第2の遮光膜は、上記第1の遮光膜より幅広に形成されており、上記第1の遮光膜の表面と上記第1の層間絶縁膜の表面との間隔が最も短くなる部分が、平面視で上記第1の遮光膜の端部と上記第2の遮光膜の端部との間に存在することを特徴とする電気光学装置。
基板と、上記基板上に形成された所定の幅を有する第1の遮光膜と、上記第1の遮光膜上に形成された第1の層間絶縁膜と、上記第1の層間絶縁膜上に形成されたトランジスタと、上記トランジスタ上に形成された第2の層間絶縁膜と、上記第2の層間絶縁膜上に形成された第2の遮光膜と、を少なくとも備える電気光学装置であって、上記トランジスタの半導体層は、上記基板側から上記第1の遮光膜に覆われるように設けられると共に、上記基板とは反対側から上記第2の遮光膜に覆われるように設けられており、上記第2の遮光膜は、上記第1の遮光膜より幅広に形成されており、上記第2の層間絶縁膜の表面と上記基板表面との間隔が最も短くなる部分が、平面視で上記第1の遮光膜の端部と上記第2の遮光膜の端部との間に存在することを特徴とする電気光学装置。
基板と、上記基板上に形成された所定の幅を有する第1の遮光膜と、上記第1の遮光膜上に形成された第1の層間絶縁膜と、上記第1の層間絶縁膜上に形成されたトランジスタと、上記トランジスタ上に形成された第2の層間絶縁膜と、上記第2の層間絶縁膜上に形成された第2の遮光膜と、を少なくとも備える電気光学装置であって、上記トランジスタの半導体層は、上記基板側から上記第1の遮光膜に覆われるように設けられると共に、上記基板とは反対側から上記第2の遮光膜に覆われるように設けられており、上記第2の遮光膜は、上記第1の遮光膜より幅広に形成されており、上記第1の遮光膜の表面と上記第2の層間絶縁膜の表面との間隔が最も短くなる部分が、平面視で上記第1の遮光膜の端部と上記第2の遮光膜の端部との間に存在することを特徴とする電気光学装置。
上述の電気光学装置であって、上記第1の層間絶縁膜と上記第2の層間絶縁膜との少なくとも一方は、HDP−CVD法により形成されていることを特徴とする電気光学装置。
基板上に所定の幅を有する第1の遮光膜を形成する第1の工程と、上記基板上に第1の層間絶縁膜を形成する第2の工程と、上記第1の層間絶縁膜上にトランジスタを形成する第3の工程と、上記トランジスタを覆う第2の層間絶縁膜を形成する第4の工程と、上記第2の層間絶縁膜上に上記トランジスタを覆う第2の遮光膜を形成する第5の工程と、を含む電気光学装置の製造方法であって、上記第2の工程又は上記第4の工程において、少なくとも一方の上記層間絶縁膜がHDP−CVD法により形成されることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
なお、上述の実施形態では双方(第1と第2)の層間絶縁膜をHDP−CVD法で成膜している。しかし、どちらか一方の絶縁膜をHDP−CVD法で成膜すれば上述の効果を得ることは可能である。
上述した液晶装置は、例えば、図7に示すような電子機器としてのプロジェクタ500に搭載して用いることができる。プロジェクタ500は、本体510、レンズ520を有しており、内蔵された光源(不図示)から光を射出し、これを内部に備え付けられた表示部若しくはライトバルブとしての上述の実施形態にかかる液晶装置によって変調した後にレンズ520から前方に投写する装置である。プロジェクタ500は、遮光性の向上したTFT30を備えているため、光リーク電流等の影響による不具合の少ない、高品位な表示を行うことができる。
上述の実施形態では透過型の液晶装置を例に述べた。しかし、本発明は反射型の液晶装置にも適用できる。画像表示には寄与しない外光がTFTへ入射することを低減できるため、透過型の液晶装置と同様に、リーク電流による表示品質の低下を低減できる。
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の一方の面に形成されたデータ線と、
前記基板と前記データ線との間に形成された第1の遮光膜と、
前記データ線と前記第1の遮光膜との間に形成された第1の層間絶縁膜と、
前記データ線と前記第1の層間絶縁膜との間に形成されたトランジスタと、
前記データ線と前記トランジスタとの間に形成された第2の遮光膜と、を有し、
前記トランジスタは、前記トランジスタのチャネル領域が前記第1の遮光膜および前記第2の遮光膜と重なるように配置され、
前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域のうち一方は、前記データ線と電気的に接続され、
前記トランジスタの前記ソース領域及び前記ドレイン領域のうち他方は、前記第2の遮光膜と電気的に接続され、
前記第1の層間絶縁膜は、前記第1の遮光膜の第1の端部と前記第2の遮光膜の第2の端部との間において、前記基板側へ向けて落ち込む部分と膜厚が最も薄い部分とを有することを特徴とする電気光学装置。 - 基板と、
前記基板の一方の面に形成されたデータ線と、
前記基板と前記データ線との間に形成された第1の遮光膜と、
前記データ線と前記第1の遮光膜との間に形成された第1の層間絶縁膜と、
前記データ線と前記第1の層間絶縁膜との間に形成されたトランジスタと、
前記データ線と前記トランジスタとの間に形成された第2の層間絶縁膜と、
前記データ線と前記第2の層間絶縁膜との間に形成された第2の遮光膜と、を有し、
前記トランジスタは、前記トランジスタのチャネル領域が前記第1の遮光膜および
第2の遮光膜と重なるように配置され、
前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域のうち一方は、前記データ線と電気的に接続され、
前記トランジスタの前記ソース領域及び前記ドレイン領域のうち他方は、前記第2の遮光膜と電気的に接続され、
前記第2の層間絶縁膜は、前記第1の遮光膜の第1の端部と前記第2の遮光膜の第2の端部との間において、前記基板へ向けて落ち込む部分と膜厚が最も薄い部分とを有することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1又は2に記載の電気光学装置において、
前記第1の遮光膜は、
第1の方向に沿って延設された第1の本体部と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って延設された第1の突出部と、を含み、
前記第2の遮光膜は、
第1の方向に沿って延設された第2の本体部と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って延設された第2の突出部と、を含み、
前記第1の端部は、前記第1の突出部の外周をなす複数の辺のうち、前記第1の本体部から前記第2の方向に沿って延びた一辺に位置し、
前記第2の端部は、前記第2の突出部の外周をなす複数の辺のうち、前記第2の本体部から前記第2の方向に沿って延びた一辺に位置することを特徴とする電気光学装置。 - 基板と、
前記基板の一方の面に形成されたデータ線と、
前記基板と前記データ線との間に形成された第1の遮光膜と、
前記データ線と前記第1の遮光膜との間に形成された第1の層間絶縁膜と、
前記データ線と前記第1の層間絶縁膜との間に形成されたトランジスタと、
前記データ線と前記トランジスタとの間に形成された第2の遮光膜と、を有し、
前記トランジスタは、前記トランジスタのチャネル領域が前記第1の遮光膜および前記第2の遮光膜と重なるように配置され、
前記トランジスタのソース領域及びドレイン領域のうち一方は、前記データ線と電気的に接続され、
前記トランジスタの前記ソース領域及び前記ドレイン領域のうち他方は、前記第2の遮光膜と電気的に接続され、
前記第1の層間絶縁膜は、前記第1の遮光膜の第1の端部と前記第2の遮光膜の第2の端部との間において、前記基板へ向けて落ち込む部分と膜厚が最も薄い部分とを有し、
前記第1の遮光膜は、
第1の方向に沿って延設された第1の本体部と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って延設された第1の突出部と、を含み、
前記第2の遮光膜は、
第1の方向に沿って延設された第2の本体部と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って延設された第2の突出部と、を含み、
前記第1の端部は、前記第1の突出部の外周をなす複数の辺のうち、前記第1の本体部から前記第2の方向に沿って延びた第1の辺に位置し、
前記第2の端部は、前記第2の突出部の外周をなす複数の辺のうち、前記第2の本体部から前記第2の方向に沿って延びた第2の辺に位置することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1又は4に記載の電気光学装置において、
前記第2の遮光膜と前記トランジスタとの間に形成された第2の層間絶縁膜を備え、
前記第2の層間絶縁膜は、前記第1の端部と前記第2の端部との間において、前記基板へ向けて落ち込む部分と膜厚が最も薄い部分とを有することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電気光学装置において、
前記第1の遮光膜は第1の幅を有し、
前記第2の遮光膜は第2の幅を有し、
前記第2の幅は前記第1の幅より大であることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項4に記載の電気光学装置において、
前記第1の突出部は第1の幅を有し、
前記第2の突出部は第2の幅を有し、
前記第2の幅は前記第1の幅より大であることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項4に記載の電気光学装置において、
前記第1の突出部の外周をなす複数の辺のうち前記第1の辺と対向する第3の辺との距離は、前記第2の突出部の外周をなす複数の辺のうち前記第2の辺と対向する第4の辺との距離より小であることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電気光学装置において、
前記第2の遮光膜と電気的に接続された画素電極を有することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の電気光学装置において、
前記第1の遮光膜は、走査線であることを特徴とする電気光学装置。
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