JP5479181B2 - 絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール - Google Patents
絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5479181B2 JP5479181B2 JP2010077079A JP2010077079A JP5479181B2 JP 5479181 B2 JP5479181 B2 JP 5479181B2 JP 2010077079 A JP2010077079 A JP 2010077079A JP 2010077079 A JP2010077079 A JP 2010077079A JP 5479181 B2 JP5479181 B2 JP 5479181B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring layer
- layer
- insulating substrate
- aluminum
- brazed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1305—Bipolar Junction Transistor [BJT]
- H01L2924/13055—Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Description
(特徴1)絶縁基板は、第1配線層とセラミック絶縁層と第2配線層を備えている。第1配線層のアルミニウムの重量パーセントは、第2配線層のアルミニウムの重量パーセントよりも高い。
(特徴2)特徴1において、第1配線層には高純系アルミニウムが用いられ、第2配線層にはアルミニウム合金が用いられるのが望ましい。これにより、第1配線層が柔らかく、第2配線層が硬い状態が得られる。
(特徴3)特徴1において、第2配線層の厚みがセラミック絶縁層の厚みよりも薄い。この場合、絶縁基板のみかけの線膨張係数が小さくなる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
20:放熱器
30:絶縁基板
31:第1配線層
32:セラミック絶縁層
33:第2配線層
50:半導体装置
Claims (7)
- 放熱器と半導体装置の間に設けられる絶縁基板であって、
第1配線層と、第2配線層と、前記第1配線層と前記第2配線層の間に設けられているとともに前記第1配線層及び前記第2配線層がろう付けされている絶縁層と、を備えており、
前記第1配線層は、前記放熱器にろう付けされる第1部位を有しており、その第1部位の0.2%耐力が第1値であり、
前記第2配線層は、前記半導体装置にはんだ付けされる第2部位を有しており、その第2部位の0.2%耐力が第2値であり、
前記第1値が前記第2値よりも小さく、
前記第1配線層の前記第1部位の材料はアルミニウムを含んでおり、
前記第2配線層の前記第2部位の材料はアルミニウムを含んでおり、
前記第1部位のアルミニウムの重量パーセントが、前記第2部位のアルミニウムの重量パーセントよりも高く、
前記第1配線層は、前記絶縁層にろう付けされる第3部位を有しており、
前記第2配線層は、前記絶縁層にろう付けされる第4部位を有しており、
前記第3部位と前記第4部位のアルミニウムの重量パーセントが同一である絶縁基板。 - 放熱器と半導体装置の間に設けられる絶縁基板であって、
第1配線層と、第2配線層と、前記第1配線層と前記第2配線層の間に設けられているとともに前記第1配線層及び前記第2配線層がろう付けされている絶縁層と、を備えており、
前記第1配線層は、前記放熱器にろう付けされる第1部位を有しており、その第1部位の0.2%耐力が第1値であり、
前記第2配線層は、前記半導体装置にはんだ付けされる第2部位を有しており、その第2部位の0.2%耐力が第2値であり、
前記第1値が前記第2値よりも小さく、
前記第1配線層の前記第1部位の材料はアルミニウムを含んでおり、
前記第2配線層の前記第2部位の材料はアルミニウムを含んでおり、
前記第1部位のアルミニウムの重量パーセントが、前記第2部位のアルミニウムの重量パーセントよりも高く、
前記第1配線層は、アルミニウムの重量パーセントが異なる複数の層で構成されており、
前記第2配線層も、アルミニウムの重量パーセントが異なる複数の層で構成されており、
前記第1配線層を構成する前記複数の層のそれぞれの0.2%耐力と厚みの積の合計が、前記第2配線層を構成する前記複数の層のそれぞれの0.2%耐力と厚みの積の合計と一致する絶縁基板。 - 前記第1部位のアルミニウムの重量パーセントが、99.99%以上であり、
前記第2部位のアルミニウムの重量パーセントが、99.99%未満である請求項1又は2に記載の絶縁基板。 - 前記第2配線層の前記第2部位の材料がアルミニウム合金である請求項3に記載の絶縁基板。
- 前記アルミニウム合金のアルミニウムの重量パーセントが、97.55%以下である請求項4に記載の絶縁基板。
- 前記第1配線層と前記第2配線層の少なくともいずれか一方は、中央部と周縁部の間に段差が形成されており、前記周縁部が前記中央部よりも薄い請求項1〜5のいずれか一項に記載の絶縁基板。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の絶縁基板を介して放熱器と半導体装置が接合されているモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010077079A JP5479181B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010077079A JP5479181B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011210947A JP2011210947A (ja) | 2011-10-20 |
JP5479181B2 true JP5479181B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=44941697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010077079A Expired - Fee Related JP5479181B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5479181B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114739717B (zh) * | 2022-06-13 | 2022-08-26 | 中国飞机强度研究所 | 空天飞机地面热强度测试试验的水路***及其设计方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4779178B2 (ja) * | 2001-03-01 | 2011-09-28 | Dowaメタルテック株式会社 | 半導体実装用絶縁基板及びパワーモジュール |
JP2003133662A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Kyocera Corp | セラミック回路基板 |
JP4104429B2 (ja) * | 2002-11-07 | 2008-06-18 | 電気化学工業株式会社 | モジュール構造体とそれを用いたモジュール |
JP5061442B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2012-10-31 | 三菱マテリアル株式会社 | 絶縁回路基板および冷却シンク部付き絶縁回路基板 |
JP4904767B2 (ja) * | 2005-10-17 | 2012-03-28 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
EP2259308B1 (en) * | 2008-03-17 | 2022-06-15 | Mitsubishi Materials Corporation | Substrate for power module with heat sink and method for producing the same, power module with heat sink, and substrate for power module |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010077079A patent/JP5479181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011210947A (ja) | 2011-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI621226B (zh) | 電源模組用基板、附散熱片之電源模組用基板及電源模組 | |
JP5614485B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール、及びヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 | |
TWI591774B (zh) | 功率模組用基板,附散熱座功率模組用基板及功率模組 | |
TWI622138B (zh) | 功率模組用基板,附散熱座功率模組用基板,附散熱座功率模組 | |
JP5326278B2 (ja) | 回路基板及びこれを用いた半導体モジュール、回路基板の製造方法 | |
KR101017333B1 (ko) | 전력 반도체 모듈 | |
TWI646638B (zh) | Power module substrate and substrate with heat sink power module and heat sink power module | |
WO2015029511A1 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20100187680A1 (en) | Heat radiator | |
JP2012160548A (ja) | 絶縁基板とその絶縁基板を有するパワーモジュール | |
TWI676255B (zh) | 半導體裝置 | |
US20220223493A1 (en) | Insulation circuit board with heat sink | |
JP2004221547A (ja) | 熱伝導性複層基板及びパワーモジュール用基板 | |
JP4044449B2 (ja) | パワーモジュール用基板 | |
JP6681660B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
JP2008311550A (ja) | パワー半導体モジュール | |
JP6759784B2 (ja) | 半導体モジュール | |
JP5479181B2 (ja) | 絶縁基板とその絶縁基板を有するモジュール | |
JP2008306134A (ja) | 半導体モジュール | |
JP5808295B2 (ja) | モジュール | |
JP2016167503A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
JP6118583B2 (ja) | 絶縁基板 | |
JP4667723B2 (ja) | パワーモジュール用基板 | |
JP2008277317A (ja) | パワーモジュール及び車両用インバータ | |
JP2007335795A (ja) | パワーモジュール用基板とパワーモジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5479181 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |