JP5479781B2 - Slurry recovery method and recovery device - Google Patents
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Description
本発明は、スラリーの回収方法及び回収装置に関する。 The present invention relates to a slurry recovery method and a recovery apparatus.
半導体の製造プロセスにおける化学機械研磨(CMP)では、半導体ウエハを、研磨装置を用いて研磨パッドに押圧しつつ回転させ、これと同時に、半導体ウエハと研磨パッドとの間へ研磨材であるスラリーを供給して研磨が行われる。 In chemical mechanical polishing (CMP) in a semiconductor manufacturing process, a semiconductor wafer is rotated while being pressed against a polishing pad using a polishing apparatus, and at the same time, a slurry, which is an abrasive, is placed between the semiconductor wafer and the polishing pad. Supply and polishing is performed.
CMPによれば、スラリー中の化学成分、砥粒(例えばアルミナ粒子やシリカ粒子)により化学的作用に加え、半導体ウエハと研磨パッドの摺接による相乗的な研磨作用を達成できる。 According to CMP, in addition to the chemical action by the chemical components and abrasive grains (for example, alumina particles and silica particles) in the slurry, a synergistic polishing action by sliding contact between the semiconductor wafer and the polishing pad can be achieved.
上記のCMPを行うには、例えば、図13に模式的に示した研磨装置1が用いられている。研磨装置1は、上面に研磨パッド2を貼着して主回転軸3の周りに回転するプラテン4と、研磨対象物である半導体ウエハ5をプラテン4の主回転軸3に対して偏心した回転軸6の周りに回転させながら研磨パッド2に押圧する研磨ヘッド7とから構成されている。スラリーSは、プラテン4の上方に配置したスラリー供給ノズル8からプラテン4上の研磨パッド2の上に流下される。
In order to perform the above CMP, for example, the
スラリー供給ノズル8は、切り替え弁9を介して、スラリー供給配管10と洗浄水(超純水)配管11とに接続されており、所定時間スラリーによる研磨が行われた後に、この切り替え弁9が切り替えられて、大量の洗浄水がスラリー供給ノズル8からプラテン4上に放出され、洗浄水を流しながらリンス及びパッドコンディショニングが行われる。ここで使用されたスラリーと洗浄水は、すべて共通排液排出管12を経て排液タンクに回収される。このような大量の洗浄水が混じって希釈されたスラリーは、再利用が困難なため、廃棄されている。
The slurry supply nozzle 8 is connected to a
従来、このようなスラリーを含む排液から砥粒のような有用成分を回収する提案がなされており、さらに、研磨工程で用いたスラリーと洗浄工程で用いた洗浄水を分離して回収し、再生対象のスラリー濃度を高くする提案もなされているが(例えば特許文献1)、それでも研磨工程におけるスラリーは、洗浄水の量と比べると非常に少量なため、回収されるスラリーは濃度が低く、複雑な濃縮工程や成分調整工程が必要になる、という問題があった。 Conventionally, proposals have been made to recover useful components such as abrasive grains from waste liquid containing such slurry, and further, the slurry used in the polishing process and the cleaning water used in the cleaning process are separated and recovered, There has also been a proposal to increase the concentration of the slurry to be recycled (for example, Patent Document 1), but the slurry in the polishing process is still very small compared to the amount of cleaning water, so the recovered slurry has a low concentration, There was a problem that a complicated concentration process and a component adjustment process were required.
本発明は、かかる従来の課題を解決するもので、有用な使用済みのスラリーを、洗浄水との粘性の違い、使用量の違いを利用して、簡便な装置を用いて、高い濃度及び回収率で回収できるようにしたスラリー回収方法及び回収装置を提供することを目的とする。 The present invention solves such a conventional problem, and a useful used slurry is recovered at a high concentration and recovered by using a simple device by utilizing the difference in viscosity and the amount of use with washing water. It is an object of the present invention to provide a slurry recovery method and a recovery device that enable recovery at a high rate.
すなわち、本願発明のスラリーの回収方法は、スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置で使用した前記スラリーを回収する方法において、前記研磨装置の前記スラリーと前記洗浄水とを共通に受ける排出口に、内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットを設けたスラリー排液回収管を取り付ける工程と、前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを前記スラリー捕捉ポケットを介して回収するスラリー回収工程と、前記スラリー排液回収管から排出される洗浄水を含む排液を回収する排液回収工程と、を有することを特徴とする。 That is, the slurry recovery method of the present invention is a method for recovering the slurry used in a polishing apparatus that repeatedly performs a polishing process using a slurry and a cleaning process using a cleaning water at a predetermined timing, and the slurry of the polishing apparatus and the slurry A step of attaching a slurry drainage recovery pipe provided with a slurry trapping pocket for trapping slurry flowing down along the inner wall to a discharge port commonly receiving the washing water, and a flow down along the inner wall of the slurry drainage recovery pipe It has a slurry collection process which collects slurry via the slurry catching pocket, and a drainage collection process which collects drainage liquid containing washing water discharged from the slurry drainage collection pipe.
スラリー回収工程から排液回収工程への切り替えは、スラリー捕捉ポケットに回収されたスラリーの導電率を測定してスラリーの導電率が基準値より下回ったときに、行われる。これは、通常のスラリー原液の導電率は、約200mS/mを示す。洗浄水は、超純水であるため、研磨工程が終了して洗浄工程に入りスラリーに洗浄水が混入すると、スラリーの導電率は急激に低下することを利用したものである。 Switching from the slurry recovery step to the drainage recovery step is performed when the conductivity of the slurry recovered in the slurry catch pocket is measured and the conductivity of the slurry falls below the reference value. This indicates that the conductivity of a normal slurry stock solution is about 200 mS / m. Since the cleaning water is ultrapure water, it utilizes the fact that when the polishing process is completed and the cleaning process is entered and the cleaning water is mixed into the slurry, the conductivity of the slurry rapidly decreases.
導電率の低下を検知したときに、それ以後回収されるスラリーを排液タンクに収容するようにすれば、元のスラリーにより近い組成のスラリーを回収することができる。 When a decrease in conductivity is detected, if a slurry recovered thereafter is accommodated in the drainage tank, a slurry having a composition closer to that of the original slurry can be recovered.
また、本願発明のスラリー回収装置は、スラリーによる研磨工程と洗浄水による洗浄工程とを所定のタイミングで繰り返し行う研磨装置におけるスラリー回収装置において、前記研磨装置の排出口から下方に垂設された前記研磨工程で使用されたスラリーが内壁のみを伝って流下するに十分な内径のスラリー排液回収管と、前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットと、前記スラリー捕捉ポケットの底部に吸入口を開口させたスラリー吸引管と、を有することを特徴とする。 Further, the slurry recovery device of the present invention is a slurry recovery device in a polishing device that repeatedly performs a polishing step with slurry and a cleaning step with cleaning water at a predetermined timing, and the slurry recovery device is suspended downward from an outlet of the polishing device. A slurry drainage recovery pipe having an inner diameter sufficient for the slurry used in the polishing process to flow down only through the inner wall, a slurry trapping pocket for trapping the slurry flowing down through the inner wall of the slurry drainage recovery pipe, and And a slurry suction tube having a suction port opened at the bottom of the slurry catching pocket.
本願発明のスラリー回収装置は、研磨装置の排液排出管が1個のものでも、複数個設けたものでも、いずれも適用可能である。 The slurry recovery apparatus of the present invention can be applied to either a single drainage discharge pipe or a plurality of drainage discharge pipes of a polishing apparatus.
スラリー捕捉ポケットは、外周壁を、前記スラリー排液回収管の内壁に密接させて環状に配置された、例えば、断面U字状、断面の底部が円弧をなすV字状等の樋部材で構成される。 The slurry catching pocket is configured by a flange member having an outer peripheral wall in close contact with the inner wall of the slurry drainage collecting pipe and arranged in an annular shape, for example, a U-shaped cross-section and a V-shaped cross-section having a circular bottom. Is done.
図1〜図3は、このようなスラリー捕捉ポケット15の一例を示したもので、スラリー捕捉ポケット15は、研磨装置の底板の周囲に飛び散ったスラリーや洗浄水を集めて排出する排液排出管13にスラリー排液回収管16が挿入された構造となっている。スラリー捕捉ポケット15は、全体として円筒状をなし、下部が内側に回りこんで断面U字状の樋部17を構成されている。樋部17の底部にはポンプにより吸引されるスラリー吸引管18が取り付けられている。
1 to 3 show an example of such a slurry catching
スラリー吸引管18は、吸引ポンプに接続されてポンプの吸引力によりスラリー捕捉ポケット15に回収されたスラリーを吸引しスラリー回収タンクに回収する。
The
吸引ポンプは、スラリーがスラリー吸収管18内やスラリー捕捉ポケット15の樋部17、19内で固まるのを防ぐため、研磨工程、洗浄工程、を通じて常時駆動される。図4のように上部にスラリー吸引管を用いる場合は、樋部の断面は円弧状であってもよい。
The suction pump is always driven through the polishing process and the cleaning process in order to prevent the slurry from solidifying in the
スラリー吸引管18は、吸引ポンプの下流で、切替バルブを介してスラリー回収タンク側と洗浄排液回収タンク側に分岐されている。この切替バルブの制御のため、切替バルブの上流側にはスラリー濃度を測定するスラリー濃度検出器、例えば導電率計が配設され、導電率計の測定値が所定の設定値以上のときに、切替バルブはスラリー回収タンク側に切り替えられるようになっている。
The
これによって、スラリーに続いて洗浄排液が切替バルブにくる前に、切替バルブは、スラリー回収タンク側から洗浄排液回収タンク側に切り替えられてスラリー回収タンクに洗浄水が混入することが防がれる。 This prevents the switching valve from being switched from the slurry recovery tank side to the cleaning drainage recovery tank side before the cleaning drainage comes to the switching valve following the slurry, and prevents the cleaning water from entering the slurry recovery tank. It is.
研磨装置の研磨工程で使用されるスラリーは、特開平10−265766号公報、特開平11−116948号公報に開示されたようなもので、具体的には、例えば、0.02μm以上の粒度分布(メジアン径)体積基準が約0.15μmの煙霧質シリカ微粒子と、過酸化水素のような酸化剤、硝酸第二鉄、有機酸、アミノ酸等の成分を水に分散又は溶解させたものである。 The slurry used in the polishing step of the polishing apparatus is as disclosed in JP-A-10-265766 and JP-A-11-116948, and specifically, for example, a particle size distribution of 0.02 μm or more. (Median diameter) A volume of about 0.15 μm of fumed silica fine particles and components such as oxidizer such as hydrogen peroxide, ferric nitrate, organic acid, amino acid, etc. are dispersed or dissolved in water. .
なお、スラリー排液回収管の流入口には、半導体ウエハの割れた破損物やスラリーの凝集物等の異物の侵入を防ぐメッシュ部材を配設することが望ましい。 In addition, it is desirable to provide a mesh member for preventing entry of foreign matters such as a broken breakage of the semiconductor wafer and an aggregate of the slurry at the inlet of the slurry drainage collection pipe.
また、メッシュ部材の閉塞を検出するために、例えばスラリー吸引管から回収タンクの間に設けた流量計によりスラリー排液の流量を測定し、前記流量計の出力が所定の設定値より低くなったとき警報を発する警報装置及び/又は前記ポンプの運転を停止する制御装置とを備えることが望ましい。 Further, in order to detect the blockage of the mesh member, for example, the flow rate of the slurry drainage was measured with a flow meter provided between the slurry suction pipe and the recovery tank, and the output of the flow meter became lower than a predetermined set value. It is desirable to provide a warning device that issues a warning and / or a control device that stops the operation of the pump.
スラリー吸引管が、メッシュ部材を通過した異物等で閉塞した場合は、流量計が流量減少を検出して警報やポンプの停止により監視員に知らせることができる。 When the slurry suction tube is blocked by foreign matter or the like that has passed through the mesh member, the flow meter can detect the decrease in the flow rate and notify the monitoring staff by an alarm or a pump stop.
なお、スラリー回収タンクに回収された使用済みスラリーは、成分調整されて再使用され、洗浄排液回収タンク側に送られた排液は、排液タンクに収容されて必要な処理が施された後廃棄される。 The used slurry collected in the slurry collection tank was reused after its components were adjusted, and the waste liquid sent to the cleaning waste liquid collection tank side was accommodated in the waste liquid tank and subjected to the necessary processing. Discarded later.
図5は、本願発明を用いた研磨システムの全体を示したもので、符号101は、図示を省略した2台の研磨部を備えた研磨装置であり、それぞれの研磨装置は、それぞれ独立した排液排出管を備えている。
FIG. 5 shows an entire polishing system using the present invention.
排出口102には、図6に拡大して示す排液排出管103が垂直に接続されており、その排液流入口には、スラリー吸引管104の接続されたスラリー捕捉ポケット105が、排液排出管103の内壁に密接して挿入されている。
A
スラリー捕捉ポケット105は、塩化ビニル樹脂の成形品であり、図6〜11に示す形状をなしている。
The slurry catching
これらの図において、符号105aは、排液排出管とスラリー補足ポケットを備えたスラリー排液回収管をシールするゴムリングの係止部、105bは樋部、105cは吸引管104の螺入部、105dは洗浄水で希釈された排液の通過部である。
In these drawings,
図5に示した実施例形態では、排液排出管103(鎖線で示す。)の出口側は集合排水管106に接続されている。スラリー吸引管104(実線で示す。)は、常時、吸引ポンプP−1,P−2により吸引されており、切り替え弁AV−101,AV−102,AV−201,AV−202を介して20Lのスラリー回収タンク107,108と集合排水管106に接続されている。
In the embodiment shown in FIG. 5, the outlet side of the drainage discharge pipe 103 (shown by a chain line) is connected to the collecting
吸引ポンプP−1,P−2の入り口側には、導電率計CT−1,CT−2が配設され、出口側には、フローセンサFS−1,FS−2が配設されている。符号109は制御盤である。
Conductivity meters CT-1 and CT-2 are arranged on the inlet side of the suction pumps P-1 and P-2, and flow sensors FS-1 and FS-2 are arranged on the outlet side. .
この研磨装置は、図12のフローに従って運転される。 This polishing apparatus is operated according to the flow of FIG.
すなわち、運転開始時には、切り替え弁AV−101,AV−201は常時開、切り替え弁AV−102,AV−202は常時閉とされている。 That is, at the start of operation, the switching valves AV-101 and AV-201 are normally open, and the switching valves AV-102 and AV-202 are normally closed.
まず、吸引ポンプP−1,P−2が駆動される一方、研磨装置が別の制御系により駆動される。 First, the suction pumps P-1 and P-2 are driven, while the polishing apparatus is driven by another control system.
研磨装置では、例えば200ml/minのスラリー供給量で45秒間のCMP、8000ml/minの流量で洗浄水(超純水)を供給しながらのリンス、続いて8000ml/minの流量で洗浄水(超純水)を供給しながらのパッドコンディショニングのサイクルが繰り返される。 In the polishing apparatus, for example, CMP is performed at a slurry supply rate of 200 ml / min for 45 seconds, rinsing while supplying cleaning water (ultra pure water) at a flow rate of 8000 ml / min, and then cleaning water (ultra-clean water at a flow rate of 8000 ml / min). The pad conditioning cycle while supplying pure water) is repeated.
まず、研磨装置は、CMP工程に先立って、スラリー供給信号を制御装置(制御盤109)に送り、次いでパッドへのスラリーの供給を開始する。CMP工程で供給されるスラリーは、半導体ウエハとパッド間に供給されて研磨に用いられた後、遠心力によりプラテンの縁に送られ、排液排出管に集められ.排液排出管に入ったスラリーは、その粘性によりスラリー排液回収管の内壁を伝わってスラリー捕捉ポケット105に入り、スラリー吸引管に吸引される。
First, prior to the CMP process, the polishing apparatus sends a slurry supply signal to the control device (control panel 109), and then starts supplying slurry to the pad. The slurry supplied in the CMP process is supplied between the semiconductor wafer and the pad and used for polishing, then sent to the edge of the platen by centrifugal force and collected in the drainage discharge pipe. The slurry that has entered the drainage discharge pipe travels along the inner wall of the slurry drainage collection pipe due to its viscosity, enters the
フローセンサFS−1,FS−2がこのスラリーの流れを検出し、導電率計CT−1,CT−2が所定の導電率であることを検出し、さらに研磨装置からのスラリー供給信号が受信されていると、切り替え弁はAV−102,AV−202が開、AV−101,AV−201が閉となり、スラリーはスラリー回収タンクに回収される。 The flow sensors FS-1 and FS-2 detect the flow of the slurry, the conductivity meters CT-1 and CT-2 detect the predetermined conductivity, and the slurry supply signal from the polishing apparatus is received. As a result, AV-102 and AV-202 are opened, AV-101 and AV-201 are closed, and the slurry is collected in the slurry collection tank.
研磨装置の研磨工程が終了し、大量の洗浄水が排液受けに排出されると、スラリー捕捉ポケットのスラリーは洗浄水により希釈され、導電率計CT−1,CT−2で測定される導電率が急激に低くなる。導電率が基準値以下になると、切り替え弁は元のAV−101,AV−201が常時開、AV−102,AV−202が常時閉の状態に戻り、このため、スラリー吸引管からのスラリーは、集合配水管に放出されてスラリー回収タンク内のスラリー濃度は所定の範囲に維持される。 When the polishing process of the polishing apparatus is completed and a large amount of cleaning water is discharged to the drain receiver, the slurry in the slurry catching pocket is diluted with the cleaning water and measured by the conductivity meters CT-1 and CT-2. The rate drops rapidly. When the conductivity falls below the reference value, the switching valve returns to the state in which the original AV-101 and AV-201 are normally open and AV-102 and AV-202 are normally closed. The slurry concentration in the slurry collection tank is released to the collecting water distribution pipe and is maintained in a predetermined range.
(実施例)
図5に示したシステムを用いて、シリコンウエハ上に成膜されたタングステン膜を化学機械研磨する工程(以下W-CMP)に本実施形態を適用した例について説明する。
(Example)
An example in which the present embodiment is applied to a process of chemical mechanical polishing (hereinafter referred to as W-CMP) of a tungsten film formed on a silicon wafer using the system shown in FIG. 5 will be described.
実施例の研磨サイクルは表1に示すとおりである。
使用した吸引ポンプは、日東工器製の小型バイモルポンプ(最大流量500ml/min)が使用できる。 The used suction pump can be a small bimol pump (maximum flow rate 500ml / min) manufactured by Nitto Kohki.
この実施例において回収されたスラリーの回収率は、計算値で60%以上であった。また、希釈倍率は、パッドや装置の残留水を含んだもので原液の2〜5倍程度である。 The recovery rate of the slurry recovered in this example was 60% or more by calculated value. In addition, the dilution rate is about 2 to 5 times that of the stock solution, including residual water from the pad and the apparatus.
なお、比較のために、スラリー捕捉ポケットを使用しないで、既存の排液配管に回収と廃棄をバルブで振り分ける方法により、表1の条件でスラリーと洗浄液の分離を行なったが、原液の2〜5倍希釈までの使用済みスラリーの回収は不可能であった。 For comparison, the slurry and the cleaning liquid were separated under the conditions shown in Table 1 by the method of distributing the collection and disposal to the existing drainage pipe with a valve without using the slurry trapping pocket. It was impossible to recover the used slurry up to 5-fold dilution.
比較例は、研磨時間が45秒と短いため、濃度の高いスラリーだけを回収することは難しく300cm先の切替バルブへスラリーが到着するまでに洗浄水が混入する。 In the comparative example, since the polishing time is as short as 45 seconds, it is difficult to collect only the slurry having a high concentration, and the washing water is mixed before the slurry arrives at the switching valve 300 cm ahead.
すなわち、比較例では、研磨時間の45秒が経過して、洗浄水が混入すると流速が28cm/秒まで上昇する。このため、スラリー排液回収管の約30cmまでは濃度の高いスラリー排液が運ばれるが残りの270cmは、スラリーと洗浄水とが混合しながら運ばれ、その結果希釈倍率が30倍以上になるものと考えられる。 That is, in the comparative example, when the polishing time is 45 seconds and the cleaning water is mixed, the flow rate is increased to 28 cm / second. For this reason, high-concentration slurry drainage is carried up to about 30 cm of the slurry drainage collection tube, but the remaining 270 cm is carried while mixing the slurry and washing water, resulting in a dilution factor of 30 times or more. It is considered a thing.
これに対して、実施例では、スラリー排液回収管のスラリー補足ポケットに希釈されていないスラリー排液が少量溜められ、すぐにポンプで吸引されてスラリー排液回収タンクへ運ばれるため、CMP研磨時間の45秒以内で濃度の高いスラリーを300cm先の回収タンクまで運ぶことが可能となる。
1……研磨装置、2……研磨パッド、3……主回転軸、4……プラテン、5……半導体ウエハ、6……回転軸、7……研磨ヘッド7、8……スラリー供給ノズル、9……切替弁、10……スラリー供給配管、11……洗浄水配管、101……研磨装置、102……排出口、103……排液排出管、104……スラリー吸引管、105……スラリー捕捉ポケット、105a……ゴムリングの係止部、105b……樋部、105d……排液の通過部、P−1,P−2……吸引ポンプ、AV−101,AV−102,AV−201,AV−202……切替弁、107,108……スラリー回収タンク、106……集合排水管、CT−1,CT−2……導電率計、FS−1,FS−2……フローセンサ、109……制御盤。
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記研磨装置の前記スラリーと前記洗浄水とを共通に受ける排液口に、内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットを設けたスラリー排液回収管を取り付ける工程と、
前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを、前記スラリー捕捉ポケットの底部に溜め、該スラリー捕捉ポケットの底部に吸入口を設けたスラリー吸引管により回収するスラリー回収工程と、
前記スラリー排液回収管から排出される洗浄工程で使用した洗浄水を含む排液を回収する排液回収工程と、
を有し、
前記スラリー回収工程から前記排液回収工程への切り替えは、前記スラリー捕捉ポケットに回収されたスラリーの導電率を測定して前記スラリーの導電率が基準値より下回ったときに、行われることを特徴とするスラリーの回収方法。 In the method of recovering the slurry used in the polishing apparatus that repeatedly performs the polishing step with the slurry and the cleaning step with the cleaning water at a predetermined timing,
Attaching a slurry drainage recovery pipe provided with a slurry trapping pocket for trapping slurry flowing down along an inner wall to a drainage port commonly receiving the slurry and the washing water of the polishing apparatus;
The slurry flows down along the inner wall of the slurry drainage recovery pipe, collected in the bottom of the slurry catching pocket, a slurry recovery step of recovering the slurry suction pipe having a suction port at the bottom of the slurry catching pocket,
A drainage recovery step for recovering the drainage containing the cleaning water used in the cleaning step discharged from the slurry drainage recovery pipe;
I have a,
Switching from the slurry recovery step to the drainage recovery step is performed when the conductivity of the slurry collected in the slurry catch pocket is measured and the conductivity of the slurry falls below a reference value. A method for recovering the slurry.
前記研磨装置の排液口から下方に垂設された前記研磨工程で使用されたスラリーが内壁のみを伝って流下するに十分な内径のスラリー排液回収管と、
前記スラリー排液回収管の内壁を伝って流下するスラリーを捕捉するスラリー捕捉ポケットと、
前記スラリー捕捉ポケットの底部に吸入口を設けたスラリー吸引管と、を有し、
前記スラリー吸引管は、前記吸引ポンプの下流で、切替バルブを介して分岐されるとともに、前記切替バルブの上流側に設けたスラリー濃度を測定するスラリー濃度検出器と、該スラリー濃度検出器の出力信号によって、前記切替バルブを切り替える制御手段と、を備えることを特徴とするスラリー回収装置。 In the slurry recovery apparatus in the polishing apparatus that repeats the polishing process with the slurry and the cleaning process with the cleaning water at a predetermined timing,
A slurry drainage collecting pipe having an inner diameter sufficient to allow the slurry used in the polishing step suspended downward from the drainage port of the polishing apparatus to flow down only through the inner wall;
A slurry catching pocket for catching the slurry flowing down along the inner wall of the slurry drainage collecting pipe;
Have a, a slurry suction pipe having a suction port at the bottom of the slurry catching pocket,
The slurry suction pipe branches downstream of the suction pump via a switching valve, and a slurry concentration detector that measures the slurry concentration provided on the upstream side of the switching valve, and an output of the slurry concentration detector And a control means for switching the switching valve according to a signal .
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